技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種形成精細(xì)圖案的方法包括：在底層之上形成以行和列排列的柱體，并且在底層之上形成間隔件以覆蓋柱體。分別覆蓋排列在每個行或者每個列中的柱體的間隔件層的部分彼此接觸，以提供設(shè)置在沿著行方向和列方向之間的對角線方向排列的柱體之間的第一間隙空間，并且以在平面圖中第一間隙空間的每個的拐角處設(shè)置裂隙。愈合層形成在間隔件層上,以填充第一間隙空間的裂隙。愈合層形成為提供分別位于第一間隙空間中的第二間隙空間，并且包括聚合物材料。

技術(shù)研發(fā)人員：許仲君;金弘益;潘槿道;卜喆圭;金永式
受保護(hù)的技術(shù)使用者：愛思開海力士有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.18
技術(shù)公布日：2017.09.29