本實用新型涉及藍寶石技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種LED藍寶石襯底用的清洗架。

背景技術(shù)：

通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優(yōu)點：首先，藍寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好；其次，藍寶石的穩(wěn)定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最后，藍寶石的機械強度高，易于處理和清洗。因此，大多數(shù)工藝一般都以藍寶石作為襯底，藍寶石的硬度非常高，在自然材料中其硬度僅次于金剛石，但是在LED器件的制作過程中卻需要對它進行減薄和切割（從400μm減到100μm左右），藍寶石襯底不能直接被利用，而需要對他進行進一步加工才能使用，藍寶石襯底需要進過長晶、定向、掏棒、滾磨、品檢、定向、切片、研磨、倒角、拋光、清洗和品檢，進過此工藝加工后方可使用，目前藍寶石加工設(shè)備較多，其中清洗設(shè)備為最后一道加工工序，尤為重要，而目前的藍寶石清洗設(shè)備每次清洗數(shù)量較少，已然跟不上日益增長的需求，且批量清洗時，由于太薄而支撐架難以固定，所以急需一種固定較好且增大每次清洗數(shù)量的藍寶石清洗架。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種LED藍寶石襯底用的清洗架，具備手動卡盤固定和多個夾緊桿夾緊的優(yōu)點，解決了難以固定和批量清洗的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種LED藍寶石襯底用的清洗架，包括架體，所述架體的底部設(shè)置有過濾層，所述架體的兩側(cè)開設(shè)有固定槽，所述固定槽的內(nèi)部設(shè)置有軸承，所述軸承的內(nèi)圈固定連接有伸縮拉桿，所述伸縮拉桿的中部活動連接有固定螺母，所述伸縮拉桿的一端貫穿卡盤體并且延伸至卡盤體的內(nèi)部，所述伸縮拉桿與卡盤體螺紋連接，所述伸縮拉桿的一端開設(shè)有活動槽，所述活動槽的表面活動連接有行程銷，所述行程銷的一端活動連接有卡爪，所述卡爪的一側(cè)開設(shè)有行程槽，所述行程銷的中部活動連接有卡銷，所述卡銷與卡盤體固定連接，所述卡爪的頂部固定連接有夾緊桿。

優(yōu)選的，所述卡盤體的外側(cè)開設(shè)有卡爪槽，所述卡爪槽為T字形狀，所述卡爪為工字形狀。

優(yōu)選的，所述行程槽、行程銷的兩端和活動槽的形狀均為圓弧形狀。

優(yōu)選的，所述過濾層的表面分別開設(shè)有過濾口和止回口，所述過濾口和止回口呈梯形形狀。

優(yōu)選的，所述夾緊桿的數(shù)量為三個，夾緊桿的一側(cè)開設(shè)有夾緊口，所述夾緊口呈三角形狀。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型通過設(shè)置軸承，可以使得LED藍寶石襯底清洗和伸縮拉桿轉(zhuǎn)動以達到帶動夾緊桿轉(zhuǎn)動的效果，使清洗效果達到最佳，通過設(shè)置夾緊桿上設(shè)置多個夾緊口，達到了批量清洗的效果。

2、本實用新型通過伸縮拉桿與卡盤體的螺紋連接，能夠使卡爪在行程銷的作用下進行徑向滑動，達到穩(wěn)定固定的效果，通過固定螺母，能夠有效避免伸縮拉桿在固定后出現(xiàn)松動的現(xiàn)象，通過行程槽、行程銷的兩端和活動槽的形狀均為圓弧形狀的設(shè)置，能夠有效增強卡爪的靈活性，通過夾緊口的三角形形狀的設(shè)置，能夠有效降低藍寶石邊緣卡緊后出現(xiàn)松動的現(xiàn)象，從而有效的解決了藍寶石清洗時固定不穩(wěn)和清洗量少的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型俯視圖；

圖2為本實用新型卡盤立體半剖圖；

圖3為本實用新型過濾層正視圖圖；

圖4為本實用新型卡盤體俯視圖；

圖5為本實用新型卡爪俯視圖。

圖中：1架體、2過濾層、3固定槽、4軸承、5伸縮拉桿、6固定螺母、7卡盤體、8活動槽、9行程銷、10卡爪、11行程槽、12卡銷、13夾緊桿、14卡爪槽、15過濾口、16止回口、17夾緊口。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-5，一種LED藍寶石襯底用的清洗架，包括架體1，架體1的底部設(shè)置有過濾層2，過濾層2的表面分別開設(shè)有過濾口15和止回口16，過濾口15和止回口16呈梯形形狀，通過止回口16的設(shè)置，能夠有效避免清洗后的沉淀物回流到清洗設(shè)備內(nèi)，避免刮傷LED藍寶石襯底，架體1的兩側(cè)開設(shè)有固定槽3，固定槽3的內(nèi)部設(shè)置有軸承4，通過設(shè)置軸承4，可以使得LED藍寶石襯底清洗和伸縮拉桿5轉(zhuǎn)動以達到帶動夾緊桿13轉(zhuǎn)動的效果，使清洗效果達到最佳，軸承4的內(nèi)圈固定連接有伸縮拉桿5，伸縮拉桿5的中部活動連接有固定螺母6，通過固定螺母6，能夠有效避免伸縮拉桿5在固定后出現(xiàn)松動的現(xiàn)象，伸縮拉桿5的一端活動連接有卡盤體7，卡盤體7的外側(cè)開設(shè)有卡爪槽14，卡爪槽14為T字形狀，通過設(shè)置卡爪槽14，保證了卡爪10的穩(wěn)定性，伸縮拉桿5的一端貫穿卡盤體7并且延伸至卡盤體7的內(nèi)部，伸縮拉桿5與卡盤體7螺紋連接，通過伸縮拉桿5與卡盤體7的螺紋連接，能夠使卡爪10在行程銷9的作用下進行徑向滑動，達到穩(wěn)定固定的效果，伸縮拉桿5的一端開設(shè)有活動槽8，活動槽8的表面活動連接有行程銷9，通過設(shè)置行程銷9，使得可以連通卡爪10和伸縮拉桿5的動力進行轉(zhuǎn)換，行程銷9的一端活動連接有卡爪10，卡爪10為工字形狀，卡爪10的一側(cè)開設(shè)有行程槽11，行程槽11、行程銷9的兩端和活動槽8的形狀均為圓弧形狀，通過行程槽11、行程銷9的兩端和活動槽8的形狀均為圓弧形狀的設(shè)置，能夠有效增強卡爪10的靈活性，行程銷9的中部活動連接有卡銷12，卡銷12與卡盤體7固定連接，卡爪10的頂部固定連接有夾緊桿13，夾緊桿13的數(shù)量為三個，夾緊桿13的一側(cè)開設(shè)有夾緊口17，夾緊口17呈三角形狀，通過設(shè)置夾緊桿13上設(shè)置多個夾緊口17，達到了批量清洗的效果，通過夾緊口17的三角形形狀的設(shè)置，能夠有效降低藍寶石邊緣卡緊后出現(xiàn)松動的現(xiàn)象，從而有效的解決了藍寶石清洗時固定不穩(wěn)和清洗量少的問題。

工作原理：清洗時，將LED藍寶石襯底放入夾緊桿13上的夾緊口17處，反向轉(zhuǎn)動伸縮拉桿5，伸縮拉桿5上的活動槽8內(nèi)的行程銷9向后轉(zhuǎn)動，行程銷9的另一端在行程槽11內(nèi)向卡盤體7內(nèi)側(cè)移動，從而帶動卡爪10在卡爪槽14內(nèi)向徑向內(nèi)側(cè)移動，帶動夾緊桿13上的夾緊口17夾住LED藍寶石襯底，固定螺母6轉(zhuǎn)動至卡盤體7處，固定住伸縮拉桿5，將伸縮拉桿5一端的軸承4外圈放入架體1上的固定槽3內(nèi)，開始在清洗設(shè)備中清洗，清洗后的微塵顆粒和金屬從過濾層2上的過濾口15和止回口16沉淀至底部，止回口16防止沉淀物返回清洗設(shè)備中對LED藍寶石襯底產(chǎn)生刮傷。

綜上所述：該LED藍寶石襯底用的清洗架，通過卡爪10固定和多個夾緊口17夾緊的優(yōu)點，解決了LED藍寶石襯底難以固定和批量清洗的問題。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。