專利名稱：小型芯片吸嘴的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種專用于對(duì)小型芯片進(jìn)行吸附以便于輸送的吸嘴。
背景技術(shù)：
在芯片的制程中，基于自動(dòng)化、快速、安全輸送的考慮，目前對(duì)于小型芯片的輸送都是采用小型吸嘴來(lái)吸附后再移動(dòng)輸送。圖IA至圖IF顯示現(xiàn)有技術(shù)小型芯片吸嘴的結(jié)構(gòu)與各種形態(tài)，其包含有一固定部A 與一工作部B;該固定部A是用于被固定在輸送裝置的組件，其具有一軸向貫通的通孔Al ； 該工件部B則是用來(lái)與小型芯片接觸的組件，其具有一軸向貫通的微小通孔Bi，該微小通孔Bl的直徑介于0. 05mm 0. 5mm之間，微小通孔Bl的形狀可以如圖IG所示的圓形、圖IH 所示的正方形、圖II所示的長(zhǎng)方形或圖IJ所示的兩端呈半圓弧的長(zhǎng)條形。該工件部B的一端穿入固定部A的通孔Al后予以固定，使固定部A與工件部B形成一整體的吸嘴。固定部A被安裝于輸送裝置，并使固定部A的通孔Al連接至真空泵，輸送裝置驅(qū)動(dòng)吸嘴移動(dòng)至小型芯片所在的位置后，啟動(dòng)真空泵將空氣從微細(xì)通孔Bl吸入而產(chǎn)生真空作用，進(jìn)而將小型芯片吸附，再由輸送裝置對(duì)小型芯片進(jìn)行輸送。前述現(xiàn)有技術(shù)的小型芯片吸嘴存在有以下主要的問(wèn)題一、由于工作部B是用來(lái)與芯片接觸的組件，必須具備耐磨耗的性質(zhì)，因此目前均采用價(jià)格昂貴及加工不易的陶瓷或鎢鋼合金材料制造，成本一直居高不下。二、圖IG至圖IJ所示的圓形、正方形、長(zhǎng)方形與兩端呈半圓弧的長(zhǎng)條形的微細(xì)通孔，無(wú)法完全對(duì)應(yīng)新型芯片結(jié)構(gòu)進(jìn)行吸附的需求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的其中一目的，在于解決現(xiàn)有技術(shù)的小型芯片吸嘴，其工作部必須采用價(jià)格昂貴及加工不易的陶瓷或鎢鋼合金材料制造的問(wèn)題。本實(shí)用新型的另一目的，在于解決現(xiàn)有技術(shù)的小型芯片吸嘴的微細(xì)通孔設(shè)為圓形、正方形、長(zhǎng)方形或兩端呈半圓弧的長(zhǎng)條形，無(wú)法完全對(duì)應(yīng)新型芯片結(jié)構(gòu)需求的問(wèn)題。本實(shí)用新型的其中一特征，是將小型芯片吸嘴分別設(shè)為三段，其中用來(lái)和芯片接觸而必須采用陶瓷或鎢鋼合金材料的工作部設(shè)為相對(duì)最短的長(zhǎng)度，另外用來(lái)安裝于輸送裝置的固定部，以及用來(lái)連接固定部與工作部的連接部則分別采用其它材料，再將所述固定部、連接部與工作部組合成完整的吸嘴。本實(shí)用新型的另一特征，則是改良現(xiàn)有技術(shù)的小型芯片吸嘴的微細(xì)通孔形狀，使其可以完全對(duì)應(yīng)新型芯片結(jié)構(gòu)而產(chǎn)生良好的吸附效果。本實(shí)用新型的再一特征，使小型芯片吸嘴所包含的連接部外徑介于1. Imm 1. 7mm之間，而工作部的外徑為彡1. 3mm?；诖?，本實(shí)用新型提供的小型芯片吸嘴的技術(shù)手段，包括有一固定部、一連接部與一工件部，其中該工件部采用不同于該固定部與連接部的耐磨材質(zhì)，該連接部連結(jié)固定于該固定部，工件部則連結(jié)固定于該連接部，該工件部具有一軸向貫通的微細(xì)通孔，所述微細(xì)通孔為概呈矩形狀，該矩形的兩短邊共同與該工作部的外徑呈同心圓的弧形。本實(shí)用新型可以在制程階段將固定部與連接部成型為一整體。本實(shí)用新型設(shè)于工作部的微細(xì)通孔，其矩形的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度< 0. 5mm。本實(shí)用新型組成吸嘴的固定部與連接部，可以為相同材質(zhì)，或分別為不同的材質(zhì)。本實(shí)用新型組成吸嘴的工作部是不同于該固定部與連接部的材質(zhì)。本實(shí)用新型的組成吸嘴的工作部，采用寶石、結(jié)晶材料、陶瓷或鎢鋼合金材料，而固定部與連接部，則可以采用其它適當(dāng)?shù)慕饘俸辖鸩牧?。因此，借由本?shí)用新型的上述技術(shù)方案，可降低現(xiàn)有技術(shù)中居高不下的生產(chǎn)成本， 并滿足現(xiàn)有技術(shù)難以滿足的對(duì)新型芯片結(jié)構(gòu)進(jìn)行吸附的需求。

圖IA為顯示現(xiàn)有技術(shù)的小型芯片吸嘴結(jié)構(gòu)的立體分解圖。圖IB至圖IF為顯示現(xiàn)有技術(shù)的小型芯片吸嘴多種形態(tài)的平面示意圖。圖IG至圖IJ為顯示現(xiàn)有技術(shù)的小型芯片吸嘴的多種通孔結(jié)構(gòu)形態(tài)的平面示意圖。圖2A為顯示本實(shí)用新型小型芯片吸嘴的組件組合關(guān)系的第一實(shí)施例平面分解圖。圖2B為顯示本實(shí)用新型小型芯片吸嘴結(jié)構(gòu)的第一實(shí)施例平面示意圖。圖2C為顯示本實(shí)用新型小型芯片吸嘴的組件組合關(guān)系的第二實(shí)施例平面分解圖。圖2D為顯示本實(shí)用新型小型芯片吸嘴結(jié)構(gòu)的第二實(shí)施例平面示意圖。圖2E為顯示本實(shí)用新型小型芯片吸嘴的微細(xì)通孔結(jié)構(gòu)形態(tài)的平面示意圖。
具體實(shí)施方式
以下配合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式做更詳細(xì)的說(shuō)明，以使熟悉本領(lǐng)域技術(shù)人員在研讀本說(shuō)明書(shū)后能據(jù)以實(shí)施。參考圖2A與圖2B所示，本實(shí)用新型提供的小型芯片吸嘴，包括有各自獨(dú)立的一固定部1、一連接部2與一工作部3 ；其中，固定部1具有在前述三者中相對(duì)最大的外徑，以及具有一軸向貫通的第一通孔11，該固定部1可以采用適當(dāng)?shù)慕饘俸辖鸩牧现圃?。該連接部 2具有在前述三者中相對(duì)次大的外徑(1. Imm 1. 7mm之間)，以及具有一軸向貫通的第二通孔21，該連接部2的一長(zhǎng)度組合固定于固定部1的第一通孔11內(nèi)，該連接部2也可以采用適當(dāng)?shù)慕饘俸辖鸩牧现圃?。該工作?具有在前述三者中相對(duì)最小的外徑(< 1. 3mm)， 以及具有一軸向貫通的微細(xì)通孔31，該工作部3的一長(zhǎng)度組合固定于連接部2的第二通孔 21內(nèi)，由于工作部3是用來(lái)和工件(即小型芯片)接觸的組件，因此最好采用具有耐磨性質(zhì)的寶石、結(jié)晶材料、陶瓷或鎢鋼合金材料制造。即，工作部3采用不同于固定部1與連接部 2的材料；固定部1與連接部2則可以相同相同的材料或不同的材料。本實(shí)用新型將連接部2固定于固定部1的方式，可以將連接部2的一端插入固定部1的第一通孔11后，以焊接或黏結(jié)技術(shù)將兩者焊固或黏固，也可以采用干涉配合方式，直接將連接部2迫緊于第一通孔11內(nèi)。本實(shí)用新型將工作部3固定于連接部2的方式，可以將工作部3的一端插入連接部2的第二通孔21后，再以焊接或黏結(jié)技術(shù)將兩者焊固或黏固，也可以采用干涉配合方式，直接將工作部3迫緊于第二通孔21內(nèi)。本實(shí)用新型也可以將固定部1及工作部3設(shè)為不同的形態(tài)，如圖2C與圖2D所示的固定部1外徑具有凹槽，工作部3前端則形成為錐形體。本實(shí)用新型可以在制程階段，將固定部1與連接部2成型為一整體，然后再于連接部2設(shè)置工作部3。前述的第一通孔11與第二通孔21 —般而言是設(shè)為圓形狀，但工作部3的微細(xì)通孔31則基于對(duì)小型芯片產(chǎn)生良好吸附力的考慮，可以設(shè)計(jì)多種形狀，但是，基于配合對(duì)特殊結(jié)構(gòu)的芯片進(jìn)行吸附的考慮，本實(shí)用新型將該微細(xì)通孔31設(shè)為大概呈矩形狀，該矩形的兩短邊312是共同與該工作部3的外徑呈同心圓的弧形(如圖2E所示)，而兩長(zhǎng)邊311為直形；該微細(xì)通孔31的長(zhǎng)度L通常是< 0. 5mm。本實(shí)用新型藉由將工作部3縮小尺寸，以及改變微細(xì)通孔31形狀而能配合特殊芯片進(jìn)行吸附的需求，此技術(shù)前所未見(jiàn)，因而本實(shí)用新型具備了新穎性與創(chuàng)造性，符合實(shí)用新型專利的法定要件。以上所述僅為用以解釋本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非企圖具以對(duì)本實(shí)用新型做任何形式上的限制，因此，凡有在相同的創(chuàng)作精神下所作有關(guān)本實(shí)用新型的任何修飾或變更，皆仍應(yīng)包括在本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范疇。
權(quán)利要求1.一種小型芯片吸嘴，其特征在于，該小型芯片吸嘴包括有 一固定部，具有相對(duì)最大的外徑，以及具有一軸向貫通的第一通孔；一連接部，具有相對(duì)次大的外徑，以及具有一軸向貫通的第二通孔，該連接部的一長(zhǎng)度組合固定于該第一通孔；一工作部，具有相對(duì)最小的外徑，以及具有一軸向貫通的微細(xì)通孔，該工作部的一長(zhǎng)度組合固定于該第二通孔。
2.如權(quán)利要求1所述的小型芯片吸嘴，其特征在于，所述微細(xì)通孔的矩形長(zhǎng)邊，其長(zhǎng)度 ^ 0. 5mmο
3.如權(quán)利要求1所述的小型芯片吸嘴，其特征在于，所述固定部與連接部分別為不同的材質(zhì)。
4.如權(quán)利要求1所述的小型芯片吸嘴，其特征在于，所述固定部與連接部為相同的材質(zhì)。
5.如權(quán)利要求1所述的小型芯片吸嘴，其特征在于，所述工作部不同于該固定部與連接部的材質(zhì)。
6.如權(quán)利要求1所述的小型芯片吸嘴，其特征在于，所述微細(xì)通孔為概呈矩形狀，該矩形的兩短邊共同與該工作部的外徑呈同心圓的弧形。
7.如權(quán)利要求1所述的小型芯片吸嘴，其特征在于，所述固定部與連接部成型為一整體。
8.如權(quán)利要求1所述的小型芯片吸嘴，其特征在于，所述連接部的外徑介于1.Imm 1. 7mm之間。
9.如權(quán)利要求1所述的小型芯片吸嘴，其特征在于，所述工作部的外徑<1. 3mm。
專利摘要一種小型芯片吸嘴，包括有一固定部、一連接部與一工件部，其中該工件部采用不同于該固定部與連接部的耐磨材質(zhì)，該連接部連結(jié)固定于固定部，工件部則連結(jié)固定于連接部，該工件部具有一軸向貫通的微細(xì)通孔，所述微細(xì)通孔為大概呈矩形狀，該矩形的兩短邊是共同與該工作部的外徑呈同心圓的弧形。
文檔編號(hào)H01L21/683GK202230997SQ20112038397
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2011年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月11日
發(fā)明者宋俍宏 申請(qǐng)人:宋俍宏