專利名稱：：用于存儲(chǔ)和傳送大基板的密閉垂直支架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于存儲(chǔ)和傳送大基板的外殼(enclosure)。
背景技術(shù)：
：具有預(yù)先沉積的透明導(dǎo)電氧化物(TCO)層的大基板通常用于制造光電器件(photovoltaicdevice)。換句話說，在生產(chǎn)線中或可在光電器件生產(chǎn)線外部(off-site)或者遠(yuǎn)離其的制造設(shè)備中沉積TCO層。由于在將基板傳送到光電器件生產(chǎn)線之前該TCO層可被進(jìn)一步氧化或者污染，因此可能需要清洗步驟來清洗TCO層表面。但是，清洗步驟需要加工和處理時(shí)間，且由此增加了光電器件的總制造成本。發(fā)明人增加了一種情況，其中這些外殼可在具有或不具有TCO的情況下工作，且剛好可用于清潔和濕氣控制、或者拋光之后的原玻璃(bareglass)的氧化控制、或具有會(huì)遭受老化的任何其他涂層的玻璃的氧化控制。
發(fā)明內(nèi)容根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種用于存儲(chǔ)和傳送大基板的密閉垂直支架(enclosedverticalrack)0密閉垂直支架包括可移動(dòng)基座，在該可移動(dòng)基座上用于容納基板的外殼，在該外殼中用于接收基板的對(duì)準(zhǔn)工具(alignmentfacility)，和用于密閉外殼的可密封門。該外殼或者門具有氣體入口，并且該外殼或門具有氣體出口。因此，在外殼內(nèi)部的空氣可替換成惰性氣體以保護(hù)基板不被進(jìn)一步氧化和污染。而且，垂直支架的可移動(dòng)基座能在不同生產(chǎn)線之間在內(nèi)部傳送基板。因此，為了更詳細(xì)理解本發(fā)明的上述特征，可通過參考實(shí)施方式獲得對(duì)以上簡要概括的本發(fā)明的更詳細(xì)描述，其中一些實(shí)施方式在附圖中示出。但是應(yīng)注意，附圖僅示出了本發(fā)明的典型實(shí)施方式，且因此由于本發(fā)明允許其他等效實(shí)施方式，不認(rèn)為其限制本發(fā)明的范圍。圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的垂直支架的前視圖。圖2是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的垂直支架中的對(duì)準(zhǔn)工具的前視圖。圖3是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的垂直支架的側(cè)視圖。圖4是根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施方式的垂直支架的前視圖。具體實(shí)施例方式本發(fā)明的實(shí)施方式一般涉及一種用于在垂直方向上存儲(chǔ)和傳送大基板的密閉垂直支架。本公開中使用的術(shù)語“大基板”是一種平面表面積大于約60cmX72cm、以及上至和超出2.2mX2.6m的基板。圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的垂直支架的前視圖。圖1中，垂直支架100a包括可移動(dòng)基座102、在可移動(dòng)基座102上的外殼200、在外殼200中的對(duì)準(zhǔn)工具300，和在外殼200前側(cè)的可密封門400。門400顯示為被切除(cut-away)以露出外殼200內(nèi)部?？梢苿?dòng)基座102具有用于在不同生產(chǎn)線之間移動(dòng)垂直支架IOOa的移動(dòng)工具104。移動(dòng)工具104例如可以是叉式升降槽(forkliftslot)、轉(zhuǎn)向輪(castor)、軌道輪(railwheel)或提升鉤(hoistinghook)。因此，垂直支架100a可通過人工導(dǎo)向或自動(dòng)導(dǎo)向技術(shù)而移動(dòng)。在可移動(dòng)基座102上的外殼200被用于容納在大致垂直方向上設(shè)置的多個(gè)大基板500(以下簡稱為基板500)。外殼的容納基板數(shù)目可高達(dá)50。如果基板500是玻璃基板，則50個(gè)基板500的重量可高達(dá)6000磅或6000磅以上。因此，外殼200可由諸如金屬或玻璃纖維加固的塑料之類的結(jié)構(gòu)堅(jiān)硬的材料制成。外殼200裝配有氣體入口202，以便使用諸如氮?dú)饣蛘邭鍤膺@樣的惰性氣體填充由外殼200和門300包圍的空間。替換地，可使用諸如清潔干燥的空氣這樣的低濕氣含量氣體。外殼200還裝配有氣體出口204，其能夠排出最初處在由外殼200和門300包圍的空間內(nèi)的空氣。氣體入口202包括防止自氣體入口202發(fā)生疏忽泄漏的閥。因此，氣體入口202例如可包括截止閥(shut-offvalve)或者被集成在密封速斷器(quick-disconnect)中。當(dāng)氣體入口被集成在密封速斷器中時(shí)，在氣體導(dǎo)管(gasconduit)被連接到氣體入口202時(shí)氣體入口202打開，而在氣體導(dǎo)管與氣體入口202斷開以防止自氣體入口202發(fā)生氣體泄漏時(shí)氣體入口202關(guān)閉。氣體出口204包括控制通過氣體出口204的氣體流量的閥。因此，氣體出口204可包括檢查閥或者安全閥(reliefvalve)0因此，最初處在由外殼200和門300包圍的空間中的空氣可全部被惰性氣體替換，從而當(dāng)將基板500存儲(chǔ)在垂直支架100a中時(shí)保護(hù)基板500不被任何氧化氣體進(jìn)一步氧化。在外殼200中的對(duì)準(zhǔn)工具300用于接收基板并將基板500從垂直稍微傾斜為約0-5度的角度，以使基板500與對(duì)準(zhǔn)工具300的上部凸起301和下部凸起303的接觸面積最小，從而使破壞基板500上的諸如TCO層這樣的沉積層的可能性減至最小。對(duì)準(zhǔn)工具300包括頂刷(topcomb)和底刷(bottomcomb)，該頂刷包括多個(gè)上部凸起(projection)301以在其間限定多個(gè)上部狹槽(slot)302，該底刷包括多個(gè)下部凸起303以在其間限定多個(gè)下部狹槽304。上部狹槽302自下部狹槽304橫向偏移以稍微傾斜設(shè)置在上部狹槽302和下部狹槽304中的基板500。上部凸起301和下部凸起303可由比基板500柔軟的材料制成，以最小化基板500表面上的劃痕。上部凸起301和下部突起303的材料例如可以是諸如聚氧化甲烯(polyoxymethylene)(例如DuPont的DELRIN)、聚氨酯(polyurethane)、聚酰亞胺基聚合物(polyimide-basedpolymer)(例如DuPont的VESPEL)、或者聚謎麗謎(polyetheretherketone)(例如PEEK)這樣的塑料。圖2是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式在垂直支架中的對(duì)準(zhǔn)工具的前視圖。圖2中，滾柱(roller)305可被進(jìn)一步設(shè)置在每個(gè)上部凸起301兩側(cè)上，設(shè)置方式使得滾柱305能向內(nèi)和向外滾動(dòng)。相似地，滾柱305也可被設(shè)置在每個(gè)下部凸起303(圖2中未示出)的兩側(cè)上，設(shè)置方式使得滾柱能夠向內(nèi)和向外滾動(dòng)。因此，與基板500和上部/下部凸起301/303之間的摩擦力相比，在基板500和滾柱305之間的摩擦力可進(jìn)一步被降低，以進(jìn)一步減少基板500上的劃痕。而且，在圖1中，對(duì)準(zhǔn)工具300可進(jìn)一步包括設(shè)置在上部凸起301和下部突起303之間的隔離物(s印arator)305，以有助于將玻璃保持在上部狹槽302和下部狹槽304中。隔離物例如可以是線材(wire)或者具有分離珠(bead)的線材。圖1中，方向垂直于上部狹槽302和下部狹槽304的外殼200的一側(cè)具有可密封門400，其尺寸允許基板500穿過。門400被配置成通過人工或者通過機(jī)械手或者其他自動(dòng)系統(tǒng)打開和關(guān)閉。在一個(gè)實(shí)施方式中，門400可自外殼200移除。當(dāng)門400關(guān)閉時(shí)，門400與外殼200實(shí)現(xiàn)實(shí)質(zhì)氣密密封。因此，當(dāng)基板500被存儲(chǔ)在外殼200中并且門400關(guān)閉時(shí)外殼200可以保護(hù)基板500不被污染，且可以消除污染影響或者省去去除污染物的其他工藝步驟?？蛇x擇門400的密封，以便在每平方英寸幾磅以上的壓力下發(fā)生泄漏以防止外殼過壓，和/或有助于當(dāng)對(duì)外殼加壓時(shí)通過充當(dāng)作通氣孔而對(duì)外殼充氣(charge)。門400的內(nèi)表面可包括諸如彈性構(gòu)件或者可膨脹構(gòu)件之類的傳送限制器(transportationrestraint)402，當(dāng)門400關(guān)閉時(shí)其對(duì)外殼200中的基板500加壓。因此，可防止在上部狹槽302和下部狹槽304中的基板500發(fā)生移動(dòng)。圖3是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的垂直支架的側(cè)視圖。圖3中，門400具有門密封件408，其允許有關(guān)于預(yù)定壓力下的泄漏以防止外殼200過壓并允許在充氣時(shí)排出氣體。圖4是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的垂直支架的前視圖。圖4中垂直支架IOOc的結(jié)構(gòu)基本上與圖1中垂直支架IOOa的結(jié)構(gòu)相同。圖4中，傳送限制器402是諸如氣囊(bladder)這樣的可膨脹構(gòu)件(inflatablemember)0用于膨脹和縮小可膨脹構(gòu)件的入口閥404和出口閥406可在不打開門400的情況下自門400的外部控制。根據(jù)前述實(shí)施方式，以上提供的垂直支架能保護(hù)存儲(chǔ)在內(nèi)部的基板不被進(jìn)一步氧化或污染。而且，該垂直支架能在不同生產(chǎn)線之間傳送基板。因此，垂直支架的垂直貯存器(accumulator)能存儲(chǔ)進(jìn)展中的工作和/或緩沖生產(chǎn)線，且由此能從生產(chǎn)線移除基板或?qū)⒒宀迦肷a(chǎn)線以用于任意的維護(hù)、測(cè)試或者質(zhì)量檢查目的。雖然前述內(nèi)容涉及到本發(fā)明的實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明基本范圍的情況下可設(shè)計(jì)出本發(fā)明的其他和進(jìn)一步的實(shí)施方式，且其范圍通過以下的權(quán)利要求確定。權(quán)利要求1.一種用于存儲(chǔ)和傳輸大基板的密閉垂直支架，所述密閉垂直支架包括可移動(dòng)基座；在所述基座上的外殼，用于容納至少一個(gè)基板，其中所述外殼具有氣體入口；在所述外殼中的對(duì)準(zhǔn)工具，用于接收基板和稍微傾斜基板；和可密封門，用于密閉所述外殼，其中所述門的尺寸允許基板穿過。2.如權(quán)利要求1所述的密閉垂直支架，其中所述氣體入口包括截止閥或者被集成在速斷器中。3.如權(quán)利要求1所述的密閉垂直支架，其中所述外殼或者所述門具有氣體出口。4.如權(quán)利要求3所述的密閉垂直支架，其中所述氣體出口包括檢查閥或者安全閥。5.如權(quán)利要求1所述的密閉垂直支架，其中所述可移動(dòng)基座具有移動(dòng)工具。6.如權(quán)利要求5所述的密閉垂直支架，其中所述移動(dòng)工具包括叉式升降槽。7.如權(quán)利要求5所述的密閉垂直支架，其中所述移動(dòng)工具包括轉(zhuǎn)向輪。8.如權(quán)利要求5所述的密閉垂直支架，其中所述移動(dòng)工具包括軌道輪或者提升鉤。9.如權(quán)利要求1所述的密閉垂直支架，其中所述對(duì)準(zhǔn)工具包括分別設(shè)置在外殼頂部和底部上的頂刷和底刷，并且其中所述頂刷自所述底刷橫向偏移。10.如權(quán)利要求9所述的密閉垂直支架，其中所述對(duì)準(zhǔn)工具包括設(shè)置在所述頂刷和所述底刷的凸起兩側(cè)上的滾柱，設(shè)置方式使得所述滾柱能向內(nèi)和向外滾動(dòng)。11.如權(quán)利要求1所述的密閉垂直支架，進(jìn)一步包括在所述可密封門的內(nèi)表面上的傳送限制器。12.如權(quán)利要求11所述的密閉垂直支架，其中所述傳送限制器是彈性構(gòu)件或者是可膨脹構(gòu)件。13.如權(quán)利要求12所述的密閉垂直支架，其中所述可膨脹部件具有氣體入口和氣體出口，所述氣體入口和氣體出口能夠在所述可密封門外部進(jìn)出。14.一種用于存儲(chǔ)和傳送大基板的密閉垂直支架，所述密閉垂直支架包括可移動(dòng)基座，其具有包括叉式升降槽、提升鉤、軌道輪或者轉(zhuǎn)向輪的移動(dòng)工具；在所述基座上的外殼，用于容納至少一個(gè)基板，其中所述外殼具有氣體入口；設(shè)置在所述外殼頂部上的頂刷；設(shè)置在所述外殼底部上的底刷，其中所述頂刷和所述底刷限定了用于接收基板的多個(gè)狹槽，并且所述頂刷自所述底刷橫向偏移以稍微傾斜基板；和可密封門，用于密封所述外殼，其中所述門的尺寸允許基板穿過。15.如權(quán)利要求14所述的密閉垂直支架，其中所述氣體入口包括截止閥或者被集成到速斷器中。16.如權(quán)利要求14所述的密閉垂直支架，其中所述外殼或者所述門包括氣體出口。17.如權(quán)利要求16所述的密閉垂直支架，其中所述氣體出口包括檢查閥或者安全閥。18.如權(quán)利要求14所述的密閉垂直支架，進(jìn)一步包括在所述可密封門的內(nèi)表面上的傳送限制器。19.如權(quán)利要求14所述的密閉垂直支架，其中所述傳送限制器是彈性構(gòu)件和可膨脹構(gòu)件。20.如權(quán)利要求19所述的密閉垂直支架，其中所述可膨脹構(gòu)件具有氣體入口和氣體出口，所述氣體入口和氣體出口能夠在所述可密封門外部進(jìn)出。全文摘要本發(fā)明提供了一種用于存儲(chǔ)和傳送大基板的密閉垂直支架。該密閉垂直支架包括可移動(dòng)基座、在可移動(dòng)基座上用于容納基板的外殼、在外殼中用于接收基板的對(duì)準(zhǔn)工具、和用于密封外殼的可密封門。該外殼具有氣體入口且該外殼或門具有氣體出口。文檔編號(hào)H01L21/677GK102237290SQ20111010405公開日2011年11月9日申請(qǐng)日期2011年4月20日優(yōu)先權(quán)日2010年5月5日發(fā)明者彼得·蘭納,杰弗里·S·沙利文,潘查拉·N·坎卡納拉,詹姆斯·蘭德斯申請(qǐng)人:應(yīng)用材料股份有限公司