專利名稱：晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，特別是一種在抵推板的抵持凸緣裝設(shè)一抵靠件來避免所述抵推板直接接觸晶圓片的抵推裝置的組合構(gòu)造。
背景技術(shù)：
為避免晶圓片在運送過程中受到污染及碰撞，現(xiàn)有晶圓代工廠會利用一可運送及可密封的晶圓盒來放置及運送晶圓片。而常見的晶圓盒，其包含一盒罩、一晶圓放置架及一底座，其中所述晶圓放置架用以承載晶圓，通過所述晶圓放置架置放于所述盒罩及底座之間，并將三者組裝成一體。晶圓盒在運送過程中為避免晶圓片表面與所述晶圓放置架產(chǎn)生磨擦，因此晶圓盒的盒罩內(nèi)側(cè)會加設(shè)一抵推裝置，通過所述抵推裝置可將晶圓片確實、牢固的抵持限位于所述晶圓放置架內(nèi)。舉例而言，如圖1所示的中國臺灣專利公告第M347674號揭示一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其包含一抵推板11及一支撐板12。所述抵推板11用以接觸及抵推晶圓片，所述支撐板12可活動的設(shè)于一晶圓盒的盒罩內(nèi)側(cè)，通過相關(guān)構(gòu)件(圖未示)使上述二者組裝成一體。由于為了達到可隨時監(jiān)測晶圓放置架上的晶圓片，因此所述抵推板11由透視性佳的高分子材料，比如:聚對苯二甲酸乙二酯(PET)或聚碳酸酯樹脂(PC)經(jīng)塑料射出機加工而呈一體成形，其具有一抵持部111。所述抵推板11通過所述抵持部111來抵推晶圓片與所述晶圓放置架確實、牢固的抵持。然而，每一晶圓片經(jīng)加工后欲放入晶圓盒時，其表面溫度約為攝氏60度左右，因此所述抵持部111抵推晶圓片時，所述抵持部111表面經(jīng)常遭受晶圓片的燙觸而造成微熔凹損。此外，每一晶圓片經(jīng)加工后其邊緣處皆相當(dāng)鋒利，所述抵持部111表面經(jīng)常遭受晶圓片的刮損而產(chǎn)生粉塵，進而污染到晶圓盒內(nèi)的晶圓片。故，有必要提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺陷。

實用新型內(nèi)容本實用新型的主要目的在于提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其在所述抵推板的抵持凸緣裝設(shè)一抵靠件，通過所述抵靠件的抵靠條來抵推表面溫度高又尖銳的晶圓片，使抵持凸緣可不需直接接觸晶圓片而避免抵持凸緣遭受燙觸而造成凹損，以及防止抵持凸緣遭受刮損而產(chǎn)生粉塵的情形。本實用新型的次要目的在于提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其在所述抵靠件的結(jié)合柱的基部設(shè)有一間隔凸端，借此使所述抵靠條通過其結(jié)合柱而與所述抵持凸緣組裝成一體，但所述抵靠條與所述抵持凸緣之間仍間隔一設(shè)定距離，以避免晶圓盒在清洗時水分殘留在所述抵靠條與所述抵持凸緣之間的間隙里。本實用新型的另一目的在于提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其在所述抵靠條與所述抵持凸緣組裝成一體時，在抵靠條的結(jié)合柱尾部再裝設(shè)一鎖固條。由于所述鎖固條與所述抵靠條的結(jié)合柱為緊密配合，使抵靠條與所述抵持凸緣之間的結(jié)合更為牢固。本實用新型的又一目的在于提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其在所述鎖固條欲與所述抵持凸緣接觸的一側(cè)設(shè)有一間隔凸端，借此使所述抵靠條、所述抵持凸緣與鎖固條組裝成一體，但所述鎖固條與所述抵持凸緣之間仍間隔一設(shè)定距離，以避免晶圓盒在清洗時水分殘留在所述鎖固條與所述抵持凸緣之間的間隙里。為達上述目的，本實用新型提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其包含一抵推板及一抵靠件。所述抵推板具有一抵持凸緣及多個組合孔，所述抵持凸緣凸設(shè)于所述抵推板的一側(cè)，所述組合孔開設(shè)在所述抵持凸緣上。所述抵靠件具有一抵靠條及多個結(jié)合柱，所述結(jié)合柱凸設(shè)在所述抵靠條的一側(cè)，并可移動的插設(shè)結(jié)合于所述抵推板的抵持凸緣的組合孔內(nèi)。在本實用新型的一實施例中，所述抵靠件的各結(jié)合柱的一基部設(shè)有一間隔凸端。在本實用新型的一實施例中，所述抵靠件為一體成形的工程塑料條狀物。在本實用新型的一實施例中，另設(shè)有一鎖固條，其位于所述抵推板的另一側(cè)，且具有多個鎖固孔，以便緊配合結(jié)合所述抵靠件的結(jié)合柱。在本實用新型的一實施例中，所述鎖固條的各鎖固孔的一基部設(shè)有一間隔凸端。在本實用新型的一實施例中，所述鎖固條為一體成形的高分子材料條狀物。為達上述目的，本實用新型提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其包含一抵推板、一抵靠件及一鎖固條。所 述抵推板具有一抵持凸緣及多個組合孔，所述抵持凸緣凸設(shè)于所述抵推板的一側(cè)，所述組合孔開設(shè)在所述抵持凸緣上。所述抵靠件具有一抵靠條及多個結(jié)合柱，所述結(jié)合柱凸設(shè)在所述抵靠條的一側(cè)，并可移動的插設(shè)結(jié)合于所述抵推板的抵持凸緣的組合孔內(nèi)。所述鎖固條位于所述抵推板的另一側(cè)，且具有多個鎖固孔，以便緊配合結(jié)合所述抵靠件的結(jié)合柱。

圖1，現(xiàn)有的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造的立體分解圖。圖2，本實用新型較佳實施例的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造的立體分解圖。圖3，本實用新型較佳實施例的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造的分解側(cè)視圖。主要組件符號說明:11抵推板111抵持部12支撐板2 抵推板21抵持凸緣211組合孔3 抵靠件31抵靠條32結(jié)合柱32a間隔凸端4 鎖固條41鎖固孔41a間隔凸端
具體實施方式
為了使本實用新型的上述及其它目的、特征、優(yōu)點能更明顯易懂，下文將特舉本實用新型較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下。請參考附圖2、3所示，其分別揭示本實用新型較佳實施例的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造的立體分解圖及分解側(cè)視圖。本實用新型較佳實施例的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造包含一抵推板2、一抵靠件3及一鎖固條4。在本實施例中，所述抵推板2由透視性佳的高分子材料制成，譬如:聚對苯二甲酸乙二酯(PET)或聚碳酸酯樹脂(PC)經(jīng)塑料射出機加工而呈一體成形的片狀物，且所述抵推板2具有一抵持凸緣21。再者，所述抵靠件3的材質(zhì)的耐熱性及耐磨損性需高于所述抵推板2的材質(zhì)。所述抵靠件3由耐高溫、耐磨損的工程塑料制成，譬如:具有酮類及酚的官能基的半結(jié)晶型工程塑料(PEEK)經(jīng)塑料射出機加工而呈一體成形的條狀物，且所述工程塑料優(yōu)選的也取材自透視性佳的種類。所述抵靠件3具有一抵靠條31及多個結(jié)合柱32。另外，所述鎖固條4由高分子材料制成，譬如:聚對苯二甲酸乙二酯(PET)或聚碳酸酯樹脂(PC)經(jīng)塑料射出機加工而呈一體成形的條狀物，且所述鎖固條4具有多個鎖固孔41。如附圖2及3所示，在所述抵推板2的抵持凸緣21的表面設(shè)有多個組合孔211。所述抵靠件3的結(jié)合柱32的數(shù)量及位置則對應(yīng)所述抵持凸緣21的組合孔211來設(shè)置。而所述鎖固條4的鎖固孔41的數(shù)量及位置則對應(yīng)所述抵靠件3的結(jié)合柱32來設(shè)置，所述鎖固孔41的孔徑稍小于所述結(jié)合柱32的外徑。本實用新型第一實施例的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造的組裝，依序先將所述抵靠件3的結(jié)合柱32對準插入所述抵推板2的抵持凸緣21上的組合孔211，使所述抵靠條31與所述抵推板2組裝在一起；此時再把所述鎖固條4的鎖固孔41由所述抵推板2的背面對準所述抵推板2的結(jié)合柱32，使所述結(jié)合柱32緊配合的結(jié)合在所述鎖固孔41內(nèi)，通過上述步驟使所述抵推板2的抵持凸緣21、所述抵靠件3及所述鎖固條4三者組裝在一起。在另一實施方式中，所述鎖固孔41的孔徑也可等于所述結(jié)合柱32的外徑，并利用黏膠、螺紋結(jié)合或熱熔處理端部等方式來結(jié)合所述鎖固孔41及結(jié)合柱32。請再參考附圖2、3所示，本實用新型另一實施例的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其中所述抵靠件3的結(jié)合柱32的基部設(shè)有一間隔凸端32a，借此使所述抵靠件3的抵靠條31通過其結(jié)合柱32而與所述抵持凸緣21組裝成一體，但所述抵靠條31與所述抵持凸緣21之間仍間隔一設(shè)定距離，以避免晶圓盒在清洗時水分殘留在所述抵靠條與所述抵持凸緣之間的間隙里。此外，所述鎖固條4的鎖固孔41基部設(shè)有一間隔凸端41a，借此使所述抵靠條31、所述抵持凸緣21與鎖固條4組裝成一體，由于所述鎖固條4與所述抵持凸緣21之間仍間隔一設(shè)定距離，同樣可避免晶圓盒在清洗時水分殘留在所述鎖固條與所述抵持凸緣之間的間隙里。如上所述，相較于現(xiàn)有的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，本實用新型的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造通過在所述抵推板的抵持凸緣裝設(shè)一抵靠件，通過所述抵靠件的抵靠條來抵推表面溫度高又尖銳的晶圓片，使抵持凸緣可不需直接接觸晶圓片而避免遭受燙觸而造成凹損，以及遭受刮損而產(chǎn)生粉塵的情形。并于所述抵靠條與所述抵持凸緣組裝成一體時，在抵靠條的結(jié)合柱尾部再裝設(shè)一鎖固條。由于所述鎖固條與所述抵靠條的結(jié)合柱為緊密配合，使抵靠條與所述抵持凸緣之間的結(jié)合更為牢固。此外，本實用新型另在所述抵靠件的結(jié)合柱的基部及所述鎖固條的鎖固孔的基部分別設(shè)有一間隔凸端，以避免晶圓盒在清洗時水分分別殘留在所述抵靠條與所述抵持凸緣之間以及所述抵持凸緣與所述鎖固條之間的間隙里。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施例，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，所述晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造包含: 一抵推板，具有一抵持凸緣及多個組合孔，所述抵持凸緣凸設(shè)于所述抵推板的一側(cè)，所述組合孔開設(shè)在所述抵持凸緣上；以及 一抵靠件，具有一抵靠條及多個結(jié)合柱，所述結(jié)合柱凸設(shè)在所述抵靠條的一側(cè)，并可移動的插設(shè)結(jié)合于所述抵推板的抵持凸緣的組合孔內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，所述抵靠件的各結(jié)合柱的一基部設(shè)有一間隔凸端。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，所述抵靠件為一體成形的工程塑料條狀物。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，另設(shè)有一鎖固條，所述鎖固條位于所述抵推板的另一側(cè)，且具有多個鎖固孔，以便緊配合結(jié)合所述抵靠件的結(jié)合柱。
5.如權(quán)利要求4所述的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，所述鎖固條的各鎖固孔的一基部設(shè)有一間隔凸端。
6.如權(quán)利要求4所述的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，所述鎖固條為一體成形的高分子材料條狀物。
7.一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，所述晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造包含:一抵推板，具有一抵持凸緣及多個組合孔，所述抵持凸緣凸設(shè)于所述抵推板的一側(cè)，所述組合孔開設(shè)在所述抵持凸緣上； 一抵靠件，具有一抵靠條及多個結(jié)合柱，所述結(jié)合柱凸設(shè)在所述抵靠條的一側(cè)，并可移動的插設(shè)結(jié)合于所述抵推板的抵持凸緣的組合孔內(nèi)；以及 一鎖固條，位于所述抵推板的另一側(cè)，且具有多個鎖固孔，以便緊配合結(jié)合所述抵靠件的結(jié)合柱。
8.如權(quán)利要求7所述的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，所述抵靠件的各結(jié)合柱的一基部設(shè)有一間隔凸端。
9.如權(quán)利要求7所述的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，所述鎖固條的各鎖固孔的一基部設(shè)有一間隔凸端。
10.如權(quán)利要求7所述的晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其特征在于，所述抵靠件為一體成形的工程塑料條狀物；及所述鎖固條為一體成形的高分子材料條狀物。
專利摘要一種晶圓盒的抵推裝置的組合構(gòu)造，其包含一抵推板、一抵靠件及一鎖固條。所述抵推板具有一抵持凸緣。所述抵靠件具有一抵靠條及多個結(jié)合柱。所述鎖固條具有多個鎖固孔。通過所述抵推板的抵持凸緣與所述抵靠件的抵靠條以及所述鎖固條組裝在一起，以避免所述抵推板直接接觸高溫又尖銳的晶圓片，可進而減少所述抵持凸緣遭受燙觸而造成凹損，以及防止所述抵持凸緣遭受刮損而產(chǎn)生粉塵。
文檔編號H01L21/673GK202957226SQ201220607119
公開日2013年5月29日 申請日期2012年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月16日
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