基板處理裝置的制作方法

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導(dǎo)航： X技術(shù)> 最新專利>電氣元件制品的制造及其應(yīng)用技術(shù)

專利名稱：基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對基板進(jìn)行處理的基板處理裝置。
背景技術(shù)：
以往，為了對半導(dǎo)體晶片、光掩模用玻璃基板、液晶顯示裝置用玻璃基板、光盤用玻璃基板等基板進(jìn)行各種處理而使用基板處理裝置。
例如，在JP特開2005-85882號(hào)公報(bào)所示的基板處理裝置中，在矩形處理區(qū)域的大致中央部配置有用于搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)機(jī)械手。以包圍基板搬運(yùn)機(jī)械手的方式配置有多個(gè)(例如為四個(gè))基板藥液處理部。
在處理區(qū)域的一端部一側(cè)，設(shè)置有具有分度器機(jī)械手的分度器單元。在分度器單元裝載有用于容納多個(gè)基板的盒。分度器機(jī)械手從任意一個(gè)盒中取出處理前的基板并將其交給基板搬運(yùn)機(jī)械手，并且從基板搬運(yùn)機(jī)械手接受處理后的基板并將其容納在盒中。
在分度器機(jī)械手設(shè)置有用于保持基板的手部。例如，具有兩個(gè)手部以規(guī) 定間隔被上下重疊設(shè)置的分度器機(jī)械手。該分度器機(jī)械手例如如下進(jìn)行而從盒取出基板以及向盒內(nèi)容納基板的操作。
分度器機(jī)械手在將從基板搬運(yùn)機(jī)械手接受的處理后的基板保持在下側(cè) 的手部的狀態(tài)下向盒的正面位置移動(dòng)。在盒內(nèi)設(shè)有多層擱板。接著，將上側(cè) 的手部的高度調(diào)整到盒的容納有基板的擱板的高度。從而使上側(cè)的手部向盒內(nèi)前進(jìn)，并且稍微上升從而保持盒內(nèi)的基板，此后，使上側(cè)的手部后退。由此，能夠從盒中取出處理前的基板。
接著，將保持基板的下側(cè)的手部的高度調(diào)整到盒的應(yīng)該容納基板的擱板的高度。從而使下側(cè)的手部向盒內(nèi)前進(jìn)，并且稍微下降將基板裝載在盒的擱板上，此后，使下側(cè)的手部后退。由此，能夠?qū)⑻幚砗蟮幕迦菁{在盒中。
在如上所述的分度器機(jī)械手中，分別需要調(diào)整上側(cè)的手部的高度的時(shí)間和調(diào)整下側(cè)的手部的高度的時(shí)間。并且，分別需要通過上側(cè)的手部進(jìn)行的基
板的容納動(dòng)作和通過下側(cè)的手部進(jìn)行的基板的取出動(dòng)作所要的時(shí)間。由此，難以縮短基板從盒中取出以及將基板容納于盒中時(shí)分度器機(jī)械手的動(dòng)作時(shí) 間。其結(jié)果是，阻礙基板處理裝置的生產(chǎn)效率的提高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠提高生產(chǎn)效率的基板處理裝置。 (1)本發(fā)明的基板處理裝置具有處理部，其用于對基板進(jìn)行處理；搬入搬出部，其用于對處理部搬入以及搬出基板；搬入搬出部包含容器裝載部，其用于裝載容納容器，其中該容納容器用于將多個(gè)基板容納為多層；第一基板搬運(yùn)裝置，其用于在裝載于容器裝載部的容納容器和處理部之間搬運(yùn)基板；第一基板搬運(yùn)裝置具有第一以及第二基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；移動(dòng)機(jī)構(gòu)部，其設(shè)置為能夠在大致水平的一個(gè)方向上移動(dòng)并且能夠圍繞大致鉛垂方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)；第一進(jìn)退機(jī)構(gòu)部，其使第一基板保持部在大致水平方向上進(jìn)退；第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部，其使第二基板保持部在大致水平方向上進(jìn)退；第一升降機(jī)構(gòu)部，其使第一進(jìn)退機(jī)構(gòu)部相對于移動(dòng)機(jī)構(gòu)部在大致鉛垂方向上升降；第二升降機(jī)構(gòu)部，其使第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部相對于移動(dòng) 機(jī)構(gòu)部在大致鉛垂方向上升降。
在該基板處理裝置中，在多層上容納有多個(gè)未處理的基板的容納容器裝載在搬入搬出部的容器裝載部。未處理的基板通過第一基板搬運(yùn)裝置從容納容器被取出，并且被搬運(yùn)到處理部。在處理部對基板進(jìn)行處理。處理后的基板通過第一基板搬運(yùn)裝置再次被容納在容納容器中。
在從容納容器取出未處理的基板以及向容納容器容納處理后的基板時(shí)，第一基板搬運(yùn)裝置在通過第一以及第二基板保持部中的一個(gè)保持處理后的基板的狀態(tài)下，通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)部向與容納容器相對的位置移動(dòng)。第一以及第二基板保持部通過第一以及第二升降機(jī)構(gòu)部分別被調(diào)整到規(guī)定的高度。
接著，第一基板搬運(yùn)裝置通過第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部使第一以及第二基板保持部同時(shí)前進(jìn)，使其進(jìn)入到容納容器內(nèi)。另外，第一基板搬運(yùn)裝置通過第一以及第二升降機(jī)構(gòu)部使第一以及第二基板保持部中的一個(gè)下降并且使另一個(gè)上升。由此，能夠?qū)⑼ㄟ^第一以及第二基板保持部中的一個(gè)所保持的處理后的基板容納在容納容器內(nèi)，并且能夠通過第一以及第二基板保持部
中的另一個(gè)保持容納在容納容器內(nèi)的未處理的基板。此后，第一基板搬運(yùn)裝置通過第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部使第一以及第二基板保持部同時(shí)后退。
這樣，第一基板搬運(yùn)裝置能夠同時(shí)進(jìn)行從容納容器取出未處理的基板以及向容納容器容納處理后的基板的操作。由此，能夠縮短第一基板搬運(yùn)裝置的動(dòng)作時(shí)間。結(jié)果，能夠提高基板處理裝置的處理能力。
另外，因?yàn)槟軌蛲ㄟ^第一以及第二升降機(jī)構(gòu)部任意調(diào)整第一以及第二基板保持部的間隔，所以即使容納容器的應(yīng)該取出未處理的基板的位置和應(yīng)該容納處理后的基板的位置之間的間隔不固定，也能夠可靠地同時(shí)進(jìn)行基板的取出以及容納操作。因此，可以可靠地縮短第一基板搬運(yùn)裝置的動(dòng)作時(shí)間。
(2) 本發(fā)明的基板處理裝置也可是，容納容器具有用于容納基板的多層擱板，第一基板搬運(yùn)裝置在第一基板保持部保持基板并且第二基板保持部沒有保持基板的狀態(tài)下通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)部而與容納容器相對，通過第一升降機(jī) 構(gòu)部將第一基板保持部調(diào)整到容納容器的沒有容納基板的擱板的高度，并且通過第二升降機(jī)構(gòu)部將第二基板保持部調(diào)整到容納容器的容納著基板的擱板的高度，通過第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部使第一以及第二基板保持部向容納容器內(nèi)同時(shí)前進(jìn)，通過第一升降機(jī)構(gòu)部使第一基板保持部下降，并且通過第二升降機(jī)構(gòu)部使第二基板保持部上升，通過第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部使第一以及第二基板保持部從容納容器同時(shí)后退。
此時(shí)，第一基板搬運(yùn)裝置能夠在將保持在第一基板保持部的處理后的基板容納在容納容器的未容納基板的擱板上的同時(shí)，通過第二基板保持部從容
納容器的擱板取出未處理的基板。由此，能夠縮短第一基板搬運(yùn)裝置的動(dòng)作時(shí)間。結(jié)果，能夠提高基板處理裝置的處理能力。
(3) 本發(fā)明的基板處理裝置也可是，容納容器具有用于容納基板的多層擱板，第一基板搬運(yùn)裝置在第一基板保持部沒有保持基板并且第二基板保持部保持基板的狀態(tài)下通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)部與容納容器相對，通過第一升降機(jī)構(gòu) 部將第一基板保持部調(diào)整到容納容器的容納著基板的擱板的高度，并且通過第二升降機(jī)構(gòu)部將第二基板保持部調(diào)整到容納容器的沒有容納基板的擱板的高度，通過第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部使第一以及第二基板保持部向容納容器內(nèi)同時(shí)前進(jìn)，通過第一升降機(jī)構(gòu)部使第一基板保持部上升，并且通過第二升降機(jī)構(gòu)部使第二基板保持部下降，通過第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部使第一以
及第二基板保持部從容納容器同時(shí)后退。
此時(shí)，第一基板搬運(yùn)裝置能夠在通過第一基板保持部從容納容器的擱板取出未處理的基板的同時(shí)，將保持在第二基板保持部的處理后的基板容納在容納容器的未容納基板的擱板上。由此，能夠縮短第一基板搬運(yùn)裝置的動(dòng)作時(shí)間。結(jié)果，能夠提高基板處理裝置的處理能力。
(4)基板處理裝置還具有用于在處理部和搬入搬出部之間進(jìn)行基板的交接的交接裝置；交接裝置包含第三以及第四基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；第一開閉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其將第三以及第四基板保持部向相互離開的方向以及相互靠近的方向驅(qū)動(dòng)；處理部包含處理單元，其用于處理基板；第二基板搬運(yùn)裝置，其用于在交接裝置和處理單元之間搬運(yùn)基板；第二基板搬運(yùn)裝置具有呈上下配置并且用于保持基板的第五以及第六基板保持部。
此時(shí)，第一基板搬運(yùn)裝置將未處理的基板交給交接裝置，并且從交接裝置接受處理后的基板。交接裝置將未處理的基板交給第二基板搬運(yùn)裝置，并且從第二基板搬運(yùn)裝置接受處理后的基板。第二基板搬運(yùn)裝置對處理單元進(jìn) 行未處理的基板的搬入和處理后的基板的搬出的操作。
在進(jìn)行第一基板搬運(yùn)裝置和交接裝置之間的基板的交接時(shí)，在第一基板搬運(yùn)裝置通過第一以及第二基板保持部中的一個(gè)保持未處理的基板，交接裝置通過第三以及第四基板保持部中的一個(gè)保持處理后的基板的狀態(tài)下，第一基板搬運(yùn)裝置與交接裝置相對。另外，第一基板搬運(yùn)裝置使第一以及第二基板保持部向與交接裝置的第三以及第四基板保持部在上下方向重疊的位置刖進(jìn)。
在該狀態(tài)下，交接裝置通過第一開閉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)改變第三以及第四基板保持部的間隔。由此，通過第一基板搬運(yùn)裝置的第一以及第二基板保持部中的一個(gè)保持的未處理的基板交給交接裝置的第三以及第四基板保持部中的另一個(gè)。同時(shí)，通過交接裝置的第三以及第四基板保持部中的一個(gè)保持的處理后的基板交給第一基板搬運(yùn)裝置的第一以及第二基板保持部中的另一個(gè)。
這樣，能夠同時(shí)進(jìn)行從第一基板搬運(yùn)裝置向交接裝置的未處理的基板的交接以及從交接裝置向第一基板搬運(yùn)裝置的處理后的基板的交接。
在進(jìn)行交接裝置和第二基板搬運(yùn)裝置之間的基板的交接時(shí)，在交接裝置
通過第三以及第四基板保持部中的另一個(gè)保持未處理的基板，第二基板搬運(yùn) 裝置通過第五以及第六基板保持部中的一個(gè)保持處理后的基板的狀態(tài)下，交接裝置與第二基板搬運(yùn)裝置相對。另外，第二基板搬運(yùn)裝置使第五以及第六基板保持部向與交接裝置的第三以及第四基板保持部在上下方向重疊的位
置目u進(jìn)。
在該狀態(tài)下，交接裝置通過第一開閉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)改變第三以及第四基板保持部的間隔。由此，通過交接裝置的第三以及第四基板保持部中的另一個(gè)保持的未處理的基板交給第二基板搬運(yùn)裝置的第五以及第六基板保持部中的另一個(gè)。同時(shí)，通過第二基板搬運(yùn)裝置的第五以及第六基板保持部中的一個(gè) 保持的處理后的基板交給交接裝置的第三以及第四基板保持部中的一個(gè)。
這樣，能夠同時(shí)進(jìn)行從交接裝置向第二基板搬運(yùn)裝置的未處理的基板的交接以及從第二基板搬運(yùn)裝置向交接裝置的處理后的基板的交接。
由此，能夠在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行第一基板搬運(yùn)裝置與交接裝置之間的基板的交接以及交接裝置與第二基板搬運(yùn)裝置之間的基板的交接。結(jié)果，能夠進(jìn)一步提高基板處理裝置的處理能力。
(5)基板處理裝置還具有用于在處理部和搬入搬出部之間進(jìn)行基板的交接的交接裝置；交接裝置包含呈上下配置并且用于保持基板的第三以及第四基板保持部；處理部包含處理單元，其用于處理基板；第二基板搬運(yùn)裝置，其用于在交接裝置和處理單元之間搬運(yùn)基板；第二基板搬運(yùn)裝置具有第五以及第六基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；第二開閉驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)，其將第五以及第六基板保持部向相互離開的方向以及相互靠近的方向驅(qū)動(dòng)。
此時(shí)，在進(jìn)行第一基板搬運(yùn)裝置和交接裝置之間的基板的交接時(shí)，在第一基板搬運(yùn)裝置通過第一以及第二基板保持部中的一個(gè)保持未處理的基板，交接裝置通過第三以及第四基板保持部中的一個(gè)保持處理后的基板的狀態(tài) 下，第一基板搬運(yùn)裝置與交接裝置相對。另外，第一基板搬運(yùn)裝置使第一以及第二基板保持部向與交接裝置的第三以及第四基板保持部在上下方向重疊的位置前進(jìn)。
在該狀態(tài)下，第一基板搬運(yùn)裝置通過第一以及第二升降機(jī)構(gòu)部改變第一以及第二基板保持部的間隔。由此，通過第一基板搬運(yùn)裝置的第一以及第二
基板保持部中的一個(gè)保持的未處理的基板交給交接裝置的第三以及第四基板保持部中的另一個(gè)。同時(shí)，通過交接裝置的第三以及第四基板保持部中的一個(gè)保持的處理后的基板交給第一基板搬運(yùn)裝置的第一以及第二基板保持部中的另一個(gè)。
這樣，能夠同時(shí)進(jìn)行從第一基板搬運(yùn)裝置向交接裝置的未處理的基板的交接以及從交接裝置向第一基板搬運(yùn)裝置的處理后的基板的交接。
在進(jìn)行交接裝置和第二基板搬運(yùn)裝置之間的基板的交接時(shí)，在交接裝置通過第三以及第四基板保持部中的另一個(gè)保持未處理的基板，第二基板搬運(yùn) 裝置通過第五以及第六基板保持部中的一個(gè)保持處理后的基板的狀態(tài)下，交接裝置與第二基板搬運(yùn)裝置相對。另外，第二基板搬運(yùn)裝置使第五以及第六基板保持部向與交接裝置的第三以及第四基板保持部在上下方向重疊的位置前進(jìn)。
在該狀態(tài)下，第二基板搬運(yùn)裝置通過第二開閉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)改變第五以及第六基板保持部的間隔。由此，通過交接裝置的第三以及第四基板保持部中的另一個(gè)保持的未處理的基板交給第二基板搬運(yùn)裝置的第五以及第六基板保持部中的另一個(gè)。同時(shí)，通過第二基板搬運(yùn)裝置的第五以及第六基板保持部中的一個(gè)保持的處理后的基板交給交接裝置的第三以及第四基板保持部中的一個(gè)。
這樣，能夠同時(shí)進(jìn)行從交接裝置向第二基板搬運(yùn)裝置的未處理的基板的交接以及從第二基板搬運(yùn)裝置向交接裝置的處理后的基板的交接。
由此，能夠在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行第一基板搬運(yùn)裝置與交接裝置之間的基板的交接以及交接裝置與第二基板搬運(yùn)裝置之間的基板的交接。結(jié)果，能夠進(jìn)一步提高基板處理裝置的處理能力。
(6)處理部包含處理單元，其用于處理基板；第二基板搬運(yùn)裝置，其用于在第一基板搬運(yùn)裝置和處理單元之間搬運(yùn)基板；第二基板搬運(yùn)裝置也
可以具有呈上下配置并且用于保持基板的第五以及第六基板保持部。此時(shí)，第一基板搬運(yùn)裝置將未處理的基板交給第二基板搬運(yùn)裝置，并且
從第二基板搬運(yùn)裝置接受處理后的基板。第二基板搬運(yùn)裝置對處理單元進(jìn)行
未處理的基板的搬入以及處理后的基板的搬出的操作。
在進(jìn)行第一基板搬運(yùn)裝置和第二基板搬運(yùn)裝置之間的基板的交接時(shí)，在
第一基板搬運(yùn)裝置通過第一以及第二基板保持部中的一個(gè)保持未處理的基板，第二基板搬運(yùn)裝置通過第五以及第六基板保持部中的一個(gè)保持處理后的基板的狀態(tài)下，第一以及第二基板搬運(yùn)裝置相對。另外，為了使第一以及第二基板保持部和第五以及第六基板保持部在上下方向重疊，第一基板搬運(yùn)裝置使第一以及第二基板保持部前進(jìn)，并且第二基板搬運(yùn)裝置使第五以及第六基板保持部前進(jìn)。
在該狀態(tài)下，第一基板搬運(yùn)裝置通過第一以及第二升降機(jī)構(gòu)部改變第一以及第二基板保持部的間隔。由此，通過第一基板搬運(yùn)裝置的第一以及第二基板保持部中的一個(gè)保持的未處理的基板交給第二基板搬運(yùn)裝置的第五以及第六基板保持部中的另一個(gè)。同時(shí)，通過第二基板搬運(yùn)裝置的第五以及第六基板保持部中的一個(gè)保持的處理后的基板交給第一基板搬運(yùn)裝置的第一以及第二基板保持部中的另一個(gè)。
這樣，能夠同時(shí)進(jìn)行從第一基板搬運(yùn)裝置向第二基板搬運(yùn)裝置的未處理的基板的交接以及從第二基板搬運(yùn)裝置向第一基板搬運(yùn)裝置的處理后的基板的交接。由此，能夠在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行第一基板搬運(yùn)裝置與第二基板搬運(yùn)裝置之間的基板的交接。結(jié)果，能夠進(jìn)一步提高基板處理裝置的處理能力。

圖1是表示第一實(shí)施方式的基板處理裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖2是圖1的K1—Kl剖視圖3是圖1的K2—K2剖視圖4A和圖4B是表示搬運(yùn)器的詳細(xì)情況的圖5A和圖5B是用于說明分度器機(jī)^^手對搬運(yùn)器進(jìn)行基板的取出以及容納動(dòng)作的側(cè)視示意圖6C是用于說明分度器機(jī)械手對搬運(yùn)器進(jìn)行基板的取出以及容納動(dòng)作的側(cè)視示意圖7A 圖7D是用于說明分度器機(jī)械手和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)之間的基板的交接動(dòng)作的側(cè)視示意圖8A 圖8D是用于說明梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和基板搬運(yùn)機(jī)械手之間的基板的交接動(dòng)作的側(cè)視示意圖；圖9A和圖9B是用于說明分度器機(jī)械手的基板的取出以及容納動(dòng)作的其他例子的側(cè)視示意圖10C是用于說明分度器機(jī)械手的基板的取出以及容納動(dòng)作的其他例子的側(cè)視示意圖11是第二實(shí)施方式的基板處理裝置的剖視圖12A 圖12D是用于說明第二實(shí)施方式中的分度器機(jī)械手和梭搬運(yùn)機(jī) 構(gòu)之間的基板的交接動(dòng)作的側(cè)視示意圖13A 圖13D是用于說明第二實(shí)施方式中的梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和基板搬運(yùn)機(jī) 械手之間的基板的交接動(dòng)作的圖14是第三實(shí)施方式的基板處理裝置的俯視圖15A 圖15D是用于說明第三實(shí)施方式中的分度器機(jī)械手和基板搬運(yùn) 機(jī)械手之間的基板的交接動(dòng)作的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式的基板處理裝置。在以下的說明中，基板指的是半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板、 PDP (等離子顯示屏)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盤用基板等。 (1)第一實(shí)施方式 (l一l)基板處理裝置的結(jié)構(gòu)
圖1是表示第一實(shí)施方式的基板處理裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是圖1 的K1—Kl剖視圖、圖3是圖1的K2—K2剖視圖。
如圖1所示，該基板處理裝置100具有相互相鄰的分度器ID和處理部 PR。在分度器ID中，以與處理部PR的一端相鄰的方式形成有沿著水平方向的第一軸Sa延伸的基板搬運(yùn)路徑190。沿著基板搬運(yùn)路徑190的側(cè)邊設(shè)置有搬運(yùn)器裝載部1S。在搬運(yùn)器裝載部IS上，裝載有用于容納多個(gè)基板W的四個(gè)搬運(yùn)器l。
在基板搬運(yùn)路徑190內(nèi)設(shè)置有在四個(gè)搬運(yùn)器1和處理部PR之間搬運(yùn)基板W的分度器機(jī)械手IR。分度器機(jī)械手IR在基板搬運(yùn)路徑l卯內(nèi)可以沿第一軸Sa移動(dòng)。
在分度器ID的一部分上，裝載有控制部4?？刂撇?包括具有CPU (中
央運(yùn)算處理裝置)的計(jì)算機(jī)等，用于控制基板處理裝置100的各構(gòu)成要素。
在處理部PR的中央部，設(shè)置有基板搬運(yùn)機(jī)械手CR。以環(huán)繞基板搬運(yùn)機(jī) 械手CR的方式設(shè)置有清洗處理單元5a 5h以及交接部3。
清洗處理單元5a 5d層疊在清洗處理單元5e 5h上，清洗處理單元5a、 5b、 5e、 5f和清洗處理單元5d、 5c、 5h、 5g隔著基板搬運(yùn)機(jī)械手CR分別相對。清洗處理單元5a 5h例如使用BHF (緩沖氫氟酸)、DHF (稀氫氟酸) 或氫氟酸等處理液進(jìn)行基板W的清洗處理。
在處理部PR的四個(gè)角部，設(shè)置有流體箱部2a 2d。流體箱部2a 2d 的每一個(gè)容納有與流向清洗處理單元5a 5h的處理液的供給以及來自清洗處理單元5a 5h的處理液的廢棄等相關(guān)的配管、接頭、閥、流量計(jì)、調(diào)節(jié) 器、泵、溫度調(diào)整器、處理液積存槽等的流體相關(guān)器件。
交接部3以沿與上述第一軸Sa垂直的水平方向的第二軸Sb延伸的方式配置。交接部3具有搬運(yùn)軌道301以及梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310。
搬運(yùn)軌道301沿第二軸Sb延伸。梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310在保持基板W的同時(shí) 在搬運(yùn)軌道301上往復(fù)移動(dòng)。由此，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310在交接部3的分度器ID 側(cè)的一個(gè)端部(以下稱為第一交接位置)和處理部PR側(cè)的另一個(gè)端部(以下稱為第二交接位置)之間搬運(yùn)基板W。
如圖2所示，圖1的分度器機(jī)械手IR具有第一以及第二基板保持機(jī)構(gòu) 110、 120、第一以及第二升降機(jī)構(gòu)130、 140、轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)150和移動(dòng)機(jī)構(gòu)160。
第一以及第二基板保持機(jī)構(gòu)110、 120分別設(shè)置在第一以及第二升降機(jī) 構(gòu)130、 140上。第一以及第二升降機(jī)構(gòu)130、 140設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)150上。轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)150設(shè)置在移動(dòng)機(jī)構(gòu)160上。
如圖3所示，第一以及第二基板保持機(jī)構(gòu)110、 120分別具有臂部AR1、 AR2以及手部IH1、 IH2。手部IH1、 IH2在水平方向上延伸，分別由臂部 AR1、 AR2支承。手部IH1配置成重疊在手部IH2的上方。通過臂部AR1、 AR2的屈伸，手部IH1、 IH2在水平方向進(jìn)行進(jìn)退動(dòng)作。在搬運(yùn)基板W時(shí)，在手部IH1 、 IH2的上表面一側(cè)保持基板W。
回到圖2，第一以及第二升降機(jī)構(gòu)130、 140分別獨(dú)立地使第一以及第二基板保持機(jī)構(gòu)110、 120進(jìn)行升降動(dòng)作。轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)150如箭頭0所示使第一以及第二升降機(jī)構(gòu)130、 140圍繞鉛垂方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)160具有分
度器導(dǎo)軌161以及移動(dòng)臺(tái)162。分度器導(dǎo)軌161沿第一軸Sa安裝在基板處理裝置100的底面。移動(dòng)臺(tái)162在分度器導(dǎo)軌161上沿第一軸Sa移動(dòng)。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，該分度器機(jī)械手IR進(jìn)行如下動(dòng)作沿第一軸Sa在水平方向移動(dòng)的往復(fù)移動(dòng)動(dòng)作；使第一以及第二基板保持機(jī)構(gòu)110、 120圍繞鉛垂方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作；使第一以及第二基板保持機(jī)構(gòu)110、 120在鉛垂方向升降的升降動(dòng)作；使手部IH1、 IH2進(jìn)退的進(jìn)退動(dòng)作。
如圖3所示，交接部3的梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310具有梭移動(dòng)裝置320、手部SH1、 SH2、以及升降缸311、 312。升降缸311、 312固定在梭移動(dòng)裝置320上。手部SH1固定在升降缸312的上端，手部SH2固定在升降缸311的上端。在搬運(yùn)基板W時(shí)，在手部SH1、 SH2的上表面一側(cè)保持基板W。
手部SH1和手部SH2相互配置在上下位置。手部SH1、 SH2通過升降缸311、 312進(jìn)行相互離開的打開狀態(tài)和相互靠近的閉合狀態(tài)之間的切換。另外，代替分別獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)手部SH1、 SH2的升降缸311、 312，也可以使用一體地驅(qū)動(dòng)手部SH1、 SH2而在閉合狀態(tài)和打開狀態(tài)之間進(jìn)行切換的機(jī)構(gòu)。
另外，在交接部3中，通過未圖示的傳感器檢測在手部SH1、 SH2上是否存在基板W。為了容易地進(jìn)行該檢測，在水平方向上彼此錯(cuò)開地配置手部 SH1和手部SH2。而且，若能夠檢測在手部SH1、 SH2上是否存在基板，則也可以在手部SH2的正上方配置手部SH1。
基板搬運(yùn)機(jī)械手CR具有手部CRH1、 CRH2以及搬運(yùn)臂321、 322。手部CRH1、 CRH2分別在水平方向延伸，以相距一定間隔在上下方向相互重疊的方式分別被搬運(yùn)臂321、 322支承。手部CRH1、 CRH2的間隔比梭搬運(yùn) 機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2呈打開狀態(tài)時(shí)的間隔小，比梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2呈閉合狀態(tài)時(shí)的間隔大。
搬運(yùn)臂321、 322通過未圖示的升降機(jī)構(gòu)一體地升降，并且，通過未圖示的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)圍繞鉛垂方向的軸一體地轉(zhuǎn)動(dòng)。 (l一2)動(dòng)作
接著，參照圖1 圖3依次說明分度器機(jī)械手IR、梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的動(dòng)作。以下說明的各構(gòu)成要素的動(dòng)作由控制部4控制。
分度器機(jī)械手IR通過手部IH2從搬運(yùn)器1取出未處理的基板W。接著，分度器機(jī)械手IR移動(dòng)到與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310相對的位置，通過手部IH1從梭
搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1接收處理后的基板W，并且將保持在手部IH2的未處理的基板W交給梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2。
接著，分度器機(jī)械手IR移動(dòng)到與任意一個(gè)搬運(yùn)器1相對的位置，通過手部IH2從搬運(yùn)器1取出未處理的基板W，并且將保持在手部IH1的處理后的基板W容納在搬運(yùn)器1中。分度器機(jī)械手IR連續(xù)地進(jìn)行如上所述的動(dòng)作。
梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310在第一交接位置上通過手部SH2從分度器機(jī)械手IR的手部IH2接受未處理的基板W后，移動(dòng)到第二交接位置。接著，通過手部 SH1從基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1接受處理后的基板W，并且將保持在手部SH2的未處理的基板W交給基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH2。
接著，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310移動(dòng)到第一交接位置，通過手部SH2從分度器機(jī)
械手ir的手部iH2接受未處理的基板w，并且將保持在手部sm的處理后
的基板W交給分度器機(jī)械手ir的手部IH1 。梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310連續(xù)地進(jìn)行如上所述的動(dòng)作。
基板搬運(yùn)機(jī)械手CR在通過手部CRH2從梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2接受未處理的基板W后，為了與清洗處理單元5a 5h中的任一個(gè)相對而進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。接著，通過手部CRHl從清洗處理單元5a 5h搬出處理后的基板W，并且向該清洗處理單元5a 5h搬入保持在手部CRH2上的未處理的基板W。
接著，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR轉(zhuǎn)動(dòng)以與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310相對，通過手部 CRH2從梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2接受未處理的基板W，并且將保持在手部CRH1的處理后的基板W交給梭搬運(yùn)裝置310的手部SH1。基板搬運(yùn)機(jī) 械手CR連續(xù)地進(jìn)行如上所述的動(dòng)作。
通過這樣的分度器機(jī)械手IR的動(dòng)作、梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的動(dòng)作以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的動(dòng)作，未處理的基板W從搬運(yùn)器1依次搬運(yùn)到清洗處理單元5a 5h，處理后的基板W從清洗處理單元5a 5h依次搬運(yùn)到搬運(yùn)器1中。 (l一3)搬運(yùn)器的詳細(xì)結(jié)構(gòu)
接著，說明搬運(yùn)器1的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。圖4A是搬運(yùn)器1的立體圖，圖4B 是搬運(yùn)器l的主視圖。
如圖4A以及圖4B所示，搬運(yùn)器l具有前面開口的箱型形狀，并且具有從兩側(cè)面向內(nèi)側(cè)突出設(shè)置的多個(gè)擱板31。多個(gè)擱板31在上下方向以規(guī)定間隔設(shè)置，在各擱板31上裝載基板W。
在本實(shí)施方式中，使用可以容納25張基板W的搬運(yùn)器1。在以下的說
明中，從搬運(yùn)器1的最上層的擱板31向最下層的擱板31依次稱為第1層、第2層、第3層......以及第25層的擱板31。另外，在本實(shí)施方式中，未處
理的基板W從搬運(yùn)器1的第1層第25層的擱板31依次被取出，處理后的基板W依次容納于在處理前被容納的搬運(yùn)器1的擱板31上。
在此，在基板處理裝置100進(jìn)行動(dòng)作時(shí)，在清洗處理單元5a 5h中并行地進(jìn)行基板W的處理，并且通過分度器機(jī)械手IR、梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR分別保持一張基板W。 S卩，成為共有11張基板W存在于搬運(yùn)器1的外部的狀態(tài)。由此，在搬運(yùn)器1中未容納有基板W的擱板31 共有11層。
例如，在從第12層的擱板31取出未處理的基板W時(shí)，在第1層第 11層的擱板31上未容納基板W。此吋，在第1層的擱板31上容納處理后的基板W。另夕卜，在從第16層的擱板31取出未處理的基板W時(shí)，在第5 層第15層的擱板31未容納基板W。此時(shí)，在第5層的擱板31上容納處理后的基板W。
以下，具有說明分度器機(jī)械手IR對搬運(yùn)器1進(jìn)行基板W的取出以及容納動(dòng)作。圖5A和圖5B以及圖6C是用于說明分度器機(jī)械手IR對搬運(yùn)器1 進(jìn)行基板W的取出以及容納動(dòng)作的側(cè)視示意圖。在圖5A和圖5B以及圖6C 中，作為一個(gè)例子，說明從第12層的擱板31取出未處理的基板W，并且在第1層的擱板31上容納處理后的基板W的情況。
首先，如圖5A所示，在通過手部IH1保持處理后的基板W的狀態(tài)下，分度器機(jī)械手IR與搬運(yùn)器1相對。此吋，手部IH1被調(diào)整到搬運(yùn)器1的第1 層的擱板31的高度，并且手部IH2被調(diào)整到搬運(yùn)器1的第12層的擱板31 的高度。詳細(xì)地說，手部IH1被調(diào)整到比第1層的擱板31稍高的位置，手部IR2被調(diào)整到比第12層的擱板31稍低的位置。
另外，分度器機(jī)械手IR的手部IH1 、 IH2的高度的調(diào)整也可以在分度器機(jī)械手IR從與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310相對的位置移動(dòng)到與搬運(yùn)器1相對的位置時(shí) 進(jìn)行。
接著，如圖5B所示，手部IH1、 IH2同時(shí)前進(jìn)，進(jìn)入到搬運(yùn)器l內(nèi)。接著，如圖6C所示，手部IH1稍微下降并后退，手部IH2稍微上升并后退。
由此，手部IH1所保持的基板W被裝載在搬運(yùn)器1的第1層，并且通過手
部IH2取出裝載在搬運(yùn)器1的第12層的未處理的基板W。
這樣，在本實(shí)施方式中，因?yàn)槟軌蚍謩e獨(dú)立地使手部IH1、 IH2升降，所以能夠同時(shí)進(jìn)行從搬運(yùn)器1取出未處理的基板W以及將處理后的基板W 容納于搬運(yùn)器l中的操作。
另外，在上述例子中說明了 11張基板W存在于搬運(yùn)器1外部的情況，但根據(jù)清洗處理單元5a 5h的數(shù)量的不同，存在于搬運(yùn)器1外部的基板W 的數(shù)量發(fā)生變動(dòng)。例如，若因故障等而導(dǎo)致使用的清洗處理單元5a 5h的數(shù)量減少，則存在于搬運(yùn)器1外部的基板W的數(shù)量變得比11張少。
由于存在于搬運(yùn)器1外部的基板W數(shù)量發(fā)生變動(dòng)，應(yīng)該取出搬運(yùn)器1 中的未處理的基板W的擱板31和應(yīng)該容納處理后的基板W的擱板31之間的間隔發(fā)生變動(dòng)。與此對應(yīng)，需要改變分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2之間的間隔。
在本實(shí)施方式中，因?yàn)槟軌蛉我飧淖兎侄绕鳈C(jī)械手IR的手部IH1、 IH2 之間的間隔，所以對應(yīng)不同的狀況，能夠準(zhǔn)確地同時(shí)進(jìn)行從搬運(yùn)器l取出基板W以及向搬運(yùn)器1容納基板W操作。
(1一4)分度器機(jī)械手和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)之間的基板的交接
接著，說明分度器機(jī)械手IR和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310之間的基板W的交接動(dòng) 作。圖7A 圖7D是用于說明分度器機(jī)械手IR和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310之間的基板 W的交接動(dòng)作的側(cè)視示意圖。
如圖7A所示，在通過分度器機(jī)械手IR的手部IH2保持未處理的基板W，通過梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1保持處理后的基板W的狀態(tài)下，分度器機(jī) 械手IR與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310彼此相對。
此時(shí)，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2被調(diào)整為相互離開的打開狀態(tài)。分度器機(jī)械手IR的手部IH1被調(diào)整到比呈打開狀態(tài)的梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1稍低的位置，分度器機(jī)械手IR的手部IH2被調(diào)整到比呈打開狀態(tài)的梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2稍高的位置。另外，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2相配合在水平方向相互錯(cuò)開。
另外，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2的高度以及水平方向的位置的調(diào)整也可以在分度器機(jī)械手IR從與搬運(yùn)器1相對的位置移動(dòng)到與梭搬運(yùn)機(jī)
構(gòu)310相對的位置時(shí)進(jìn)行。
接著，如圖7B所示，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2前進(jìn)。由此，成為在梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2之間插入有分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2的狀態(tài)。
接著，如圖7C所示，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2被調(diào)整為相互靠近的閉合狀態(tài)。由此，將保持于梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1的基板W交給分度器機(jī)械手IR的手部IH1，并且通過梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2接受保持于分度器機(jī)械手IR的手部IH2的基板W。接著，如圖7D所示，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2后退。
這樣，在本實(shí)施方式中，在分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2和梭搬運(yùn) 機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2在上下方向重疊的狀態(tài)下，改變梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310 的手部SH1、 SH2的上下方向的間隔。由此，同時(shí)進(jìn)行從分度器機(jī)械手IR 向梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的未處理的基板W的交接以及從梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310向分度器機(jī)械手IR的處理后的基板W的交接。因此，可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行分度器機(jī)械手IR和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310之間的基板W的交接。
(l一5)梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和基板搬運(yùn)機(jī)械手之間的基板的交接
接著，說明梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接動(dòng)作。圖8A 圖8D是用于說明梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接動(dòng)作的側(cè)視示意圖。
如圖8A所示，在通過梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2保持未處理的基板W，通過基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1保持處理后的基板W的狀態(tài)下，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310與基板搬運(yùn)機(jī)械手CR彼此相對。
此時(shí)，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2被調(diào)整為相互靠近的閉合狀態(tài)。基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2被調(diào)整到與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2相對的高度。
如上所述，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2之間的間隔比呈閉合狀態(tài)的梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2之間的間隔大。因此，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1位于比梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1高的位置，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH2位于比梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2低的位置。另外，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部
SH1、 SH2相配合在水平方向相互錯(cuò)開。
在此狀態(tài)下，如圖8B所示，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2 前進(jìn)。由此，成為在基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2之間插入有梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2的狀態(tài)。
接著，如圖8C所示，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2被調(diào)整為相互離開的打開狀態(tài)。由此，通過梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1接受保持在基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1的基板W，并且將保持在梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部 SH2的基板W交給基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH2。接著，如圖8D所示，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1 、 CRH2后退。
這樣，在本實(shí)施方式中，在基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2 和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2在上下方向重疊的狀態(tài)下，改變梭搬運(yùn) 機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2的上下方向的間隔。由此，同時(shí)進(jìn)行從梭搬運(yùn)機(jī) 構(gòu)310向基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的未處理的基板W的交接以及從基板搬運(yùn)機(jī)械手CR向梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的處理后的基板W的交接。因此，可以在短時(shí)間內(nèi) 進(jìn)行梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接。 (1_6)第一實(shí)施方式的效果
在本實(shí)施方式中，能夠同時(shí)進(jìn)行通過分度器機(jī)械手IR從搬運(yùn)器1取出未處理的基板W以及向搬運(yùn)器1容納處理后的基板W的操作。由此，縮短在對搬運(yùn)器1進(jìn)行基板W的取出及容納時(shí)的分度器機(jī)械手IR的動(dòng)作時(shí)間。其結(jié)果是，能夠提高基板處理裝置100的處理能力。
另外，在本實(shí)施方式中，通過使用可以改變手部SH1、 SH2之間的間隔的梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310，能夠在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行分度器機(jī)械手IR和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310 之間以及梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接。由此，能夠進(jìn)一步提高基板處理裝置100的處理能力。 (l一7)其他動(dòng)作例
在上述例子中，通過分度器機(jī)械手IR的手部IH2從搬運(yùn)器1中取出未處理的基板W，通過手部IH1將處理后的基板W容納于搬運(yùn)器1中，但也可以通過分度器機(jī)械手IR的手部IH1從搬運(yùn)器1中取出未處理的基板W，通過手部IH2使處理后的基板返回到搬運(yùn)器1中。
此時(shí)，將未處理的基板W從搬運(yùn)器1 (圖4A和圖4B)的第25層第
1層的擱板31依次取出，將處理后的基板W依次容納于在處理前被容納的搬運(yùn)器1的擱板31上。另外，與上述相同，在搬運(yùn)器l中存在ll層未容納
有基板W的擱板31。以下，參照圖9A和圖9B以及圖IOC進(jìn)行具體說明。
圖9A和圖9B以及圖10C是用于說明分度器機(jī)械手IR的基板W的取出及容納動(dòng)作的其他例子的側(cè)視示意圖。在圖9A和圖9B以及圖10C中，說明從搬運(yùn)器1的第25層的擱板31取出未處理的基板W，并且將處理后的基板W容納于第14層的擱板31的情況。
首先，如圖9A所示，在通過手部IH2保持處理后的基板W的狀態(tài)下，分度器機(jī)械手IR與搬運(yùn)器1相對。此時(shí)，手部IH1被調(diào)整到搬運(yùn)器1的第 14層的擱板31的高度，并且手部IH2被調(diào)整到搬運(yùn)器1的第25層的擱板 31的高度。詳細(xì)地說，手部IH1被調(diào)整到比第14層的擱板31稍低的位置，手部IR2被調(diào)整到比第25層的擱板31稍高的位置。
接著，如圖9B所示，手部IH1、 IH2同時(shí)前進(jìn)，進(jìn)入到搬運(yùn)器l內(nèi)。接著，如圖10C所示，手部IH1稍微上升并后退，手部IH2稍微下降并后退。由此，通過手部IH1取出裝載在搬運(yùn)器1的第14層上的未處理的基板W，并且將保持于手部IH2的基板W裝載在搬運(yùn)器1的第25層。
此時(shí)，也通過分別獨(dú)立地升降分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2，同時(shí) 進(jìn)行從搬運(yùn)器1取出未處理的基板W以及向搬運(yùn)器1中容納處理后的基板 W的操作。由此，可以縮短在對搬運(yùn)器1進(jìn)行基板W的取出以及容納時(shí)的分度器機(jī)械手IR的動(dòng)作時(shí)間。
另外，分度器機(jī)械手IR在進(jìn)行上述動(dòng)作的情況下，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310在第一交接位置上通過手部SH1從分度器機(jī)械手IR的手部IH1接受未處理的基板W，并且通過手部SH2將處理后的基板W交給分度器機(jī)械手IR的手部 IH2C
另外，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR通過手部CRH1從梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1 接受未處理的基板W，并且通過手部CRH2將處理后的基板W交給梭搬運(yùn) 機(jī)構(gòu)310的手部SH2。
(2)第二實(shí)施方式
對于第二實(shí)施方式的基板處理裝置100，說明與上述第一實(shí)施方式不同的地方。
圖11是第二實(shí)施方式的基板處理裝置100的剖視圖。如圖11所示，在
該基板處理裝置100中，梭搬運(yùn)裝置310的手部SH1、SH2經(jīng)由支承軸311a、 312a固定在梭移動(dòng)裝置320上。因此，手部SH1、 SH2的上下方向的間隔一定。
另外，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR具有用于使搬運(yùn)臂321、 322分別獨(dú)立地升降的第三以及第四升降機(jī)構(gòu)331、 332。手部CRH1、 CRH2通過第三以及第四升降機(jī)構(gòu)331、 332進(jìn)行相互離開的打開狀態(tài)和相互靠近的閉合狀態(tài)的切換。另外，也可以代替分別獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)搬運(yùn)臂321、 322的第三以及第四升降機(jī) 構(gòu)331、 332，使用一體地驅(qū)動(dòng)搬運(yùn)臂321、 322使手部CRH1、 CRH2在打開狀態(tài)和閉合狀態(tài)之間進(jìn)行切換的機(jī)構(gòu)。
接著，說明第二實(shí)施方式的分度器機(jī)械手IR和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310之間的基板W的交接動(dòng)作。圖12A 圖12D是用于說明第二實(shí)施方式中的分度器機(jī) 械手IR和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310之間的基板W的交接動(dòng)作的側(cè)視示意圖。
如圖12A所示，在通過分度器機(jī)械手IR的手部IH2保持未處理的基板 W，通過梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1保持處理后的基板W的狀態(tài)下，分度器機(jī)械手IR與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310彼此相對。
此時(shí)，分度器機(jī)械手IR的手部IH1被調(diào)整到比梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部 SH1的高度稍低的位置，分度器機(jī)械手IR的手部IH2被調(diào)整到比梭搬運(yùn)機(jī) 構(gòu)310的手部SH2的高度稍高的位置。另外，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2相配合在水平方向相互錯(cuò)開。
在該狀態(tài)下，如圖12B所示，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2前進(jìn)。由此，成為在梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2之間插入有分度器機(jī)械手IR 的手部IH1、 IH2的狀態(tài)。
接著，如圖12C所示，分度器機(jī)械手IR的手部IH1上升，并且手部IH2 下降。由此，通過分度器機(jī)械手IR的手部IH1接受保持在梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310 的手部SH1上的基板W，并且將保持在分度器機(jī)械手IR的手部IH2上的基板W交給梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2。接著，如圖12D所示，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2后退。
這樣，在本實(shí)施方式中，在分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2和梭搬運(yùn) 機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2在上下方向重疊的狀態(tài)下，分度器機(jī)械手IR的
手部IH1上升并且手部IH2下降。由此，同時(shí)進(jìn)行從分度器機(jī)械手IR向梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的未處理的基板W的交接以及從梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310向分度器機(jī) 械手IR的處理后的基板W的交接。因此，能夠在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行分度器機(jī)械手IR和梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310之間的基板W的交接。
接著，說明第二實(shí)施方式中的梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接動(dòng)作。圖13A 圖13D是用于說明第二實(shí)施方式中的梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接動(dòng)作的圖。
如圖13A所示，在通過梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2保持未處理的基板 W，通過基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1保持處理后的基板W的狀態(tài)下，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310與基板搬運(yùn)機(jī)械手CR彼此相對。
此時(shí)，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2被調(diào)整為相互離開的打開狀態(tài)。在此情況下，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2的上下方向的間隔比梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2的上下方向的間隔大。
由此，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1位于比梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部 SH1稍高的位置，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH2位于比梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310 的手部SH2稍低的位置。另外，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2 與梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2相配合在水平方向相互錯(cuò)開。
在該狀態(tài)下，如圖13B所示，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2 前進(jìn)。由此，成為在基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2之間插入有梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2的狀態(tài)。
接著，如圖13C所示，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2被調(diào) 整為相互靠近的閉合狀態(tài)。由此，將保持在基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1 上的基板W交給梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1 ，并且通過基板搬運(yùn)機(jī)械手CR 的手部CRH2接受保持在梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2上的基板W。接著，如圖13D所示，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2后退。
這樣，在本實(shí)施方式中，在梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1、 SH2和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2在上下方向重疊的狀態(tài)下，改變基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2的上下方向的間隔。由此，同時(shí)進(jìn)行從基板搬運(yùn)機(jī)械手CR向梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的未處理的基板W的交接以及從梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310向基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的處理后的基板W的交接。因此，可以在
短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接。
另外，在圖12A 圖12D以及圖13A 圖13D所示的例子中，通過分度器機(jī)械手IR的手部IH2、梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2以及基板搬運(yùn)機(jī)械手 CR的手部CRH2搬運(yùn)未處理的基板W，通過分度器機(jī)械手IR的手部IH1 、梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH1以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1搬運(yùn)處理后的基板W，但也可以通過分度器機(jī)械手IR的手部IH1、梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310 的手部SH1以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1搬運(yùn)未處理的基板W，通過分度器機(jī)械手IR的手部IH2、梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310的手部SH2以及基板搬運(yùn) 機(jī)械手CR的手部CRH2搬運(yùn)處理后的基板W。 (3)第三實(shí)施方式
接著，對于第三實(shí)施方式的基板處理裝置100，說明與上述第一實(shí)施方式不同的地方。
圖14是第三實(shí)施方式的基板處理裝置100的俯視圖。如圖14所示，在該基板處理裝置100中，未設(shè)置交接部3，在分度器機(jī)械手IR和基板搬運(yùn)機(jī) 械手CR之間直接進(jìn)行基板W的交接。另外，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2設(shè)定為可以彼此不干擾地進(jìn)行基板W的交接的形狀。
接著，說明第三實(shí)施方式的分度器機(jī)械手IR和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接動(dòng)作。圖15A 圖15D是用于說明第三實(shí)施方式中的分度器機(jī)械手IR和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接動(dòng)作的圖。
如圖15A所示，在通過分度器機(jī)械手IR的手部IH2保持未處理的基板 W，通過基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1保持處理后的基板W的狀態(tài)下，分度器機(jī)械手IR和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR彼此相對。
此時(shí)，分度器機(jī)械手IR的手部IH1被調(diào)整到比基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1的高度稍低的位置，分度器機(jī)械手IR的手部IH2被調(diào)整到比基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH2的高度稍高的位置。
在該狀態(tài)下，如圖15B所示，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2前進(jìn)。由此，成為在基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2之間插入有分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2 的狀態(tài)。
接著，如圖15C所示，分度器機(jī)械手IR的手部IH1上升，并且手部IH2 下降。由此，通過分度器機(jī)械手IR的手部IH1接受保持在基板搬運(yùn)機(jī)械手 CR的手部CRH1上的基板W，并且將保持在分度器機(jī)械手IR的手部IH2 上的基板W交給基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH2。此時(shí)，如圖14所示，分度器機(jī)械手IR的手部IH1 、 IH2不干擾基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1 、 CRH2。
接著，如圖15D所示，分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2以及基板搬運(yùn) 機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2后退。
這樣，在本實(shí)施方式中，在基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1、 CRH2 和分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2在上下方向重疊的狀態(tài)下，分度器機(jī)械手IR的手部IH1上升，手部IH2下降。由此，同時(shí)進(jìn)行從分度器機(jī)械手IR 向基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的未處理的基板W的交接以及從基板搬運(yùn)機(jī)械手CR 向分度器機(jī)械手IR的處理后的基板W的交接。因此，能夠在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行分度器機(jī)械手IR和基板搬運(yùn)機(jī)械手CR之間的基板W的交接。
另外，在圖15A 圖15D所示的例子中，通過分度器機(jī)械手IR的手部IH2 以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH2搬運(yùn)未處理的基板W，通過分度器機(jī) 械手IR的手部IH1以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH1搬運(yùn)處理后的基板W，但也可以通過分度器機(jī)械手IR的手部IH1以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR 的手部CRH1搬運(yùn)未處理的基板W，通過分度器機(jī)械手IR的手部IH2以及基板搬運(yùn)機(jī)械手CR的手部CRH2搬運(yùn)處理后的基板W。 (4)其他實(shí)施方式
在上述實(shí)施方式中，使用可以容納25張基板W的搬運(yùn)器1，但并不僅限于此，也可以使用可以容納25張以外的張數(shù)的基板W的搬運(yùn)器1。另外，根據(jù)使用的搬運(yùn)器1的種類，變動(dòng)應(yīng)該取出未處理的基板W的擱板31和應(yīng) 該容納處理后的基板W的擱板31之間的間隔。因此，對應(yīng)搬運(yùn)器1的種類，調(diào)整基板W的取出及容納時(shí)的分度器機(jī)械手IR的手部IH1、 IH2的間隔。由此，對各種搬運(yùn)器1能夠同時(shí)進(jìn)行基板W的取出以及容納操作。
另夕卜，作為搬運(yùn)器1，能夠使用OC (Open Cassette:開放式盒子)、FOUP (Front Opening Unified Pod:前開式統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)箱)、SMIF( Standard Mechanical Inter Face:標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面)容器等。
另外，在上述實(shí)施方式中，作為分度器機(jī)械手IR以及基板搬運(yùn)機(jī)械手 CR，使用通過使活動(dòng)關(guān)節(jié)直線狀地進(jìn)行手部的進(jìn)退動(dòng)作的多關(guān)節(jié)型搬運(yùn)機(jī)械手，但并不限于此，也可以使用使手部相對于基板W直線狀地滑動(dòng)進(jìn)行進(jìn) 退動(dòng)作的直動(dòng)型搬運(yùn)機(jī)械手。
(5)權(quán)利要求的各構(gòu)成要素和實(shí)施方式的各要素的對應(yīng)
以下，說明權(quán)利要求的各構(gòu)成要素和實(shí)施方式的各要素的對應(yīng)的例子，但本發(fā)明并不限于下述例子。
在上述實(shí)施方式中，分度器ID為搬入搬出部的例子，搬運(yùn)器1為容納容器的例子，搬運(yùn)器裝載部1S為容器裝載部的例子，分度器機(jī)械手IR為第一搬運(yùn)裝置的例子，手部IH1、 IH2為第一以及第二基板保持部的例子，轉(zhuǎn) 動(dòng)機(jī)構(gòu)150以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)160為移動(dòng)機(jī)構(gòu)部的例子，臂部AR1、 AR2為第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部的例子，第一以及第二升降機(jī)構(gòu)130、 140為第一以及第二升降機(jī)構(gòu)部的例子。
另外，梭搬運(yùn)機(jī)構(gòu)310為交接裝置的例子，手部SH1、 SH2為第三以及第四基板保持部的例子，升降缸311、 312為第一開閉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的例子，清洗處理單元5a 5h為處理單元的例子，基板搬運(yùn)機(jī)械手CR為第二基板搬運(yùn) 裝置的例子，手部CRH1、 CRH2為第五以及第六基板保持部的例子，第三以及第四升降機(jī)構(gòu)331、 332為第二開閉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的例子。
作為權(quán)利要求的各構(gòu)成要素，能夠使用具有在權(quán)利要求中記載的結(jié)構(gòu)或者功能的其他各種要素。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，其特征在于，具有處理部，其用于對基板進(jìn)行處理；搬入搬出部，其用于對所述處理部搬入以及搬出基板；所述搬入搬出部包含容器裝載部，其用于裝載容納容器，其中該容納容器用于將多個(gè)基板容納為多層；第一基板搬運(yùn)裝置，其用于在裝載于所述容器裝載部的所述容納容器和所述處理部之間搬運(yùn)基板；所述第一基板搬運(yùn)裝置具有第一以及第二基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；移動(dòng)機(jī)構(gòu)部，其設(shè)置為能夠在大致水平的一個(gè)方向上移動(dòng)并且能夠圍繞大致鉛垂方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)；第一進(jìn)退機(jī)構(gòu)部，其使所述第一基板保持部在大致水平方向上進(jìn)退；第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部，其使所述第二基板保持部在大致水平方向上進(jìn)退；第一升降機(jī)構(gòu)部，其使所述第一進(jìn)退機(jī)構(gòu)部相對于所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)部在大致鉛垂方向上升降；第二升降機(jī)構(gòu)部，其使所述第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部相對于所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)部在大致鉛垂方向上升降。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述容納容器具有用于容納基板的多層擱板，所述第一基板搬運(yùn)裝置在第一基板保持部保持基板并且第二基板保持部沒有保持基板的狀態(tài)下通過所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)部而與所述容納容器相對，通過所述第一升降機(jī)構(gòu)部將所述第一基板保持部調(diào)整到所述容納容器的沒有容納基板的擱板的高度，并且通過所述第二升降機(jī)構(gòu)部將第二基板保持部調(diào)整到所述容納容器的容納著基板的擱板的高度，通過所述第一以及第二進(jìn)退機(jī) 構(gòu)部使所述第一以及第二基板保持部向所述容納容器內(nèi)同時(shí)前進(jìn)，通過所述第一升降機(jī)構(gòu)部使所述第一基板保持部下降，并且通過所述第二升降機(jī)構(gòu)部使所述第二基板保持部上升，通過所述第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部使所述第一以及第二基板保持部從所述容納容器同時(shí)后退。
3. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述容納容器具有用于容納基板的多層擱板，所述第一基板搬運(yùn)裝置在第一基板保持部沒有保持基板并且第二基板保持部保持基板的狀態(tài)下通過所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)部與所述容納容器相對，通過所述第一升降機(jī)構(gòu)部將所述第一基板保持部調(diào)整到所述容納容器的容納著基板的擱板的高度，并且通過所述第二升降機(jī)構(gòu)部將所述第二基板保持部調(diào)整到所述容納容器的沒有容納基板的擱板的高度，通過所述第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部使所述第一以及第二基板保持部向所述容納容器內(nèi)同時(shí)前進(jìn)，通過所述第一升降機(jī)構(gòu)部使所述第一基板保持部上升，并且通過所述第二升降機(jī)構(gòu) 部使所述第二基板保持部下降，通過所述第一以及第二進(jìn)退機(jī)構(gòu)部使所述第一以及第二基板保持部從所述容納容器同時(shí)后退。
4. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，還具有用于在所述處理部和所述搬入搬出部之間進(jìn)行基板的交接的交接裝置；所述交接裝置包含第三以及第四基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；第一開閉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其將所述第三以及第四基板保持部向相互離開的方向以及相互靠近的方向驅(qū)動(dòng)；所述處理部包含處理單元，其用于處理基板；第二基板搬運(yùn)裝置，其用于在所述交接裝置和所述處理單元之間搬運(yùn)基板；所述第二基板搬運(yùn)裝置具有呈上下配置并且用于保持基板的第五以及第六基板保持部。
5. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，還具有用于在所述處理部和所述搬入搬出部之間進(jìn)行基板的交接的交接裝置；所述交接裝置包含呈上下配置并且用于保持基板的第三以及第四基板保持部；所述處理部包含處理單元，其用于處理基板；第二基板搬運(yùn)裝置，其用于在所述交接裝置和所述處理單元之間搬運(yùn)基板；所述第二基板搬運(yùn)裝置具有第五以及第六基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；第二開閉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其將所述第五以及第六基板保持部向相互離開的方向以及相互靠近的方向驅(qū)動(dòng)。
6.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述處理部包含處理單元，其用于處理基板；第二基板搬運(yùn)裝置，其用于在所述第一基板搬運(yùn)裝置和所述處理單元之間搬運(yùn)基板；所述第二基板搬運(yùn)裝置具有呈上下配置并且用于保持基板的第五以及第六基板保持部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種基板處理裝置，分度器機(jī)械手具有第一以及第二基板保持機(jī)構(gòu)、第一以及第二升降機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)。第一以及第二基板保持機(jī)構(gòu)分別具有臂部和手部，分別設(shè)置在第一以及第二升降機(jī)構(gòu)上。第一以及第二升降機(jī)構(gòu)分別獨(dú)立地使第一以及第二基板保持機(jī)構(gòu)進(jìn)行升降動(dòng)作。第一以及第二升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上。轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在移動(dòng)機(jī)構(gòu)上。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101373708SQ20081021420
公開日2009年2月25日申請日期2008年8月21日優(yōu)先權(quán)日2007年8月21日
發(fā)明者奧野英治申請人:大日本網(wǎng)屏制造株式會(huì)社

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