專利名稱：一種檢測晶片的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種半導體器件制造控制系統(tǒng)，即離子注入機，特別地，涉及一種用于檢測機械手上晶片的方法。
背景技術：
在半導體制造工藝設備離子注入機中，晶片的傳片系統(tǒng)是整機重要組成部分，它不僅實現(xiàn)晶片在靶室里的傳送，而且要達到高效率的傳片。在晶片傳送的過程中，我們采用機械手臂來傳送晶片，首先晶片是放在load port的晶片盒子里，需要通過機械手將晶片取出來放到load lock中,其次,在等到機械手把load lock中的晶片取出來,當在機械手腔中時，系統(tǒng)需要檢測機械手臂上是否有晶片，此時激光器發(fā)出激光，接收器判斷是否接收到激光，若接收到激光，表示機械手上無晶片，進入等待過程，接收器沒有接收到激光時，則有晶片在機械手上，進入相應下一步的操作。判斷機械手上是否有晶片對于下一步的操作是 非常重要的，通過判斷是否有晶片來決定機械手臂如何傳送晶片。

發(fā)明內容
本發(fā)明是針對現(xiàn)有離子注入機傳片系統(tǒng)中，檢測晶片是一項必須的過程，不僅給傳片過程帶來方便，而且提高傳片系統(tǒng)的效率。使機械手傳片更準確。本發(fā)明通過以下技術方案實現(xiàn)I. 一種檢測晶片的方法，包括激光器⑴、接收器(2)、晶片(3)，其特征在于其中所述激光器⑴發(fā)出激光，在無晶片(3)的情況下，接收器⑵準確接收到激光，在有晶片⑶時，激光被晶片⑶擋住，反射光方向改變，接收器⑵接收不到激光。此檢測晶片的方法簡單可靠，由于是激光檢測能更快的檢測到有無晶片。2. 一種檢測晶片的方法，包括激光器⑴、接收器(2)、晶片(3)，其特征在于其中所述激光器(I)發(fā)射激光，接收器(2)用來接收激光，接收器(2)是否接收到激光，判定是否有晶片(3)存在。本發(fā)明解決了晶片是否在機械手上的問題，提高了機械手的傳片效率以及它的準確度。


圖I是本發(fā)明的一種檢測晶片的方法的示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖的具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，應該理解，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權利要求的范圍所限定。圖I示意出一種檢測晶片的方法，包括激光器(I)、接收器(2)、晶片⑶激光器(I)發(fā)出激光，在無晶片(3)的情況下，接收器(2)準確接收到激光，表明無晶片。在有晶片(3)時，激光被晶片(3)擋住，反射光方向改變，接收器(2)接收不到激光。表明有晶片。此檢測晶片的方法簡單可靠，由于是激光檢測能更快的檢測到有無晶片。本發(fā)明的特定實施例已對本發(fā)明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，或者慣用手段的直接替換，都構成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。·
權利要求
1.一種檢測晶片的方法，包括激光器(I)、接收器(2)、晶片(3)，其特征在于 其中所述激光器⑴發(fā)出激光，在無晶片⑶的情況下，接收器⑵準確接收到激光，在有晶片(3)時，激光被晶片(3)擋住，反射光方向改變，接收器(2)接收不到激光，此檢測晶片的方法簡單可靠，由于是激光檢測能更快的檢測到有無晶片。
2.權利要求I的一種檢測晶片的方法，其中所述激光器⑴發(fā)射激光，接收器(2)用來接收激光，接收器(2)是否接收到激光，判定是否有晶片(3)存在。
全文摘要
一種檢測晶片的方法，包括激光器(1)、接收器(2)、晶片(3)。其特征在于，其中所述激光器(1)發(fā)出激光，在無晶片(3)的情況下，接收器(2)準確接收到激光，在有晶片(3)時，激光被晶片(3)擋住，反射光方向改變，接收器2接收不到激光。此檢測晶片的方法簡單可靠，由于是激光檢測能更快的檢測到有無晶片。
文檔編號H01L21/66GK102956518SQ20111024115
公開日2013年3月6日 申請日期2011年8月22日 優(yōu)先權日2011年8月22日
發(fā)明者林萍, 彭彬, 伍三忠 申請人:北京中科信電子裝備有限公司