無水冷激光器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種無水冷激光器，包括：主振蕩器泵浦源（1）、主振蕩器能量光纖（2）、主振蕩器耦合系統(tǒng)（3）、主振蕩器激光晶體（4）、第一偏振片（5）、第一四分之一波片（6）、普克爾盒（7）、平凹輸出鏡（8）、擴束系統(tǒng)（9）、第一45°全反鏡（10）、第二45°全反鏡（11）、第二偏振片（12）、第二四分之一波片（13）、功率放大器激光晶體（14）、功率放大器耦合系統(tǒng)（15）、功率放大器能量光纖（16）、功率放大器泵浦源（17）和第三偏振片（18）。本發(fā)明具有體積小、功耗低、無水冷全固態(tài)的特點；在保證高峰值功率大能量和單橫模輸出的情況下，還能保證外觸發(fā)與出光時間抖動為十幾ns的能力。
【專利說明】無水冷激光器
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及激光器【技術領域】，特別是涉及一種無水冷激光器。
【背景技術】
[0002]基于主振蕩功率放大器(ΜΟΡΑ,MasterOscillator Power-Amplifier)的激光器，尤其是端面泵浦的主振蕩功率放大器，既能保持主振蕩器的高光束質(zhì)量，又能保證高的峰值功率、高的轉換效率、大能量輸出，該類激光器被廣泛應用于激光加工、遠程測繪、空間雷達等領域。半導體激光器(LD，Laser Diode)作為泵浦源，因其與傳統(tǒng)燈泵浦相比具有結構緊湊、壽命長、能量轉換效率高、易于熱管理等優(yōu)勢，被廣泛使用在主振蕩功率放大器中。連續(xù)或準連續(xù)的半導體激光器已經(jīng)在中小功率的工業(yè)激光器中得到了廣泛應用，脈沖式半導體激光器也已經(jīng)有了成型的產(chǎn)品。以半導體激光器作為泵浦源，此類主振蕩功率放大器具有輸出能量高、脈寬窄、結構緊湊等優(yōu)點，具有廣泛的實用價值。
[0003]按泵浦方式來分類，端面泵浦可以分為連續(xù)端面泵浦和脈沖式端面泵浦。連續(xù)端面泵浦多以光纖方式輸出泵浦光，此類泵浦光光斑均勻，輸出功率從幾瓦到幾千瓦。連續(xù)端面泵浦的MOPA激光器，輸出光束質(zhì)量好(單橫模)，重復頻率高，其光束質(zhì)量在X方向為
1.28，在Y方向為1.21 ;也有輸出單脈沖大能量的MOPA激光器，其脈沖寬度為60ns，重復頻率5kHz，光束質(zhì)量小于1.3。但是，它們都采用水冷的方式，因為連續(xù)泵浦功率大，產(chǎn)生的熱量多。于是，出現(xiàn)了脈沖式端面泵浦，泵浦源平均功率較低，可以采用傳導冷卻或者風冷方式，大大減少了增益晶體或泵浦源被污染的機會，其光束質(zhì)量小于1.5，但單脈沖能量只有54mJ,限制了遠程測距的距離。
[0004]側面泵浦板條MOPA無水冷激光器，結構簡單，輸出單脈沖能量大，但是，采用脈沖二極管直接泵浦，泵浦光的均勻性影響輸出光的光束質(zhì)量。
[0005]如何在無水冷全固態(tài)、高峰值功率、大能量輸出的情況下，保證光束為單橫模，是當前急需解決的一個技術難題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種無水冷激光器，用以解決上述現(xiàn)有技術存在的問題之一。
[0007]為解決上述技術問題，本發(fā)明提供一種無水冷激光器，包括:
[0008]主振蕩器泵浦源(I )，用于提供泵浦光；
[0009]主振蕩器能量光纖(2)，用于對主振蕩器泵浦源(I)輸出的泵浦光進行傳輸和勻化；
[0010]主振蕩器耦合系統(tǒng)(3)，用于將主振蕩器能量光纖(2)傳輸?shù)谋闷止怦詈线M主振蕩器激光晶體(4)；
[0011]主振蕩器激光晶體(4)，用于提供主振蕩器增益；
[0012]第一偏振片(5),用于使主振蕩器激光晶體(4)輸出的激光起偏,偏振方向為水平方向；
[0013]第一四分之一波片(6)，用于使來自第一偏振片(5)的激光偏振方向旋轉45° ;
[0014]普克爾盒(7)，用于在主振蕩器激光晶體(4)上的能級粒子數(shù)達到最大時，控制平凹輸出鏡(8)輸出激光；
[0015]平凹輸出鏡(8)，與主振蕩器激光晶體(4)的左端面構成主振蕩器諧振腔，透過部分激光，輸出種子光，偏振方向為水平方向；
[0016]擴束系統(tǒng)(9)，對平凹輸出鏡(8)輸出種子光進行擴束；
[0017]第一 45°全反鏡(10)和第二 45°全反鏡(11 )，對擴束后的種子光進行全反射，使其射入第二偏振片(12)；
[0018]第二偏振片(12)，透射水平方向的種子光，反射垂直方向的種子光；
[0019]第二四分之一波片(13);使通過其的種子光偏振態(tài)旋轉45° ;
[0020]功率放大器激光晶體(14)，用于對第二四分之一波片(13)傳輸?shù)姆N子光進行放大；放大后種子光再次通過第二四分之一波片(13)，其偏振態(tài)再次旋轉45°，成為垂直方向的種子光，第二偏振片(12)將其反射至第三偏振片(18)，經(jīng)第三偏振片(18)反射輸出放大光;
[0021]功率放大器泵浦源(17);用于提供泵浦光；
[0022]功率放大器能量光纖(16);用于對功率放大器泵浦源(17)輸出的泵浦光進行傳輸和勻化；
[0023]功率放大器稱合系統(tǒng)(15),用于將功率放大器能量光纖(16)傳輸?shù)谋闷止釯禹合進功率放大器激光晶體(14)。
[0024]進一步，主振蕩器泵浦源(I)提供峰值功率< 500W的泵浦光，泵浦光脈沖寬度為100?480 μ s ;主振蕩器泵浦源(I)由半導體制冷片制冷；
[0025]功率放大器泵浦源(17)提供峰值功率< 2000W的泵浦光，泵浦光脈沖寬度為100 ?480 μ S。
[0026]進一步,主振蕩器能量光纖(2)的纖芯直徑為600?1000 μ m ;功率放大器能量光纖(16)的纖芯直徑為800?1000 μ m。
[0027]進一步，王振湯器稱合系統(tǒng)(3)的稱合比例為1:2 ;功率放大器稱合系統(tǒng)(15)的奉禹合比例為1:4。
[0028]進一步，主振蕩器激光晶體(4)或功率放大器激光晶體(14)為Nd = YAG晶體；NdiYAG晶體面向泵浦光端面鍍1064nm全反膜和808nm高透模；另一端面鍍1064nm增透膜和808nm增透模；功率放大器激光晶體(14)雙端面鍍1064nm增透膜和808nm增透膜；主振蕩器激光晶體(4)或功率放大器激光晶體(14)由半導體制冷片制冷。
[0029]進一步，主振蕩器激光晶體(4)或功率放大器激光晶體(14)為Nd:YLF。
[0030]進一步，平凹輸出鏡(8)向主振蕩器諧振腔內(nèi)的一面鍍透過70%的1064nm介質(zhì)膜，另一面鍍1064nm增透膜。
[0031]進一步，普克爾盒(7)中調(diào)Q晶體為KD*P晶體；主振蕩器激光晶體(4)，發(fā)射激光，激光通過第一偏振片(5)起偏,偏振方向為水平方向，水平方向的激光通過第一四分之一波片(6)，偏振方向旋轉45° ;此時普克爾盒(7)中KD*P晶體上并未施加電壓，相當于平片，激光通過KD*P晶體偏振方向不改變，經(jīng)主振蕩器激光晶體(4)鍍?nèi)瓷淠っ娣瓷湓僖淮瓮ㄟ^第一四分之一波片(6),偏振方向再次旋轉45° ,與第一偏振片(5)透光方向恰好成90° ,激光不能通過；當在Nd = YAG晶體上能級粒子數(shù)達到最大時，給普克爾盒(7)中KD*P晶體施加電壓，普克爾盒(7)相當于四分之一波片，激光通過平凹輸出鏡(8)輸出。
[0032]進一步，擴束系統(tǒng)(9)的擴束比例為1:3。
[0033]進一步，用Cr4+:YAG被動調(diào)Q晶體(19)代替所述第一四分之一波片(6)和普克爾盒(7)。
[0034]本發(fā)明有益效果如下:
[0035]本發(fā)明采用直徑粗的能量光纖傳輸和勻化高峰值功率準連續(xù)泵浦光，使泵浦光極度均勻；采用大能量端面泵浦，具有體積小、功耗低、無水冷全固態(tài)的特點；在保證高峰值功率大能量和單橫模輸出的情況下，還能保證外觸發(fā)與出光時間抖動為十幾ns的能力。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0036]圖1是本發(fā)明實施例一中一種無水冷激光器的光路結構不意圖；
[0037]圖2是本發(fā)明實施例二中一種無水冷激光器的光路結構示意圖。
【具體實施方式】
[0038]以下結合附圖以及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不限定本發(fā)明。
[0039]實施例一:
[0040]圖1為主振蕩功率放大器的無水冷激光器的光路結構示意圖，如圖1所示，該無水冷激光器包括:
[0041]主振蕩器泵浦源1，用于提供高峰值功率準連續(xù)主振蕩器泵浦光；
[0042]主振蕩器能量光纖2，用于對主振蕩器泵浦源I輸出的泵浦光進行傳輸和勻化；
[0043]主振蕩器耦合系統(tǒng)3，用于將主振蕩器能量光纖2傳輸?shù)谋闷止怦詈线M主振蕩器激光晶體4 ;
[0044]主振蕩器激光晶體4，用于提供主振蕩器增益；
[0045]第一偏振片5,用于使主振蕩器激光晶體4輸出的激光起偏,偏振方向為水平方向；
[0046]第一四分之一波片6，用于使來自第一偏振片5的激光偏振方向旋轉45° ;
[0047]普克爾盒7，用于在主振蕩器激光晶體4上的能級粒子數(shù)達到最大時，控制平凹輸出鏡8輸出激光；普克爾盒7控制其上施加的電壓，使得當不對該普克爾盒施加電壓時相當于平片；當對該普克爾盒施加四分之一電壓時，相當于四分之一波片；
[0048]平凹輸出鏡8，與主振蕩器激光晶體4的左端面構成主振蕩器諧振腔，透過部分激光，輸出種子光，偏振方向為水平方向；
[0049]擴束系統(tǒng)9，對平凹輸出鏡8輸出種子光進行擴束；
[0050]第一 45。全反鏡10和第二 45°全反鏡11，對擴束后的種子光進行全反射，使其射入第二偏振片12 ；
[0051]第二偏振片12，透射水平方向的種子光，反射垂直方向的種子光；
[0052]第二四分之一波片13 ;使通過其的種子光偏振態(tài)旋轉45° ;[0053]功率放大器激光晶體14，用于對第二四分之一波片13傳輸?shù)姆N子光進行放大；放大后種子光再次通過第二四分之一波片13，其偏振態(tài)再次旋轉45°，成為垂直方向的種子光，第二偏振片12將其反射至第三偏振片18,經(jīng)第三偏振片18反射輸出放大光；
[0054]功率放大器泵浦源17 ;用于提供高峰值功率準連續(xù)泵浦光；泵浦光的峰值功率≤ 2000W，脈沖寬度為100~480 μ S。
[0055]功率放大器能量光纖16 ;用于對功率放大器泵浦源17輸出的泵浦光進行傳輸和勻化；其纖芯直徑為800~1000 μ m。
[0056]功率放大器稱合系統(tǒng)15,用于將功率放大器能量光纖16傳輸?shù)谋闷止夥Q合進功率放大器激光晶體14 ;其耦合比例為1:4或其它比例。
[0057]其中，從主振蕩器泵浦源I發(fā)出的準連續(xù)泵浦光經(jīng)主振蕩器能量光纖2勻化和傳輸，通過主振蕩器耦合系統(tǒng)3入射到主振蕩器激光晶體4上，激光起振后在由激光晶體4左端面和平凹輸出鏡8組成的諧振腔內(nèi)來回振蕩，使主振蕩器激光晶體4積累的反轉粒子數(shù)達到最大，后經(jīng)普克爾盒7調(diào)Q輸出偏振方向為水平方向的種子光；種子光經(jīng)擴束系統(tǒng)9擴束后，經(jīng)第一 45°全反鏡10和第二 45°全反鏡11反射，并不改變種子光的偏振態(tài)；經(jīng)第二偏振片12進入第二四分之一波片13，種子光偏振態(tài)旋轉45° ;種子光經(jīng)功率放大器激光晶體14放大后，又一次通過第二四分之一波片13，偏振態(tài)再次旋轉45°，與種子光初始偏振態(tài)成90° ,不能通過第二偏振片12，經(jīng)第二偏振片12和第三偏振片18反射輸出放大光。
[0058]具體的，主振蕩器泵浦源1，提供峰值功率≤500W的泵浦光，泵浦光脈沖寬度為100~480 μ S。例如，主振蕩器泵浦源1，半導體激光器在25°C輸出波長808nm泵浦光，在輸入電流120A時輸出最大峰值功率500W，調(diào)制寬度為250μ S，所以最大輸出單脈沖能量125mJ。主振蕩器泵浦源I由一片40W功率半導體制冷片制冷，溫度控制在0.2°C內(nèi)。
[0059]主振蕩器能量光纖2，其纖芯直徑為600~1000 μ m。高峰值功率808nm泵浦光由纖芯直徑為600 μ m的主振蕩器能量光纖2傳輸?shù)街髡袷幤鞣Q合系統(tǒng)3。主振蕩器能量光纖2最大承受峰值功率5KW，長度為2m，使808nm泵浦光在傳輸過程中變得非常均勻，損耗小于1%。均勻的808nm泵浦光通過主振蕩器耦合系統(tǒng)3進入主振蕩器激光晶體4。主振蕩器耦合系統(tǒng)3的耦合比例為1:2 (或其它比例)，所以在晶體中的最小光斑直徑為1.2mm。
[0060]主振蕩器激光晶體4為Nd = YAG晶體，摻雜原子分數(shù)為0.8%，直徑為3mm，長度為30mm。Nd: YAG晶體面向泵浦光端面鍍1064nm全反膜(R≥99.9%)和808nm高透模(T≥99.8%); —端面鍍1064nm增透膜(T≥99.9%)和808nm增透模(T≥99.9%)。主振蕩器激光晶體4由一片40W功率半導體制冷片制冷，溫度控制在23°C。
[0061]主振蕩器諧振腔由主振蕩器激光晶體4左端面和平凹輸出鏡8組成。平凹輸出鏡8曲率半徑為200mm，平凹輸出鏡8面向主振蕩器諧振腔內(nèi)的一面鍍透過70%的1064nm介質(zhì)膜，另一面鍍1064nm增透膜。
[0062]808nm泵浦光泵浦主振蕩器激光晶體4，使其粒子數(shù)反轉，發(fā)射激光，激光通過第一偏振片5起偏,偏振方向為水平方向，水平方向的激光通過第一四分之一波片6,偏振方向旋轉45°，此時普克爾盒7中KD*P晶體上并未加3800V高壓，相當于平片，激光通過KD*P晶體偏振方向不改變，經(jīng)主振蕩器激光晶體4鍍?nèi)茨っ娣瓷湓僖淮瓮ㄟ^第一四分之一波片6,偏振方向再次旋轉45° ,此時，與偏振片5透光方向恰好成90° ,激光不能通過。在NdiYAG晶體上能級粒子數(shù)達到最大時，此時給KD*P晶體加上3800V高壓，激光通過平凹輸出鏡8，輸出1064nm激光。
[0063]在輸入電流100A，重復頻率20Hz時，仔細調(diào)節(jié)平凹輸出鏡8，使其輸出能量最大，并且通過CCD觀察輸出光斑,使光斑最圓。然后逐漸加大電流,在120A時,輸出最大單脈沖能量8mJ,輸出光斑直徑為1.2mm,偏振方向為水平方向。
[0064]主振蕩器輸出種子光，經(jīng)擴束系統(tǒng)9擴束后,光斑直徑擴大到3.6mm,擴束系統(tǒng)9的擴束比例為1:3。經(jīng)第一 45°全反鏡10、第二 45°全反鏡11、第二偏振片12、第二四分之一波片13進入功率放大器激光晶體14，功率放大器激光晶體14為Nd = YAG晶體，其摻雜原子分數(shù)為0.8%，直徑為5mm，長度為60mm。功率放大器激光晶體14雙端面鍍1064nm增透膜(T 99.9%)和808nm增透膜(T 99.9%)，功率放大器激光晶體14由一片40W功率半導體制冷片制冷，溫度控制在23°C。經(jīng)功率放大器激光晶體14雙程放大后的種子光經(jīng)偏振片18反射輸出，輸出最大單沖能量為81mJ，功率放大器光光轉換效率達到17%。輸出遠場光斑，X方向光束質(zhì)量為1.5，Y方向光束質(zhì)量為1.6。通過DG535控制功率放大器泵浦和主振蕩器調(diào)Q之間的延時，使輸出單脈沖能量最大，由于電光調(diào)Q上升沿快，所以外觸發(fā)與出光時間抖動為十幾ns。
[0065]實施例二:
[0066]圖2為實施例2主振蕩功率放大器的無水冷激光器的光路結構示意圖，如圖2所示，無水冷激光器包括:
[0067]主振蕩器泵浦源I ;主振蕩器能量光纖2 ;主振蕩器耦合系統(tǒng)3 ;主振蕩器激光晶體4 ;第一偏振片5 ;Cr4+:YAG被動調(diào)Q晶體6 ;平凹輸出鏡8 ;擴束系統(tǒng)9 ;第一 45°全反鏡10 ;第二 45°全反鏡11 ;第二偏振片12 ;第二四分之一波片13 ;功率放大器激光晶體14 ；功率放大器耦合系統(tǒng)15 ;功率放大器能量光纖16 ;功率放大器泵浦源17 ;第三偏振片18。
[0068]與實施例一相同的部件，其結構、功能以及效果也與實施例一相同，因此，本實施例不再詳細描述。實施例一與實施例二的區(qū)別在于:實施例二沒有使用第一四分之一波片6和普克爾盒7，而是采用了 Cr4+: YAG被動調(diào)Q晶體19，Cr4+: YAG被動調(diào)Q晶體19初始透過率為30%，厚度為3mm，平 面輸出鏡對1064nm透過率為50%，主振蕩器激光晶體4左端面和平凹輸出鏡8構成的諧振腔長13cm。在輸入電流120A，重復頻率20Hz時，輸出單脈沖能量5mJ,經(jīng)功率放大系統(tǒng)放大后輸出能量達55mJ。
[0069]實施例一和實施例二中，主振蕩器激光晶體4和功率放大器激光晶體14還可以為Nd: YLF，泵浦光的波長改為798nm，泵浦寬度480 μ s以及換相應的鏡片鍍膜參數(shù)，可以輸出低重頻、大能量、高光束質(zhì)量的1053nm激光。
[0070]盡管為示例目的，已經(jīng)公開了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，本領域的技術人員將意識到各種改進、增加和取代也是可能的，因此，本發(fā)明的范圍應當不限于上述實施例。
【權利要求】
1.一種無水冷激光器，其特征在于，包括: 主振蕩器泵浦源(I)，用于提供泵浦光； 主振蕩器能量光纖(2)，用于對主振蕩器泵浦源(I)輸出的泵浦光進行傳輸和勻化；主振蕩器耦合系統(tǒng)(3)，用于將主振蕩器能量光纖(2)傳輸?shù)谋闷止怦詈线M主振蕩器激光晶體(4)； 主振蕩器激光晶體(4)，用于提供主振蕩器增益； 第一偏振片(5),用于使主振蕩器激光晶體(4)輸出的激光起偏,偏振方向為水平方向； 第一四分之一波片(6)，用于使來自第一偏振片(5)的激光偏振方向旋轉45° ; 普克爾盒(7)，用于在主振蕩器激光晶體(4)上的能級粒子數(shù)達到最大時，控制平凹輸出鏡(8)輸出激光； 平凹輸出鏡(8)，與主振蕩器激光晶體(4)的左端面構成主振蕩器諧振腔，透過部分激光，輸出種子光，偏振方向為水平方向； 擴束系統(tǒng)(9)，對平凹輸出鏡(8)輸出種子光進行擴束； 第一 45°全反鏡(10)和第二 45°全反鏡(11)，對擴束后的種子光進行全反射，使其射入第二偏振片(12)； 第二偏振片(12 )，透射水平方向的種子光，反射垂直方向的種子光； 第二四分之一波片(13);使通過其的種子光偏振態(tài)旋轉45° ; 功率放大器激光晶體(14)，用于對第二四分之一波片(13)傳輸?shù)姆N子光進行放大；放大后種子光再次通過第二四分之一波片(13)，其偏振態(tài)再次旋轉45°，成為垂直方向的種子光，第二偏振片(12)將其反射至第三偏振片(18)，經(jīng)第三偏振片(18)反射輸出放大光；功率放大器泵浦源(17);用于提供泵浦光； 功率放大器能量光纖(16);用于對功率放大器泵浦源(17)輸出的泵浦光進行傳輸和勻化； 功率放大器稱合系統(tǒng)(15),用于將功率放大器能量光纖(16)傳輸?shù)谋闷止夥Q合進功率放大器激光晶體(14)。
2.如權利要求1所述的無水冷激光器，其特征在于，主振蕩器泵浦源(I)提供峰值功率(500W的泵浦光，泵浦光脈沖寬度為100-480 μ s ;主振蕩器泵浦源(I)由半導體制冷片制冷; 功率放大器泵浦源(17)提供峰值功率< 2000W的泵浦光，泵浦光脈沖寬度為100-480 μ S。
3.如權利要求1所述的無水冷激光器，其特征在于，主振蕩器能量光纖(2)的纖芯直徑為600-1000 μ m ;功率放大器能量光纖(16)的纖芯直徑為800-1000 μ m。
4.如權利要求1所述的無水冷激光器，其特征在于，主振蕩器耦合系統(tǒng)(3)的耦合比例為1:2 ;功率放大器耦合系統(tǒng)(15)的耦合比例為1:4。
5.如權利要求1所述的無水冷激光器，其特征在于，主振蕩器激光晶體(4)或功率放大器激光晶體(14)為Nd = YAG晶體；Nd:YAG晶體面向泵浦光端面鍍1064nm全反膜和808nm高透模；另一端面鍍1064nm增透膜和808nm增透模；功率放大器激光晶體(14)雙端面鍍1064nm增透膜和808nm增透膜；主振蕩器激光晶體(4)或功率放大器激光晶體(14)由半導體制冷片制冷。
6.如權利要求1所述的無水冷激光器，其特征在于，主振蕩器激光晶體(4)或功率放大器激光晶體(14)為Nd:YLF。
7.如權利要求1所述的無水冷激光器，其特征在于，平凹輸出鏡(8)向主振蕩器諧振腔內(nèi)的一面鍍透過70%的1064nm介質(zhì)膜,另一面鍍1064nm增透膜。
8.如權利要求5所述的無水冷激光器，其特征在于，普克爾盒(7)中調(diào)Q晶體為KD*P晶體；主振蕩器激光晶體(4)，發(fā)射激光，激光通過第一偏振片(5)起偏，偏振方向為水平方向，水平方向的激光通過第一四分之一波片(6)，偏振方向旋轉45° ;此時普克爾盒(7)中KD*P晶體上并未施加電壓，相當于平片，激光通過KD*P晶體偏振方向不改變，經(jīng)主振蕩器激光晶體(4)鍍?nèi)茨っ娣瓷湓僖淮瓮ㄟ^第一四分之一波片(6)，偏振方向再次旋轉45°，與第一偏振片(5)透光方向恰好成90° ,激光不能通過；當在Nd: YAG晶體上能級粒子數(shù)達到最大時，給普克爾盒(7)中KD*P晶體施加電壓，普克爾盒(7)相當于四分之一波片，激光通過平凹輸出鏡(8)輸出。
9.如權利要求1所述的無水冷激光器，其特征在于，擴束系統(tǒng)(9)的擴束比例為1:3。
10.如權利要求1-9任一項所述的無水冷激光器，其特征在于，用Cr4+:YAG被動調(diào)Q晶體(19)代替所述第 一四分之一波片(6)和普克爾盒(7)。
【文檔編號】H01S5/024GK103457152SQ201310369428
【公開日】2013年12月18日 申請日期:2013年8月22日 優(yōu)先權日:2013年8月22日
【發(fā)明者】毛小潔, 秘國江, 龐慶生, 鄒躍, 劉鐵軍 申請人:中國電子科技集團公司第十一研究所