專利名稱：化學藥品供給裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及一種半導裝體裝備的化學藥品供給裝置，尤其涉及將用于半導體芯片(Wafer)或平板顯示裝置(Flat Panel Display: FPD)制造工藝的化 學藥品從容器罐(Canister)輸送至緩沖器，從而使化學藥品穩(wěn)定地供給到化 學藥品供給裝置。
背景技術(shù)：
圖1為已有技術(shù)的化學藥品供給裝置的概要圖。如圖所示的已有技術(shù)的化學藥品供給裝置大體由容器罐10和緩沖器20 構(gòu)成，其中所述容器罐IO用于灌入化學藥品原料，所述緩沖器20用于接收 灌入于所述容器罐10內(nèi)的化學藥品(以下稱為藥液)，以使將所述化學藥品 穩(wěn)定地向半導體裝備25供給。所述容器罐10內(nèi)灌入藥液lib,所述藥液llb灌裝于膠袋形式的藥液袋 11而被供給。此時，所述藥液袋11內(nèi)灌入藥液llb和作為溶媒的惰性氣體或氮氣lla。 如上所述的藥液袋11安裝成使輸送管16浸漬于其內(nèi)部，而該輸送管16貫通設置于容器罐10中央。藥液袋11通過所述輸送管16向緩沖器20供給藥液llb。此時，所述緩沖器20位于容器罐10的上部，由此需要有將所述藥液lib 強制輸送到緩沖器20的強制輸送裝置。所述強制輸送裝置可以使用如圖1所示的加壓泵13,所述加壓泵13起 到提高容器罐10內(nèi)部壓力的作用。根據(jù)所述加壓泵13的作用提高容器罐10內(nèi)部的壓力，進而壓縮藥液袋， 并根據(jù)所述壓縮力將藥液袋11內(nèi)部的藥液11b輸送至緩沖器20。輸送至所述緩沖器20的藥液1 lb再通過排出閥24輸送至半導體裝備25。 此時，可以使藥液同時供給到多個半導體裝備，此時所述緩沖器20以穩(wěn)定的 壓力和輸送速度將一定量被灌入的藥液lib供給到一個或多個半導體裝備25。所述緩沖器20的上部設有氣泡排氣閥26,以用于將包含在藥液lib里 的氣泡向外部排出。并且，在所述緩沖器20的一側(cè)設有水位傳感器23，以用于檢測灌入的 藥液lib的水位，并4吏藥液lib的灌入狀態(tài)始終保持一定水位以上。設置如上所述的水位傳感器23的理由為預防氣體通過排出閥24流入到 半導體裝備25。但是，如上所述已有技術(shù)的化學藥品供給裝置當儲存在容器罐10的藥液 llb達到殘量(100~ 500cc)時，供給至緩沖器20的流速變得非?？?。此時，如上所述如果藥液lib的流速被提高，則惰性氣體lla在藥液lib 內(nèi)混雜成微細的氣泡狀態(tài)，從而產(chǎn)生泡沫。此時，因為產(chǎn)生的氣泡體積很小，所以輸送到緩沖器20后不能上升至藥 液lib的上層而混雜在藥液lib內(nèi)的情況下被硬化，從而對排管系統(tǒng)及機器 造成故障。因此，目前由于這種原因不能用盡藥液lib,而是在剩有100 500cc左 右的情況下被廢棄。從而導致材料浪費和工藝縮短等嚴重問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種當所測定容 器罐內(nèi)的藥液的殘量為基準值以下時，緩沖器執(zhí)行低速真空吸入工作的化學 藥品供給裝置。本發(fā)明的另一目的在于提供一種無殘量地全部用盡藥液袋內(nèi)的藥液，并 在殘量藥液內(nèi)不產(chǎn)生氣泡的化學藥品供給裝置。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所提供的化學藥品供給裝置包括用于灌入 藥液的容器罐；緩沖器，其下部設有用于接收所述容器罐內(nèi)的藥液后向半導 體裝備輸送的排出閥，在上部形成用于向外部排出包含于所述藥液里的氣泡 的氣泡排氣閥；殘量測定裝置，以用于測定所述容器罐內(nèi)藥液的殘量；及體 積可變裝置，以用于當利用所述殘量測定裝置進行的測定結(jié)果為容器罐內(nèi)的 藥液殘量在基準值以下時，使緩沖器內(nèi)藥液的收容空間收縮及膨脹，從而吸 入容器罐內(nèi)的藥液。在此，所述容器罐的內(nèi)部具有灌入藥液的藥液袋，所述化學藥品供給裝置具有為了提高所述容器罐的內(nèi)部壓力而壓縮所述藥液袋的加壓泵。
此時，所述緩沖器設有水位傳感器，以用于測定灌入的藥液的水位。 并且，所述體積可變裝置包括分別設置于緩沖器的內(nèi)部左右側(cè)的膜部 件，該膜部件為了能夠任意收縮膨脹形成于膜部件之間的收容空間而向左右
方向進行收縮膨脹動作；和可變致動器，以用于使所述膜部件進行收縮膨脹 動作。
在此，在所述膜部件使用隔膜(Diaphragm)、褶皺管及橡膠板中的某一個。
此時，所述膜部件制作成球體形狀，并在所述球體的下部連接輸送管， 上部連接氣泡排氣閥，而連接著所述輸送管的 一側(cè)連接排出閥。 并且，所述可變致動器使用加/減壓泵或汽缸。
并且，當容器罐內(nèi)藥液的殘量在基準值以下時，所述可變致動器進行減 壓-驅(qū)動。
此時，所述殘量基準值為100~500cc。
在此，根據(jù)所述體積可變裝置的真空吸入速度為小于10cc/s的流速。 并且，所述殘量測定裝置使用設在容器罐底面的測壓元件或設在輸送管 的壓力傳感器，其中，所述測壓元件用于檢測容器罐的重量變化。
圖1為已有技術(shù)的化學藥品供給裝置的概要圖2為本發(fā)明的第一實施例所提供的化學藥品供給裝置的整體結(jié)構(gòu)的概 要圖。
圖3為本發(fā)明的第二實施例所提供的化學藥品供給裝置的緩沖器結(jié)構(gòu)的 放大圖。
圖4為本發(fā)明的第三實施例所提供的化學藥品供給裝置的緩沖器結(jié)構(gòu)的 放大圖。
主要符號說明
100:容器罐 110:藥液袋
111:惰性氣體、氮氣 113:藥液
130:加壓泵 150:測壓元件
160:輸送管 170:壓力傳感器


200:緩沖器 220:可變致動器 240:排出閥 260:氣泡排氣閥
210:膜部件 230:水位傳感器 250:半導體裝備
具體實施方式
以下，參照附圖詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。 <實施例1>
圖2為本發(fā)明的第一實施例所提供的化學藥品供給裝置的整體結(jié)構(gòu)的概要圖。
如圖所示，本發(fā)明所提供的化學藥品供給裝置大體由容器罐100和緩沖 器200構(gòu)成，該容器罐IOO用于灌入化學藥品原料，而該緩沖器200用于接 收灌入于所述容器罐100內(nèi)的化學藥品(以下稱為藥液)，以便將藥品穩(wěn)定地 供給到半導體裝備250。
所述容器罐100內(nèi)灌入藥液113，所述藥液113灌裝于膠袋形式的藥液 袋11而被供給。
此時，所述藥液袋110內(nèi)灌入藥液113和作為溶:樣的惰性氣體或氮氣111 。 如上所述藥液袋IIO安裝成使輸送管160浸漬于其內(nèi)部，而該輸送管160
貫通設置于容器罐100中央。藥液袋110通過所述輸送管160向緩沖器200
供給藥液113。
此時，所述緩沖器200位于容器罐100的上部，由此需要有將所述藥液 113強制輸送到緩沖器200的強制輸送裝置。
上述強制輸送裝置可使用如圖2所示的加壓泵130,所述加壓泵130起 到提高容器罐100內(nèi)部壓力的作用。
根據(jù)所述加壓泵130的作用提高容器罐100內(nèi)部的壓力，進而壓縮藥液 袋，并根據(jù)所述壓縮力將藥液袋110內(nèi)部的藥液113輸送至緩沖器200。
輸送至所述緩沖器200的藥液113再通過排出閥240輸送至半導體裝備 250。此時，可以使藥液同時供給到多個所述半導體裝備250,此時所述緩沖 器200將灌入的一定量的藥液113以穩(wěn)定的壓力和輸送速度供給到一個或多 個半導體裝備250。
所述緩沖器200的上部設有用于將包含在藥液113里的氣泡向外部排出的氣泡排氣閥260。
并且，在所述緩沖器200的一側(cè)面設有水位傳感器230,以用于檢測灌 入的藥液11 b的水位，并<吏藥液113的灌入狀態(tài)始終^f呆持一定水位以上。
設置如上所述的水位傳感器230的理由是為了預防氣體通過排出閥240 流入到半導體裝備250。
并且，在所述緩沖器200的內(nèi)部設置用于任意改變藥液113的灌入空間 大小的體積可變裝置。
所述體積可變裝置包括分別設置于緩沖器200的內(nèi)部左右側(cè)的膜部件 210,該膜部件210為了能夠任意地收縮膨脹灌入于膜部件210之間的藥液 113的收容空間而向左右方向進行收縮膨脹動作；和可變致動器220,以用于 改變所述膜部件210的形態(tài)及位置。
如圖2所示，膜部件210可使用隔膜，褶皺管及橡膠板等形態(tài)變形自由 的材料。
并且，用于改變所述膜部件210的可變致動器220可使用加/減壓泵。
通常，所述加/減壓泵使膜部件210與緩沖器200之間的空間形成高壓狀 態(tài)，從而使膜部件210向緩沖器200的中心膨脹，由此將藥液113的收容空 間維持在最小狀態(tài)。
當藥液袋110內(nèi)藥液113的殘量為基準值以下時，如上所述的加/減壓泵 進行減壓驅(qū)動，此時，容器罐IOO側(cè)的加壓泵130停止工作。
如果所述加/減壓泵進行減壓驅(qū)動，則膜部件210如同圖2用虛線表示向 緩沖器200的外壁側(cè)收縮。如果所述膜部件210收縮，則中央的藥液113收 容空間的體積就會相對地膨脹起來，并出現(xiàn)減壓現(xiàn)象。
隨著所述藥液113收容空間被減壓，儲存于容器罐100的殘量藥液113 沿著輸送管16(M皮吸入而輸送。
此時，所述加/減壓泵從殘量基準為100~500cc的點開始進行減壓驅(qū)動 并形成最低的流速(10cc/s以下的流速為宜)， 一直到殘量變?yōu)?0 ~ Occ為止 緩慢進行。
在此，將減壓速度維持在最低速度的理由是為了防止藥液113內(nèi)產(chǎn)生氣泡。
用如上所述的方法向緩沖器200內(nèi)部灌入一定量的藥液113之后，使所 述緩沖器200內(nèi)部的體積可變裝置進行收縮動作，從而將緩沖器200內(nèi)部的藥液113壓送至半導體裝備250。
此時，所述體積可變裝置的收縮動作是通過加/減壓泵的加壓作用而實現(xiàn)。所述加/減壓泵向膜部件210與緩沖器200之間的空間供給壓縮空氣而加 壓，從而使膜部件210向緩沖器200的中央膨脹。
根據(jù)所述膜部件210向內(nèi)部中央側(cè)膨脹，在膜部件210之間形成的藥液 113收容空間^f皮收縮，并儲存在藥液113收容空間內(nèi)的藥液113通過排出閥 240供給至半導體裝備250。
如上所述的體積可變裝置的抽吸作用反復進行至容器罐100內(nèi)的藥液 113全部用盡。
并且，為了測定所述容器罐100內(nèi)藥液113的殘量使用殘量測定裝置。 所述殘量測定裝置可使用設在容器罐100底面的測壓元件150或設在輸送管 160的壓力傳感器170，其中所述測壓元件150檢測容器罐的重量變化。
此時，所述壓力傳感器170也可替換為測定藥液113流速及流量的傳感器。
綜上所述，根據(jù)本發(fā)明的第一實施例所提供的化學藥品供給裝置，因為 可以無殘量地全部用盡容器罐110內(nèi)的藥液113,從而可以節(jié)省材料費。
<實施例2>
圖3為本發(fā)明的第二實施例所提供的化學藥品供給裝置的緩沖器結(jié)構(gòu)的 放大圖。
如圖所示，本發(fā)明的第二實施例所提供的化學藥品供給裝置只變更了如 圖2所示的本發(fā)明的第一實施例所提供的緩沖器200的結(jié)構(gòu)。
以下，省略對容器罐100的結(jié)構(gòu)說明，而詳細說明緩沖器200的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的第二實施例所提供的緩沖器200下部具有用于將藥液113供給 至半導體裝備250的排出閥240,而上部設置用于向外部排出包含于藥液113 里的氣泡的氣泡排氣閥260。
并且，在所述緩沖器200的一側(cè)設有水位傳感器230，以用于檢測灌入 的藥液lib的水位，并使藥液113的灌入狀態(tài)始終保持一定水位以上。
設置如上所述的水位傳感器230的理由是為了預防氣體通過排出閥240 流入到半導體裝備250。
并且，在所述緩沖器200的內(nèi)部設置用于任意改變藥液113的灌入空間 大小的體積可變裝置。所述體積可變裝置包括分別設置于緩沖器200的內(nèi)部左右側(cè)的膜部件 210，該膜部件210為了能夠任意地收縮膨脹灌入于膜部件210之間的藥液 113的收容空間而向左右方向進行收縮膨脹動作；和可變致動器220，以用于 改變所述膜部件210的形態(tài)及位置。
如圖3所示，所述膜部件210可使用手風琴形態(tài)的褶皺管部件。
并且，用于改變所述膜部件210的可變致動器220可使用汽缸，該汽缸 用于將褶皺管部件的前端沿橫向左右移送。
通常，所述汽缸使活塞伸長長至最大長度，從而使膜部件210向緩沖器 200的中心移動，由此將藥液113的收容空間維持在最小狀態(tài)。
當藥液袋內(nèi)110的藥液113殘量為基準值以下時，如上所述的汽缸進行 減壓驅(qū)動。
如果所述汽缸進行減壓驅(qū)動，則活塞的長度縮短為最小，并使膜部件210 向緩沖器200的外壁側(cè)擴張，從而使中央的藥液113收容空間的體積相對膨脹。
此時，如果所述藥液113收容空間膨脹，則內(nèi)部壓力急劇減小，從而儲 存在容器罐100的殘量藥液113沿著輸送管160吸入至緩沖器200。
此時，所述汽缸從殘量基準為100~500cc的點開始進行減壓驅(qū)動并形成 最低的流速(10cc/s以下的流速為宜)， 一直到殘量變?yōu)?0~0cc為止緩慢進行。
用如上所述的方法向緩沖器200內(nèi)部灌入一定量的藥液113之后，使所 述緩沖器200內(nèi)部的體積可變裝置進行收縮動作，從而將緩沖器200內(nèi)部的 藥液113壓送至半導體裝備250。
所述體積可變裝置的收縮動作是通過汽缸的加壓驅(qū)動而實現(xiàn)。并且為了 所述加壓驅(qū)動所述汽缸使活塞延長至最大長度，從而使膜部件210向緩沖器 200的中心移動，由此收縮藥液113的收容空間。
隨著所述藥液113收容空間收縮，儲存在藥液113收容空間的藥液113 通過排出閥240供給至半導體裝備250。
如上所述的體積可變裝置的抽吸作用反復進行至容器罐100內(nèi)的藥液 113全部用盡為止。
此時，用于測定所述容器罐100內(nèi)藥液113殘量的殘量測定裝置可利用 設在容器罐IOO底面的測壓元件150或設在輸送管160的壓力傳感器170，該測壓元件150用于檢測容器罐100的重量變化。
如上所述的壓力傳感器170也可替換成測定藥液113流速及流量的傳感器。
<實施例3 〉
圖4為本發(fā)明的第三實施例所提供的化學藥品供給裝置的緩沖器結(jié)構(gòu)的 放大圖。
如圖所示，本發(fā)明的第三實施例所提供的化學藥品供給裝置為只是變更 了如圖2所示的本發(fā)明的第一實施例所提供的緩沖器200的結(jié)構(gòu)。
以下，省略對容器罐100的結(jié)構(gòu)說明，而詳細說明緩沖器200的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的第三實施例所提供的緩沖器200下部具有用于將藥液113供給 至半導體裝備250的排出閥240，而上部設置用于向外部排出包含于藥液113 里的氣泡的氣泡排氣閥260。
并且，所述緩沖器200的一側(cè)設有水位傳感器230，以用于檢測灌入的 藥液113的水位，并使藥液113的灌入狀態(tài)始終保持一定水位以上。
設置如上所述的水位傳感器230的理由是為了預防氣體通過排出閥240 流入到半導體裝備250。
并且，在所述緩沖器200的內(nèi)部設置用于任意改變藥液113的灌入空間 大小的體積可變裝置。
所述體積可變裝置包括設置于緩沖器200內(nèi)部中央的球體形狀的膜部 件210,該膜部件210為了能夠任意地收縮膨脹灌入于其內(nèi)部的藥液113的 收容空間而進行收縮膨脹動作；和可變致動器220,以用于使所述膜部件210 進行收縮膨脹動作。
此時，所述膜部件210可使用如圖4所示的當進行收縮膨脹時能夠具有 伸縮性的球體形狀的伸縮部件。
所述球體形狀的伸縮部件的下部中心連接輸送管160,上部中心連接氣 泡排氣閥260,而連接著所述輸送管160的一側(cè)連接排出閥240。
并且，用于改變所述膜部件210的可變致動器220可使用加/減壓泵，該 加/減壓泵用于對膜部件210之間的空間進行加壓及減壓。
通常，所述力口/減壓泵使膜部件210與緩沖器200之間的空間維持高壓狀 態(tài)而使膜部件210收縮得最大，由此將藥液113的收容空間維持在最小狀態(tài)。
如果藥液袋110內(nèi)藥液113的殘量為基準值以下，如上述的加/減壓泵進行減壓驅(qū)動。
如果所述加/減壓泵進行減壓驅(qū)動，則緩沖器200與膜部件210之間的空 間形成低壓狀態(tài)而使膜部件210膨脹，從而使中央的藥液113收容空間的體 積膨脹。
此時，如果所述藥液113收容空間膨脹，則內(nèi)部壓力急劇減小，從而儲 存于容器罐100的殘量藥液113沿著輸送管160吸入至緩沖器200。
此時，所述加/減壓泵^^殘量基準為100~500cc的點開始進行減壓驅(qū)動 并形成最低的流速(10cc/s以下的流速為宜)， 一直到殘量變?yōu)?0~0cc為止 緩慢進行。
用如上所述的減壓驅(qū)動向緩沖器200內(nèi)部灌入一定量的藥液113之后， 使所述緩沖器200內(nèi)部的體積可變裝置進行收縮動作，從而將緩沖器200內(nèi) 部的藥液113壓送至半導體裝備250。
所述體積可變裝置的收縮動作是通過加/減壓泵的加壓驅(qū)動而實現(xiàn)，并 且，所述加/減壓泵以高壓狀態(tài)維持緩沖器200與膜部件210之間的空間，從 而使膜部件210最大地收縮，由此收縮藥液113的收容空間。
隨著所述藥液113收容空間收縮，儲存在藥液113收容空間內(nèi)的藥液113 通過排出閥240供給至半導體裝備250。
如上所述的體積可變裝置的抽吸作用反復進行至容器罐100內(nèi)的藥液 113全部用盡。
此時，用于測定所述容器罐100的藥液113殘量的殘量測定裝置可使用 設在容器罐100底面的測壓元件150或設在輸送管160的壓力傳感器170, 該測壓元件150用于檢測容器罐100的重量變化。
如上所述的壓力傳感器170也可替換成測定藥液113流速及流量的測定 傳感器。
擁有綜上所述的結(jié)構(gòu)及作用的本發(fā)明可根據(jù)從業(yè)者利用前面說明的多個 實施例而進行多種修改和變更，因此，本發(fā)明真正的技術(shù)范圍并不局限于說 明書所記載的詳細說明的內(nèi)容，而是根據(jù)權(quán)利要求而定。
綜上所述，如果測定的容器罐內(nèi)藥液的殘量在基準值以下，則緩沖器側(cè) 形成低速真空吸入動作，因此可減少容器罐內(nèi)的藥液的殘量而節(jié)省材料費用。
并且，以10cc/s以下的低速吸入容器罐內(nèi)的藥液殘量，因此本發(fā)明可預 防產(chǎn)生于藥液內(nèi)的氣泡在供給管內(nèi)形成固化的現(xiàn)象。
權(quán)利要求
1. 一種化學藥品供給裝置，其特征在于包括用于灌入藥液的容器罐；緩沖器，其下部設有用于接收所述容器罐內(nèi)的藥液后向半導體裝備輸送的排出閥，在上部形成用于向外部排出包含于所述藥液里的氣泡的氣泡排氣閥；殘量測定裝置，以用于測定所述容器罐內(nèi)藥液的殘量；及體積可變裝置，以用于當利用所述殘量測定裝置進行的測定結(jié)果為容器罐內(nèi)的藥液殘量在基準值以下時，使緩沖器內(nèi)藥液的收容空間收縮及膨脹，從而吸入容器罐內(nèi)的藥液。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學藥品供給裝置，其特征在于所述容器罐的 內(nèi)部具有灌入藥液的藥液袋，所述化學藥品供給裝置具有為了提高所述容器 罐的內(nèi)部壓力而壓縮所述藥液袋的加壓泵。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學藥品供給裝置，其特征在于所述緩沖器設 有水位傳感器，以用于測定灌入的藥液的水位。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學藥品供給裝置，其特征在于所述體積可變 裝置包括分別設置于緩沖器的內(nèi)部左右側(cè)的膜部件，該膜部件為了能夠任意收縮 膨脹形成于膜部件之間的收容空間而向左右方向進行收縮膨脹動作；和 可變致動器，以用于使所述膜部件進行收縮膨脹動作。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學藥品供給裝置，其特征在于在所述膜部件 使用隔膜、褶皺管及橡膠板中的某一個。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學藥品供給裝置，其特征在于所述膜部件制 作成球體形狀，并在所述球體的下部連接輸送管，上部連接氣泡排氣閥，而連接著所述輸送管的一側(cè)連接排出閥。
7、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學藥品供給裝置，其特征在于所述可變致動 器使用加/減壓泵或汽缸。
8、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學藥品供給裝置，其特征在于當容器罐內(nèi)藥 液的殘量在基準值以下時，所述可變致動器進行減壓驅(qū)動。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學藥品供給裝置，其特征在于所述殘量基準值為100~500cc。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學藥品供給裝置，其特征在于根據(jù)所述體 積可變裝置的真空吸入速度為小于10cc/s的流速。
11、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學藥品供給裝置，其特征在于所述殘量測 定裝置使用設在容器罐底面的測壓元件或設在輸送管的壓力傳感器，其中， 所述測壓元件用于檢測容器罐的重量變化。
全文摘要
本發(fā)明公開一種化學藥品供給裝置，包括用于灌入藥液的容器罐；緩沖器，其下部設有用于接收所述容器罐內(nèi)的藥液后向半導體裝備輸送的排出閥，在上部形成用于向外部排出包含于所述藥液里的氣泡的氣泡排氣閥；殘量測定裝置，以用于測定所述容器罐內(nèi)藥液的殘量；及體積可變裝置，以用于當利用所述殘量測定裝置進行的測定結(jié)果為容器罐內(nèi)的藥液殘量在基準值以下時，使緩沖器內(nèi)藥液的收容空間收縮及膨脹，從而吸入容器罐內(nèi)的藥液。并且，如果測定的容器罐內(nèi)藥液的殘量在基準值以下，則從緩沖器側(cè)形成低速真空吸入動作，因此可降低容器罐內(nèi)的藥液的殘量而節(jié)省材料費用。
文檔編號H01L21/00GK101286446SQ20081009245
公開日2008年10月15日 申請日期2008年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月13日
發(fā)明者趙康一 申請人:K.C.科技股份有限公司