專利名稱：一種晶圓缺陷的檢測系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域，特別涉及一種檢測圖像缺陷的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體集成電路制造中，各工藝過程會(huì)因?yàn)楦鞣N原因而引入微?；蛘呷毕?，隨著對(duì)超大規(guī)模集成電路高集成度和高性能的需求逐漸增加，半導(dǎo)體技術(shù)向著更小的特征尺寸發(fā)展，這些微粒或者缺陷對(duì)集成電路質(zhì)量的影響也日趨顯著，在線缺陷檢測的必要性和重要性與日俱增。在進(jìn)行半導(dǎo)體制造工藝過程中，通過對(duì)晶圓進(jìn)行缺陷檢測來定位并分析引起缺陷的原因，根據(jù)原因找到相應(yīng)的對(duì)策來避免或者減少缺陷的產(chǎn)生，從而保證產(chǎn)品的良率及可靠性，從根本上保證生產(chǎn)的產(chǎn)量與質(zhì)量，從而獲得更高的利潤。
在晶圓的設(shè)計(jì)中，存在不少沿著X或者Y方向重復(fù)的圖形化特征的區(qū)域，如SRAM、 DRAM或flash的區(qū)域，即陣列區(qū)，剩余的區(qū)域被稱作隨機(jī)或邏輯區(qū)。為了實(shí)現(xiàn)更好的敏感度，先進(jìn)的檢查系統(tǒng)采用不同策略來檢查陣列區(qū)。
由于衍射和光強(qiáng)疊加作用，如果物平面上是等間距的條紋或方格，那么這些條紋或方格在焦平面上形成的是一排亮點(diǎn)或一組點(diǎn)陣，各點(diǎn)的位置完全由條紋或方格的空間頻率決定。只要在焦平面上放一塊透明板，在各對(duì)應(yīng)亮點(diǎn)的位置上涂黑，即不讓這些亮點(diǎn)處的光透過，則在像平面上得到的就是刪除了那些條紋或方格的清晰圖像，這就是傅立葉濾波器。
圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中包含傅立葉濾波器的成像系統(tǒng)。來自物平面的光被透鏡I 收集，物平面上的目標(biāo)可以是晶圓。收集透鏡I收集的光可以包括本領(lǐng)域已知的任何合適的折射、反射、散射和衍射光，收集透鏡I收集的光穿過成像系統(tǒng)的傅立葉平面，即焦平面， 傅立葉濾波器設(shè)置在所述焦平面處以阻擋不期望的光。穿過傅立葉濾波器的光被成象透鏡 2聚焦在象平面上，檢測器(未示出)可以設(shè)置在所述象平面處，用以檢測未被傅立葉濾波器阻擋的光。
圖2是現(xiàn)有缺陷掃描設(shè)備圖像處理技術(shù)中的傅立葉濾波器的示意圖，通常包括單一方向的一個(gè)或多個(gè)被配置來阻擋一部分光的阻擋條，通過調(diào)節(jié)阻擋條的間距和位置達(dá)到過濾來自晶圓上的圖形化特征的光的作用。然而，這種傅立葉濾波器只能兼顧一個(gè)方向，如果晶圓上既存在X方向重復(fù)圖形化區(qū)域，又存在y方向重復(fù)圖形化區(qū)域，需要同時(shí)兼顧X方向和y方向，貝1J要將晶圓傳送進(jìn)出掃描機(jī)臺(tái)兩次(一次notch down,—次notch right),降低了設(shè)備產(chǎn)能 。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種通過一次傳送過程就能完成晶圓缺陷檢測的系統(tǒng)和方法。
為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，包括傅立葉濾波器，其包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)阻擋單元，所述阻擋單元為第一方向排列的第一阻擋單元和/或第二方向排列的第二阻擋單元；切換模塊，與所述傅里葉濾波器相連，根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元；以及檢測器，與所述傅立葉濾波器相連，檢測所述傅立葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)。
優(yōu)選的，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元和所述第二方向排列的第二阻擋單元。
優(yōu)選的，當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外。
優(yōu)選的，當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外以將所述阻擋單元切換為所述第二阻擋單元；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外以將所述阻擋單元切換為所述第一阻擋單元。
優(yōu)選的，所述第一方向排列的第一阻擋單元與所述第二方向排列的第二阻擋單元位于不同平面。
優(yōu)選的，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元或所述第二方向排列的第二阻擋單元。
優(yōu)選的，當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第一方向排列的第一阻擋單元旋轉(zhuǎn)至所述第二方向，以切換為所述第二方向排列的第二阻擋單元；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第二方向排列的第二阻擋單元旋轉(zhuǎn)至所述第一方向，以切換為所述第一方向排列的第一阻擋單元。
優(yōu)選的，所述傅立葉濾波器還包括環(huán)繞所述阻擋單元周圍并連接所述阻擋單元的支撐單元；所述切換模塊與所述支撐單元相連。
優(yōu)選的，所述切換模塊通過旋轉(zhuǎn)所述支撐單元以旋轉(zhuǎn)所述阻擋單元。
本發(fā)明進(jìn)一步提供一種晶圓缺陷檢測方法，應(yīng)用于晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，所述檢測系統(tǒng)包括傅立葉濾波器，其包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)阻擋單元，所述阻擋單元為第一方向排列的第一阻擋單元和/或第二方向排列的第二阻擋單元，所述檢測方法包括以下步驟根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元； 以及檢測所述傅立葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)。
優(yōu)選的，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元和所述第二方向排列的第二阻擋單元，其中根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元的步驟包括當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外。
優(yōu)選的，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元和所述第二方向排列的第二阻擋單元，其中根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單 元或所述第二阻擋單元的步驟包括當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外。
優(yōu)選的，所述第一方向排列的第一阻擋單元與所述第二方向排列的第二阻擋單元位于不同平面。
優(yōu)選的，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元或所述第二方向排列的第二阻擋單元，其中根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元的步驟包括當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，將所述第一方向排列的第一阻擋單元旋轉(zhuǎn)至所述第二方向，以切換為所述第二方向排列的第二阻擋單元；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，將所述第二方向排列的第二阻擋單元旋轉(zhuǎn)至所述第一方向，以切換為所述第一方向排列的第一阻擋單元。
優(yōu)選的，所述傅立葉濾波器還包括環(huán)繞所述阻擋單元周圍并連接所述阻擋單元的支撐單元。
優(yōu)選的，通過旋轉(zhuǎn)所述支撐單元以將所述阻擋單元切換為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元。
優(yōu)選的，所述第二方向與所述第一方向垂直。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于通過切換第一方向排列的第一阻擋單元或第二方向排列的第二阻擋單元，能夠靈活選擇缺陷檢測時(shí)光強(qiáng)信號(hào)阻擋濾波的方向，以獲取不同方向圖形上的晶圓缺陷。進(jìn)一步的，本發(fā)明能夠在晶圓的一次傳送過程中完成晶圓不同方向圖形上的缺陷檢測，提聞了設(shè)備廣能。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中包含傅立葉濾波器的光學(xué)成像系統(tǒng)示意圖。
圖2為現(xiàn)有技術(shù)中傅立葉濾波器的示意圖。
圖3為本發(fā)明實(shí)施例晶圓缺陷檢測系統(tǒng)的方塊圖。
圖4和圖5為本發(fā)明第一實(shí)施例晶圓缺陷檢測系統(tǒng)中傅立葉濾波器的示意圖。
圖6和圖7為本發(fā)明第二實(shí)施例晶圓缺陷檢測系統(tǒng)中傅立葉濾波器的示意圖。
圖8為本發(fā)明實(shí)施例晶圓缺陷檢測方法的流程圖。
圖9為本發(fā)明另一實(shí)施例晶圓缺陷檢測方法的流程圖。
圖10為本發(fā)明另一實(shí)施例晶圓缺陷檢測方法的流程圖。
具體實(shí)施方式
為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
請(qǐng)參考圖3，其顯示為本發(fā)明晶圓缺陷檢測系統(tǒng)的方塊圖，晶圓缺陷檢測系統(tǒng)包括傅里葉濾波器1，切換模塊2以及檢測器3。本發(fā)明中，傅立葉濾波器一般定義為光阻阻擋裝置，在光系統(tǒng)的焦平面處阻擋不期望的光強(qiáng)信號(hào)，穿過傅立葉濾波器的光被成象透鏡聚焦在象平面上，檢測器3設(shè)置在象平面處，用以檢測未被傅立葉濾波器阻擋的光強(qiáng)信號(hào)。傅立葉濾波器I包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的 多個(gè)阻擋單元，阻擋單元為第一方向排列第一阻擋單元和/或第二方向排列第二阻擋單元，通過這些不同方向阻擋單元，可實(shí)現(xiàn)傅里葉濾波器的阻擋濾波功能。切換模塊2與傅里葉濾波器1相連，根據(jù)檢測方向?qū)⒆钃鯁卧袚Q為第一阻擋單元或第二阻擋單元，從而選擇第二方向的阻擋單元或第一方向的阻擋單元對(duì)重復(fù)周期性圖形化特征的光強(qiáng)信號(hào)進(jìn)行過濾。檢測器3與傅立葉濾波器2相連，檢測傅立葉濾波器2透射的光強(qiáng)信號(hào)，從而檢測第一方向或第二方向圖形上的晶圓缺陷。
由于在晶圓的設(shè)計(jì)中，存在沿著X或者Y方向重復(fù)周期性的圖形化特征的區(qū)域，較佳的，第一方向和第二方向垂直，從而對(duì)晶圓進(jìn)行X方向或Y方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷檢測時(shí)，切換模塊能夠更方便靈活將阻擋單元切換到相應(yīng)位置。
請(qǐng)參考圖4，在本發(fā)明的第一實(shí)施例中，傅立葉濾波器I包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)阻擋單元，阻擋單元為多個(gè)沿X方向排列的第一阻擋單元101和多個(gè)沿Y方向排列的第二阻擋單元102。如圖5所示，當(dāng)檢測方向?yàn)閅方向，也即是想要檢測Y方向重復(fù)周期性圖形上的晶圓缺陷時(shí)，切換模塊將沿Y方向排列的第二阻擋單元102移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外，將阻擋單元切換為沿X方向排列的第一阻擋單元101，來自晶圓Y方向重復(fù)周期性圖形化特征的光強(qiáng)信號(hào)被第一阻擋單元101過濾，從而在Y方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷能夠很容易地從傅里葉濾波器I透射而被檢測器3檢測。當(dāng)對(duì)Y方向重復(fù)周期性圖形上的晶圓缺陷檢測完畢后，切換單元2可重新將第二阻擋單元102移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，將第一阻擋單元101移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外，從而重新將阻擋單元切換為第二阻擋單元102，再進(jìn)行X方向重復(fù)周期性圖形上的晶圓缺陷檢測。同樣的，當(dāng)檢測方向?yàn)閄方向，也即是想要檢測X方向重復(fù)周期性圖形上的晶圓缺陷時(shí)，切換模塊2將沿X 方向排列的阻擋單元101移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外，使得光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)僅有沿 Y方向排列的阻擋單元102，從而將阻擋單元切換為Y方向排列的阻擋單元102。阻擋單元 102能夠過濾來自晶圓的X方向的重復(fù)周期性圖形化特征的光強(qiáng)信號(hào)，因此，在X方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷在經(jīng)傅里葉濾波器1透射后能夠更容易地被檢測器3檢測到。其中， 切換模塊2可以是將第一阻擋單元101或第二阻擋單元102從兩側(cè)移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外，或僅從一側(cè)移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外，本發(fā)明并不限于此。
由此可見，通過本發(fā)明的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，能夠一次對(duì)晶圓X方向重復(fù)圖形化區(qū)域和Y方向重復(fù)圖形化區(qū)域進(jìn)行缺陷檢測。較佳的，傅里葉濾波器1中的X方向排列的阻擋單元101和Y方向排列的阻擋單元102是位于不同平面內(nèi)，從而對(duì)晶圓進(jìn)行不同方向重復(fù)圖形化區(qū)域的缺陷檢測時(shí)，切換模塊能夠更方便靈活地調(diào)節(jié)阻擋單元101和阻擋單元 102，以對(duì)其進(jìn)行切換。
請(qǐng)繼續(xù)參考圖6和圖7，其所示為本發(fā)明另一實(shí)施例的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)。
傅立葉濾波器1包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)阻擋單元，阻擋單元為沿X 方向排列的第一阻擋單元201或多個(gè)沿Y方向排列的第二阻擋單元202。在本實(shí)施例中，以阻擋單元為沿Y方向排列的第二阻擋單元201為例，當(dāng)檢測方向?yàn)檠豗方向時(shí)，也即是想要檢測Y方向重復(fù)周期性圖形上的晶圓缺陷時(shí)，切換模塊2將第二阻擋單元202旋轉(zhuǎn)至X方向，以切換為沿X方向排列的第一阻擋單元201，因此來自晶圓Y方向的重復(fù)周期性圖形化特征的光強(qiáng)信號(hào)在經(jīng)傅里葉轉(zhuǎn)換后能夠被第一阻擋單元201過濾，增強(qiáng)了缺陷的信號(hào)噪聲比，從而增大了 Y方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷被檢測到的概率。較佳的，傅立葉濾波器1還包括環(huán)繞阻擋單元周圍并連接阻擋單元的支撐單元203。切換模塊2與支撐單元203相連，通過旋轉(zhuǎn)支撐單元203來對(duì)阻擋單元進(jìn)行切換，以實(shí)現(xiàn)傅里葉濾波器的阻擋濾波功能。阻擋單元可位于支撐單元203的中心，其中支撐單元可為圓形環(huán)或正方形環(huán)，本發(fā)明并不限于此。檢測器3與傅里葉濾波器I相連，檢測傅里葉濾波器I透射的光強(qiáng)信號(hào)。因此，當(dāng)檢測方向?yàn)閅方向時(shí)，來自晶圓Y方向的重復(fù)周期性圖形化特征的光強(qiáng)信號(hào)被過濾，而Y方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷將從傅里葉濾波器I透射而被檢測器3檢測。
同樣的，當(dāng)檢測方向?yàn)閄方向時(shí)，第一阻擋單元201旋轉(zhuǎn)至Y方向而被切換為第二阻擋單元202，來自晶圓X方向的重復(fù)周期性圖形化特征的光強(qiáng)信號(hào)被過濾，X方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷則從傅里葉濾波器I透射而被檢測器3檢測，因此通過本發(fā)明的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，能夠通過阻擋單元的切換在不同方向上對(duì)重復(fù)周期性圖形化區(qū)域進(jìn)行缺陷檢測。
以下將對(duì)本發(fā)明的應(yīng)用于上述晶圓缺陷檢測系統(tǒng)的晶圓缺陷檢測方法加以詳細(xì)說明，。
本發(fā)明的晶圓缺陷檢測方法包括以下步驟
根據(jù)檢測方向?qū)⒆钃鯁卧袚Q為第一阻擋單元或第二阻擋單元；以及
檢測傅立葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)。
請(qǐng)參考圖8，其所示為本發(fā)明實(shí)施例晶圓缺陷檢測方法的流程圖，本實(shí)施例的晶圓缺陷檢測方法應(yīng)用于本發(fā)明第一實(shí)施例的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，該檢測系統(tǒng)包括傅立葉濾波器，其包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)第一方向排列的第一阻擋單元以及多個(gè)第二方向排列的第二阻擋單元，較佳的，第一方向與第二方向垂直。
檢測方法的步驟包括
步驟SI，根據(jù)檢測方向?qū)⒌谝环较蚺帕械牡谝蛔钃鯁卧虻诙较蚺帕械牡诙钃鯁卧苿?dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外。
步驟S2，檢測傅立葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)。
具體來說，當(dāng)想要檢測晶圓第一方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷，也即是檢測方向?yàn)榈谝环较驎r(shí)，將第一方向排列的第一阻擋單元移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外，使得光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)僅有第二方向排列的第二阻擋單元，由于晶圓第一方向重復(fù)周期性圖形化特征的光強(qiáng)信號(hào)被第二阻擋單元過濾，增強(qiáng)了缺陷的信號(hào)噪聲比，從而增大了第一方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷被檢測到的概率。
當(dāng)想要檢測晶圓第二方 向重復(fù)周期性圖形上的缺陷，也即是檢測方向?yàn)榈诙较驎r(shí)，將第二方向排列的第二阻擋單元移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外，使得光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)僅有第一方向排列的第一阻擋單元，用以阻擋來自晶圓第二方向重復(fù)周期性圖形化特征的信號(hào)，來自晶圓第二方向的重復(fù)周期性圖形上的缺陷能夠更容易地被檢測到。其中，要將第一方向或第二方向排列的阻擋單元移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外時(shí)，可以通過從兩側(cè)將阻擋單元全部移出，或僅從一側(cè)將阻擋單元全部移出的方式，本發(fā)明并不限于此。值得注意的是，第一方向排列的第一阻擋單元和第二方向排列的第二阻擋單元可位于不同平面內(nèi)，因此對(duì)晶圓進(jìn)行不同方向重復(fù)周期性圖形的缺陷檢測時(shí)，能夠更方便靈活地調(diào)節(jié)不同平面的阻擋單元，使其移動(dòng)到相應(yīng)位置。由以上可知，本發(fā)明的缺陷檢測方法能夠滿足不同方向重復(fù)周期性圖形的缺陷檢測需求。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，請(qǐng)參考圖9，當(dāng)想要對(duì)晶圓第一方向重復(fù)周期性圖形化區(qū)域和第二方向重復(fù)周期性圖形化區(qū)域進(jìn)行缺陷檢測時(shí)，包括以下步驟
首先步驟S11，將第一方向排列的第一阻擋單元移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外，
步驟S12，檢測傅里葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)以獲得晶圓第一方向重復(fù)周期性圖形化區(qū)域的缺陷信息。
接著，步驟S13，將第一方向排列的第一阻擋單元移回光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，并將第二方向排列的第二阻擋單元移動(dòng)至光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外，
再進(jìn)行步驟S14，檢測傅里葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)，從而獲得晶圓第二方向重復(fù)周期性圖形化區(qū)域的缺陷信息。因此，通過本發(fā)明的缺陷檢測方法，只需將晶圓傳送進(jìn)出掃描機(jī)臺(tái)一次，就能夠檢測出晶圓上不同方向重復(fù)周期性圖形化區(qū)域的缺陷。
請(qǐng)參考圖10，其所示為本發(fā)明另一實(shí)施例的晶圓缺陷檢測方法的流程圖，本實(shí)施例的晶圓缺陷檢測方法應(yīng)用于本發(fā)明第二實(shí)施例的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，該檢測系統(tǒng)包括傅立葉濾波器，其包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)阻擋單元，阻擋單元為第一方向排列的第一阻擋單元或第二方向排列的第二阻擋單元，第一方向與第二方向垂直。當(dāng)位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)阻擋單元為第一方向排列的第一阻擋單元時(shí)，檢測方法的步驟包括
步驟S21，根據(jù)檢測方向?qū)⒌谝环较蚺帕械牡谝蛔钃鯁卧D(zhuǎn)至第二方向，以切換為第二方向排列的第二阻擋單元；
步驟S22，檢測傅立葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)。
具體來說，當(dāng)想要檢測晶圓第一方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷，也即是檢測方向?yàn)榈谝环较驎r(shí)，將第一方向排列的第一阻擋單元旋轉(zhuǎn)至第二方向，使得光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)第一方向上不存在阻擋單元，因此阻擋單元被切換為第二方向排列的第二阻擋單元，阻擋來自晶圓第一方向的重復(fù)周期性圖形化特征的光強(qiáng)信號(hào)。接著對(duì)傅里葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)進(jìn)行檢測，從而提高晶圓第一方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷被檢測出來的概率。 較佳的，可通過旋轉(zhuǎn)環(huán)繞在阻擋單元周圍并與之連接的支撐單元來達(dá)到旋轉(zhuǎn)阻擋單元的目的。阻擋單元可位于支撐單元的中心，支撐單元可以為圓形環(huán)或正方形環(huán)，本發(fā)明并不限于此。
同樣的，當(dāng)想要檢測晶圓第二方向重復(fù)周期性圖形上的缺陷，也即是檢測方向?yàn)榈诙较驎r(shí)，通過旋轉(zhuǎn)支撐單元將第二方向排列的第二阻擋單元旋轉(zhuǎn)至第一方向，之后進(jìn)行后續(xù)檢測。
綜上，本發(fā)明所提出 的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)和方法，通過切換第一方向的第一阻擋單元或第二方向的第二阻擋單元，能夠靈活選擇阻擋濾波的方向，以獲取不同方向圖形上的晶圓缺陷。進(jìn)一步的，本發(fā)明能夠在晶圓的一次傳送過程中完成晶圓不同方向圖形上的缺陷檢測，提聞了設(shè)備廣能。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述諸多實(shí)施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動(dòng)與潤飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括傅立葉濾波器，其包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)阻擋單元，所述阻擋單元為第一方向排列的第一阻擋單元和/或第二方向排列的第二阻擋單元；切換模塊，與所述傅里葉濾波器相連，根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元；以及檢測器，與所述傅立葉濾波器相連，檢測所述傅立葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元和所述第二方向排列的第二阻擋單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外以將所述阻擋單元切換為所述第二阻擋單元；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外以將所述阻擋單元切換為所述第一阻擋單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第一方向排列的第一阻擋單元與所述第二方向排列的第二阻擋單元位于不同平面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元或所述第二方向排列的第二阻擋單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第一方向排列的第一阻擋單元旋轉(zhuǎn)至所述第二方向，以切換為所述第二方向排列的第二阻擋單元；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，所述切換模塊將所述第二方向排列的第二阻擋單元旋轉(zhuǎn)至所述第一方向，以切換為所述第一方向排列的第一阻擋單元。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述傅立葉濾波器還包括環(huán)繞所述阻擋單元周圍并連接所述阻擋單元的支撐單元；所述切換模塊與所述支撐單元相連。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述切換模塊通過旋轉(zhuǎn)所述支撐單元以旋轉(zhuǎn)所述阻擋單元。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第二方向與所述第一方向垂直。
11.一種晶圓缺陷檢測方法，應(yīng)用于晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，所述檢測系統(tǒng)包括傅立葉濾波器，其包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)阻擋單元，所述阻擋單元為第一方向排列的第一阻擋單元和/或第二方向排列的第二阻擋單元，其特征在于，所述檢測方法包括以下步驟根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元；以及檢測所述傅立葉濾波器透射的光強(qiáng)信號(hào)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶圓缺陷的檢測方法，其特征在于，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元和所述第二方向排列的第二阻擋單元，其中根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元的步驟包括當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶圓缺陷的檢測方法，其特征在于，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元和所述第二方向排列的第二阻擋單元，其中根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元的步驟包括當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，將所述第一阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之內(nèi)，將所述第二阻擋單元移動(dòng)至所述光強(qiáng)信號(hào)采集范圍之外。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的晶圓缺陷的檢測方法，其特征在于，所述第一方向排列的第一阻擋單元與所述第二方向排列的第二阻擋單元位于不同平面。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶圓缺陷的檢測方法，其特征在于，所述阻擋單元為所述第一方向排列的第一阻擋單元或所述第二方向排列的第二阻擋單元，其中根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元的步驟包括當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅谝环较驎r(shí)，將所述第一方向排列的第一阻擋單元旋轉(zhuǎn)至所述第二方向，以切換為所述第二方向排列的第二阻擋單元；當(dāng)所述檢測方向?yàn)樗龅诙较驎r(shí)，將所述第二方向排列的第二阻擋單元旋轉(zhuǎn)至所述第一方向，以切換為所述第一方向排列的第一阻擋單元。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的晶圓缺陷的檢測方法，其特征在于，所述傅立葉濾波器還包括環(huán)繞所述阻擋單元周圍并連接所述阻擋單元的支撐單 元。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的晶圓缺陷的檢測方法，其特征在于，通過旋轉(zhuǎn)所述支撐單元以將所述阻擋單元切換為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元。
18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶圓缺陷的檢測方法，其特征在于，所述第二方向與所述第一方向垂直。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種晶圓缺陷檢測系統(tǒng)，包括傅立葉濾波器，其包括位于光強(qiáng)信號(hào)采集范圍內(nèi)的多個(gè)阻擋單元，所述阻擋單元為第一方向排列的第一阻擋單元和/或第二方向排列的第二阻擋單元；切換模塊，與所述傅里葉濾波器相連，根據(jù)檢測方向?qū)⑺鲎钃鯁卧袚Q為所述第一阻擋單元或所述第二阻擋單元；以及檢測器，檢測傅立葉濾波器透射的光。本發(fā)明還相應(yīng)提供了一種晶圓缺陷檢測方法。通過本發(fā)明的晶圓缺陷檢測系統(tǒng)和方法，在一次傳送過程中就能完成不同方向圖形上的晶圓缺陷檢測，提高了設(shè)備產(chǎn)能。
文檔編號(hào)H01L21/66GK103065993SQ20121058563
公開日2013年4月24日 申請(qǐng)日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月28日
發(fā)明者盧意飛 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司