專(zhuān)利名稱(chēng)：處理裝置及具有處理裝置的潔凈系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種適用于顯示裝置的制造等需要潔凈環(huán)境的工序的處理裝置及具
有這種處理裝置而構(gòu)筑的潔凈系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
潔凈室用于如顯示裝置的制造等需要潔凈環(huán)境的工序中。為潔凈地保持其中的 空氣，潔凈室利用使用了可從空氣中除去細(xì)微塵埃及其它污染物質(zhì)的特別過(guò)濾器的送風(fēng)裝 置。為維持高潔凈度及防止過(guò)濾器的劣化，使用后的潔凈空氣一般不舍棄而回流，并使其使 反復(fù)通過(guò)過(guò)濾器。 為了相關(guān)目的，潔凈室具有特別的結(jié)構(gòu)。即，在典型的結(jié)構(gòu)中，潔凈室的天棚具有 天棚面和低于天棚面而被支撐的天棚的雙層結(jié)構(gòu)，雙層結(jié)構(gòu)的內(nèi)部成為空氣可流通的腔 室。潔凈室的地板具有地板面和高于地板面而被支撐的格柵，地板面和格柵之間也形成腔 室。天棚側(cè)的腔室和地板側(cè)的腔室通過(guò)回流管道所連通。過(guò)濾器及送風(fēng)裝置，通常設(shè)置在 天棚而使之與天棚側(cè)腔室連通。潔凈室內(nèi)的各裝置設(shè)置在格柵上，從天棚側(cè)供給的潔凈空 氣通過(guò)各裝置并通過(guò)格柵，向下流到地板側(cè)腔室。向下流到地板側(cè)腔室內(nèi)的潔凈空氣，由回 流管道匯集并回流到天棚側(cè)的腔室。 相關(guān)技術(shù)記載于日本國(guó)特開(kāi)平11-337115號(hào)及特開(kāi)平10-116758號(hào)公報(bào)中。
從上述說(shuō)明中可知，現(xiàn)有的潔凈室由于具有特別的結(jié)構(gòu)，從而不容易構(gòu)筑。并且， 由于需要設(shè)置天棚及地板的腔室用的空間，由此發(fā)生無(wú)法設(shè)置裝置的很大的閑置空間，給 裝置的設(shè)計(jì)帶來(lái)限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種即使在地板面沒(méi)有格柵 或腔室時(shí)也可通過(guò)直接設(shè)置在該地板面而容易構(gòu)筑，且可對(duì)裝置的設(shè)計(jì)提供很大的自由度 的潔凈系統(tǒng)。 根據(jù)本發(fā)明第一方面的處理裝置，該處理裝置與具有供給潔凈空氣的送風(fēng)裝置和 地板面的房間共同利用，其具有可容納所述潔凈空氣的裝置主體和臺(tái)；該臺(tái)支撐所述裝置 主體，是從以下組中選擇的任意臺(tái)；艮卩 具有在與所述地板面之間氣密地圍住可通氣的空間的結(jié)構(gòu)的臺(tái)，以及 氣密地圍住可通氣的空間且可設(shè)置在所述地板面上的臺(tái)；所述臺(tái)具有與所述空
間連通的進(jìn)風(fēng)口 ，將已通過(guò)所述裝置主體的所述潔凈空氣經(jīng)由所述進(jìn)風(fēng)口導(dǎo)入到所述空間
的吸引風(fēng)扇。 優(yōu)選還具有與所述臺(tái)氣密地結(jié)合，且構(gòu)成為使導(dǎo)入到所述空間的所述潔凈空氣 向所述送風(fēng)裝置回流的回流管道。
根據(jù)本發(fā)明第二方面的一種潔凈系統(tǒng)，具有
具有圍住腔室的天棚和地板面的房間；
與所述腔室連通，凈化所述腔室內(nèi)的空氣并供給潔凈空氣的送風(fēng)裝置；
配置成可容納所述潔凈空氣的裝置主體； 臺(tái)；該臺(tái)支撐所述裝置主體，是從以下組中選擇的任意臺(tái)；即 構(gòu)成為在與所述地板面之間氣密地圍住可通氣的空間的臺(tái)，以及 氣密地圍住可通氣的空間且可設(shè)置在所述地板面上的臺(tái)；所述臺(tái)具有與所述空
間連通的進(jìn)風(fēng)口 ，將已通過(guò)所述裝置主體的所述潔凈空氣經(jīng)由所述進(jìn)風(fēng)口導(dǎo)入到所述空間
的吸引風(fēng)扇； 應(yīng)連通所述空間和所述腔室、氣密地結(jié)合所述臺(tái)及所述天棚的回流管道。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的潔凈系統(tǒng)的剖視圖。
圖2是沿圖1的II-II線(xiàn)取的剖視圖。
圖3是變形例的潔凈系統(tǒng)的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。雖然在下面舉例說(shuō)明了用于暫時(shí)儲(chǔ)存 作為顯示裝置的元件的玻璃襯底、并供給到下游的裝置的保管裝置，但本發(fā)明的實(shí)施并不 限于此。 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的潔凈系統(tǒng)l，如圖1所示，是利用建筑物3內(nèi)的房間5來(lái)構(gòu) 筑的。房間5的地板面5f ，為防止發(fā)生塵埃，在例如砂漿上涂布敷了由聚氨酯樹(shù)脂等構(gòu)成的 涂料的結(jié)構(gòu)，但不限于此。房間5的天棚5c低于建筑物3的天棚面，在兩者之間確?？諝?可以流通的天棚腔室7。天棚5c具有開(kāi)口，與開(kāi)口連通而設(shè)置有向下方供給潔凈空氣的送 風(fēng)裝置9。供給潔凈空氣的送風(fēng)裝置9具有從空氣中去除細(xì)微塵埃及其它污染物的過(guò)濾器 和將已凈化的空氣送出的風(fēng)扇，也可以采用能適用于潔凈室的任何公知裝置。房間5具有 應(yīng)連通其地板面附近與天棚腔室7的大致垂直的回流管道11。回流管道11也做成應(yīng)使空 氣流通的結(jié)構(gòu)。 保管裝置13具有裝置主體15、臺(tái)17、一對(duì)框架19及其它部件。臺(tái)17設(shè)置在地板 面5f上， 一對(duì)框架19固定在臺(tái)17上，其它部件用框架19支撐。 各框架19具有垂直地延伸的軌道21，軌道21分別可升降地支撐著支撐部件25。 支撐部件25利用電動(dòng)馬達(dá)等的驅(qū)動(dòng)裝置(未圖示)驅(qū)動(dòng)而升降。支撐部25進(jìn)一步支撐卡 式盒23?？ㄊ胶?3具有在垂直方向?qū)盈B的多個(gè)水平的容納部，在各容納部容納有玻璃板 W。通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)，可將所容納的多個(gè)玻璃板中的任意的玻璃板W設(shè)置在所需高 度，進(jìn)而在所述高度進(jìn)行需要的處理。 作為保管裝置13，可利用公知的裝置，作為這種裝置可列舉例如日本國(guó)特開(kāi) 2005-159141號(hào)及日本國(guó)特開(kāi)2005-175429號(hào)公報(bào)所公開(kāi)的裝置。 臺(tái)17，與其下面一體地具有管道部件27。管道部件27的下面設(shè)有開(kāi)口，但若直接 將管道部件27設(shè)置在地板面5f上，則下面的開(kāi)口將被地板面5f堵塞，構(gòu)成可通氣的管道 CD。即，具有管道部件27的臺(tái)17具有在與地板面7f之間氣密地圍住可通氣的空間的結(jié)構(gòu)。 管道部件27，進(jìn)一步具有與所述空間連通的多個(gè)進(jìn)風(fēng)口 27t，臺(tái)17具有分別與所述進(jìn)風(fēng)口27t連通的多個(gè)開(kāi)口 17h。在開(kāi)口 17h分別設(shè)置有吸引風(fēng)扇29，設(shè)置成將上方的空氣導(dǎo)入到 所述空間中。 管道CD與回流管道11氣密地結(jié)合，導(dǎo)入到所述空間的空氣經(jīng)由回流管道11而向 天棚腔室7回流。 天棚腔室7中的空氣通過(guò)送風(fēng)裝置9凈化并供給到下方。因此，保管裝置13容納 潔凈空氣，在其周?chē)S持潔凈環(huán)境。通過(guò)保管裝置13的驅(qū)動(dòng)雖發(fā)生少許塵埃乃至污染物 質(zhì)，但包含這些的空氣被吸引風(fēng)扇29吸引而導(dǎo)入管道CD。所述空氣經(jīng)由管道CD及回流管 道11而回流到天棚腔室7，重新受到送風(fēng)裝置9的凈化。 根據(jù)本實(shí)施方式，即使在沒(méi)有如具有格柵的地板等的潔凈室所特有結(jié)構(gòu)的房間 中，也能容易實(shí)現(xiàn)與潔凈室相同的潔凈環(huán)境。并且，因可節(jié)省格柵下的閑置空間，可對(duì)裝置 的設(shè)計(jì)提供很大的自由度。 上述實(shí)施方式可進(jìn)行多種變形。例如，如圖3所示的變形例中的潔凈系統(tǒng)31，也 可用下面無(wú)開(kāi)口且以其自身氣密地圍住空氣流通的空間的管道33來(lái)代替下面開(kāi)口的管道 部件27。管道33也可直接設(shè)置在地板面5f上。因此，這些變形例也可容易地實(shí)現(xiàn)潔凈環(huán) 境，對(duì)裝置的設(shè)計(jì)提供很大的自由度。 如上所述，雖然參照了適當(dāng)?shù)膶?shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明，但本發(fā)明并不限定于上述 實(shí)施方式?；谏鲜龉_(kāi)的內(nèi)容，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可通過(guò)實(shí)施方式的修正乃至 變形來(lái)實(shí)施本發(fā)明。 本發(fā)明可提供一種容易構(gòu)筑潔凈環(huán)境，且對(duì)裝置的設(shè)計(jì)提供很大的自由度的潔凈 系統(tǒng)。
權(quán)利要求
一種處理裝置，該處理裝置與具有供給潔凈空氣的送風(fēng)裝置和地板面的房間共同利用，其特征在于，其具有可容納所述潔凈空氣的裝置主體和臺(tái)；該臺(tái)支撐所述裝置主體，是從以下組中選擇的任意臺(tái)；即具有在與所述地板面之間氣密地圍住可通氣的空間的結(jié)構(gòu)的臺(tái)，以及氣密地圍住可通氣的空間且可設(shè)置在所述地板面上的臺(tái)；所述臺(tái)具有與所述空間連通的進(jìn)風(fēng)口，將已通過(guò)所述裝置主體的所述潔凈空氣經(jīng)由所述進(jìn)風(fēng)口導(dǎo)入到所述空間的吸引風(fēng)扇。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理裝置，其特征在于，還具有與所述臺(tái)氣密地結(jié)合，且構(gòu) 成為使導(dǎo)入到所述空間的所述潔凈空氣向所述送風(fēng)裝置回流的回流管道。
3. —種潔凈系統(tǒng)，其特征在于，具有 具有圍住腔室的天棚和地板面的房間；與所述腔室連通，凈化所述腔室內(nèi)的空氣并供給潔凈空氣的送風(fēng)裝置； 配置成可容納所述潔凈空氣的裝置主體；臺(tái)；該臺(tái)支撐所述裝置主體，是從以下組中選擇的任意臺(tái)；艮卩 構(gòu)成為在與所述地板面之間氣密地圍住可通氣的空間的臺(tái)，以及氣密地圍住可通氣的空間且可設(shè)置在所述地板面上的臺(tái)；所述臺(tái)具有與所述空間連 通的進(jìn)風(fēng)口 ，將已通過(guò)所述裝置主體的所述潔凈空氣經(jīng)由所述進(jìn)風(fēng)口導(dǎo)入到所述空間的吸 引風(fēng)扇；應(yīng)連通所述空間和所述腔室、氣密地結(jié)合所述臺(tái)及所述天棚的回流管道。
全文摘要
本發(fā)明涉及處理裝置及具有處理裝置的潔凈系統(tǒng)。這種潔凈系統(tǒng)，具有具有圍住腔室的天棚和地板面的房間；與所述腔室連通，凈化所述腔室內(nèi)的空氣并供給潔凈空氣的送風(fēng)裝置；配置成可容納所述潔凈空氣的裝置主體；臺(tái)；該臺(tái)支撐所述裝置主體，是從以下組中選擇的任意臺(tái)；即構(gòu)成為在與所述地板面之間氣密地圍住可通氣的空間的臺(tái)，以及氣密地圍住可通氣的空間且可設(shè)置在所述地板面上的臺(tái)；所述臺(tái)具有與所述空間連通的進(jìn)風(fēng)口，將已通過(guò)所述裝置主體的所述潔凈空氣經(jīng)由所述進(jìn)風(fēng)口導(dǎo)入到所述空間的吸引風(fēng)扇；應(yīng)連通所述空間和所述腔室、氣密地結(jié)合所述臺(tái)及所述天棚的回流管道。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101779085SQ20088010005
公開(kāi)日2010年7月14日 申請(qǐng)日期2008年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月27日
發(fā)明者平田賢輔 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Ihi