專利名稱：硅片儲存盒定位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備，尤其涉及一種用于輔助前開式硅片儲存盒精確定位于儲存柜的底座上的硅片儲存盒定位裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，自動化程度的提高，半導(dǎo)體的生產(chǎn)要求也越來越高，對半導(dǎo)體設(shè)備的穩(wěn)定性也有了更高的要求，尤其在FAB(即半導(dǎo)體制造工廠)中，設(shè)備的停機(jī)時間會直接影響到生產(chǎn)效率，甚至造成一定的經(jīng)濟(jì)損失?，F(xiàn)有的用于放置前開式硅片儲存盒的儲存柜僅僅依靠三個對應(yīng)所述前開式硅片儲存盒底座上的定位孔的突出腳達(dá)到定位目的，放置所述前開式硅片儲存盒時，由于所述前開式硅片儲存盒的阻擋，人眼不能直接目視所述前開式硅片儲存盒的底面，導(dǎo)致調(diào)節(jié)所述前開式硅片儲存盒位置的時間過長，引起所述儲存柜入口的安全光柵觸發(fā)引起故障，或 者由于所述前開式硅片儲存盒放置不當(dāng)，當(dāng)入口托盤升起托送前開式硅片儲存盒時，引起機(jī)臺故障。因此，如何提供一種能夠精確定位前開式硅片儲存盒在儲存柜中的位置的硅片儲存盒定位裝置是本領(lǐng)域的技術(shù)人員亟待解決的一個技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片儲存盒定位裝置，以解決前開式硅片儲存盒放置于儲存柜時定位時間過長且定位不準(zhǔn)確的問題。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種硅片儲存盒定位裝置，安裝于儲存盒的底座上，用于輔助前開式硅片儲存盒精確定位于儲存柜的底座上，包括左定位單元和右定位單元，所述左、右定位單元相對間隔設(shè)置于所述底座上與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角相對應(yīng)的位置，所述左、右定位單元的內(nèi)側(cè)邊緣分別與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角邊緣相匹配。較佳地，所述儲存柜的底座包括若干定位腳，所述左、右定位單元的高度低于或等于所述定位腳的高度。較佳地，所述儲存柜的底座包括若干定位腳，所述左、右定位單元的高度高于所述定位腳的高度，且高度差小于5mm。較佳地，所述左、右定位單元分別包括固定部分和限位部分，所述固定部分固定于所述底座上，所述限位部分固定于所述固定部分，所述限位部分的內(nèi)側(cè)邊緣分別與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角邊緣相匹配。較佳地，所述限位部分采用特氟龍材料，較佳地，所述固定部分采用鋁材料。較佳地，所述限位部分朝向所述前開式硅片儲存盒的放置方向的邊緣均設(shè)有倒角。[0013]較佳地，所述限位部分與所述固定部分采用螺絲固定，所述固定部分與所述底座采用螺絲固定。較佳地，與所述螺絲相匹配的螺孔均采用橢圓螺絲孔。較佳地，所述左和/或右定位單元的底部設(shè)有供線纜穿出的凹槽。本實(shí)用新型提供的硅片儲存盒定位裝置，安裝于儲存柜的底座上，用于輔助前開式硅片儲存盒精確定位于儲存柜的底座上，包括左定位單元和右定位單元，所述左、右定位單元相對間隔設(shè)置于所述底座上與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角相對應(yīng)的位置，所述左、右定位單元的內(nèi)側(cè)邊緣分別與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角邊緣相匹配。這樣，將所述前開式硅片儲存盒放于所述儲存柜的過程中由于所述左、右定位單元的阻擋定位作用，避免由于所述前開式硅片儲存盒防止不當(dāng)引起的機(jī)械故障，節(jié)省操作時間，保證生產(chǎn)順利進(jìn)行。

圖I為本實(shí)用新型一實(shí)施例的硅片儲存盒定位裝置安裝于儲存柜的示意圖；圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的硅片儲存盒定位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-底座、2-托盤、3-定位腳、4-左定位單元、5-右定位單元、6-固定部分、7-限位部分、8-倒角、9-橢圓螺絲孔、10-凹槽。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。本實(shí)用新型提供的硅片儲存盒定位裝置，如圖I所示，安裝于儲存柜的底座I上，用于輔助前開式硅片儲存盒精確定位于儲存柜的底座I上，包括左定位單元4和右定位單元5，所述左、右定位單元4、5相對間隔設(shè)置于所述底座I上與所述前開式硅片儲存盒(圖中未示出)的兩個頂角相對應(yīng)的位置，所述左、右定位單元4、5的內(nèi)側(cè)邊緣分別與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角邊緣相匹配。將所述前開式硅片儲存盒放于所述儲存柜的過程中由于所述左、右定位單元4、5的阻擋定位作用，避免由于所述前開式硅片儲存盒防止不當(dāng)弓丨起的機(jī)械故障，節(jié)省操作時間，保證生產(chǎn)順利進(jìn)行。較佳地，如圖I所示，所述儲存柜的底座包括若干定位腳3，所述左、右定位單元4、5的高度低于或等于所述定位腳3的高度或所述左、右定位單元4、5的高度高于所述定位腳的高度，且高度差小于5_。具體地，所述左、右定位單元4、5的高度可以低于或略高于所述定位腳3的高度，本實(shí)施例中，所述左、右定位單元4、5的高度均為65. 2mm,略高于所述定位腳3的高度，當(dāng)所述儲存柜上的托盤2升起帶動所述前開式硅片儲存盒被抬升并進(jìn)行水平運(yùn)動時，所述左、右定位單元4、5均留有足夠的空間避免影響所述托盤2的正常運(yùn)行即可。較佳地，如圖2所示，所述左、右定位單元4、5分別包括固定部分6和限位部分7，所述固定部分6固定于所述儲存柜的底座I上，所述限位部分7固定于所述固定部分6上，具體地，所述限位部分7采用特氟龍材料，所述固定部分6采用鋁材料。所述限位部分7的內(nèi)側(cè)邊緣分別與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角邊緣相匹配，由于所述限位部分7的內(nèi)側(cè)邊緣直接與所述前開式硅片儲存盒接觸，采用特氟龍材料能夠有效的保護(hù)所述前開式硅片儲存盒，避免二者接觸時產(chǎn)生顆粒造成污染，而所述固定部分6采用表面電解的鋁材料，與所述底座I上的入口鋁板(圖中未示出)直接接觸固定，固定效果更佳，且顏色與鋁板類似，更美觀。較佳地，如圖2所示，所述限位部分7朝向所述前開式硅片儲存盒的放置方向的邊緣均設(shè)有倒角8，若放置所述前開式硅片儲存盒時位置稍有偏差，所述前開式硅片儲存盒能夠沿此倒角8的設(shè)計滑至正確的位置。較佳地，如圖2所示，所述限位部分7與所述固定部分6采用螺絲(圖中未示出)固定，所述固定部分6與所述底座I也采用螺絲(圖中未示出)固定，具體地，與所述螺絲相匹配的螺孔均采用橢圓螺絲孔9，可通過所述橢圓螺絲孔9的設(shè)計分別對所述左、右定位單元4、5的固定位置進(jìn)行微調(diào)。較佳地，如圖I所示，所述左和/或右定位單元4和/或5的底部設(shè)有供線纜穿出的凹槽10，所述前開式硅片儲存盒帶有的身份閱讀器的線纜可從所述凹槽10中固定穿出，以免操作過程中將線纜拉斷或壓壞，造成機(jī)器故障。 綜上所述，本實(shí)用新型提供的硅片儲存盒定位裝置，安裝于儲存盒的底座I上，用于輔助前開式硅片儲存盒精確定位于儲存柜的底座I上，包括左定位單元4和右定位單元5，所述左、右定位單元4、5相對間隔設(shè)置于所述底座I上與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角相對應(yīng)的位置，所述左、右定位單元4、5的內(nèi)側(cè)邊緣分別與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角邊緣相匹配。這樣，將所述前開式硅片儲存盒放于所述儲存柜的過程中由于所述左、右定位單元4、5的阻擋定位作用，避免由于所述前開式硅片儲存盒防止不當(dāng)引起的機(jī)械故障，節(jié)省操作時間，保證生產(chǎn)順利進(jìn)行。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅片儲存盒定位裝置，安裝于儲存柜的底座上，用于輔助前開式硅片儲存盒精確定位于儲存柜的底座上，其特征在于，包括左定位單元和右定位單元，所述左、右定位單元相對間隔設(shè)置于所述底座上與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角相對應(yīng)的位置，所述左、右定位單元的內(nèi)側(cè)邊緣分別與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角邊緣相匹配。
2.如權(quán)利要求I所述的硅片儲存盒定位裝置，其特征在于，所述儲存柜的底座包括若干定位腳，所述左、右定位單元的高度低于或等于所述定位腳的高度。
3.如權(quán)利要求I所述的硅片儲存盒定位裝置，其特征在于，所述儲存柜的底座包括若干定位腳，所述左、右定位單元的高度高于所述定位腳的高度，且高度差小于5_。
4.如權(quán)利要求I所述的硅片儲存盒定位裝置，其特征在于，所述左、右定位單元分別包括固定部分和限位部分，所述固定部分固定于所述底座上，所述限位部分固定于所述固定部分上，所述限位部分的內(nèi)側(cè)邊緣分別與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角邊緣相匹配。
5.如權(quán)利要求4所述的硅片儲存盒定位裝置，其特征在于，所述限位部分采用特氟龍材料。
6.如權(quán)利要求4所述的硅片儲存盒定位裝置，其特征在于，所述固定部分采用鋁材料。
7.如權(quán)利要求4所述的硅片儲存盒定位裝置，其特征在于，所述限位部分朝向所述前開式硅片儲存盒的方向的邊緣均設(shè)有倒角。
8.如權(quán)利要求4所述的硅片儲存盒定位裝置，其特征在于，所述限位部分與所述固定部分采用螺絲固定，所述固定部分與所述底座采用螺絲固定。
9.如權(quán)利要求8所述的硅片儲存盒定位裝置，其特征在于，與所述螺絲相匹配的螺孔均采用橢圓螺絲孔。
10.如權(quán)利要求I 9中任意一項(xiàng)所述的硅片儲存盒定位裝置，其特征在于，所述左和/或右定位單元的底部設(shè)有供線纜穿出的凹槽。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備，尤其涉及一種用于將前開式硅片儲存盒放置于儲存柜時精確定位的硅片儲存盒定位裝置，包括左定位單元和右定位單元，所述左、右定位單元相對間隔設(shè)置于所述底座上與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角相對應(yīng)的位置，所述左、右定位單元的內(nèi)側(cè)邊緣分別與所述前開式硅片儲存盒的兩個頂角邊緣相匹配。這樣，將所述前開式硅片儲存盒放于所述儲存柜的過程中由于所述左、右定位單元的阻擋定位作用，避免由于所述前開式硅片儲存盒防止不當(dāng)引起的機(jī)械故障，節(jié)省操作時間，保證生產(chǎn)順利進(jìn)行。
文檔編號H01L21/683GK202601589SQ20122016432
公開日2012年12月12日 申請日期2012年4月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月17日
發(fā)明者金衛(wèi), 潘達(dá)文, 李炯 申請人:上海華力微電子有限公司