功能層形成用油墨的制造方法、有機(jī)el 元件的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供能夠使含有低分子材料和高分子材料的混合物迅速溶解的功能層形成用油墨的制造方法以及應(yīng)用它的有機(jī)EL元件的制造方法。一種功能層形成用油墨的制造方法，其特征在于，包括使低分子材料與高分子材料混合而成的混合物分散到不良溶劑中的工序和向分散有混合物的不良溶劑中加入良溶劑使混合物溶解的工序，相對(duì)于向不良溶劑加入良溶劑后的總?cè)莘e，不良溶劑的容積比為10％～70％，且不良溶劑和良溶劑能夠混合。
【專利說(shuō)明】功能層形成用油墨的制造方法、有機(jī)EL元件的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及在形成具有發(fā)光功能的功能層時(shí)使用的功能層形成用油墨的制造方 法和有機(jī)EL元件的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 作為發(fā)光元件的有機(jī)電致發(fā)光（Electro-Luminescence ;EL)元件在陽(yáng)極和陰極 之間具有含有由有機(jī)化合物構(gòu)成的發(fā)光材料的功能層。作為形成這種功能層的方法，已知 有真空蒸鍍法等氣相工藝（也稱為干式法）、使用將功能層形成材料溶解或分散于溶劑而 得的溶液的液相工藝（也稱為濕式法或涂布法）。一般，氣相工藝中適合使用低分子材料， 液相工藝中從成膜性的觀點(diǎn)考慮使用高分子材料。已知有時(shí)高分子材料與低分子材料相比 在發(fā)光效率、發(fā)光壽命這方面差。另一方面，液相工藝與氣相工藝相比，能夠較容易在大型 基板上形成有機(jī)EL元件，所以一直不斷進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
[0003] 例如，專利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)了一種有機(jī)EL元件，其具有利用濕式法將高分子材料成 膜而得的空穴注入?輸送層和層疊在空穴注入?輸送層上的、利用濕式法將低分子發(fā)光材 料成膜而得的低分子發(fā)光層。另外，作為低分子發(fā)光材料，示出了具有蒽骨架、芘骨架的有 機(jī)化合物。
[0004] 另外,例如,專利文獻(xiàn)2中，作為有機(jī)EL元件的制造方法，示出了如下方法：通過(guò)用 作為主溶劑的環(huán)己基苯和作為副溶劑的二甲苯使作為高分子材料的三苯胺系聚合物溶解 之后進(jìn)行涂布?干燥而形成空穴注入輸送層。另外，在作為高分子材料的聚烯烴系材料中 摻雜了作為低分子材料的發(fā)光材料而成的混合物同樣地溶解于含有環(huán)己基苯和二甲苯的 溶劑中，并在空穴注入輸送層上涂布·干燥而形成發(fā)光層。
[0005] 此外，例如，專利文獻(xiàn)3中，作為空穴注入層和空穴輸送層的形成方法，示出了利 用低分子的層形成材料和高分子粘結(jié)劑的混合溶液成膜的方法。
[0006] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)
[0008] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2006-190759號(hào)公報(bào)
[0009] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2008-226686號(hào)公報(bào)
[0010] 專利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)2009-245657號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 上述專利文獻(xiàn)1?專利文獻(xiàn)3中，用液相工藝形成具有發(fā)光功能的功能層中由有 機(jī)化合物構(gòu)成的空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層中的任一種時(shí)，作為使低分子材料或高分 子材料的有機(jī)化合物或?qū)儆诘头肿硬牧虾透叻肿硬牧系幕旌衔锏挠袡C(jī)化合物溶解的溶劑， 示出了以下的有機(jī)溶劑。
[0012] 例如，舉出了甲醇、乙醇等醇系溶劑，二氯甲烷、二氯乙烷等鹵代烴系溶劑，苯、甲 苯等芳香族系溶劑，己烷、辛烷等烷烴系溶劑，乙酸乙酯、乙酸丁酯等酯系溶劑，N，N-二甲基 甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等酰胺系溶劑，丙酮、甲乙酮等酮系溶劑，吡啶、喹啉等胺系溶 齊U，乙腈、戊腈等腈系溶劑，噻吩、二硫化碳等硫系溶劑等。
[0013] 然而，低分子材料、高分子材料對(duì)上述有機(jī)溶劑的溶解度根據(jù)所使用的材料而不 同，但未必都大。特別是使用低分子材料和高分子材料的混合物時(shí)，存在如下課題：低分子 材料和高分子材料因相互的分子間力容易在有機(jī)溶劑中凝聚而凝膠化，使凝膠狀的混合物 完全溶解在上述有機(jī)溶劑中需要一定的時(shí)間（例如24小時(shí)以上），或者可能無(wú)法使凝膠狀 的混合物完全溶解。
[0014] 本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而進(jìn)行的，通過(guò)以下的方式或應(yīng)用例能 夠?qū)崿F(xiàn)。
[0015] 應(yīng)用例
[0016] 本應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨的制造方法是在形成具有發(fā)光功能的功能層 時(shí)使用的功能層形成用油墨的制造方法，其特征在于，包括使低分子材料、高分子材料或 者混合上述低分子材料與上述高分子材料而成的混合物中的任一種固體成分分散于不良 溶劑的工序，和向分散有上述固體成分的上述不良溶劑中加入良溶劑使上述混合物溶解 的工序，相對(duì)于向上述不良溶劑中加入上述良溶劑后的總?cè)莘e，上述不良溶劑的容積比為 10 %?70 %，且上述不良溶劑和上述良溶劑能夠混合。
[0017] 根據(jù)本應(yīng)用例，由于向分散有固體成分的狀態(tài)的不良溶劑中加入良溶劑，所以抑 制該固體成分在不良溶劑和良溶劑的混合溶劑中的凝膠化。因此，與使該固體成分僅溶解 于良溶劑的情況相比，能夠迅速溶解該固體成分。換言之，能夠提供可使固體成分迅速溶解 于混合溶劑的功能層形成用油墨的制造方法。
[0018] 另外，功能層形成用油墨含有低分子材料和高分子材料的情況與不含低分子材料 的情況相比，能夠形成具有優(yōu)異的光學(xué)特性的功能層。
[0019] 在上述應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨的制造方法中，其特征在于，上述不良溶 劑的沸點(diǎn)為150°C?300°C，上述良溶劑的沸點(diǎn)為250°C?300°C。
[0020] 根據(jù)該方法，在利用噴墨法等液滴噴出法形成功能層時(shí)，不易發(fā)生功能層形成用 油墨的干燥所致的噴嘴堵塞等，能夠制造適合液滴噴出法的功能層形成用油墨。
[0021] 在上述應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨的制造方法中，其特征在于，上述不良溶 劑選自直鏈烷烴系溶劑、脂肪族醇系溶劑、脂肪族醚系溶劑、芳香族烴系溶劑中的至少1 種，上述良溶劑選自3-苯氧基甲苯、2-異丙基萘、二芐醚、異丙基聯(lián)苯中的至少1種。
[0022] 根據(jù)該方法，與使低分子材料和高分子材料的混合物僅溶解于良溶劑的情況的溶 解時(shí)間相比，能夠?qū)⑸鲜龌旌衔镌诨旌先軇┲械娜芙鈺r(shí)間縮短20%以上。
[0023] 在上述應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨的制造方法中，其特征在于，上述不良溶 劑選自直鏈烷烴系溶劑、脂肪族醇系溶劑中的至少1種，上述良溶劑選自3-苯氧基甲苯、 2_異丙基萘、二芐醚、異丙基聯(lián)苯中的至少1種。
[0024] 根據(jù)該方法，與使低分子材料和高分子材料的混合物僅溶解于良溶劑的情況的溶 解時(shí)間相比，能夠?qū)⑸鲜龌旌衔镌诨旌先軇┲械娜芙鈺r(shí)間縮短到1/10以下。
[0025] 在上述應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨的制造方法中，其特征在于，上述不良溶 劑選自下述溶劑中的至少1種：4種直鏈烷烴系溶劑（壬烷、癸烷、十一烷、十二烷）、5種脂 肪族醇系溶劑（己醇、庚醇、辛醇、壬醇、癸醇）、14種脂肪族醚系溶劑（二戊醚、二乙二醇二 甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇甲基異丙醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲丁醚、二乙二醇 二丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇甲丙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇甲乙醚、三乙二醇甲 丁醚、三丙二醇二甲醚、四乙二醇二甲醚）、8種芳香族烴系溶劑（1，3-二異丙基苯、1，4-二 異丙基苯、三異丙基苯、戊基苯、己基苯、庚基苯、辛基苯、壬基苯），上述良溶劑選自3-苯氧 基甲苯、2-異丙基萘、二芐醚、異丙基聯(lián)苯中的至少1種。
[0026] 根據(jù)該方法，使用液滴噴出法時(shí)，能夠提供更適合的功能層形成用油墨。
[0027] 應(yīng)用例
[0028] 本應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL元件的制造方法是在陽(yáng)極與陰極之間具備具有發(fā)光功能 的功能層的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于，上述功能層包括從上述陽(yáng)極側(cè)依次層疊 的空穴注入層、空穴輸送層和發(fā)光層，具有功能層形成工序，即，使用含有低分子材料、高分 子材料或者混合上述低分子材料與上述高分子材料而成的混合物中的任一種固體成分的 功能層形成用油墨來(lái)形成上述空穴注入層、上述空穴輸送層、上述發(fā)光層中的至少1層，上 述功能層形成用油墨是使用上述應(yīng)用例中記載的功能層形成用油墨的制造方法而制造的。
[0029] 根據(jù)本應(yīng)用例，由于能夠縮短功能層形成用油墨的制造所需的時(shí)間，所以從生產(chǎn) 率上考慮能夠提供高效地制造有機(jī)EL元件的有機(jī)EL元件的制造方法。另外，功能層形成 用油墨含有低分子材料和高分子材料的情況與不含低分子材料的情況相比，能夠形成具備 具有優(yōu)異光學(xué)特性的功能層的有機(jī)EL元件。
[0030] 在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL元件的制造方法中，其特征在于，上述功能層形成工 序中，使用上述功能層形成用油墨形成上述空穴注入層。
[0031] 根據(jù)該方法，能夠有效地形成具有優(yōu)異的空穴注入性能的空穴注入層。
[0032] 在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL元件的制造方法中，其特征在于，上述功能層形成工 序中，使用上述功能層形成用油墨形成上述空穴輸送層。
[0033] 根據(jù)該方法，能夠有效地形成具有優(yōu)異空穴輸送性能的空穴輸送層。
[0034] 在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL元件的制造方法中，其特征在于，上述功能層形成工 序中，使用上述功能層形成用油墨形成上述發(fā)光層。
[0035] 根據(jù)該方法，能夠有效地形成具有優(yōu)異發(fā)光性能的發(fā)光層。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0036] 圖1是表示有機(jī)EL裝置的電氣構(gòu)成的等效電路圖。
[0037] 圖2是表示有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的簡(jiǎn)要俯視圖。
[0038] 圖3是表示有機(jī)EL裝置的像素結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)要截面圖。
[0039] 圖4是表示有機(jī)EL元件的構(gòu)成的示意截面圖。
[0040] 圖5是表不有機(jī)EL兀件的制造方法的流程圖。
[0041] 圖6的（a)?（e)是表示有機(jī)EL元件的制造方法的簡(jiǎn)要截面圖。
[0042] 圖7的（f)?（h)是表示有機(jī)EL元件的制造方法的簡(jiǎn)要截面圖。
[0043] 圖8是表示實(shí)施例1的空穴注入層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表。
[0044] 圖9是表示實(shí)施例2的空穴注入層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表。
[0045] 圖10是表示實(shí)施例3的空穴注入層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表。
[0046] 圖11是表示實(shí)施例4的空穴注入層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表。
[0047] 圖12是表示實(shí)施例5的空穴輸送層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表。
[0048] 圖13是表示實(shí)施例6的空穴輸送層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表。
[0049] 圖14是表示實(shí)施例7的空穴輸送層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表。
[0050] 圖15是表示實(shí)施例8的空穴輸送層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表。
[0051] 圖16是表示實(shí)施例9的發(fā)光層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表。
[0052] 圖17是表示實(shí)施例10的發(fā)光層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表。
[0053] 圖18是表示實(shí)施例11的發(fā)光層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表。
[0054] 圖19是表示實(shí)施例12的發(fā)光層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表。

【具體實(shí)施方式】
[0055] 以下，根據(jù)附圖對(duì)將本發(fā)明具體化的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。應(yīng)予說(shuō)明，使用的附圖為 了使說(shuō)明部分成為可識(shí)別的狀態(tài)而適當(dāng)?shù)胤糯蠡蚩s小來(lái)顯示。
[0056] 應(yīng)予說(shuō)明，在以下的方式中，例如記載為"在基板上"的情況表示以相接的方式配 置在基板上的情況、或者介由其它構(gòu)成物配置在基板上的情況、或者以一部分相接的方式 配置在基板上而一部分介由其它構(gòu)成物配置在基板上的情況。
[0057] 〈有機(jī)EL裝置〉
[0058] 首先，參照?qǐng)D1?圖3對(duì)具備有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置進(jìn)行說(shuō)明。
[0059] 圖1是表示有機(jī)EL裝置的電氣構(gòu)成的等效電路圖，圖2是表示有機(jī)EL裝置的構(gòu) 成的簡(jiǎn)要俯視圖，圖3是表示有機(jī)EL裝置的像素結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)要截面圖。
[0060] 如圖1所示，有機(jī)EL裝置100具有相互交叉的多個(gè)掃描線112和多個(gè)數(shù)據(jù)線113， 以及分別與多個(gè)數(shù)據(jù)線113并列的電源線114。具有連接有多個(gè)掃描線112的掃描線驅(qū)動(dòng) 電路103和連接有多個(gè)數(shù)據(jù)線113的數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路104。另外，還具有與多個(gè)掃描線112 與多個(gè)數(shù)據(jù)線113的各交叉部對(duì)應(yīng)且呈矩陣狀配置的多個(gè)發(fā)光像素107。
[0061] 發(fā)光像素107具有作為發(fā)光元件的有機(jī)EL元件130和控制有機(jī)EL元件130的驅(qū) 動(dòng)的像素電路111。
[0062] 有機(jī)EL元件130具有作為陽(yáng)極的像素電極131、作為陰極的對(duì)置電極134和設(shè)置 在像素電極131與對(duì)置電極134之間的包含發(fā)光層的功能層132。這樣的有機(jī)EL元件130 在電學(xué)上可以表述為二極管。應(yīng)予說(shuō)明，對(duì)置電極134作為多個(gè)發(fā)光像素107的共用電極 而形成。
[0063] 像素電路111包括開(kāi)關(guān)用晶體管121、驅(qū)動(dòng)用晶體管122和儲(chǔ)能電容123。2 個(gè)晶體管121U22可以使用例如η溝道型或p溝道型的薄膜晶體管（TFT;Thin Film transistor)、MOS 晶體管構(gòu)成。
[0064] 開(kāi)關(guān)用晶體管121的柵極與掃描線112連接，源極或漏極中一方與數(shù)據(jù)線113連 接，源極或漏極中另一方與驅(qū)動(dòng)用晶體管122的柵極連接。
[0065] 驅(qū)動(dòng)用晶體管122的源極或漏極中一方與有機(jī)EL元件130的像素電極131連接， 源極或漏極中另一方與電源線114連接。在驅(qū)動(dòng)用晶體管122的柵極與電源線114之間連 接有儲(chǔ)能電容123。
[0066] 如果驅(qū)動(dòng)掃描線112而使開(kāi)關(guān)用晶體管121呈開(kāi)啟狀態(tài)，則此時(shí)基于由數(shù)據(jù)線113 供給的圖像信號(hào)的電勢(shì)介由開(kāi)關(guān)用晶體管121保持在儲(chǔ)能電容123。根據(jù)該儲(chǔ)能電容123 的電勢(shì)即驅(qū)動(dòng)用晶體管122的柵極電勢(shì)決定驅(qū)動(dòng)用晶體管122的開(kāi)·關(guān)狀態(tài)。這樣，如果 驅(qū)動(dòng)用晶體管122成為開(kāi)啟狀態(tài)，則與柵極電勢(shì)對(duì)應(yīng)的大小的電流從電源線114經(jīng)由驅(qū)動(dòng) 用晶體管122流到夾在像素電極131與對(duì)置電極134之間的功能層132。有機(jī)EL元件130 根據(jù)流過(guò)功能層132的電流的大小進(jìn)行發(fā)光。
[0067] 應(yīng)予說(shuō)明，像素電路111的構(gòu)成不局限于此。例如，驅(qū)動(dòng)用晶體管122與像素電極 131之間也可以具備控制驅(qū)動(dòng)用晶體管122與像素電極131之間的導(dǎo)通的發(fā)光控制用晶體 管。
[0068] 如圖2所示，有機(jī)EL裝置100具有可得到紅色（R)、綠色（G)、藍(lán)色（B)的發(fā)光（發(fā) 光色）的發(fā)光像素1071?、1076、1078。各發(fā)光像素1071?、1076、1078大致為矩形，在顯示區(qū)域 E呈矩陣狀配置。在各發(fā)光像素107R、107G、107B設(shè)有可得到對(duì)應(yīng)顏色的發(fā)光的有機(jī)EL元 件130。得到同色發(fā)光的發(fā)光像素107在圖上沿垂直方向（列向或發(fā)光像素107的長(zhǎng)邊方 向）排列，不同發(fā)光色的發(fā)光像素107在圖上沿水平方向（行向或發(fā)光像素107的短邊方 向）按R、G、B的順序排列。即，不同發(fā)光色的發(fā)光像素107R、107G、107B以所謂條紋方式配 置。
[0069] 如果使用這樣的有機(jī)EL裝置100作為顯示裝置，則將得到不同發(fā)光色的3個(gè)發(fā)光 像素107R、107G、107B作為1個(gè)顯示像素單位108,各發(fā)光像素107R、107G、107B可進(jìn)行電控 制。由此能夠成為全彩色顯示。
[0070] 應(yīng)予說(shuō)明，不同發(fā)光色的發(fā)光像素107R、107G、107B的平面形狀和配置不局限于 此，例如，也可以是三角形方式、鑲嵌方式的配置。另外，發(fā)光像素107不限于對(duì)應(yīng)紅色（R)、 綠色（G)、藍(lán)色⑶這3色設(shè)置，也可以包括可得到紅色（R)、綠色（G)、藍(lán)色⑶以外的例如 黃色（Y)的發(fā)光的發(fā)光像素107。
[0071] 如圖3所示，在有機(jī)EL裝置100中，有機(jī)EL元件130具有作為陽(yáng)極的像素電極 131、分隔像素電極131的隔壁133和在像素電極131上形成的包含發(fā)光層的功能層132。 另外，還具有作為共用電極的對(duì)置電極134,其以隔著功能層132與像素電極131對(duì)置的方 式形成。
[0072] 隔壁133覆蓋像素電極131的周圍的一部分，由分別分隔多個(gè)像素電極131的下 層堤133a和在下層堤133a上形成的上層堤133b構(gòu)成，該下層堤133a由無(wú)機(jī)絕緣材料形 成，該上層堤133b由多官能丙烯酸樹(shù)脂等具有絕緣性的感光性樹(shù)脂材料形成。
[0073] 像素電極131與在元件基板101上形成的驅(qū)動(dòng)用晶體管122的3個(gè)端子中的1個(gè) 連接。對(duì)置電極134給予例如GND等固定電勢(shì)。通過(guò)在像素電極131與對(duì)置電極134之間 施加驅(qū)動(dòng)電勢(shì)，能夠?qū)⒖昭◤南袼仉姌O131注入到功能層132,將電子從對(duì)置電極134注入 到功能層132。在功能層132所含的發(fā)光層中，注入的空穴和電子形成激子（exciton)，激 子（exciton)消失時(shí)（電子和空穴再次結(jié)合時(shí)）能量的一部分被釋放而成為熒光、磷光。以 下，使與紅色（R)、綠色（G)、藍(lán)色（B)的發(fā)光像素107R、107G、107B對(duì)應(yīng)設(shè)置的有機(jī)EL元件 130的功能層132與發(fā)光色對(duì)應(yīng)地有時(shí)也稱為功能層132R、132G、132B。
[0074] 本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置100成為底部發(fā)光型的結(jié)構(gòu)，在像素電極131與對(duì)置電 極134之間流通驅(qū)動(dòng)電流而由功能層132R、132G、132B發(fā)出的光被對(duì)置電極134反射從元 件基板101側(cè)射出。因此，元件基板101使用玻璃等透明基板。另外，與元件基板101隔著 密封層135對(duì)置配置的密封基板102可以使用透明基板和不透明基板中的任一種。作為 不透明基板，例如，可舉出氧化鋁等陶瓷、對(duì)不銹鋼等金屬片實(shí)施表面氧化等絕緣處理的材 料，除此之外，還可舉出熱固性樹(shù)脂、熱塑性樹(shù)脂等。
[0075] 在元件基板101設(shè)有驅(qū)動(dòng)有機(jī)EL元件130的像素電路111。SP，在元件基板101 的表面形成有以例如硅氧化物（SiO 2)為主體的基底絕緣膜115,在其上形成有驅(qū)動(dòng)用晶體 管122的半導(dǎo)體層122a。半導(dǎo)體層122a由例如多晶硅構(gòu)成。在該半導(dǎo)體層122a的表面形 成有以例如SiO 2和/或SiN為主體的柵極絕緣膜116。
[0076] 另外，半導(dǎo)體層122a中，夾著柵極絕緣膜116與柵電極126重疊的區(qū)域?yàn)闇系绤^(qū) 域。應(yīng)予說(shuō)明，該柵電極126與省略圖示的掃描線112電連接。以覆蓋半導(dǎo)體層122a和 柵電極126的方式形成了以SiO 2為主體的第1層間絕緣膜117。
[0077] 另外，半導(dǎo)體層122a中，在溝道區(qū)域的源極側(cè)設(shè)有低濃度源極區(qū)域和高濃度源極 區(qū)域122c，另一方面，在溝道區(qū)域的漏極側(cè)設(shè)有低濃度漏極區(qū)域和高濃度漏極區(qū)域122b， 成為所謂LDD (Light Doped Drain，輕摻雜漏極）結(jié)構(gòu)。其中，高濃度源極區(qū)域122c介由貫 穿柵極絕緣膜116和第1層間絕緣膜117開(kāi)孔的接觸孔125a與源極電極125連接。該源 極電極125構(gòu)成為電源線114(未圖不）的一部分。另一方面，高濃度漏極區(qū)域122b介由 貫穿柵極絕緣膜116和第1層間絕緣膜117開(kāi)孔的接觸孔124a與同源極電極125設(shè)置在 相同配線層的漏極電極124連接。
[0078] 在形成有源極電極125和漏極電極124的第1層間絕緣膜117的上層形成了第2 層間絕緣膜118。該第2層間絕緣膜118是為了消除構(gòu)成像素電路111的驅(qū)動(dòng)用晶體管122 等、源極電極125、漏極電極124等所致的表面凹凸而形成的，與第1層間絕緣膜117同樣地 以SiO 2為主體構(gòu)成，實(shí)施了 CMP(Chemical Mechanical Polishing,化學(xué)機(jī)械拋光）等平坦 處理。
[0079] 另外，像素電極131形成在該第2層間絕緣膜118的表面上，并且介由設(shè)置于第2 層間絕緣膜118的接觸孔118a與漏極電極124連接。即，像素電極131介由漏極電極124 與半導(dǎo)體層122a的高濃度漏極區(qū)域122b連接。對(duì)置電極134與GND連接。因此，通過(guò)驅(qū) 動(dòng)用晶體管122控制從上述電源線114供給到像素電極131并在像素電極131與對(duì)置電極 134之間流通的驅(qū)動(dòng)電流。由此，像素電路111能夠使所希望的有機(jī)EL元件130發(fā)光而顯 示色彩。
[0080] 各功能層132R、132G、132B由包括空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層的多個(gè)薄膜層 構(gòu)成，從像素電極131側(cè)依次層疊。本實(shí)施方式中，空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層使用液 滴噴出法（噴墨法）成膜。功能層132的詳細(xì)構(gòu)成后述，空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層 中的至少1個(gè)薄膜層含有低分子材料和高分子材料。本實(shí)施方式中，低分子材料是指分子 量為1萬(wàn)以下的單體，高分子材料是指重均分子量為1萬(wàn)以上的聚合物。
[0081] 具有這樣的有機(jī)EL元件130的元件基板101介由使用熱固型環(huán)氧樹(shù)脂等作為密 封部件的密封層135與密封基板102無(wú)縫隙地進(jìn)行實(shí)心密封。
[0082] 本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件130使用后述的制造方法制造，由于空穴注入層、空穴 輸送層、發(fā)光層各自具有基本一定的膜厚和穩(wěn)定的膜形狀（截面形狀），所以在得到不同發(fā) 光色的功能層132R、132G、132B獲得各自所希望的發(fā)光效率和發(fā)光壽命。
[0083] 應(yīng)予說(shuō)明，具備本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件130的有機(jī)EL裝置100不限于底部發(fā) 光型，例如可以成為頂部發(fā)光型的結(jié)構(gòu)，即，使用光反射性的導(dǎo)電材料形成像素電極131，使 用透明的導(dǎo)電材料形成作為陰極的對(duì)置電極134,使有機(jī)EL元件130的發(fā)出光被像素電極 131反射，從密封基板102側(cè)射出。另外，為頂部發(fā)光型的情況下，可以形成為對(duì)應(yīng)于各有機(jī) EL元件130而設(shè)置與有機(jī)EL元件130的發(fā)光色對(duì)應(yīng)的濾色器的構(gòu)成。并且，有機(jī)EL裝置 100具有濾色器時(shí)，可以形成為由有機(jī)EL元件130得到白色光的構(gòu)成。
[0084] 接下來(lái)，參照?qǐng)D4對(duì)有機(jī)EL元件130的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表示有機(jī)EL元件 的構(gòu)成的示意截面圖。
[0085] 如圖4所示，有機(jī)EL元件130具有在元件基板101上形成的作為陽(yáng)極的像素電極 131、與像素電極131對(duì)置配置的作為陰極的對(duì)置電極134和夾持在像素電極131與對(duì)置電 極134之間的功能層132。功能層132包括從像素電極131側(cè)依次層疊的空穴注入層132a、 空穴輸送層132b、發(fā)光層132c、電子輸送層132d和電子注入層132e。以下，對(duì)有機(jī)EL元件 130的各構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0086][像素電極]
[0087] 像素電極131是用于對(duì)功能層132注入空穴的電極，優(yōu)選使用功函數(shù)大且導(dǎo)電性 優(yōu)異的透明電極材料。作為該透明電極材料，例如，可舉出IT0(Indium Tin Oxide,氧化銦 錫）、IZ0(Indium Zinc Oxide,氧化銦鋅）、In203、Sn02、添加氟的 Sn02、添加 Sb 的 Sn02、Zn0、 添加 Al的ZnO、添加 Ga的ZnO等金屬氧化物，Au、Pt、Ag、Cu或者含有它們的合金等。另 夕卜，也可以組合使用它們中的2種以上。將這些透明電極材料通過(guò)蒸鍍、各種濺射（RF磁控 濺射）成膜后，用光刻法進(jìn)行圖案形成。像素電極131的厚度沒(méi)有特別限定，優(yōu)選為IOnm? 200nm左右，更優(yōu)選為30nm?150nm左右。
[0088] [空穴注入層]
[0089] 空穴注入層132a具有容易注入來(lái)自像素電極131的空穴的功能。作為這樣的空 穴注入層132a的材料，為了能夠使用液相工藝形成，優(yōu)選使用在導(dǎo)電性高分子材料（或?qū)?電性低聚物材料）中添加了電子接受性摻雜劑的離子傳導(dǎo)性空穴注入材料。作為這樣的 離子傳導(dǎo)性空穴注入材料，例如，可以使用聚（3, 4-亞乙二氧基噻吩）-聚（苯乙烯磺酸） (PED0T/PSS)這樣的聚噻吩系空穴注入材料、聚苯胺-聚（苯乙烯磺酸）（PANI/PSS)這樣的 聚苯胺系空穴注入材料。這些空穴注入材料使用液滴噴出法（噴墨法等）、絲網(wǎng)印刷法等液 相工藝涂布。涂布后，進(jìn)行干燥、燒制使其成膜化。這樣的空穴注入層132a的厚度沒(méi)有特 別限定，優(yōu)選為5nm?150nm左右，更優(yōu)選為IOnm?IOOnm左右。
[0090] 應(yīng)予說(shuō)明，空穴注入層132a根據(jù)構(gòu)成有機(jī)EL元件130的像素電極131、空穴輸送 層132b和發(fā)光層132c的構(gòu)成材料的種類及其膜厚等的組合也可以省略。
[0091] [空穴輸送層]
[0092] 空穴輸送層132b設(shè)置在空穴注入層132a與發(fā)光層132c之間，是為了提高空穴向 發(fā)光層132c的輸送性（注入性），并且抑制電子從發(fā)光層132c侵入空穴注入層132a而設(shè) 置的。即，用于改善發(fā)光層132c中的空穴與電子的結(jié)合所致的發(fā)光效率。本實(shí)施方式中，空 穴輸送層132b含有作為低分子材料的空穴輸送材料和高分子材料。上述空穴輸送材料沒(méi) 有特別限定，可以使用胺化合物。例如，可以使用TPD (Ν，Ν'-二苯基-N，Ν'-雙（3-甲基苯 基）_1，Γ -聯(lián)苯基_4,4' -二胺）、a-NPD(N，N' -二苯基-Ν，Ν' -雙（1-萘基）-1，Γ -聯(lián) 苯基-4,4' -二胺）、m-MTDATA(4,4'，4"_三（Ν-3-甲基苯基-N-苯基氨基）三苯胺）、 2-TNATA (4, 4'，4"-三（N，N- (2-萘基）苯基氨基）三苯胺）、TCTA (三-(4-咔唑-9-基-苯 基）_胺等。
[0093] 作為上述高分子材料，可以使用聚對(duì)苯乙炔衍生物、聚芴衍生物、聚苯胺衍生物、 聚乙烯基咔唑衍生物、聚噻吩衍生物、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯（PET)、聚對(duì)萘二甲酸乙二醇 酯（PEN)、聚亞乙基砜（PES)、聚烯烴（PO)、聚酰亞胺（PI)、聚乙烯、聚丙烯、玻璃紙、二乙酸 纖維素、三乙酸纖維素、乙酸丁酸纖維素、乙酸丙酸纖維素、鄰苯二甲酸乙酸纖維素、硝酸纖 維素等纖維素酯類及其衍生物、聚偏二氯乙烯、聚乙烯醇、聚乙烯-乙烯醇、間規(guī)聚苯乙烯、 聚碳酸酯、聚甲基戊烯、聚醚酮、聚醚砜、聚砜類、聚醚酮酰亞胺、聚酰胺、尼龍、聚甲基丙烯 酸甲酯（PMMA)、丙烯酸、聚芳酯、有機(jī)無(wú)機(jī)雜化樹(shù)脂等。
[0094] 低分子材料和高分子材料的混合物可以按低分子材料的混合比例以重量比計(jì)為 0.1界1:(%?99.9￥1:(%的范圍使用。
[0095] 另外，這些含有空穴輸送材料（低分子材料）和高分子材料的混合物也使用液滴 噴出法（噴墨法）、絲網(wǎng)印刷法等液相工藝涂布。涂布后，進(jìn)行干燥、燒制使其成膜化。在本 實(shí)施方式中，由于使用液滴噴出法（噴墨法）作為液相工藝，所以高分子材料的重均分子量 優(yōu)選為1萬(wàn)?30萬(wàn)。
[0096] 另外，在本實(shí)施方式中，將低分子材料與高分子材料混合而成的混合物（空穴輸 送層形成材料）首先分散于不良溶劑后加入良溶劑，使上述混合物溶解于不良溶劑和良溶 劑的混合溶劑而形成功能層形成用油墨（空穴輸送層形成用油墨），詳細(xì)內(nèi)容后述。由此， 與使上述混合物僅溶于良溶劑的情況相比，能夠抑制低分子材料和高分子材料因分子間力 凝聚而凝膠化，能夠使上述混合物迅速溶解于上述混合溶劑。如果使用這樣的功能層形成 用油墨（空穴輸送層形成用油墨），則由于上述混合物已充分溶解，不含有凝膠狀的上述混 合物，所以利用液滴噴出法（噴墨法），能夠進(jìn)行穩(wěn)定的成膜?？昭ㄝ斔蛯?32b的厚度沒(méi)有 特別限定，優(yōu)選為5nm?IOOnm左右，更優(yōu)選為IOnm?50nm左右。
[0097] [發(fā)光層]
[0098] 發(fā)光層的材料沒(méi)有特別限定，例如，優(yōu)選含有可得到紅色、綠色、藍(lán)色的發(fā)光的發(fā) 光材料（客體材料）和能夠有效促進(jìn)注入的空穴與電子的再結(jié)合的主體材料。
[0099] 作為客體材料，例如可以使用Ir (ppy)3(面式-三（2-苯基吡啶）銥）、 Ppy2Ir(acaC)(雙（2-苯基-吡啶-N，C2)(乙酰丙酮）合銥）、Bt2Ir(acac)(雙（2-苯基 苯并噻唑-N，C2'）（乙酰丙酮）合銥（III))、Btp2Ir(aCaC)(雙（2,2' -苯并噻吩）-吡 啶-N，C3)(乙酰丙酮）合銥、FIrpic (雙（4, 6-二氟苯基-吡啶-N，C. 2.)-吡啶甲酰合銥）、 11^11113)3(三（1-苯基-3-甲基苯并咪唑啉-2-吡啶-(：，(：(2)'）合銥）、卩1冰 4(雙（4,6-二 氟苯基吡啶）（5-(吡啶-2-基）-四唑合銥（111))、？1竹&2(雙（4,6-二氟苯基吡啶）（5-(批 啶-2-基）-1，2, 4-三唑合銥（III))、PtOEP (2, 3, 7, 8, 12, 13, 17, 18-八乙基-21H, 23H-卟 啉鉬（II))這類的磷光材料，Alq3(8_羥基喹啉）鋁、紅熒烯、茈、9, 10-二苯基蒽、四苯基丁 二烯、尼羅紅、香豆素6、喹吖啶酮這類的熒光材料。
[0100] 作為主體材料，例如可以使用CBP(4,4' -雙（9-二咔唑基）-2,2' -聯(lián)苯）、 BAlq (雙-(2-甲基-8-羥基喹啉）-4-(苯基苯酚）鋁）、mCP (N，N-二咔唑基-3, 5-苯：CBP衍 生物）、CDBP (4, 4' -雙（9-咔唑基）-2, 2' -二甲基-聯(lián)苯）、DCB (N, Ν' -二咔唑基-1，4-二 亞甲基-苯）、Ρ〇6 (2, 7-雙（二苯基氧化膦）-9, 9-二甲基芴）、SimCP (3, 5-雙（9-咔唑基） 四苯基硅烷）、UGH3(w-雙（三苯基甲硅烷基）苯）等。
[0101] 如果使用這樣的客體材料和主體材料，則不僅可以利用液相工藝，也可以利用氣 相工藝形成發(fā)光層132c。發(fā)光層132c的厚度沒(méi)有特別限定，優(yōu)選為5nm?IOOnm左右。
[0102] [電子輸送層]
[0103] 電子輸送層132d具有將從對(duì)置電極134注入到電子輸送層132d的電子輸送到發(fā) 光層132c的功能。另外，電子輸送層132d有時(shí)也具有阻擋將要從發(fā)光層132c通過(guò)電子 輸送層132d的空穴的功能。作為這樣的電子輸送層132d的材料，沒(méi)有特別限定，為了能 夠使用氣相工藝形成，例如，優(yōu)選使用以三（8-羥基喹啉）鋁（Alq 3)、8_羥基喹啉鋰（Liq) 等8-羥基喹啉或其衍生物為配體的有機(jī)金屬配位化合物等喹啉衍生物，2-(4-叔丁基苯 基）-5_ (4-聯(lián)苯基）-1，3,4_ I?惡二唑（tBu-PBD)、2,5_ 雙（1-萘基）-1,3,4-P惡二唑（BND) 這類的>?悉二唑衍生物，噻咯衍生物、吡啶衍生物、嘧啶衍生物、喹喔啉衍生物、咪唑衍生物 等。另外，也可以組合使用這些材料中的2種以上。
[0104] 電子輸送層132d的厚度沒(méi)有特別限定，優(yōu)選為Inm?IOOnm左右，更優(yōu)選為5nm? 50nm左右。
[0105] [電子注入層]
[0106] 電子注入層132e具有提高電子從對(duì)置電極134向電子輸送層132d的注入效率的 功能。作為這樣的電子注入層132e的材料，沒(méi)有特別限定，為了能夠使用氣相工藝形成，例 如，可以使用堿金屬、堿土金屬、稀土金屬、堿金屬鹽（氧化物、氟化物、氯化物等）、堿土金 屬鹽（氧化物、氟化物、氯化物等）、稀土金屬鹽（氧化物、氟化物、氯化物等）。電子注入層 132e的厚度沒(méi)有特別限定，優(yōu)選為0· Olnm?IOOnm左右，更優(yōu)選為0· Inm?IOnm左右。
[0107] 應(yīng)予說(shuō)明，功能層132不限于上述構(gòu)成，也可以包含用于控制載流子（空穴、電子） 的流動(dòng)的有機(jī)層、無(wú)機(jī)層。
[0108] [對(duì)置電極]
[0109] 對(duì)置電極134是用于向功能層132注入電子的電極，優(yōu)選使用功函數(shù)小的材料。另 夕卜，在后述的陰極形成工序中，為了能夠使用氣相工藝形成，例如，可以使用Li、Mg、Ca、Sr、 La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb、Ag、Cu、Al、Cs、Rb、Au或者含有它們的合金等。另外，也可以組合 使用這些材料中的2種以上（例如，多層的層疊體等）。對(duì)置電極134的厚度沒(méi)有特別限 定，例如為IOOnm?lOOOnm。
[0110] 應(yīng)予說(shuō)明，有機(jī)EL元件130中的功能層132包含空穴注入層132a、空穴輸送層 132b和發(fā)光層132c即可。為了改善發(fā)光效率、發(fā)光壽命，例如也可以包含改善作為載流子 的空穴、電子的注入性、輸送性，防止空穴、電子漏到發(fā)光層132c以外的中間層。
[0111] 接下來(lái)，參照?qǐng)D5?圖7對(duì)更具體的有機(jī)EL元件130的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖5 是表示有機(jī)EL元件的制造方法的流程圖，圖6(a)?（e)和圖7(f)?（h)是表示有機(jī)EL 元件的制造方法的簡(jiǎn)要截面圖。應(yīng)予說(shuō)明，以下的有機(jī)EL元件130的制造方法的說(shuō)明是從 形成像素電極131后的工序依次說(shuō)明的。另外，設(shè)置在元件基板101的像素電極131和連 接有像素電極131的像素電路111等可以使用如上所述公知的方法形成。
[0112] 如圖5所示，本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件130的制造方法具有隔壁形成工序（步驟 SI)、空穴注入層形成工序（步驟S2)、空穴輸送層形成工序（步驟S3)、發(fā)光層形成工序（步 驟S4)、電子輸送層形成工序（步驟S5)、電子注入層形成工序（步驟S6)和陰極形成工序 (步驟S7)。
[0113] 在圖5的步驟Sl中，如圖6(a)所示，首先，以覆蓋像素電極131的外緣而分隔像 素電極131的方式形成下層堤133a。對(duì)于下層堤133a的形成方法，可舉出如下方法，S卩，利 用蒸鍍法、濺射法等氣相工藝將無(wú)機(jī)絕緣材料例如氧化硅在形成有像素電極131的元件基 板101的整面成膜。然后，利用光刻法以像素電極131的表面露出的方式對(duì)成膜的無(wú)機(jī)絕 緣膜刻畫(huà)圖案。下層堤133a的厚度約為IOOnm?200nm。接下來(lái)，在下層堤133a上形成上 層堤133b。上層堤133b的形成方法如下：例如，在形成有下層堤133a的元件基板101的 表面以約1 μ m?3 μ m左右的厚度涂布多官能丙烯酸樹(shù)脂等具有絕緣性的感光性樹(shù)脂材料 并干燥，由此形成感光性樹(shù)脂層。作為感光性樹(shù)脂材料的涂布方法，可舉出轉(zhuǎn)印法、狹縫涂 布法等。然后，使用與發(fā)光像素1〇7(參照?qǐng)D2)的形狀對(duì)應(yīng)的曝光用掩模對(duì)感光性樹(shù)脂層 進(jìn)行曝光、顯影而形成截面為臺(tái)形的上層堤133b。上層堤133b以覆蓋像素電極131的外緣 的下層堤133a的部分露出的方式形成。
[0114] 另外，為了使像素電極131的表面和露出的下層堤133a的部分對(duì)后述的作為含有 功能層形成材料的溶液的功能層形成用油墨顯示適當(dāng)?shù)挠H液性，而且使上層堤133b的表 面同樣對(duì)功能層形成用油墨顯示拒液性，對(duì)元件基板101實(shí)施表面處理。具體而言，首先， 實(shí)施以氧（O 2)氣為處理氣體的等離子體處理使像素電極131的表面和露出的下層堤133a 的部分親液化。接著，實(shí)施利用了例如CF4等氟系處理氣體的等離子體處理使上層堤133b 的表面拒液化。應(yīng)予說(shuō)明，也可以涂布含有氟系化合物等拒液材料的感光性樹(shù)脂材料形成 上層堤133b。使用含有拒液材料的感光性樹(shù)脂材料時(shí)，在形成上層堤133b后，為了除去像 素電極131上的殘?jiān)?，?yōu)選實(shí)施UV臭氧處理。以下，將由隔壁133分隔的包含像素電極131 的區(qū)域稱為膜形成區(qū)域。然后，進(jìn)入步驟S2。
[0115] 在圖5的步驟S2中，利用液相工藝形成空穴注入層132a。具體而言，首先，如圖 6(b)所示，將作為含有上述空穴注入材料和例如水等溶劑的溶液的功能層形成用油墨60 從例如噴墨頭50的噴嘴噴出到膜形成區(qū)域。通過(guò)使用噴墨頭50,能夠?qū)⒁?guī)定量的功能層形 成用油墨60以液滴的形式高精度地噴出到膜形成區(qū)域。被噴出的功能層形成用油墨60在 親液化的像素電極131的表面潤(rùn)濕擴(kuò)散，同時(shí)在由拒液化的隔壁133圍起的膜形成區(qū)域因 表面張力而隆起。通過(guò)將涂布有功能層形成用油墨60的元件基板101在例如大氣氣氛下 加熱干燥，如圖6(c)所示，在像素電極131上形成空穴注入層132a。由于露出的像素電極 131的表面和下層堤133a的部分親液化，所以在膜形成區(qū)域均勻地形成空穴注入層132a。 應(yīng)予說(shuō)明，在本實(shí)施方式中，可以在元件基板101上的各膜形成區(qū)域形成由相同材料構(gòu)成 的空穴注入層132a，但也可以與之后要形成的發(fā)光層132c對(duì)應(yīng)地根據(jù)各發(fā)光色改變空穴 注入層132a的材料。然后進(jìn)入步驟S3。
[0116] 在圖5的步驟S3中，利用液相工藝形成空穴輸送層132b。具體而言，首先，使含 有作為低分子材料的空穴輸送材料和高分子材料的混合物分散于不良溶劑。然后，向分散 有上述混合物的不良溶劑加入良溶劑進(jìn)行攪拌，使上述混合物溶解于不良溶劑和良溶劑的 混合溶劑中。將由此溶解上述混合物而成的功能層形成用油墨70如圖6(d)所示從噴墨頭 50的噴嘴噴出到膜形成區(qū)域。以液滴形式噴出的規(guī)定量的功能層形成用油墨70在由隔壁 133圍起的膜形成區(qū)域因表面張力而隆起。通過(guò)將涂布有功能層形成用油墨70的元件基板 101在例如氮?dú)夥障录訜?干燥，從而如圖6 (e)所示在空穴注入層132a上形成空穴輸送層 132b。由于使用了含有作為低分子材料的空穴輸送材料和高分子材料的上述混合物溶解而 成的功能層形成用油墨70,所以能夠抑制上述混合物的凝膠化。另外，在功能層形成用油 墨70的加熱?干燥過(guò)程中，即便功能層形成用油墨70的粘度上升使含有高分子材料的空 穴注入層132a的表面對(duì)功能層形成用油墨70不顯示親液性，也能夠在膜形成區(qū)域均勻地 形成空穴輸送層132b。然后，進(jìn)行步驟S4。
[0117] 應(yīng)予說(shuō)明，作為使上述混合物分散的不良溶劑，可舉出壬烷、癸烷、十一烷、十二烷 等直鏈烷烴系溶劑，己醇、庚醇、辛醇、壬醇、癸醇等脂肪族醇系溶劑，二丁醚、二戊醚、二乙 二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇異丙基甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲丁醚、 二乙二醇二丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇甲丙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇甲乙醚、 三乙二醇甲丁醚、三丙二醇二甲醚、四乙二醇二甲醚等脂肪族醚系溶劑，1，3-二異丙基苯、 1，4-二異丙基苯、三異丙基苯、戊基苯、己基苯、庚基苯、辛基苯、壬基苯等芳香族烴系溶劑。
[0118] 另外，作為可溶解0. lg/L以上的上述混合物的良溶劑，可舉出3-苯氧基甲苯、 2_異丙基萘、二芐醚、異丙基聯(lián)苯、雙二甲基苯基乙烷等。應(yīng)予說(shuō)明，從上述良溶劑中選擇 可與分散有上述混合物的不良溶劑混合的良溶劑。良溶劑更優(yōu)選能夠溶解20g/L以上的上 述混合物。另外，從能夠迅速進(jìn)行上述混合物的溶解的觀點(diǎn)考慮，相對(duì)于不良溶劑和良溶劑 的總?cè)莘e，不良溶劑的容積比例（容積比）優(yōu)選為10%?70%的范圍。另外，為了使功能 層形成用油墨70從噴墨頭50的噴嘴以液滴的形式穩(wěn)定噴出，上述功能層形成用油墨70的 粘度優(yōu)選低于20cp，更優(yōu)選為IOcp以下。另外，從防止上述功能層形成用油墨70的干燥所 致的噴嘴堵塞的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選不良溶劑的沸點(diǎn)（bp)為150°C以上，良溶劑的沸點(diǎn)（bp)為 250°C以上。并且，如果考慮到在膜形成區(qū)域涂布的上述功能層形成用油墨70的干燥性，則 不良溶劑和良溶劑的沸點(diǎn)（bp)優(yōu)選為300°C以下。
[0119] 在圖5的步驟S4中，利用液相工藝形成發(fā)光層132c。具體而言，首先，如圖7(f) 所示，將含有上述發(fā)光層形成材料和例如環(huán)己基苯等溶劑的功能層形成用油墨80從噴墨 頭50的噴嘴噴出到膜形成區(qū)域。以液滴形式噴出的規(guī)定量的功能層形成用油墨80在由隔 壁133圍起的膜形成區(qū)域因表面張力而隆起。作為涂布的功能層形成用油墨80的干燥方 法，優(yōu)選使用與一般的加熱干燥相比能夠使溶劑成分比較均勻地干燥的減壓干燥法。在膜 形成區(qū)域均勻地涂上規(guī)定量的功能層形成用油墨80。因此，如圖7(g)所示，干燥后形成的 發(fā)光層132c在膜形成區(qū)域具有幾乎一定的膜厚和穩(wěn)定的膜形狀（截面形狀）。然后，進(jìn)行 步驟S5?步驟S7。
[0120] 在圖5的步驟S5?步驟S7中，利用氣相工藝形成電子輸送層132d、電子注入層 132e和作為陰極的對(duì)置電極134。具體而言，將上述各層的材料利用例如真空蒸鍍法依次 成膜，如圖7(h)所示層疊形成各層。特別是從能夠防止功能層132的因熱引起的損傷這 樣的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選用真空蒸鍍法形成對(duì)置電極134。另外，為了防止水分、氧等氣體從外部 滲入功能層132而降低功能層132的發(fā)光功能、發(fā)光壽命，可以以覆蓋對(duì)置電極134的表面 的方式將具有阻氣性的例如硅的氧化物、氮化物或硅的氮氧化物等無(wú)機(jī)材料成膜。由此制 成有機(jī)EL元件130。
[0121] 上述實(shí)施方式的效果如下。
[0122] (1)根據(jù)上述有機(jī)EL元件130及其制造方法，用液相工藝（液滴噴出法；噴墨法） 形成功能層132中空穴注入層132a、空穴輸送層132b、發(fā)光層132c，用氣相工藝（真空蒸 鍍法）形成電子輸送層132d、電子注入層132e。因此，由于發(fā)光層132c等需要另外分開(kāi)涂 布的層使用液相工藝，所以與功能層132所含的各薄膜層全部使用氣相工藝形成的情況相 t匕，能夠高效地制造有機(jī)EL元件130。
[0123] (2)在空穴注入層132a上形成的空穴輸送層132b是使用如下制得的功能層形成 用油墨70形成的，該功能層形成用油墨70是使含有作為低分子材料的空穴輸送材料和高 分子材料的混合物分散于不良溶劑后向其中添加良溶劑進(jìn)行攪拌而使上述混合物充分溶 解于含有不良溶劑和良溶劑的混合溶劑中而成的。因此，能夠抑制低分子材料和高分子材 料的混合物的凝膠化，在功能層形成用油墨70的加熱?干燥過(guò)程中，即便功能層形成用油 墨70的粘度上升使含有高分子材料的空穴注入層132a的表面對(duì)功能層形成用油墨70不 顯示親液性，也能夠均勻地將空穴輸送層132b成膜。因此，具備這樣的功能層132的有機(jī) EL元件130能夠?qū)崿F(xiàn)所希望的發(fā)光效率和發(fā)光壽命。
[0124] (3)功能層形成用油墨70是使低分子材料（空穴輸送材料）和高分子材料混合而 成的混合物首先分散于不良溶劑后再加入良溶劑。良溶劑從能夠與不良溶劑進(jìn)行混合的溶 劑中選擇，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例為10%?70%的范圍。因此，能夠抑制混合 溶劑中的低分子材料和高分子材料的混合物的凝膠化，能夠?qū)⒎稚⒂诓涣既軇┑臓顟B(tài)的上 述混合物迅速溶解于混合溶劑。即，從生產(chǎn)率上考慮能夠高效地制造有機(jī)EL元件130。
[0125] (4)通過(guò)使發(fā)光像素107具備上述有機(jī)EL元件130,能夠提供兼得優(yōu)異的顯示品 質(zhì)（發(fā)光特性）和可靠性品質(zhì)（發(fā)光壽命）的有機(jī)EL裝置100。
[0126] 在上述實(shí)施方式的有機(jī)EL元件130的制造方法中，使用含有低分子材料和高分子 材料的混合物溶解而成的功能層形成用油墨70形成空穴輸送層132b，但空穴注入層132a 和發(fā)光層132c也可以使用含有低分子材料和高分子材料的混合物溶解而成的功能層形成 用油墨來(lái)形成。
[0127] 作為空穴注入層132a的形成中使用的低分子材料，可舉出4, 4, Ν，Ν' -二苯基咔 唑、Ν，Ν'-雙（3-甲基苯基）-Ν，Ν'-雙（苯基）聯(lián)苯胺等。同樣作為空穴注入層132a的形 成中使用的高分子材料，可舉出聚乙烯基咔唑、聚[Ν，Ν'-雙（4-丁基苯基）-N，Ν'-雙（苯 基）_聯(lián)苯胺]等。應(yīng)予說(shuō)明，低分子材料和高分子材料的組合優(yōu)選具有彼此相同的基本骨 架。
[0128] 作為可得到紅色發(fā)光的發(fā)光層132c的形成中使用的低分子材料，可舉出雙 (2-(2' -苯并噻吩）吡啶-N，C3'）（乙酰丙酮）合銥（III)。同樣作為可得到紅色發(fā)光的 發(fā)光層132c的形成中使用的高分子材料，可舉出聚[{9, 9-二己基-2, 7-雙（1-氰基亞乙 烯基）亞芴基}-交替共聚-{2, 5-雙（Ν，Ν' -二苯基氨基）-1，4-亞苯基}]。
[0129] 作為可得到綠色發(fā)光的發(fā)光層132c的形成中使用的低分子材料，可舉出Alq3(三 (8-羥基喹啉）鋁（III))。同樣作為可得到綠色發(fā)光的發(fā)光層132c的形成中使用的高分 子材料，可舉出聚[(9,9_二辛基芴-2, 7-二基）-共聚_(N，Ν'-二苯基）-Ν，Ν'-二（對(duì)丁 基苯基）-1，4_二氨基苯）]。
[0130] 作為可得到藍(lán)色發(fā)光的發(fā)光層132c的形成中使用的低分子材料，可舉出雙 (2-(4,6-二氟苯基）吡啶-N，C2'）吡啶甲酰合銥（III)。同樣作為可得到藍(lán)色發(fā)光的發(fā)光 層132c的形成中使用的高分子材料，可舉出用聚（9, 9-二己基芴基-2, 7-二基）-封端的 高分子材料。
[0131] 接下來(lái)，舉出含有低分子材料和高分子材料的混合物溶解而成的功能層形成用油 墨的更具體的實(shí)施例，對(duì)功能層形成用油墨的制造方法的效果進(jìn)行說(shuō)明。
[0132] 圖8是表示實(shí)施例1的空穴注入層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表，圖9是表示實(shí)施例2的空穴注入層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表，圖 10是表示實(shí)施例3的空穴注入層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表，圖11是表 示實(shí)施例4的空穴注入層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表。
[0133] 圖12是表示實(shí)施例5的空穴輸送層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的 表，圖13是表示實(shí)施例6的空穴輸送層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表，圖 14是表示實(shí)施例7的空穴輸送層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表，圖15是表 示實(shí)施例8的空穴輸送層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表。
[0134] 圖16是表示實(shí)施例9的發(fā)光層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表，圖 17是表示實(shí)施例10的發(fā)光層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表，圖18是表示 實(shí)施例11的發(fā)光層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表，圖19是表示實(shí)施例12 的發(fā)光層形成用油墨的構(gòu)成與溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)結(jié)果的表。
[0135] 應(yīng)予說(shuō)明，各實(shí)施例中的含有低分子材料和高分子材料的混合物在混合溶劑中的 溶解時(shí)間的評(píng)價(jià)是以將該混合物僅溶解于該實(shí)施例的良溶劑而成的比較例中的該混合物 的溶解時(shí)間作為" 1"進(jìn)行比較而數(shù)值化的。
[0136] 實(shí)施例1
[0137] 對(duì)于實(shí)施例1的作為功能層形成用油墨的空穴注入層形成用油墨，使作為低分子 材料的Ν，Ν'-雙（3-甲基苯基）-N，Ν'-雙（苯基）聯(lián)苯胺和作為高分子材料的聚[Ν，Ν'-雙 (4- 丁基苯基）-Ν，Ν' -雙（苯基）-聯(lián)苯胺]的混合物分散于IOL (升）的不良溶劑后添加 90L(升）良溶劑進(jìn)行攪拌，測(cè)定其在混合溶劑（100L)中的溶解時(shí)間。另外，使上述混合物 與上述混合溶劑的重量比為5wt%。換言之，測(cè)定相當(dāng)于5wt%的上述混合物從添加良溶劑 開(kāi)始到完全溶解于上述混合溶劑的時(shí)間。
[0138] 作為實(shí)施例1中的不良溶劑，使用4種直鏈烷烴系溶劑（壬烷、癸烷、十一烷、十二 烷）、5種脂肪族醇系溶劑（己醇、庚醇、辛醇、壬醇、癸醇）、14種脂肪族醚系溶劑（二戊醚、 二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇異丙基甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲丁 醚、二乙二醇二丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇甲丙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇甲乙 醚、三乙二醇甲丁醚、三丙二醇二甲醚、四乙二醇二甲醚）、8種芳香族烴系溶劑（1，3-二異 丙基苯、1，4-二異丙基苯、三異丙基苯、戊基苯、己基苯、庚基苯、辛基苯、壬基苯）總計(jì)31 種。作為與這些不良溶劑組合的良溶劑，使用沸點(diǎn)（bp)為272°C的3-苯氧基甲苯。換言 之，實(shí)施例1表示上述混合物在31種混合溶劑中的溶解時(shí)間。
[0139] 如圖8所示，根據(jù)實(shí)施例1的空穴注入層形成用油墨的制造方法，與比較例（溶解 時(shí)間的指數(shù)1. 〇)相比能夠以〇. 1 (1/10)以下的時(shí)間將上述混合物溶解于上述混合溶劑。 溶解時(shí)間根據(jù)不良溶劑的選擇而不同，大體上按直鏈烷烴系溶劑=脂肪屬醇系溶劑> 脂肪 族醚系溶劑 >芳香族烴系溶劑的順序。具體而言，使用直鏈烷烴系溶劑或脂肪屬醇系溶劑 時(shí)，與比較例（1. 0)相比能夠縮短到0. 02(1/50)。使用脂肪族醚系溶劑時(shí)，大體能夠縮短到 0.06。使用芳香族烴系溶劑時(shí)，能夠縮短到0.1 (1/10)以下。芳香族烴系溶劑中選擇三異 丙基苯、壬基苯時(shí)，得到與選擇直鏈烷烴系溶劑、脂肪屬醇系溶劑的情況幾乎同等的溶解時(shí) 間。
[0140] 實(shí)施例2?實(shí)施例4的作為功能層形成用油墨的空穴注入層形成用油墨與實(shí)施例 1相比，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例（容積比）以及良溶劑不同，其它構(gòu)成要素和制 造方法與實(shí)施例1相同。具體而言如下。
[0141] 實(shí)施例2
[0142] 實(shí)施例2的空穴注入層形成用油墨是混合30L的不良溶劑和70L的良溶劑而構(gòu)成 100L的混合溶劑。換言之，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例相對(duì)于實(shí)施例1為10%，實(shí) 施例2為30%。另外，作為良溶劑，使用沸點(diǎn)（bp)為268°C的2-異丙基萘。
[0143] 實(shí)施例3
[0144] 實(shí)施例3的空穴注入層形成用油墨是混合50L的不良溶劑和50L的良溶劑而構(gòu)成 100L的混合溶劑。換言之，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例為50%。另外，作為良溶劑， 使用沸點(diǎn)（bp)為298°C的二芐醚。
[0145] 實(shí)施例4
[0146] 實(shí)施例4的空穴注入層形成用油墨是混合70L的不良溶劑和30L的良溶劑而構(gòu)成 100L的混合溶劑。換言之，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例為70%。另外，作為良溶劑， 使用沸點(diǎn)（bp)為291°C的異丙基聯(lián)苯。
[0147] 如圖9、圖10、圖11所示，根據(jù)實(shí)施例2?實(shí)施例4的空穴注入層形成用油墨的制 造方法，與實(shí)施例1同樣，能夠以與比較例相比為其10分之1以下的時(shí)間將上述混合物溶 解于上述混合溶劑。另外，由不良溶劑的選擇而帶來(lái)的溶解時(shí)間的趨勢(shì)也與實(shí)施例1相同。
[0148] 實(shí)施例5
[0149] 對(duì)于實(shí)施例5的作為功能層形成用油墨的空穴輸送層形成用油墨，使作為低分 子材料的4, 4'，4"-三（Ν，Ν' -苯基-3-甲基苯基氨基）三苯胺和作為高分子材料的聚 [(9,9_二辛基芴-2,7-二基）-共聚-(4,4'-(Ν-(4-仲丁基苯基））二苯胺）]的混合物分 散于IOL(升）的不良溶劑后添加90L(升）的良溶劑進(jìn)行攪拌，測(cè)定其在混合溶劑（100L) 中的溶解時(shí)間。另外，上述混合物與上述混合溶劑的重量比為5wt%。換言之，測(cè)定相當(dāng)于 5wt %的上述混合物從添加良溶劑開(kāi)始到完全溶解于上述混合溶劑中的時(shí)間。不良溶劑從 與實(shí)施例1相同的31種溶劑中選擇，良溶劑使用沸點(diǎn)（bp)為272°C的3-苯氧基甲苯。
[0150] 如圖12所示，根據(jù)實(shí)施例5的空穴輸送層形成用油墨的制造方法，與比較例（溶 解時(shí)間的指數(shù)1.0)相比，上述混合物在上述混合溶劑中的溶解時(shí)間能夠縮短20%以上。具 體而言，溶解時(shí)間根據(jù)不良溶劑的選擇而不同，使用直鏈烷烴系溶劑或脂肪屬醇系溶劑時(shí)， 與比較例相比縮短到0.02 (1/50)。使用脂肪族醚系溶劑時(shí)，大體能夠縮短到0.1 (1/10)以 下。使用芳香族烴系溶劑時(shí)，能夠縮短到0.8 (4/5)?0. 1(1/10)左右。芳香族烴系溶劑中 選擇三異丙基苯時(shí)，得到與選擇直鏈烷烴系溶劑、脂肪屬醇系溶劑的情況幾乎同等的溶解 時(shí)間。
[0151] 實(shí)施例6?實(shí)施例8的作為功能層形成用油墨的空穴輸送層形成用油墨與實(shí)施例 5相比，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例（容積比）以及良溶劑不同，其它構(gòu)成要素和制 造方法與實(shí)施例5相同。具體而言如下。
[0152] 實(shí)施例6
[0153] 實(shí)施例6的空穴輸送層形成用油墨是混合30L的不良溶劑和70L的良溶劑而構(gòu)成 100L的混合溶劑。換言之，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例是實(shí)施例5為10%，與此相 對(duì)實(shí)施例6為30%。另外，作為良溶劑，使用沸點(diǎn)（bp)為268°C的2-異丙基萘。
[0154] 實(shí)施例7
[0155] 實(shí)施例7的空穴輸送層形成用油墨是混合50L的不良溶劑和50L的良溶劑而構(gòu)成 100L的混合溶劑。換言之，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例為50%。另外，作為良溶劑， 使用沸點(diǎn)（bp)為298°C的二芐醚。
[0156] 實(shí)施例8
[0157] 實(shí)施例8的空穴輸送層形成用油墨是混合70L的不良溶劑和30L的良溶劑而構(gòu)成 100L的混合溶劑。換言之，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例為70%。另外，作為良溶劑， 使用沸點(diǎn)（bp)為291°C的異丙基聯(lián)苯。
[0158] 如圖13、圖14、圖15所示，根據(jù)實(shí)施例6?實(shí)施例8的空穴輸送層形成用油墨的 制造方法，與實(shí)施例5同樣，上述混合物在上述混合溶劑中的溶解時(shí)間相對(duì)于比較例（1.0) 能夠縮短到0. 02?0. 8左右。另外，與不良溶劑的種類相應(yīng)的溶解時(shí)間的縮短程度也與實(shí) 施例5相同。
[0159] 實(shí)施例9
[0160] 對(duì)于實(shí)施例9的作為功能層形成用油墨的發(fā)光層形成用油墨，使作為低分子材料 的三（8-羥基喹啉）鋁（III)和作為高分子材料的聚[(9, 9-二辛基芴-2, 7-二基）-共 聚-(Ν，Ν'-二苯基）-N，Ν'-二（對(duì)丁基苯基）-1，4-二氨基苯]的混合物分散于IOL (升） 的不良溶劑后添加90L(升）的良溶劑進(jìn)行攪拌，測(cè)定其在混合溶劑（100L)中的溶解時(shí)間。 另外，上述混合物與上述混合溶劑的重量比為5wt%。換言之，測(cè)定相當(dāng)于5wt%的上述混 合物從添加良溶劑開(kāi)始到完全溶解于上述混合溶劑的時(shí)間。不良溶劑從與實(shí)施例1相同的 31種溶劑中選擇，良溶劑使用沸點(diǎn)（bp)為272°C的3-苯氧基甲苯。
[0161] 如圖16所示，根據(jù)實(shí)施例9的發(fā)光層形成用油墨的制造方法，與比較例（溶解時(shí) 間的指數(shù)1.0)相比，上述混合物在上述混合溶劑中的溶解時(shí)間能夠縮短20%以上。具體而 言，溶解時(shí)間根據(jù)不良溶劑的選擇而不同，使用直鏈烷烴系溶劑或脂肪屬醇系溶劑時(shí)，相對(duì) 于比較例（1. 0)能夠縮短到0. 02 (1/50)。使用脂肪族醚系溶劑時(shí)，大概能夠縮短到0. 04? 〇. 2(1/5)。使用芳香族烴系溶劑時(shí)，能夠縮短到0.1?0.8左右。芳香族烴系溶劑中選擇 三異丙基苯時(shí)，得到與選擇直鏈烷烴系溶劑、脂肪屬醇系溶劑的情況幾乎同等的溶解時(shí)間。
[0162] 實(shí)施例10?實(shí)施例12的作為功能層形成用油墨的發(fā)光層形成用油墨與實(shí)施例9 相比，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例（容積比）以及良溶劑不同，其它構(gòu)成要素和制造 方法與實(shí)施例9相同。具體而言如下。
[0163] 實(shí)施例10
[0164] 實(shí)施例10的發(fā)光層形成用油墨是混合30L的不良溶劑和70L的良溶劑而構(gòu)成 100L的混合溶劑。換言之，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例是實(shí)施例9為10%，與此相 對(duì)實(shí)施例10為30%。另外，作為良溶劑，使用沸點(diǎn)（bp)為268°C的2-異丙基萘。
[0165] 實(shí)施例11
[0166] 實(shí)施例11的發(fā)光層形成用油墨是混合50L的不良溶劑和50L的良溶劑而構(gòu)成 100L的混合溶劑。換言之，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例為50%。另外，作為良溶劑， 使用沸點(diǎn)（bp)為298°C的二芐醚。
[0167] 實(shí)施例12
[0168] 實(shí)施例12的發(fā)光層形成用油墨是混合70L的不良溶劑和30L的良溶劑而構(gòu)成 100L的混合溶劑。換言之，混合溶劑中的不良溶劑的容積比例為70%。另外，作為良溶劑， 使用沸點(diǎn)（bp)為291°C的異丙基聯(lián)苯。
[0169] 如圖17、圖18、圖19所示，根據(jù)實(shí)施例10?實(shí)施例12的發(fā)光層形成用油墨的制 造方法，與實(shí)施例9同樣，上述混合物在上述混合溶劑中的溶解時(shí)間相對(duì)于比較例（1.0)能 夠縮短到0.02?0.8左右。另外，與不良溶劑的種類相應(yīng)的溶解時(shí)間的縮短程度也與實(shí) 施例9相同。
[0170] 應(yīng)予說(shuō)明，在上述空穴注入層形成用油墨中，在使用4, 4'，Ν，Ν' -二苯基咔唑作為 低分子材料、使用聚乙烯基咔唑作為高分子材料的情況下，也得到與實(shí)施例1?實(shí)施例4相 同的評(píng)價(jià)結(jié)果。
[0171] 另外，在上述發(fā)光層形成用油墨中，在使用雙（2_(2' -苯并噻吩）吡啶_N，C3'） (乙酰丙酮）合銥（III)作為低分子材料、使用聚[{9, 9-二己基-2, 7-雙（1-氰基亞乙烯 基）亞芴基}_交替共聚-{2, 5-雙（Ν，Ν' -二苯基氨基）-1，4-亞苯基}]作為高分子材料 的情況，或者使用雙（2-(4,6-二氟苯基）吡啶-N，C2'）吡啶甲酰合銥（III)作為低分子 材料、使用聚（9, 9-二己基芴-2, 7-二基）作為高分子材料的情況下，也得到與上述實(shí)施例 9?實(shí)施例12相同的評(píng)價(jià)結(jié)果。
[0172] 并且，在上述空穴注入層形成用油墨、上述空穴輸送層形成用油墨、上述發(fā)光層 形成用油墨中，如果混合溶劑中的不良溶劑的容積比例（容積比）是超過(guò)70%的值，例如 90%，則由于良溶劑的容積比例下降，所以無(wú)法充分溶解5wt %的混合物，發(fā)生上述混合物 的凝膠化使各油墨變得懸濁。
[0173] 對(duì)實(shí)施例1?實(shí)施例12的評(píng)價(jià)結(jié)果進(jìn)行概括，如下。
[0174] 使含有低分子材料和高分子材料的混合物首先分散于不良溶劑后加入良溶劑，為 了使上述混合物在混合溶劑中的溶解時(shí)間與比較例（溶解時(shí)間的指數(shù)1.0)相比縮短，優(yōu)選 不良溶劑的容積比例（容積比）為10%?70%。
[0175] 另外，無(wú)論空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層各自中選擇何種低分子材料和高分子 材料，在從3-苯氧基甲苯、2-異丙基萘、二節(jié)醚、異丙基聯(lián)苯中選擇良溶劑時(shí)，作為不良溶 齊?，優(yōu)選直鏈烷烴系溶劑或脂肪族醇系溶劑或三異丙基苯。由此，能夠使上述混合物在上述 混合溶劑中的溶解時(shí)間相對(duì)于比較例縮短到1/50左右。
[0176] 另外，無(wú)論空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層各自中選擇何種低分子材料和高分子 材料，在從芳香族烴系溶劑中選擇不良溶劑時(shí)，由于能夠使不良溶劑的沸點(diǎn)（bp)為200°C 以上，所以使用液滴噴出法（噴墨法）時(shí)，能夠形成更適合的功能層形成用油墨。
[0177] 應(yīng)予說(shuō)明，在上述實(shí)施例1?實(shí)施例12中，使上述混合溶劑所含的上述混合物的 含量為5wt%，但并不局限于此。根據(jù)上述混合溶劑中每單位容積的上述混合物的溶解度設(shè) 定含量即可。
[0178] 本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，在不違反從要求保護(hù)的范圍及說(shuō)明書(shū)整體理解的發(fā) 明主旨或思想的范圍內(nèi)可以進(jìn)行適當(dāng)?shù)刈兏褂冒殡S該變更的功能層形成用油墨的制造 方法和有機(jī)EL元件的制造方法制造的有機(jī)EL元件、應(yīng)用該有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置也 包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍。除上述實(shí)施方式以外，還考慮了各種變形例。以下，舉出變形例 進(jìn)行說(shuō)明。
[0179] 變形例1
[0180] 不良溶劑、良溶劑不限于上述實(shí)施例中使用的溶劑，也可以使用其它衍生物。
[0181] 作為具體例，可舉出鹵化溶劑、烴溶劑、芳香族烴溶劑、醚溶劑、醇溶劑、酮溶劑、腈 溶劑、亞砜溶劑、酰胺溶劑。這些有機(jī)溶劑可以組合兩種以上使用。
[0182] 作為鹵化溶劑的具體例，可舉出四氯化碳、二氯甲烷、氯仿、二氯乙烷、四氯乙烯、 氯苯、雙（2-氯乙基）醚、氯甲基乙醚、氯甲基甲醚、2-氯乙基乙醚、2-氯乙基甲醚。
[0183] 作為烴溶劑的具體例，可舉出戊烷、己烷、環(huán)己烷、庚烷、辛烷、十氫萘、石油醚、揮 發(fā)油（Iigroin)、二環(huán)己燒。
[0184] 作為芳香族烴溶劑的具體例，可舉出苯、甲苯、二甲苯、乙苯、異丙苯、偏三甲苯、均 三甲苯、丁基苯、四甲基苯、叔丁基苯、己基苯、庚基苯、辛基苯、壬基苯、癸基苯、四氫萘、環(huán) 己基苯、萘烷、甲基萘。
[0185] 作為醚溶劑，可舉出二乙醚、乙基丙基醚、二丙醚、二異丙基醚、二丁醚、甲基叔丁 基醚、苯甲醚、甲基苯甲醚、二苯醚、苯氧基甲苯、苯氧基二甲苯、二甲苯基醚、四氫呋喃、二 氫!咲喃、二**惡燒、四氫!卩比喃、4_甲基_1，3_二惡燒、4_苯基_1，3_二P惡燒。
[0186] 作為醇溶劑的具體例，可舉出甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、2-甲 基-1-丙醇、2-甲基-2-丙醇、1-戊醇、2-戊醇、3-戊醇、2、2_二甲基-1-丙醇、1-己醇、環(huán) 戊醇、3-甲基-1-丁醇、3-甲基-2-丁醇、2-甲基-1-丁醇、2, 2-二甲基-1-丙醇、3-己醇、 2-己醇、4-甲基-2-戊醇、2-甲基-1-戊醇、2-乙基丁醇、2, 4-二甲基-3-戊醇、3-庚醇、 4_庚醇、2-庚醇、1-庚醇、2-乙基-1-己醇、2, 6-二甲基-4-庚醇、2-甲基環(huán)己醇、3-甲基 環(huán)己醇、4-甲基環(huán)己醇。
[0187] 作為酮溶劑的具體例，可舉出丙酮、甲乙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、甲基異丙基 酮、2-戊酮、3-戊酮、3-己酮、二異丙基酮、2-己酮、環(huán)戊酮、4-庚酮、甲基異戊基酮、3-庚 酮、2-庚酮、4-甲氧基-4-甲基-2-戊酮、5-甲基-3-庚酮、2-甲基環(huán)己酮、二異丁基酮、 5-甲基-2-辛酮、3-甲基環(huán)己酮、2-環(huán)己烯-1-酮、4-甲基環(huán)己酮、環(huán)庚酮、4-叔丁基環(huán)己 酮、芐基丙酮。
[0188] 作為腈溶劑的具體例，可舉出乙腈、丙烯腈、三氯乙腈、丙腈、新戊腈、異丁腈、正 丁臆、甲氧基乙臆、2 -甲基丁臆、異戊臆、N-戊臆、正己臆、3-甲氧基丙臆、3-乙氧基丙臆、 3, 3' -氧二丙腈、正庚腈、輕基乙腈（glycolonitrile)、苯甲腈、3-輕基丙腈、丁二腈、2-輕 基異丁臆、正丁氧基丙臆。
[0189] 作為亞砜溶劑的具體例，可舉出二甲基亞砜、二正丁基亞砜、四亞甲基亞砜、甲基 苯基亞砜。
[0190] 作為酰胺溶劑的具體例，可舉出二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、酰基酰胺、N-乙 酰乙醇胺、N，N-二甲基間甲苯酰胺、三氟乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二乙基月桂酰 胺、ε -己內(nèi)酰胺、N，N-二乙基乙酰胺、N-叔丁基甲酰胺、甲酰胺、新戊酰胺、N- 丁基酰胺、 N，N-二甲基乙?；阴０?、N-甲基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、乙酰胺、 N，N-二異丙基甲酰胺、1-甲酰基哌陡、N-甲基甲酰苯胺。
[0191] 應(yīng)予說(shuō)明，不良溶劑和良溶劑優(yōu)選即便混合也不分離的容易混合的溶劑。
[0192] 變形例2
[0193] 空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層所含的低分子材料和高分子材料不限于上述實(shí) 施例使用的材料。
[0194] 例如，作為空穴注入層形成材料，可舉出聚噻吩及其衍生物、聚苯胺及其衍生物、 聚吡咯及其衍生物、Ν，Ν，Ν'，Ν' -四苯基-對(duì)二氨基苯及其衍生物等，可以使用其中1種或 組合使用2種以上。
[0195] 另外，作為空穴輸送層形成材料，可以單獨(dú)或組合使用各種ρ型高分子材料、各種 P型低分子材料。
[0196] 作為ρ型高分子材料（有機(jī)聚合物），例如可舉出聚（2, 7-(9,9_二正辛基 芴）-(1，4-亞苯基-((4-仲丁基苯基）亞氨基）-1，4-亞苯基（TFB)等聚芳基胺這種具有 芳基胺骨架的聚合物、芴-聯(lián)噻吩共聚物這種具有芴骨架的聚合物、芴-芳基胺共聚物這種 具有芳基胺骨架和芴骨架這兩者的聚合物、聚（N-乙烯基咔唑）、聚乙烯基芘、聚乙烯基蒽、 聚噻吩、聚烷基噻吩、聚己基噻吩、聚對(duì)苯撐乙炔、聚噻吩乙炔、芘甲醛樹(shù)脂、乙基咔唑甲醛 樹(shù)脂或其衍生物等。
[0197] 這種ρ型高分子材料也可以作為與其它化合物的混合物來(lái)使用。作為一個(gè)例子， 作為含有聚噻吩的混合物，可舉出聚（3, 4-亞乙二氧基噻吩/苯乙烯磺酸）（PED0T/PSS) 等。
[0198] 另一方面，作為P型低分子材料，例如可舉出1，1-雙（4-二對(duì)甲苯基氨基苯基） 環(huán)己烷、1，Γ -雙（4-二對(duì)甲苯基氨基苯基）-4_苯基-環(huán)己烷這種芳基環(huán)烷烴系化合物， 4, 4'，4"-三甲基三苯胺、Ν，Ν，Ν'，Ν' -四苯基-1，1' -聯(lián)苯_4,4' -二胺、N，Ν' -二苯 基-N, Ν'-雙（3-甲基苯基）-1，Γ-聯(lián)苯-4, 4'-二胺（TPDl)、Ν, Ν'-二苯基-N, Ν'-雙（4-甲 氧基苯基）-1，Γ -聯(lián)苯-4, 4' -二胺（--)2)、Ν，Ν，Ν'，Ν' -四（4-甲氧基苯基）-1，Γ -聯(lián) 苯 _4,4' -二胺（TPD3)、N，N' -雙（1-萘基）-Ν，Ν' -二苯基-1，Γ -聯(lián)苯 _4,4' -二胺 (a -NPD)、ΤΡΤΕ這種的芳基胺系化合物，Ν，Ν，Ν'，Ν' -四苯基對(duì)苯二胺、Ν，Ν，Ν'，Ν' -四（對(duì) 甲苯基）對(duì)苯二胺、Ν，Ν，Ν'，Ν'-四（間甲苯基）間苯二胺（PDA)這種苯二胺系化合物，咔唑、 N-異丙基咔唑、N-苯基咔唑這種咔唑系化合物，芪、4-二對(duì)甲苯基氨基芪這種芪系化合物， OxZ這種ρ惡唑系化合物，三苯甲烷、m-MTDATA這種三苯甲烷系化合物，1-苯基-3-(對(duì)二甲 氨基苯基）吡唑啉這種吡唑啉系化合物，苯炔（環(huán)己二烯）系化合物，三唑這種三唑系化 合物,咪唑這種咪唑系化合物，1，3, 4-?>惡二唑、2, 5-二（4-二甲氨基苯基）-1，3, 4-*·惡二唑 這種》?惡二唑系化合物，蒽、9-(4-二乙氨基苯乙烯基）蒽這種蒽系化合物，芴酮、2, 4, 7,-三 硝基-9-芴酮、2, 7-雙（2-羥基-3-(2-氯苯基氨基甲?；?1-萘基偶氮）芴酮這種芴酮 系化合物，聚苯胺這種苯胺系化合物，硅烷系化合物，1，4-二硫酮-3, 6-二苯基-吡咯并 (3, 4-c)吡咯這種吡咯系化合物，芴這種芴系化合物，卟啉、金屬四苯基卟啉這種卟啉系化 合物，喹吖啶酮這種喹吖啶酮系化合物，酞菁、銅酞菁、四（叔丁基）銅酞菁、鐵酞菁這種金 屬或非金屬的酞菁系化合物，萘酞菁銅、萘酞菁氧釩、氯代萘酞菁鎵這種金屬或非金屬的萘 酞菁系化合物，Ν，Ν' -二（萘-1-基）-N，Ν' -二苯基-聯(lián)苯胺、Ν，Ν，Ν'，Ν' -四苯基聯(lián)苯胺 這種聯(lián)苯胺系化合物等。
[0199] 另外，作為可得到紅色發(fā)光的發(fā)光材料（以下，稱為紅色發(fā)光材料），沒(méi)有特別限 定，可以使用各種得到紅色發(fā)光的熒光材料、磷光材料的1種或者組合使用2種以上。
[0200] 作為上述熒光材料，只要發(fā)出紅色的熒光就沒(méi)有特別限定，例如可舉出茈衍生 物、銪配位化合物、苯并吡喃衍生物、羅丹明衍生物、苯并噻噸衍生物、P卜啉衍生物、尼羅 紅、2-(1，1-二甲基乙基）-6-(2-(2,3,6,7_ 四氫-1，1，7,7-四甲基-1Η，5Η-苯并（ij)喹 嗪-9-基）乙烯基）-4H-吡喃-4H-亞基）丙二腈（DCJTB)、4-(二氰基亞甲基）-2-甲 基-6 -(對(duì)_甲基氣基苯乙稀基）-4H-批喃（DCM)、聚[2-甲氧基(2 -乙基己氧 基）-1，4-(1_氰基亞乙烯基亞苯基）]、聚[{9, 9-二己基-2, 7-雙（1-氰基亞乙烯基）亞芴 基}_鄰位共聚-{2, 5-雙（Ν，Ν'-二苯基氨基）-1，4-亞苯基}]、聚[{2-甲氧基-5-(2-乙 基己氧基）-1，4- (1-氰基亞乙烯基亞苯基）}-共聚-{2, 5-雙（Ν，Ν' -二苯基氨基）-1，4-亞 苯基}]等。
[0201] 作為上述磷光材料，只要發(fā)出紅色的磷光就沒(méi)有特別限定，例如可舉出銥、釕、鉬、 鋨、錸、鈀等的金屬配位化合物,可舉出上述金屬配位化合物的配體中的至少一個(gè)具有苯 基吡啶骨架、聯(lián)吡啶骨架、嚇啉骨架等的金屬配位化合物。更具體而言，可舉出三（1-苯 基異喹啉）銥、雙[2-(2' -苯并[4,5-α]噻吩基）吡啶-N，C3' ](乙酰丙酮）合銥 (btp2Ir(acac))、2,3,7,8, 12, 13, 17, 18-八乙基-12H，23H-卟啉-鉬（II)、雙[2-(2,-苯 并[4, 5- α ]噻吩基）吡啶-N，C3' ]銥、雙（2-苯基吡啶）（乙酰丙酮）合銥。
[0202] 另外，除上述紅色發(fā)光材料之外，可以含有將紅色發(fā)光材料作為客體材料添加的 主體材料。
[0203] 主體材料具有與空穴和電子再結(jié)合生成激子的同時(shí)，使該激子的能量遷移 (Forster遷移或Dexter遷移）至紅色發(fā)光材料，激發(fā)紅色發(fā)光材料的功能。使用這種主體 材料時(shí)，例如可將作為客體材料的紅色發(fā)光材料作為摻雜劑摻雜到主體材料中來(lái)使用。
[0204] 作為這種主體材料，只要對(duì)使用的紅色發(fā)光材料發(fā)揮如上所述的功能就沒(méi)有特別 限定，紅色發(fā)光材料含有紅色熒光材料時(shí)，例如可舉出萘并萘衍生物、萘衍生物、蒽衍生物 這種并苯衍生物（并苯系材料）、二苯乙烯基芳撐衍生物、茈衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、 二苯乙烯基胺衍生物、三（8-羥基喹啉）鋁配位化合物（Alq 3)等羥基喹啉系金屬配位化合 物、三苯胺的四聚體等三芳基胺衍生物、二唑衍生物、噻咯衍生物、二咔唑衍生物、低聚 噻吩衍生物、苯并吡喃衍生物、三唑衍生物、苯并》惡唑衍生物、苯并噻唑衍生物、喹啉衍生 物、4, 4' -雙（2, 2' -二苯基乙烯基）聯(lián)苯（DPVBi)等，可以單獨(dú)使用其中1種或組合2種 以上使用。
[0205] 使用如上所述的紅色發(fā)光材料（客體材料）和主體材料時(shí)，紅色發(fā)光層中的紅色 發(fā)光材料的含量（摻雜量）優(yōu)選為〇· Olwt%?IOwt%，更優(yōu)選為0· Iwt%?5wt%。通過(guò) 使紅色發(fā)光材料的含量在這樣的范圍內(nèi)，能夠使發(fā)光效率最優(yōu)化。
[0206] 另外，作為可得到綠色發(fā)光的發(fā)光材料（以下，稱為綠色發(fā)光材料），沒(méi)有特別限 定，例如，可舉出各種得到綠色發(fā)光的熒光材料、磷光材料，可以使用其中1種或者組合使 用2種以上。
[0207] 作為上述熒光材料，只要發(fā)出綠色熒光就沒(méi)有特別限定，例如可舉出香豆素衍生 物、喹吖啶酮及其衍生物、9, 10-雙[(9-乙基-3-咔唑）_亞乙烯基]-蒽、聚（9, 9-二己 基-2, 7-亞乙烯基亞芴基）、聚[(9, 9-二辛基芴-2, 7-二基）-共聚-(1，4-二亞苯基-亞 乙烯基-2-甲氧基-5-{2-乙基己氧基}苯）]、聚[(9, 9-二辛基-2, 7-二亞乙烯基亞芴 基）_鄰位共聚_(2-甲氧基-5-(2_乙氧基己氧基）_1，4_亞苯基）]等。
[0208] 作為上述磷光材料，只要發(fā)出綠色熒光就沒(méi)有特別限定，例如可舉出銥、釕、鉬、 鋨、錸、鈀等的金屬配位化合物，具體而言，可舉出面式-三（2-苯基吡啶）銥（Ir (ppy)3)、 雙（2-苯基吡啶-N，C2'）（乙酰丙酮）合銥、面式-三[5-氟-2-(5-三氟甲基-2-吡啶） 苯基_C，N]銥等。
[0209] 另外，綠色發(fā)光層9中除含有上述綠色發(fā)光材料之外，還可以含有將綠色發(fā)光材 料作為客體材料添加的主體材料。
[0210] 作為這種主體材料,可以使用與上述紅色發(fā)光層中說(shuō)明的主體材料同樣的材料。
[0211] 另外，作為可得到藍(lán)色發(fā)光的發(fā)光材料（以下，稱為藍(lán)色發(fā)光材料），例如，可舉出 各種得到藍(lán)色發(fā)光的熒光材料、磷光材料，可以使用其中1種或者組合使用2種以上。
[0212] 作為上述熒光材料，只要發(fā)出藍(lán)色的熒光就沒(méi)有特別限定，例如可舉出二苯乙烯 基二胺系化合物等二苯乙烯基胺衍生物、熒蒽衍生物、芘衍生物、茈和茈衍生物、蒽衍生物、 苯并惡唑衍生物、苯并噻唑衍生物、苯并咪唑衍生物、窟衍生物、菲衍生物、二苯乙烯基苯 衍生物、四苯基丁二烯、4, 4' -雙（9-乙基-3-咔唑亞乙烯基）-1，Γ -聯(lián)苯（BCzVBi)、聚 [(9, 9-二半基莉-2, 7-二基）-共聚-(2, 5-二甲氧基苯-1，4-二基）]、聚[(9, 9-二己氧 基莉-2, 7_二基）-鄰位共聚-(2_甲氧基_5_{2_乙氧基己氧基}亞苯_1，4_二基）]、聚 [(9, 9-二辛基莉-2, 7-二基）-共聚-(乙炔基苯）]等。
[0213] 作為上述磷光材料，只要發(fā)出藍(lán)色的磷光就沒(méi)有特別限定，例如可舉出銥、釕、鉬、 鋨、錸、鈀等的金屬配位化合物，具體而言，可舉出雙[4, 6-二氟苯基吡啶-N，C2' ]-吡啶甲 酰合銥、三[2-(2,4-二氟苯基）吡啶-N，C2']銥、雙[2-(3,5-三氟甲基）吡啶-N，C2']_吡 啶甲酰合銥、雙（4, 6-二氟苯基吡啶-N，C2'）（乙酰丙酮）合銥等。
[0214] 另外，藍(lán)色發(fā)光層中除含有上述藍(lán)色發(fā)光材料之外，還可以含有將藍(lán)色發(fā)光材料 作為客體材料添加的主體材料。
[0215] 作為這種主體材料，可以使用與上述紅色發(fā)光層中說(shuō)明的主體材料同樣的材料。
[0216] 變形例3
[0217] 功能層形成用油墨不限于含有低分子材料和高分子材料混合而成的混合物作為 固體成分。該固體成分是低分子材料或高分子材料時(shí)，也可用于本發(fā)明。
[0218] 變形例4
[0219] 具備本發(fā)明使用的有機(jī)EL元件130的有機(jī)EL裝置100不限于用作顯示裝置。例 如，可以用作照明裝置、電控調(diào)光玻璃、對(duì)感光體曝光的曝光裝置（打印機(jī)頭）等。
[0220] 符號(hào)說(shuō)明
[0221] 70···功能層形成用油墨、100···有機(jī)EL裝置、130…有機(jī)EL元件、131…作為陽(yáng)極的 像素電極、132···功能層、132a···空穴注入層、132b···空穴輸送層、132c···發(fā)光層、134…作為 陰極的對(duì)置電極。
【權(quán)利要求】
1. 一種功能層形成用油墨的制造方法，是在形成具有發(fā)光功能的功能層時(shí)使用的功能 層形成用油墨的制造方法，其特征在于，包括如下工序： 使低分子材料、高分子材料以及混合所述低分子材料與所述高分子材料而成的混合物 中的任一種固體成分分散到不良溶劑的工序，和 向分散有所述固體成分的所述不良溶劑中加入良溶劑使所述固體成分溶解的工序， 相對(duì)于向所述不良溶劑中加入所述良溶劑后的總?cè)莘e，所述不良溶劑的容積比為 10 %?70%，且所述不良溶劑和所述良溶劑能夠混合。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能層形成用油墨的制造方法，其特征在于，所述不良溶劑 的沸點(diǎn)為150°C?300°C，所述良溶劑的沸點(diǎn)為250°C?300°C。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的功能層形成用油墨的制造方法，其特征在于，所述不良 溶劑選自直鏈烷烴系溶劑、脂肪族醇系溶劑、脂肪族醚系溶劑、芳香族烴系溶劑中的至少1 種， 所述良溶劑選自3-苯氧基甲苯、2-異丙基萘、二芐醚、異丙基聯(lián)苯中的至少1種。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的功能層形成用油墨的制造方法，其特征在于，所述不良溶 劑選自直鏈烷烴系溶劑、脂肪族醇系溶劑中的至少1種， 所述良溶劑選自3-苯氧基甲苯、2-異丙基萘、二芐醚、異丙基聯(lián)苯中的至少1種。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的功能層形成用油墨的制造方法，其特征在于，所述不良 溶劑選自下述溶劑中的至少1種：4種直鏈烷烴系溶劑，即壬烷、癸烷、十一烷、十二烷；5種 脂肪族醇系溶劑，即己醇、庚醇、辛醇、壬醇、癸醇；14種脂肪族醚系溶劑，即二戊醚、二乙二 醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇異丙基甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲丁醚、二乙 二醇二丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇甲丙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇甲乙醚、三乙二 醇甲丁醚、三丙二醇二甲醚、四乙二醇二甲醚；8種芳香族烴系溶劑，即1，3-二異丙基苯、 1，4-二異丙基苯、三異丙基苯、戊基苯、己基苯、庚基苯、辛基苯、壬基苯， 所述良溶劑選自3-苯氧基甲苯、2-異丙基萘、二芐醚、異丙基聯(lián)苯中的至少1種。
6. -種有機(jī)EL元件的制造方法，是在陽(yáng)極和陰極之間具備具有發(fā)光功能的功能層的 有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于， 所述功能層包括從所述陽(yáng)極側(cè)依次層疊的空穴注入層、空穴輸送層和發(fā)光層， 具有功能層形成工序，即，使用含有低分子材料、高分子材料以及混合所述低分子材料 與所述高分子材料而成的混合物中的任一種固體成分的功能層形成用油墨，形成所述空穴 注入層、所述空穴輸送層、所述發(fā)光層中的至少1層， 所述功能層形成用油墨是使用權(quán)利要求1或2所述的功能層形成用油墨的制造方法而 制造的。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于，所述功能層形成工序 中，使用所述功能層形成用油墨形成所述空穴注入層。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于，所述功能層形成工序 中，使用所述功能層形成用油墨形成所述空穴輸送層。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于，所述功能層形成工序 中，使用所述功能層形成用油墨形成所述發(fā)光層。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK104419257SQ201410436847
【公開(kāi)日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2014年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月3日
【發(fā)明者】渡邊昭太朗, 大川裕太 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社