專利名稱：芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及芯片拾取裝置，尤其涉及一種夾持半導(dǎo)體芯片進(jìn)行高 速轉(zhuǎn)移的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體芯片體積微小，并且容易損壞，在測(cè)試分選過(guò)程中，芯片 的拾取和轉(zhuǎn)移是整個(gè)測(cè)試分選的基礎(chǔ)，能否準(zhǔn)確的轉(zhuǎn)移芯片和保護(hù)芯 片不致受損是非常重要的。各種芯片轉(zhuǎn)移拾取裝置被用來(lái)將芯片從芯
片盒轉(zhuǎn)移到測(cè)試的平臺(tái)上，再?gòu)臏y(cè)試平臺(tái)上轉(zhuǎn)移到分BIN臺(tái)上，但是 目前市場(chǎng)上的芯片轉(zhuǎn)移裝置的轉(zhuǎn)移速度較慢，工作效率也不高，使得 芯片在拾取轉(zhuǎn)移的過(guò)程中受損比較嚴(yán)重。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提出一種能迅速準(zhǔn)確地將半導(dǎo)體芯 片在芯片供料臺(tái)與芯片測(cè)試臺(tái)、芯片測(cè)試臺(tái)與芯片分BIN臺(tái)之間轉(zhuǎn)移
的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置。
本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為 一種芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置，所述的 芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置具有拾取芯片的機(jī)械手組件，所述的機(jī)械手組件 轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連桿驅(qū)動(dòng)裝置，機(jī)械手組件升降連接有凸輪升降裝置。
本發(fā)明進(jìn)一步包括所述的機(jī)械手組件具有機(jī)械手安裝座和機(jī)械 手，所述的機(jī)械手通過(guò)板簧和第一螺釘安裝在機(jī)械手安裝座上，機(jī)械 手安裝座上還設(shè)置有調(diào)節(jié)擋塊，調(diào)節(jié)擋塊上安裝有第二螺釘，機(jī)械手 上安裝有第三螺釘，第三螺釘配有螺母，調(diào)節(jié)擋塊與螺母之間設(shè)置有彈簧，機(jī)械手前端還設(shè)置有吸嘴，吸嘴連接有氣管。
本發(fā)明的有益效果是解決了背景技術(shù)中存在的缺陷，能準(zhǔn)確的 調(diào)定芯片拾取力的大小，有效地避免芯片在拾取轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中造成的損 壞，降低了產(chǎn)品的不良率。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。 圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖中8、機(jī)械手安裝座；12、機(jī)械手；19、板簧；15、調(diào)節(jié)擋塊; 9、第二螺釘；18、第三螺釘；17、螺母；16、彈簧；10、第四螺釘； 13、吸嘴；14、氣管。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖和優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一歩詳細(xì)的說(shuō)明。這些 附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此 其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。
如圖1所示， 一種芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置，其特征在于所述的芯 片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置具有拾取芯片的機(jī)械手組件，機(jī)械手組件具有機(jī)械
手安裝座8和機(jī)械手12，所述的機(jī)械手12通過(guò)板簧19和第一螺釘安 裝在機(jī)械手安裝座8上，機(jī)械手安裝座8上還設(shè)置有調(diào)節(jié)擋塊15，調(diào) 節(jié)擋塊15上安裝有第二螺釘9，機(jī)械手12上安裝有第三螺釘18，第 三螺釘18配有螺母17，調(diào)節(jié)擋塊15與螺母17之間設(shè)置有彈簧16， 機(jī)械手12前端還設(shè)置有吸嘴13，吸嘴13連接有氣管14。所述的機(jī)械 手組件轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連桿驅(qū)動(dòng)裝置，機(jī)械手組件升降連接有凸輪升降裝 置。本發(fā)明工作時(shí)，連桿驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)械手12旋轉(zhuǎn)到芯片拾取點(diǎn)的
上方，凸輪升降裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)械手12下降到拾取位置。吸嘴13通過(guò)外 部接入的真空吸取芯片。然后凸輪升降裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)械手12離開(kāi)拾取位 置上升，連桿驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)械手12旋轉(zhuǎn)到芯片放置點(diǎn)的上方，凸輪 升降裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)械手12下降到放置位置。吸嘴13通過(guò)外部接入的壓 縮空氣與芯片脫離。然后凸輪升降裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)械手12離開(kāi)拾取位置上 升。
本發(fā)明能準(zhǔn)確調(diào)定芯片拾取力的大小，有效避免了芯片在拾取轉(zhuǎn) 運(yùn)過(guò)程中造成的損壞，降低了產(chǎn)品的不良率。
以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容， 相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多 樣的變更以及修改。
權(quán)利要求
1、一種芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置，其特征在于所述的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置具有拾取芯片的機(jī)械手組件，所述的機(jī)械手組件轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連桿驅(qū)動(dòng)裝置，機(jī)械手組件升降連接有凸輪升降裝置。
2、 如權(quán)利要求1所述的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置，其特征在于所述的 機(jī)械手組件具有機(jī)械手安裝座(8)和機(jī)械手(12)，所述的機(jī)械手(12)通過(guò)板簧(19)和第一螺釘安裝在機(jī)械手安裝座(8)上，機(jī)械手安裝座 (8)上還設(shè)置有調(diào)節(jié)擋塊(15)，調(diào)節(jié)擋塊(15)上安裝有第二螺釘(9)， 機(jī)械手(12)上安裝有第三螺釘(18)，第三螺釘(18)配有螺母(17)， 調(diào)節(jié)擋塊(15)與螺母(17)之間設(shè)置有彈簧(16)，機(jī)械手(12)前端 還設(shè)置有吸嘴(13)，吸嘴(13)連接有氣管(14)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置，所述的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置具有拾取芯片的機(jī)械手組件，所述的機(jī)械手組件轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連桿驅(qū)動(dòng)裝置，機(jī)械手組件升降連接有凸輪升降裝置。采用本發(fā)明能準(zhǔn)確的調(diào)定芯片拾取力的大小，有效地避免芯片在拾取轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中造成的損壞，降低了產(chǎn)品的不良率。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101510522SQ20091003022
公開(kāi)日2009年8月19日 申請(qǐng)日期2009年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月23日
發(fā)明者唐國(guó)強(qiáng), 沈國(guó)平, 琳 王, 云 陳, 顧方成 申請(qǐng)人:常州新區(qū)愛(ài)立德電子有限公司