專利名稱：一種拾取芯片裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及芯片的拾取裝置。
背景技術(shù)：
目前傳統(tǒng)的拾取芯片的方法為:采用手工方法使用吸筆將剝好的芯片逐個(gè)的吸取到石墨船中，并要求作業(yè)人員戴好手套，口罩，靜電環(huán)，靜電衣，靜電帽等，以滿足肖特基芯片潔凈度和防靜電的要求。手工操作給拾取工作帶來(lái)了很大的麻煩，導(dǎo)致工作效率低，成品率不高，而且對(duì)操作者要求較高，不利于芯片的拾取。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)以上問(wèn)題，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)便，提高工作效率的拾取芯片的裝置。本發(fā)明的技術(shù)方案是:包括固晶臂、隨動(dòng)臂、轉(zhuǎn)軸、繃框和繃框架，
所述固晶臂頭部設(shè)有吸嘴，所述隨動(dòng)臂頭部設(shè)有頂針，所述固晶臂尾部和所述隨動(dòng)臂尾部通過(guò)所述轉(zhuǎn)軸連接，所述固晶臂位于所述隨動(dòng)臂上方；
所述繃框上繃放有放置芯片的藍(lán)膜，所述繃框設(shè)在所述繃框架上，位于所述吸嘴和所述頂針之間。所述頂針與所述吸嘴同軸心。所述固晶臂與所述隨動(dòng)臂同步運(yùn)動(dòng)。所述繃框與所述繃框架活動(dòng)連接。本發(fā)明采用擺臂式設(shè)備將芯片逐個(gè)拾取到石墨船中，取代了傳統(tǒng)的手工操作方法，提高了工作效率，在工作中頂針與吸嘴同軸心設(shè)置和同步運(yùn)動(dòng)，保證了芯片在上升過(guò)程中不會(huì)發(fā)生傾斜，避免了人為失誤造成打翻芯片的情況和人工點(diǎn)晶造成的各類沾污和靜電產(chǎn)生。并且繃框還可以根據(jù)需要適時(shí)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)動(dòng)，配合吸嘴的位置要求。本發(fā)明是芯片拾取工藝的一次革新，不僅提高了工作效率，還保證了材料的質(zhì)量，且能夠拾取各種尺寸的芯片，適用性較廣。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，
圖2是圖1的俯視圖，
圖3是圖2中K處的局部放大 圖中I是轉(zhuǎn)軸，2是固晶臂，3是繃框，4是藍(lán)膜，5是芯片，6是繃框架，7是石墨船，8是吸嘴，9是頂針，10是隨動(dòng)臂。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明如圖1-3所示，包括固晶臂2、隨動(dòng)臂10、轉(zhuǎn)軸1、繃框3和繃框架6，所述固晶臂2頭部設(shè)有吸嘴8，所述隨動(dòng)臂10頭部設(shè)有頂針9，所述固晶臂2尾部和所述隨動(dòng)臂10尾部通過(guò)所述轉(zhuǎn)軸I連接，所述固晶臂2位于所述隨動(dòng)臂10上方；
所述繃框3繃放有放置芯片5的藍(lán)膜4，所述繃框3設(shè)在所述繃框架6上，位于所述吸嘴8和所述頂針9之間。所述頂針9與所述吸嘴8同軸心。所述固晶臂2上的吸嘴8和所述隨動(dòng)臂10上的頂針同步運(yùn)動(dòng)。同步運(yùn)動(dòng)使頂針9將芯片5頂起的同時(shí)，吸嘴8的負(fù)壓將芯片5吸牢，使得芯片5被吸附在吸嘴8上，然后固晶臂2、隨動(dòng)臂10同步轉(zhuǎn)動(dòng)，移動(dòng)到石墨船7上方，將芯片5送入石墨船7的芯片槽中。吸嘴8與芯片5或芯片槽的對(duì)位是通過(guò)CXD攝像頭實(shí)現(xiàn)的。所述繃框3與所述繃框架6活動(dòng)連接。
權(quán)利要求
1.一種拾取芯片裝置，其特征在于，包括固晶臂、隨動(dòng)臂、轉(zhuǎn)軸、繃框和繃框架， 所述固晶臂頭部設(shè)有吸嘴，所述隨動(dòng)臂頭部設(shè)有頂針，所述固晶臂尾部和所述隨動(dòng)臂尾部通過(guò)所述轉(zhuǎn)軸連接，所述固晶臂位于所述隨動(dòng)臂上方； 所述繃框上繃放有放置芯片的藍(lán)膜，所述繃框設(shè)在所述繃框架上，位于所述吸嘴和所述頂針之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種拾取芯片裝置，其特征在于，所述頂針與所述吸嘴同軸心。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種拾取芯片裝置，其特征在于，所述固晶臂與所述隨動(dòng)臂同步運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種拾取芯片裝置，其特征在于，所述繃框與所述繃框架活動(dòng)連接。
全文摘要
一種拾取芯片裝置。涉及芯片的拾取裝置。提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)便，提高工作效率的拾取芯片的裝置。包括固晶臂、隨動(dòng)臂、轉(zhuǎn)軸、繃框和繃框架，所述固晶臂頭部設(shè)有吸嘴，所述隨動(dòng)臂頭部設(shè)有頂針，所述固晶臂尾部和所述隨動(dòng)臂尾部通過(guò)所述轉(zhuǎn)軸連接，所述固晶臂位于所述隨動(dòng)臂上方；所述繃框上繃放有放置芯片的藍(lán)膜，所述繃框設(shè)在所述繃框架上，位于所述吸嘴和所述頂針之間。本發(fā)明采用擺臂式設(shè)備將芯片逐個(gè)拾取到石墨船中，提高了工作效率，在工作中頂針與吸嘴同軸心設(shè)置和同步運(yùn)動(dòng)，保證了芯片在上升過(guò)程中不會(huì)發(fā)生傾斜。本發(fā)明不僅提高了工作效率，還保證了材料的質(zhì)量，適用性較廣。
文檔編號(hào)H01L21/683GK103117240SQ20111036286
公開日2013年5月22日 申請(qǐng)日期2011年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月16日
發(fā)明者殷俊, 陳小華 申請(qǐng)人:揚(yáng)州揚(yáng)杰電子科技股份有限公司