本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種純水存儲(chǔ)器，還涉及一種濕氧擴(kuò)散設(shè)備。

背景技術(shù)：

濕氧氧化是對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行加工處理的一種方式，此過(guò)程中需要使用到濕氧擴(kuò)散設(shè)備。

濕氧擴(kuò)散工藝在運(yùn)行中需要連續(xù)不斷的水蒸氣，蒸汽發(fā)生器需要外部連接純水進(jìn)行加熱產(chǎn)生蒸汽，工藝過(guò)程中設(shè)備控制蒸汽的流量，不控制水的流量，這樣會(huì)在外部出現(xiàn)停水的情況下不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)，需要在工藝發(fā)現(xiàn)水蒸氣供應(yīng)量達(dá)不到設(shè)定值時(shí)出現(xiàn)報(bào)警才可以發(fā)現(xiàn)，這樣就造成了產(chǎn)品報(bào)廢，蒸汽發(fā)生器部件燒毀的現(xiàn)象。

綜上所述，如何有效地解決蒸汽發(fā)生器在純水供應(yīng)不足時(shí)發(fā)生空燒現(xiàn)象造成設(shè)備損壞等問(wèn)題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型的第一個(gè)目的在于提供一種純水存儲(chǔ)器，該純水存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以有效地解決蒸汽發(fā)生器在純水供應(yīng)不足時(shí)發(fā)生空燒現(xiàn)象造成設(shè)備損壞的問(wèn)題，本實(shí)用新型的第二個(gè)目的是提供一種包括上述純水存儲(chǔ)器的濕氧擴(kuò)散設(shè)備。

為了達(dá)到上述第一個(gè)目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種純水存儲(chǔ)器，包括上部連接有進(jìn)水管、下部連接有出水管的儲(chǔ)水罐，儲(chǔ)水罐的上部連接有進(jìn)氣管，進(jìn)水管內(nèi)填充有壓強(qiáng)可調(diào)的純水，進(jìn)氣管內(nèi)填充有壓強(qiáng)可調(diào)的惰性氣體，儲(chǔ)水罐的預(yù)設(shè)液位連通有第一液位感應(yīng)器，第一液位感應(yīng)器連接有提示裝置。

優(yōu)選地，上述純水存儲(chǔ)器中，進(jìn)水管設(shè)有電磁閥。

優(yōu)選地，上述純水存儲(chǔ)器中，進(jìn)氣管設(shè)有第一調(diào)壓閥，進(jìn)水管設(shè)有第二調(diào)壓閥。

優(yōu)選地，上述純水存儲(chǔ)器中，儲(chǔ)水罐連通有高于第一液位感應(yīng)器的第二液位感應(yīng)器，第二液位感應(yīng)器和電磁閥電氣連接。

優(yōu)選地，上述純水存儲(chǔ)器中，提示裝置具體為顯示屏和\或蜂鳴器。

本實(shí)用新型提供的純水存儲(chǔ)器，包括上部連接有進(jìn)水管、下部連接有出水管的儲(chǔ)水罐，儲(chǔ)水罐的上部連接有進(jìn)氣管，進(jìn)水管內(nèi)填充有壓強(qiáng)可調(diào)的純水，進(jìn)氣管內(nèi)填充有壓強(qiáng)可調(diào)的惰性氣體，儲(chǔ)水罐的預(yù)設(shè)液位連通有第一液位感應(yīng)器，第一液位感應(yīng)器連接有提示裝置。

應(yīng)用本實(shí)用新型提供的純水存儲(chǔ)器時(shí)，正常狀態(tài)下進(jìn)水管進(jìn)水，出水管出水，保持儲(chǔ)水罐內(nèi)始終有一定的純水存儲(chǔ)量即可。當(dāng)進(jìn)水管沒(méi)有水通入時(shí)，沒(méi)有水壓則出水管出水困難，可通過(guò)進(jìn)氣管通入惰性氣體，惰性氣體可優(yōu)選為氮?dú)?，既不影響呼吸又容易制備，將?chǔ)水罐內(nèi)的存水持續(xù)壓入蒸汽發(fā)生器中，避免了斷水或水壓不夠時(shí)蒸汽發(fā)生器中的水越來(lái)越少導(dǎo)致空燒。當(dāng)?shù)谝灰何桓袘?yīng)器監(jiān)測(cè)到儲(chǔ)水罐內(nèi)的水位低于預(yù)設(shè)水位時(shí)，通過(guò)提示裝置提示操作者及時(shí)提供純水或者關(guān)閉蒸汽發(fā)生器，以免發(fā)生空燒。

為了達(dá)到上述第二個(gè)目的，本實(shí)用新型還提供了一種濕氧擴(kuò)散設(shè)備，該濕氧擴(kuò)散設(shè)備包括上述任一種純水存儲(chǔ)器，該純水存儲(chǔ)器與該濕氧擴(kuò)散設(shè)備的蒸汽發(fā)生器連接。由于上述的純水存儲(chǔ)器具有上述技術(shù)效果，具有該純水存儲(chǔ)器的濕氧擴(kuò)散設(shè)備也應(yīng)具有相應(yīng)的技術(shù)效果。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的濕氧擴(kuò)散設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標(biāo)記如下：

儲(chǔ)水罐1、進(jìn)水管11、出水管12、進(jìn)氣管13、第一液位感應(yīng)器2、第二液位感應(yīng)器3、電磁閥4、第一調(diào)壓閥5、第二調(diào)壓閥6、蒸汽發(fā)生器7。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種濕氧擴(kuò)散設(shè)備及其純水存儲(chǔ)器，以避免蒸汽發(fā)生器空燒，提高濕氧擴(kuò)散過(guò)程的安全性。

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的濕氧擴(kuò)散設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

本實(shí)用新型的實(shí)施例提供了一種純水存儲(chǔ)器，包括上部連接有進(jìn)水管11、下部連接有出水管12的儲(chǔ)水罐1，儲(chǔ)水罐1的上部連接有進(jìn)氣管13，進(jìn)水管11內(nèi)填充有壓強(qiáng)可調(diào)的純水，進(jìn)氣管13內(nèi)填充有壓強(qiáng)可調(diào)的惰性氣體，儲(chǔ)水罐1的預(yù)設(shè)液位連通有第一液位感應(yīng)器2，第一液位感應(yīng)器2連接有提示裝置。

應(yīng)用上述實(shí)施例提供的純水存儲(chǔ)器時(shí)，正常狀態(tài)下進(jìn)水管11進(jìn)水，出水管12出水，保持儲(chǔ)水罐1內(nèi)始終有一定的純水存儲(chǔ)量即可。當(dāng)進(jìn)水管11沒(méi)有水通入時(shí)，沒(méi)有水壓則出水管12出水困難，可通過(guò)進(jìn)氣管13通入惰性氣體，惰性氣體可優(yōu)選為氮?dú)?，既不影響呼吸又容易制備，將?chǔ)水罐1內(nèi)的存水持續(xù)壓入蒸汽發(fā)生器7中，避免了斷水或水壓不夠時(shí)蒸汽發(fā)生器7中的水越來(lái)越少導(dǎo)致空燒。當(dāng)?shù)谝灰何桓袘?yīng)器2監(jiān)測(cè)到儲(chǔ)水罐1內(nèi)的水位低于預(yù)設(shè)水位時(shí)，通過(guò)提示裝置提示操作者及時(shí)提供純水或者關(guān)閉蒸汽發(fā)生器7，以免發(fā)生空燒。

為了優(yōu)化上述實(shí)施例中進(jìn)水管11的使用效果，進(jìn)水管11設(shè)有電磁閥4。當(dāng)?shù)谝灰何桓袘?yīng)器2監(jiān)測(cè)到儲(chǔ)水罐1內(nèi)的水位低于預(yù)設(shè)水位時(shí)，打開電磁閥4 開始補(bǔ)水，如果沒(méi)有水補(bǔ)充，提示操作者及時(shí)提供純水或者關(guān)閉蒸汽發(fā)生器7，以免發(fā)生空燒。通過(guò)電磁閥4實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)水管11的開關(guān)控制，使得進(jìn)水過(guò)程的通水和切斷操作更為方便，如果通過(guò)外部處理器進(jìn)行控制則更為智能，自動(dòng)化程度更高。

為了優(yōu)化上述實(shí)施例中進(jìn)水管11和進(jìn)氣管13的使用效果，進(jìn)氣管13設(shè)有第一調(diào)壓閥5，進(jìn)水管11設(shè)有第二調(diào)壓閥6。通過(guò)第二調(diào)壓閥6實(shí)現(xiàn)進(jìn)水管11中純水壓強(qiáng)的控制，以免純水壓力波動(dòng)造成蒸氣發(fā)生過(guò)程不穩(wěn)定，流量波動(dòng)。當(dāng)斷水或者水壓不足時(shí)，通過(guò)第一調(diào)壓閥5實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣管13中氣體壓強(qiáng)的控制，同樣可以起到穩(wěn)定出水管12中純水壓力的作用。

本實(shí)用新型的另一個(gè)具體實(shí)施例中，儲(chǔ)水罐1連通有高于第一液位感應(yīng)器2的第二液位感應(yīng)器3，第二液位感應(yīng)器3和電磁閥4電氣連接。為了具體量化儲(chǔ)水罐1中液位是否穩(wěn)定，設(shè)置雙液位觀測(cè)點(diǎn)，將液位合理控制在一定范圍內(nèi)。當(dāng)?shù)诙何桓袘?yīng)器3監(jiān)測(cè)到儲(chǔ)水罐1內(nèi)液位高出一定程度時(shí)，則控制電磁閥4實(shí)現(xiàn)進(jìn)水管11的關(guān)閉，待純水使用一定量而液位降至該高度以下時(shí)，可以再次開啟電磁閥4。

為了優(yōu)化上述實(shí)施例中提示裝置的使用效果，提示裝置具體為顯示屏和\或蜂鳴器。通過(guò)顯示屏可以顯示液位變化曲線，或者直接顯示液位超出最高或最低預(yù)設(shè)值的信息，幫助操作者及時(shí)改變各個(gè)管路或者設(shè)備的開閉狀態(tài)，以免發(fā)生水壓不穩(wěn)或者空燒的現(xiàn)象。同時(shí)提示裝置也可以優(yōu)選蜂鳴器，更直觀和及時(shí)的提醒到操作者設(shè)備出現(xiàn)危險(xiǎn)或者故障的趨勢(shì)，方便操作者及時(shí)反饋。

基于上述實(shí)施例中提供的純水存儲(chǔ)器，本實(shí)用新型還提供了一種濕氧擴(kuò)散設(shè)備，該濕氧擴(kuò)散設(shè)備包括上述實(shí)施例中任意一種純水存儲(chǔ)器，該純水存儲(chǔ)器和該濕氧擴(kuò)散設(shè)備中的蒸汽發(fā)生器7連接。由于該濕氧擴(kuò)散設(shè)備采用了上述實(shí)施例中的純水存儲(chǔ)器，所以該濕氧擴(kuò)散設(shè)備的有益效果請(qǐng)參考上述實(shí)施例。

本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。

還需要說(shuō)明的是，在本說(shuō)明書中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。