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爐管碎片清理裝置的制作方法

文檔序號:12803427閱讀:814來源:國知局
爐管碎片清理裝置的制作方法

本實(shí)用新型涉及晶體硅太陽能電池制作設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種爐管碎片清理裝置。



背景技術(shù):

太陽能晶片在PECVD工序?yàn)榫w硅太陽能生產(chǎn)線中等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積工序,是以石墨舟為載體將去磷硅玻璃后的硅片放入石英爐管中,在400℃~450℃下進(jìn)行沉積一層氮化硅的過程。目前,生產(chǎn)線一般使用管式設(shè)備,管式PECVD設(shè)備中的石英管為臥式爐管,長度約1.8m~2.2m,內(nèi)有長約20mm的熱電偶探測儀。太陽能晶片在石英爐管中易產(chǎn)生碎片,若不及時清理,碎片易壓在石英爐管內(nèi)熱電偶探頭上導(dǎo)致熱電偶測溫不準(zhǔn)確,碎片還容易與石英管中的石墨舟接觸,導(dǎo)致石墨舟短路。目前清洗石英爐管內(nèi)碎片的辦法只有停產(chǎn)降溫,用普通吸塵器清理石英爐管內(nèi)碎片,該辦法既耽誤生產(chǎn)進(jìn)程和產(chǎn)量,又存在污染石英爐管的風(fēng)險。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:為了解決清洗石英爐管內(nèi)碎片的辦法只有停產(chǎn)降溫,用普通吸塵器清理石英爐管內(nèi)碎片,該辦法既耽誤生產(chǎn)進(jìn)程和產(chǎn)量,又存在污染石英爐管的風(fēng)險的問題,現(xiàn)提供了一種爐管碎片清理裝置。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種爐管碎片清理裝置,包括支撐座及轉(zhuǎn)動設(shè)置在支撐座一端的撥片,所述支撐座下底面設(shè)有基座,所述基座沿所述撥片轉(zhuǎn)動方向開設(shè)有通道,所述通道內(nèi)設(shè)有與用于控制撥片轉(zhuǎn)動的滑桿,所述滑桿的一端與所述撥片鉸接,所述滑桿遠(yuǎn)離撥片的一端設(shè)有限位銷,所述基座遠(yuǎn)離撥片的一端設(shè)有導(dǎo)向槽,所述導(dǎo)向槽由基座向撥片的方向設(shè)置,所述基座上位于導(dǎo)向槽靠近撥片的一端設(shè)有卡槽,所述卡槽與所述導(dǎo)向槽連通,所述通道底部設(shè)有定位塊,所述滑桿上設(shè)有與定位塊相匹配的定位槽,所述導(dǎo)向槽位于所述定位塊的上方,當(dāng)滑桿位于通道底部時,所述定位塊設(shè)置在定位槽內(nèi),此時支撐座與撥片相互保持垂直狀態(tài),當(dāng)所述限位銷通過導(dǎo)向槽卡設(shè)在卡槽內(nèi)時,此時支撐座與撥片相互保持水平狀態(tài)。在將支撐座放置在爐管內(nèi)時,滑桿上的限位銷是卡設(shè)在卡槽內(nèi)的,此時支撐座是與撥片水平設(shè)置的;當(dāng)需要將支撐座從爐管內(nèi)拿出來時,將滑桿上的限位銷從卡槽內(nèi)滑出,并將定位槽卡設(shè)在定位塊上,此時支撐座是與撥片相互垂直設(shè)置的,將支撐座拿出的同時,撥片對爐管內(nèi)的碎片同時進(jìn)行清理。

進(jìn)一步地,所述定位塊為錐形凸臺。為了能夠方便快速的定位,錐形本身具有定位的導(dǎo)向作用,在定位時能夠更加方便快速的對滑桿進(jìn)行定位。

進(jìn)一步地,所述導(dǎo)向槽與所述卡槽之間設(shè)有用于對限位銷導(dǎo)向的斜倒角。為了能夠方便限位銷拔出卡槽或卡入卡槽,對限位銷起到導(dǎo)向作用。

進(jìn)一步地,所述撥片上設(shè)有用于限位撥片的限位塊,所述限位塊位于所述撥片靠近滑桿的一端,當(dāng)限位塊與所述支撐座接觸時,此時支撐座與撥片相互保持垂直狀態(tài)。在清理爐管內(nèi)的碎片時,通過限位塊能夠快速定位支撐座與撥片。

本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型爐管碎片清理裝置在使用時,在將支撐座放置在爐管內(nèi)時,滑桿上的限位銷是卡設(shè)在卡槽內(nèi)的,此時支撐座是與撥片水平設(shè)置的;當(dāng)需要將支撐座從爐管內(nèi)拿出來時,將滑桿上的限位銷從卡槽內(nèi)滑出,并將定位槽卡設(shè)在定位塊上,此時支撐座是與撥片相互垂直設(shè)置的,將支撐座拿出的同時,撥片對爐管內(nèi)的碎片同時進(jìn)行清理,本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,能夠隨支撐座拿出同時將爐管內(nèi)的碎片進(jìn)行清理,避免了清洗石英爐管內(nèi)碎片的辦法只有停產(chǎn)降溫,用普通吸塵器清理石英爐管內(nèi)碎片,該辦法既耽誤生產(chǎn)進(jìn)程和產(chǎn)量,又存在污染石英爐管的風(fēng)險的問題。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型爐管碎片清理裝置未使用時的主視圖;

圖2是本實(shí)用新型爐管碎片清理裝置未使用時的左視圖;

圖3是本實(shí)用新型爐管碎片清理裝置在撥片撥碎片時的主視圖;

圖4是本實(shí)用新型爐管碎片清理裝置在撥片撥碎片時的左視圖。

圖中:1、支撐座,2、撥片,3、基座,301、通道,302、導(dǎo)向槽,303、卡槽,304、斜倒角,4、滑桿,401、限位銷,402、定位槽,5、定位塊、6限位塊。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu),因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。

實(shí)施例

如圖1、2、3和4所示,一種爐管碎片清理裝置,包括支撐座1及轉(zhuǎn)動設(shè)置在支撐座1一端的撥片2,撥片2是與爐管底部相匹配,所述支撐座1下底面設(shè)有基座3,所述基座3沿所述支撐座1長度方向開設(shè)有通道301,所述通道301內(nèi)設(shè)有與用于控制撥片2轉(zhuǎn)動的滑桿4,所述滑桿4的一端與所述撥片2鉸接,所述滑桿4遠(yuǎn)離撥片2的一端設(shè)有限位銷401,所述基座3上設(shè)有與所述限位銷401相匹配的導(dǎo)向槽302,所述基座3上位于導(dǎo)向槽302靠近撥片2的一端設(shè)有卡槽303,所述卡槽303與所述導(dǎo)向槽302連通,所述限位銷401卡設(shè)在卡槽303內(nèi),所述通道301底部設(shè)有定位塊5,所述定位塊5為錐形,所述導(dǎo)向槽302位于所述定位塊5的上方,所述滑桿4上設(shè)有與定位塊5相匹配的定位槽402,當(dāng)滑桿4位于通道301底部時,所述定位設(shè)置在定位槽402內(nèi)。

所述導(dǎo)向槽302與所述卡槽303之間設(shè)有用于對限位銷401導(dǎo)向的斜倒角304。

所述撥片2上設(shè)有用于限位撥片2的限位塊6,所述限位塊6位于所述撥片2靠近滑桿4的一端,當(dāng)限位塊6與所述支撐座1接觸時,此時支撐座1與撥片2相互保持垂直狀態(tài)。

上述爐管碎片清理裝置在使用時,支撐座1的上表面用于放置石英舟,再在石英舟上盛放硅片,具體操作步驟如下:首先在將支撐座1放入爐管前,先將滑桿4上的限位銷401在導(dǎo)向槽302內(nèi)滑動并通過斜倒角304卡入到卡槽303內(nèi),滑桿4在基座3上的通道301內(nèi)滑動,并推動撥片2與支撐座1保持水平狀態(tài);當(dāng)硅片在爐管內(nèi)處理完成后,利用工具將滑桿4上的限位銷401從卡槽303內(nèi)推出,限位銷401脫離導(dǎo)向槽302,滑桿4在通道301內(nèi)滑動,當(dāng)限位塊6與所述支撐座1接觸時,此時支撐座1與撥片2相互保持垂直狀態(tài),再將滑桿4上的定位槽402設(shè)置在通道301底部的定位塊5內(nèi),定位塊5和定位槽402配合起到限位作用,將支撐座1拿出即可對爐管內(nèi)的碎片一并帶出。

上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示,通過上述的說明內(nèi)容,相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi),進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容,必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。

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