專利名稱：固體浸沒透鏡以及制造該固體浸沒透鏡的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及一種固體浸沒透鏡(SIL)、使用固體浸沒透鏡的聚焦透鏡、光拾取裝置、光學(xué)(或光磁)記錄和再生(reproducing)裝置以及形成固體浸沒透鏡的方法。更具體地，本發(fā)明涉及一種適合用于所謂的近場關(guān)系記錄和再生系統(tǒng)，其中通過使用光學(xué)透鏡具有大折射率的材料提高聚焦透鏡的數(shù)值孔徑，由此將信息記錄在光學(xué)(或光-磁)記錄介質(zhì)上并從其再生，以及使用該固體浸沒透鏡的聚焦透鏡、光學(xué)記錄和再裝置和形成固體浸沒透鏡的方法。
背景技術(shù)：
以壓縮盤(CD)、迷你盤(MD)和數(shù)字通用盤(DVD)為代表的光學(xué)記錄介質(zhì)(包括光磁記錄介質(zhì))，被廣泛用于在其中儲存音樂信息、視頻信息、數(shù)據(jù)、程序等的儲存矩陣。然而，隨著音樂信息、視頻信息、數(shù)據(jù)、程序等日益改善，并在曲調(diào)質(zhì)量、圖像質(zhì)量上變得更高、記錄時間和演奏時間變得更長、存貯容量變得更大，這要求光學(xué)記錄介質(zhì)在儲存容量上應(yīng)該提高，并且應(yīng)該實(shí)現(xiàn)能夠記錄并再生該大量儲存的光學(xué)記錄介質(zhì)的光學(xué)記錄和再生裝置(包括光磁記錄和再生裝置)。
因此，為了滿足上述要求，在光學(xué)記錄和再生裝置中，其例如半導(dǎo)體激光器的光源的波長縮短，聚焦透鏡的數(shù)值孔徑提高，由此通過聚焦透鏡匯聚的光束點(diǎn)的直徑減小。
例如，就半導(dǎo)體激光器來說，GaN半導(dǎo)體激光器已經(jīng)投入使用，它發(fā)射的激光的波長從相關(guān)技術(shù)的紅色激光的635nm減小到400nm帶，因此減小了光束點(diǎn)的直徑。而且，關(guān)于能夠減小到大于上述短波長的波長，例如能夠連續(xù)發(fā)射266nm的單波長激光的遠(yuǎn)紫外固態(tài)激光器，現(xiàn)在已經(jīng)在市場上可以商業(yè)獲得(由Sony公司生產(chǎn)，牌號為UW-1020)，所以可以更進(jìn)一步減小光點(diǎn)直徑。另外，現(xiàn)在正在研發(fā)Nd:YAG的二次波激光器(266nm帶)、金剛石激光器(235nm帶)、GaN激光器的二次波激光器(202nm帶)等。
已經(jīng)研究了所謂的近場光學(xué)記錄和再生系統(tǒng)，其中通過使用由固體浸沒透鏡(SIL)為代表的具有大數(shù)字孔徑的光學(xué)鏡頭，可以實(shí)現(xiàn)具有數(shù)字孔徑大于1的聚焦透鏡，并且其中利用該聚焦透鏡的物鏡表面靠近光學(xué)記錄介質(zhì)，距離為其光源波長的大約10/1，可以進(jìn)行記錄和再生(例如參見引證專利參考，US Patent No.5125750)。
在該近場光學(xué)記錄和再生系統(tǒng)中，重要的是在高精度光學(xué)接觸狀態(tài)下保持在光學(xué)記錄介質(zhì)和聚焦透鏡之間的距離。而且，因為從光源進(jìn)入到聚焦透鏡的光束直徑減小，并且在光學(xué)記錄介質(zhì)和聚焦透鏡之間的距離減小并變得非常小，其小于大約幾十納米，即所謂的在光學(xué)記錄介質(zhì)和聚焦透鏡之間的傾斜度可以變得非常小，所以聚焦透鏡不可避免的受形狀固定點(diǎn)(shape standpoint)的極大限制。
附圖1是示出固體浸沒透鏡(SIL)實(shí)施例布置的示意圖。如圖1所示，固體浸沒透鏡11和光學(xué)透鏡12可以以此順序位于物鏡側(cè)，例如光學(xué)記錄介質(zhì)10(包括光磁記錄介質(zhì))，由此構(gòu)造成近場(near field)聚焦透鏡。如圖1所示，固體浸沒透鏡11的形狀象具有曲率半徑r的半球形或多半球形透鏡(在圖1的實(shí)施例中為多半球形)。當(dāng)固體浸沒透鏡11的形狀象半球形固體浸沒透鏡時，將其沿光軸延伸的厚度選擇為r。如圖1所示，當(dāng)固體浸沒透鏡11的形狀象多半球形固體浸沒透鏡時，將其沿光軸延伸的厚度選擇為r(1+1/n)，其中n表示折射率。
當(dāng)具有上述布置的聚焦透鏡應(yīng)用于光學(xué)記錄和再生裝置時，例如它安裝在具有雙軸調(diào)節(jié)器并由此將光學(xué)記錄介質(zhì)和聚焦透鏡之間的距離保持在光學(xué)接觸狀態(tài)。當(dāng)上述聚焦透鏡應(yīng)用于光磁記錄時，將用于磁記錄和再生的磁頭裝置組裝在光拾取裝置中，由此同樣地可以將光學(xué)記錄介質(zhì)和聚焦透鏡之間的距離保持在光學(xué)接觸狀態(tài)。
在上述近場光學(xué)記錄和再生系統(tǒng)中，為了穩(wěn)定的控制在相對于光學(xué)記錄介質(zhì)的聚焦方向和/或?qū)ぼ?tracking)方向上驅(qū)動的聚焦透鏡，同時也為了穩(wěn)定地記錄和再生光學(xué)記錄介質(zhì)，必須在光學(xué)記錄介質(zhì)和聚焦透鏡的物鏡表面之間保持一定量的傾斜度。
因此，本申請的受讓人在之前已經(jīng)提出了固體浸沒透鏡，其在美國專利申請No.11/063608中公開，例如其中在浸沒透鏡的物鏡側(cè)上形成如圓形椎狀突起部分或金字塔狀突起部分的突起部分，并且其末端部分被處理成平面部分以提供物鏡表面，因此，甚至當(dāng)物鏡表面和光學(xué)記錄介質(zhì)之間的距離選擇成大約幾十納米時，也可以保持約±0.1度的傾斜度。因此，能夠提供光拾取裝置和記錄和再生特性穩(wěn)定的光學(xué)記錄和再生裝置。
在如上所述物鏡側(cè)上形成的具有突起部分的固體浸沒透鏡中，隨著固體浸沒透鏡的數(shù)字孔徑NA的增加，即激光的入射角增加，突起部分的突起角度應(yīng)該降低，以便不影響激光的入射光路。例如，當(dāng)固體浸沒透鏡的形狀為圓錐固體浸沒透鏡時，應(yīng)該提高錐頂角的角度。
結(jié)果，具有用于保持具有大數(shù)字孔徑NA的固體浸沒透鏡的透鏡保持件的固體浸沒透鏡的粘結(jié)面積減小，在施加很小的震動的情況下，產(chǎn)生透鏡保持件與固體浸沒透鏡分開的危險。
同樣，隨著固體浸沒透鏡的球形部分半徑的降低或隨著固體浸沒透鏡折射率的增加，具有用于保持該固體浸沒透鏡的透鏡保持件的固體浸沒透鏡的粘結(jié)面積減小。而且，上述粘結(jié)面積同樣隨著在突起部分頂端的聚光平面部分(即物鏡表面)半徑的增加而降低。
特別是，為了滿足將來制造高密度光學(xué)記錄介質(zhì)和制造尺寸緊湊和重量輕的光拾取裝置的要求，應(yīng)該增加固體浸沒透鏡的數(shù)字孔徑并使固體浸沒透鏡微型化。所以，甚至當(dāng)可以大大減小具有用于保持該固體浸沒透鏡的透鏡保持件的固體浸沒透鏡的粘結(jié)面積時，固體浸沒透鏡也能被穩(wěn)定地固定和保持。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述方面，本發(fā)明試圖提供一種用于令人滿意地在固體浸沒透鏡和透鏡保持件之間保持粘結(jié)狀態(tài)的固體浸沒透鏡、使用這種固體浸沒透鏡的聚焦透鏡、光拾取裝置、光學(xué)記錄和再生裝置和固體浸沒透鏡的形成方法。
根據(jù)本發(fā)明的一個方案，提供一種固體浸沒透鏡，它包括在固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上設(shè)置的突起部分和至少在部分突起部分上設(shè)置的水平差異部分或凹陷部分。
根據(jù)本發(fā)明的另一個方案，提供一種聚焦透鏡，它包括固體浸沒透鏡；其光軸與固體浸沒透鏡一致的光學(xué)透鏡，其位于物鏡側(cè)的相反側(cè)；在固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上突出地設(shè)置的突起部分以及至少在部分突起部分上設(shè)置的水平差異部分或凹陷部分。
根據(jù)本發(fā)明的另一個方案，提供一種光拾取裝置，它至少包括固體浸沒透鏡；其光軸與光源一致的光學(xué)透鏡，它們自物鏡側(cè)依次定位；用于會聚由光源發(fā)射的光以形成光束點(diǎn)的聚焦透鏡；在固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上設(shè)置以向光學(xué)記錄介質(zhì)突出的突起部分以及至少在部分突起部分上設(shè)置的水平差異部分或凹陷部分。
根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步的方案，提供一種光學(xué)記錄和再生裝置，它至少包括光拾取裝置，用于通過聚焦透鏡將光集中在光學(xué)記錄介質(zhì)的記錄位置，以記錄和/或再生光學(xué)記錄介質(zhì)；以及控制驅(qū)動裝置，用于在聚焦方向和/或光學(xué)記錄介質(zhì)的尋軌方向移動聚焦透鏡和光拾取裝置，聚焦裝置至少包括位于物鏡側(cè)的固體浸沒透鏡的聚焦透鏡，突起部分設(shè)置在固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上以向光學(xué)記錄介質(zhì)突出以及突起部分具有至少在其部分上設(shè)置的水平差異部分或凹陷部分。
仍然根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步的方案，提供一種固體浸沒透鏡的形成方法，包括如下步驟在固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上形成突起部分以及通過聚焦離子束處理方法至少在部分突出部分上形成水平差異部分或凹陷部分。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡，由于將突出的突起部分設(shè)置在固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上，水平差異部分或凹陷部分的突起部分至少設(shè)置在部分突出部分上，可以提高與透鏡保持件的粘結(jié)區(qū)域，所以與相關(guān)技術(shù)相比，通過透鏡保持件可以更穩(wěn)定地保持固體浸沒透鏡。
而且，根據(jù)本發(fā)明的聚焦透鏡、光拾取裝置和光學(xué)記錄和再生裝置，可以穩(wěn)定地保持與聚焦透鏡一起使用的固體浸沒透鏡，通過使用具有大數(shù)字孔徑的固體浸沒透鏡，可以提供能夠相對于光學(xué)記錄介質(zhì)穩(wěn)定運(yùn)動的光拾取裝置和光學(xué)記錄和再生裝置。
而且，根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡的形成方法，在不對入射光施加影響的情況下，能夠高精度地形成可以被比較穩(wěn)定地保持的固體浸沒透鏡。


圖1是示出使用根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的固體浸沒透鏡(SIL)的聚焦透鏡例子的布置的示意圖；圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的聚焦透鏡例子的布置的示意圖；圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的光拾取裝置例子的主要部分布置的示意圖；圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)記錄和再生裝置例子的主要部分布置的示意圖；圖5A是示出可以應(yīng)用于本發(fā)明的固體浸沒透鏡例子的側(cè)視示意圖；圖5B是示出可以應(yīng)用于本發(fā)明的固體浸沒透鏡例子的平面示意圖；圖6A是示出可以應(yīng)用于本發(fā)明的固體浸沒透鏡另一例子的側(cè)視示意圖；圖6B是示出可以應(yīng)用于本發(fā)明的固體浸沒透鏡另一例子的平面示意圖；
圖7A是示出可以應(yīng)用于本發(fā)明的固體浸沒透鏡進(jìn)一步例子的側(cè)視示意圖；圖7B是示出可以應(yīng)用于本發(fā)明的固體浸沒透鏡進(jìn)一步例子的平面示意圖；圖8A仍然是示出可以應(yīng)用于本發(fā)明的固體浸沒透鏡另一例子的側(cè)視示意圖；圖8B仍然是示出可以應(yīng)用于本發(fā)明的固體浸沒透鏡另一例子的平面示意圖；圖9是示出固體浸沒透鏡的側(cè)視示意圖；圖10是示出通過保持件保持的固體浸沒透鏡例子布置狀態(tài)的示意圖；圖11是示出通過保持件保持的固體浸沒透鏡例子布置狀態(tài)的示意圖；圖12是示出根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡例子布置的橫截面示意圖；圖13是示出根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡另一例子布置的橫截面示意圖；圖14是示出根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡進(jìn)一步例子布置的橫截面示意圖；圖15仍然是示出根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡進(jìn)一步例子布置的橫截面示意圖；圖16還是示出根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡進(jìn)一步例子布置的橫截面示意圖；圖17是解釋固體浸沒透鏡例子的形狀的參考示意圖；以及圖18是解釋固體浸沒透鏡另一例子的形狀的參考示意圖。
具體實(shí)施例方式
盡管下面參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，無需贅言，本發(fā)明不限于下面的實(shí)施例。
本發(fā)明可以應(yīng)用于由固體浸沒透鏡和光學(xué)透鏡構(gòu)成的聚焦透鏡，其中光學(xué)透鏡具有與固體浸沒透鏡一致的光軸，并且其位于物鏡側(cè)的對面。而且，本發(fā)明可以應(yīng)用于包括該聚焦透鏡的光拾取裝置，其使用所謂的近場光學(xué)記錄和再生系統(tǒng)和包括該光拾取裝置的光學(xué)記錄和再生裝置。
在描述根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡之前，將參考圖2到4描述其中將本發(fā)明應(yīng)用于聚焦透鏡、光拾取裝置和光學(xué)記錄和再生裝置的實(shí)施例。在圖2到4中，為了有助于說明固體浸沒透鏡的布局和設(shè)置，通過簡化根據(jù)本發(fā)明布置的例子來提供固體浸沒透鏡的形狀。不用說，該固體浸沒透鏡的形狀可以采用本發(fā)明的布置，包括圖5A和5B及下面的附圖的例子。
圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的聚焦透鏡例子的布置的示意圖。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明布置的固體浸沒透鏡11和光學(xué)透鏡12以該順序以這種方式與透鏡目標(biāo)例如光學(xué)記錄介質(zhì)成對置關(guān)系設(shè)置。從而它們的光軸彼此一致。固體浸沒透鏡11的形狀為具有曲率半徑r的半球形或多半球形。當(dāng)固體浸沒透鏡形成為半球形時，將沿它的光軸延伸的其厚度選擇為r。當(dāng)固體浸沒透鏡11形成為如圖中的例子的半球形時，如果將折射率選擇為n，沿它的光軸延伸的厚度選擇為r(1+1/n)。根據(jù)該布置，可以提供具有超過光學(xué)透鏡12的數(shù)字孔徑NA的數(shù)字孔徑的聚焦透鏡13。
雖然在實(shí)際應(yīng)用中固體浸沒透鏡11和光學(xué)記錄介質(zhì)10彼此沒有接觸，但是在固體浸沒透鏡11和光學(xué)記錄介質(zhì)10之間的間隔與固體浸沒透鏡11的厚度相比足夠小，以至于在圖2到4中沒有示出這樣小的間隔。固體浸沒透鏡11和光學(xué)記錄介質(zhì)10之間的距離比從光源發(fā)射的激光的波長短。具體而言，當(dāng)激光波長為405nm時，固體浸沒透鏡11和光學(xué)記錄介質(zhì)10之間的距離處于彼此非?？拷臓顟B(tài)，距離為85nm或25nm。
圖3是示出使用圖2所示的固體浸沒透鏡和聚焦透鏡的的光拾取裝置的光學(xué)系統(tǒng)的布置例子的示意圖。例如，第一和第二光束分離器14和15位于光源和光探測器之間，盡管未示出，并且由固體浸沒透鏡11和光學(xué)透鏡12構(gòu)成聚焦透鏡13。例如，如果其形狀為盤形，將光學(xué)記錄介質(zhì)10安裝在主軸電機(jī)(未示出)上，并以預(yù)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。
而且，圖2和3所示的光拾取裝置具有用于在尋軌方向和聚焦方向移動聚焦透鏡13的部件。
作為這些部件，可以是列舉的與普通光拾取一起使用的雙軸調(diào)節(jié)器，與磁頭裝置一起使用的滑動器。
下面將描述和聚焦透鏡13一起使用的這些控制驅(qū)動部件的例子。
圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)成一部分光學(xué)記錄和再生裝置的光拾取裝置例子的布置的示意圖，即使用雙軸調(diào)節(jié)器作為控制驅(qū)動部件的光拾取裝置的例子。如圖4所示，由透鏡保持件20固定聚焦透鏡13，由此固體浸沒透鏡11和光學(xué)透鏡12的光軸可以彼此一致。該透鏡保持件20固定到可以在聚焦方向和/或?qū)ぼ壏较蝌?qū)動的雙軸調(diào)節(jié)器16。
如圖4所示，雙軸調(diào)節(jié)器16由用于在尋軌方向驅(qū)動聚焦透鏡13的尋軌線圈17和用于在聚焦方向驅(qū)動聚焦透鏡13的聚焦線圈18構(gòu)成。
然后，例如通過監(jiān)視返回光的數(shù)量，該雙軸調(diào)節(jié)器16能夠控制光學(xué)記錄介質(zhì)10和固體浸沒透鏡11之間的距離，由此可以反饋所得的距離信息。結(jié)果，光學(xué)記錄介質(zhì)10和固體浸沒透鏡11之間的距離可以保持基本上恒定，而且可以阻止固體浸沒透鏡11和光學(xué)記錄介質(zhì)10彼此碰撞。
而且，通過監(jiān)視在尋軌方向上返回光的數(shù)量，該雙軸調(diào)節(jié)器16能夠?qū)⒕劢故c(diǎn)移動到所需軌跡，由此可以反饋所得的位置信息。
再回來參考圖3，下面將描述光拾取裝置的示意性布置。如圖3所示，通過準(zhǔn)直透鏡(未示出)將從如半導(dǎo)體激光器的光源發(fā)射的向外的光校準(zhǔn)成平行光(L1)，經(jīng)過第一光束分離器14(L)并通過聚焦透鏡13匯聚到光學(xué)記錄介質(zhì)10的信息記錄表面上。在信息記錄表面反射的向內(nèi)的光經(jīng)過聚焦透鏡13，由第一光束分離器14(L2)反射并由此進(jìn)入第二光束分離器15。然后，由第二光束分離器15分開的向內(nèi)的光(L3和L4)聚焦在聚焦光探測器(未示出)和信號光探測器(未示出)上，并由此檢測聚焦的錯誤信號、再生的報靶信號等。
而且，例如，由第二光束分離器15反射的向內(nèi)的光聚焦在尋軌光探測器，并由此檢測尋軌錯誤信號。如果必要，在該光拾取裝置中，為了消除來自光學(xué)記錄介質(zhì)10的盤的旋轉(zhuǎn)波動，能夠校正聚焦誤差分量和通過改變兩個透鏡之間的間隔而在聚焦透鏡的裝配過程中形成的誤差分量的中繼透鏡可以插入在第一光束分離器14和光學(xué)透鏡12之間，其中，聚焦透鏡13固定在其上的雙軸調(diào)節(jié)器16可以不完全跟隨(follow)所述聚焦誤差分量。
盡管未示出，當(dāng)聚焦透鏡安裝在滑動器上時，作為用于校正跟隨滑動器的其余聚焦誤差分量和在聚焦透鏡的組裝過程產(chǎn)生的誤差分量的部件，聚焦透鏡可以固定到滑動器，通過例如壓電元件的合適的部件，光學(xué)透鏡可以在光軸方向上移動。
而且，在光學(xué)記錄和再生的情形中，其中主軸電機(jī)包括安裝多個光學(xué)記錄介質(zhì)的部件，滑動器可以包括用于將光軸基本彎曲90度的鏡子是合適的。因為具有上述布置的光學(xué)記錄和再生裝置能夠減小光學(xué)記錄介質(zhì)之間的間隔，所以使裝置能夠變得尺寸小和厚度薄。
上述光拾取裝置可以包含僅為再生信息單獨(dú)設(shè)計的再生光拾取裝置、僅為記錄信息單獨(dú)設(shè)計的記錄光拾取裝置和為記錄和再生信息設(shè)計的記錄和再生光拾取裝置?？梢孕薷纳鲜龈髯缘墓馐叭⊙b置，使得可以將磁線圈等組裝成部分光拾取裝置。該光學(xué)也將用于熱磁記錄和再生系統(tǒng)。而且，光學(xué)記錄和再生裝置可以包含僅為再生信息單獨(dú)設(shè)計的再生裝置、僅為記錄信息單獨(dú)設(shè)計的記錄裝置和能夠記錄和再生的記錄和再生裝置。
接下來將描述根據(jù)本發(fā)明的適合用于固體浸沒透鏡的透鏡形狀的例子。
圖5A和5B是示出根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡例子的側(cè)視示意圖和平面示意圖。在該例子中，球狀部分1的形狀為半球部分，并具有固體浸沒透鏡11，其中曲率半徑假設(shè)為r，折射率假設(shè)為n，沿光軸c的方向延伸的厚度假設(shè)為r(1+1/n)。向著光學(xué)記錄介質(zhì)突出的突起部分2設(shè)置在物鏡側(cè)。
在圖5A和5B中，虛線R表示橫截面，其中在橫截面上半徑為r，該橫截面垂直于固體浸沒透鏡11的光軸。
在該固體浸沒透鏡11中，突起部分2的形狀可以為圓錐部分或金字塔部分。
另外，如圖6A和6B所示，球狀部分1的形狀可以為其厚度選擇為r的半球部分，突起部分的形狀基本上為圓錐或金字塔部分。這樣，在頂端部分的物鏡表面3可以形成為基本上限制為球的形狀，如虛線f所示，其半徑基本上為r/2。在這種情況下，具有下面的優(yōu)點(diǎn)，即甚至當(dāng)例如激光的入射光的光軸與固體浸沒透鏡11的光軸稍微傾斜時，也可以防止其中入射光經(jīng)過固體浸沒透鏡11的距離改變，因此入射光令人滿意地集中在物鏡表面上。
而且，如圖7A和7B所示，球狀部分1的形狀可以為半球部分，突起部分2的形狀基本上為圓錐形或金字塔形，在頂端部分的物鏡表面3可以形成為基本上限制為球的形狀，如點(diǎn)劃線線g所示，例如，其半徑聚集于r/n。同樣在這種情況下，具有下面的優(yōu)點(diǎn)，即甚至當(dāng)例如激光的入射光的光軸與固體浸沒透鏡11的光軸稍微傾斜時，也可以防止其中入射光經(jīng)過固體浸沒透鏡11的距離改變，因此入射光令人滿意地集中在物鏡表面上。
而且，如圖8A和8B所示，例如，突起部分2可以形成為包含球狀表面的各種彎曲表面。
在圖6A和6B、圖7A和7B和圖8A和8B中，由同樣的參考數(shù)字表示和圖5A和5B同樣的元件和部分，因此無需描述。
將突起部分2的傾斜角設(shè)定為大于入射角，以便不影響來自激光的入射光。當(dāng)使用折射率在大約2到3的范圍內(nèi)的透鏡材料時，它的與物鏡表面3的角度基本上在10到30度的范圍內(nèi)。
而且，因為與光學(xué)記錄介質(zhì)相關(guān)的近場光學(xué)記錄和再生系統(tǒng)在記錄和/或再生時需要磁場，所以在固體浸沒透鏡11的物鏡表面3的一部分上或圍繞固體浸沒透鏡11的物鏡表面3附加一個適合的裝置，例如磁線圈。
作為該固體浸沒透鏡11的材料，如上所述，可以合適地使用相對于光學(xué)記錄和再生裝置和光拾取裝置的激光源的波長而具有大折射率、大透射率和小光吸收率的材料。例如，由OHARA公司生產(chǎn)的S-LAH79(牌號)，其為高折射率玻璃，Bi4Ge3O12、SrTiO3、ZrO2、HfO2、SiC、KtaO3、金剛石，這些高折射率陶瓷或高折射率單晶材料，也可以是合適的材料。
而且，需要這些材料應(yīng)該具有非晶結(jié)構(gòu)，如果它們是單晶材料，需要它們應(yīng)該具有立方結(jié)構(gòu)。如果透鏡材料具有非晶結(jié)構(gòu)或立方結(jié)構(gòu)，那么因為通過晶體方位角沒有改變蝕刻速率或蝕刻特性，所以已經(jīng)得到用于處理公知的半導(dǎo)體的蝕刻方法和蝕刻系統(tǒng)。
然后，在根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡中，水平差異(difference-in-level)部分或凹陷部分設(shè)置在至少部分突起部分上。
當(dāng)處理該水平差異部分或凹陷部分時，如果水平差異部分由多于兩個傾斜表面構(gòu)成，其具有凹陷部分的深度或沿固體浸沒透鏡的光軸延伸的橫截面中相對于光軸的不同的傾斜角。已經(jīng)得到用于高精度處理傾斜面的傾斜角的用于半導(dǎo)體處理的腐蝕方法和腐蝕系統(tǒng)。具體而言，當(dāng)處理非常小的傾斜部分或凹陷和突起形狀的傾斜角時，優(yōu)選通過使用聚焦離子束處理方法處理它們，該方法基于聚焦離子束處理系統(tǒng)，例如HITACCHI公司制造的聚焦離子束檢查系統(tǒng)FB-2100(牌號)。當(dāng)通過聚焦離子束處理方法形成傾斜表面、曲面等時，具有能夠高精度調(diào)節(jié)傾斜角等和在不影響入射光的情況下能夠可靠處理水平差異部分或凹陷部分的優(yōu)點(diǎn)。
接著，在描述由根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡的水平差異部分和凹陷部分獲得的作用之前，先參考附圖描述固體浸沒透鏡和保持件粘結(jié)在一起的方式。
圖9是示出具有球狀部分1和圓形椎狀或金字塔狀的突起部分2的固體浸沒透鏡11的例子的主要部分布置的放大的橫截面圖。如圖9所示，在該例子中，球狀部分1的形狀為過半球部分，其中它的曲率半徑假設(shè)為r，在沿突起部分2的光軸c橫截面中沿物鏡表面3的平面(由虛線b表示)的角度假設(shè)為θ，物鏡表面3的半徑假設(shè)為d，固體浸沒透鏡11的厚度假設(shè)為r(1+1/n)，從突起部分2的物鏡表面3到球狀部分1的邊緣部分4的高度假設(shè)為x，從光軸到邊緣部分4的距離假設(shè)為y，固體浸沒透鏡11中具有的波長的折射率假設(shè)為n。在圖9中，虛線a表示穿過球狀部分1的邊緣部分4的橫截面，虛線R表示在垂直于光軸c的橫截面中半徑為r的橫截面。
這時，從下面的等式(1)和(2)計算從物鏡表面3到球狀部分1的傾斜角θ和高度x之間的關(guān)系tanθ＝x/(y-d) ......(1)r2＝y(tǒng)2+((r/n)-x)2......(2)例如，當(dāng)半徑r選擇為0.45mm時，物鏡表面3的半徑d選擇為20μm，并且透鏡的折射率n選擇為2.075，當(dāng)傾斜角θ在10度到30度范圍內(nèi)改變時，計算從物鏡表面3到球狀部分1的邊緣部分4的高度，即高度差x。
透鏡保持件以這樣的方式粘結(jié)到透鏡上，即它的表面(與光學(xué)記錄介質(zhì)相對的表面)與物鏡表面3間隔一定的余量。在該余量中，當(dāng)透鏡保持件和透鏡物鏡表面的高度差為50μm時，在透鏡保持件和透鏡之間的粘結(jié)區(qū)域的高度(高度差)x’的值由上述高度差x減去50μm產(chǎn)生，在圖9所示的橫截面中的粘結(jié)區(qū)域的長度y’由y’＝x’/(sinθ)獲得。在下面的表1中列出結(jié)果。
表1

從表1的結(jié)果很清楚，當(dāng)突起部分2的傾斜角θ為30度時，可以維持將近250μm的從物鏡表面3到球狀部分1的高度差。然而，當(dāng)傾斜角θ為30度時，最多可以維持將近70μm的從物鏡表面3到球狀部分1的邊緣部分4的高度差。研究表明，從物鏡表面3到球狀部分1的邊緣部分4的高度差x隨傾斜角θ的減小而減小，并且粘結(jié)區(qū)域的高度差x’和長度y’也減小。
在固體浸沒透鏡中，隨著數(shù)字孔徑NA的增加，即激光傾斜角的增加，或隨著固體浸沒透鏡的半徑r的減小并隨著折射率n的減小，突起部分2的傾斜角θ減小。因此很明顯，隨著固體浸沒透鏡的數(shù)字孔徑NA的增加，從物鏡表面3到球狀部分1的邊緣部分4的高度減小，并減小了固體浸沒透鏡的尺寸和重量。
圖10和11是示出固體浸沒透鏡各例子的示意性布置，在具有上述突起部分2的固體浸沒透鏡中，將突起部分2的部分傾斜表面用作透鏡保持件20的粘結(jié)區(qū)域5，通過例如紫外固化樹脂或熱固樹脂的適合的材料制成的粘結(jié)劑6，將透鏡保持件20固定粘結(jié)到粘結(jié)區(qū)域5。當(dāng)從平面看時，透鏡保持件20的形狀為環(huán)繞物鏡表面3的具有圓孔的環(huán)形圈。透鏡保持件20在光軸上的橫截面形狀為三角形，其中朝著物鏡表面3形成銳角。
因為在固體浸沒透鏡11的突起部分2的端部的物鏡表面3的半徑在大約幾微米到幾十微米的范圍內(nèi)，突起部分2的傾斜角，即相對于物鏡表面3形成的角θ在大約10度到30度的范圍內(nèi)，在物鏡表面3和與光學(xué)記錄介質(zhì)(未示出)相對的透鏡保持件20的表面之間的高度x在大約幾十微米到幾百微米的范圍內(nèi)。
圖10示出其中角θ為大約20度的例子，圖11示出其中角θ為大約10度的例子。在圖10和11中，由相同的參考數(shù)字表示與圖9相同的元件和部分，因此不需要描述。
對上述表1和圖10和11的研究結(jié)果表明，隨著突起部分2的傾斜角θ的減小，粘結(jié)區(qū)域減小。
具體而言，如圖10所示，當(dāng)傾斜角θ相對變大時，球狀部分1由物鏡表面3到邊緣部分4的高度差x相對變大，且可以保持粘結(jié)區(qū)域5。另一方面，如圖11所示，當(dāng)傾斜角θ相對變小時，球狀部分1由物鏡表面3到邊緣部分4的高度差x相對變小。結(jié)果，可以理解，與圖10的例子相比，粘結(jié)區(qū)域5的面積明顯減小。
而且，如圖11的例子所示，當(dāng)突起部分2的傾斜角θ變小、物鏡表面3和與光學(xué)記錄介質(zhì)相對的透鏡保持件20的表面之間的高度差變小時，透鏡保持件20與光學(xué)記錄介質(zhì)之間的間隔也減小。這樣，為了維持一定量的光學(xué)記錄介質(zhì)與透鏡保持件20之間的傾斜角，應(yīng)該抑制透鏡保持件20的尺寸增加，所以粘結(jié)區(qū)域減小得更多。
例如，如上所述，當(dāng)固體浸沒透鏡的物鏡表面3和與光學(xué)記錄介質(zhì)相對的透鏡保持件20的表面之間的高度差選擇為50μm時，如上述表1所示，如果傾斜角θ為30度，那么能夠維持大約400μm粘結(jié)區(qū)域長度y’。然而，如果傾斜角θ為10度，那么可以理解，僅能夠維持20μm的高度差x’和大約120μm的長度y’。
如上所述，當(dāng)將透鏡保持件20粘結(jié)為很小的區(qū)域時，由于粘結(jié)區(qū)域變小，所以透鏡保持件20被不可避免地粘結(jié)到小的粘結(jié)區(qū)域，這在實(shí)際應(yīng)用中很不穩(wěn)定。
為了解決這個問題，根據(jù)本發(fā)明，至少在部分突起部分上形成水平差異部分或凹陷部分。
首先，參考圖12到15描述其中在帶保持件的突起部分的粘結(jié)區(qū)域上形成凹陷部分的例子。
圖12示出了一個例子，其中突起部分2的形狀為圓錐部分，例如在透鏡保持件20的錐形傾斜表面的粘結(jié)區(qū)域5上形成具有三角形橫截面的凹陷部分7。當(dāng)在如上所述粘結(jié)區(qū)域5上形成凹陷部分7時，通過在粘結(jié)區(qū)域5上形成很小的不均勻表面來增加具有粘結(jié)劑6的粘結(jié)區(qū)域，因此與現(xiàn)有技術(shù)相比，可以將固體浸沒透鏡11足夠牢固地保持在透鏡保持件20上。
在處理凹陷部分7時，優(yōu)選通過聚焦離子束方法來處理凹陷部分7，該方法是基于聚焦離子束處理系統(tǒng)，例如由HITACHI公司制造的聚焦離子束處理檢測系統(tǒng)FB-2100(牌號)。當(dāng)通過如上所述聚焦離子束處理方法形成凹陷部分7時，可以高精度地形成凹陷部分7的形狀，例如它的深度，并可以避免影響進(jìn)入固體浸沒透鏡11中的由虛線箭頭Li表示的入射光。在圖12中，由同樣的參考數(shù)字表示和圖9同樣的元件和部分，因此無需描述。
圖13表示一個例子，其中將凹陷部分7成形以具有方形的橫截面。同樣，通過提供凹陷部分7，可以同樣增加粘結(jié)區(qū)域5中的粘結(jié)區(qū)域，并可以將固體浸沒透鏡11以足夠大的強(qiáng)度固定粘結(jié)到保持件。
在圖12中，由同樣的參考數(shù)字表示和圖9同樣的元件和部分，因此無需描述。
如上所述，當(dāng)突起部分2的形狀為圓錐、金字塔和曲面的任何一種時，可以提供一種可以被穩(wěn)定地保持住的固體浸沒透鏡，其中，通過相對簡單的形狀就可以把粘結(jié)區(qū)域保持在該固體浸沒透鏡中。
固體浸沒透鏡11的形狀不限于圖12和13所示出的那些例子，可以將球狀部分成形為半球狀部分。而且，如圖4所示，例如，固體浸沒透鏡11的形狀可以和圖7的上述例子相同，其中將物鏡表面3形成為這樣的形狀，即基本上限定一個球形，如點(diǎn)劃線g所示，半徑為r/n，例如如圖14所示。而且，如圖15所示，可以將突起部分2形成為曲面形狀，即可以將突起部分2形成為與圖8的上述例子相似的形狀。如上所述，如圖14和15所示，當(dāng)在粘結(jié)區(qū)域5上設(shè)置凹陷部分7時，它變得可以將固體浸沒透鏡11固定粘結(jié)到透鏡保持件20，并具有足夠大的強(qiáng)度。在圖14和15中，由同樣的參考數(shù)字表示和圖12同樣的元件和部分，因此無需描述。
如上所述，當(dāng)至少在部分粘結(jié)區(qū)域5上形成凹陷部分7時，與圖11的上述例子比較就會清楚，通過突起部分2的凹陷部分7中處理的不均勻區(qū)域的量，可以增加粘結(jié)面積。所以，由于可以穩(wěn)定地保持固體浸沒透鏡，甚至當(dāng)固體浸沒透鏡的尺寸做得緊湊時，也可以穩(wěn)定地保持固體浸沒透鏡，因此可以使固體浸沒透鏡與光學(xué)記錄介質(zhì)等的相對運(yùn)動穩(wěn)定。
特別是，當(dāng)突起部分2的傾斜角θ做得相對小時，即當(dāng)?shù)焦腆w浸沒透鏡11的激光入射角θi增加并且數(shù)字孔徑NA增加時，或當(dāng)固體浸沒透鏡11的折射率n變大時，進(jìn)而當(dāng)固體浸沒透鏡11的半徑r變小時，通過提供上述的凹陷部分，可以保持粘結(jié)區(qū)域，通過該粘結(jié)區(qū)域，可以將固體浸沒透鏡11穩(wěn)定地保持到透鏡保持件20上。
接下來將描述其中在部分突起部分上形成水平差異部分的例子。在圖16中示出的例子中，在突起部分2上形成的水平差異部分8由兩個以上的傾斜表面構(gòu)成，該傾斜表面相對于在沿固體浸沒透鏡11的光軸c延伸的橫截面中的光軸c以不同的角傾斜，即在所示的例子中自物鏡表面3依次形成的第一表面9A和第二表面9B。
如上所述，如果突起部分2的傾斜部分被處理成相對于光軸以不同的角度傾斜，即具有多個傾斜角的部分，甚至當(dāng)突起部分2的傾斜角自光軸增加以增加固體浸沒透鏡11的數(shù)字孔徑時，通過提供傾斜表面，其中在粘結(jié)區(qū)域5中自光軸的傾斜角相對于透鏡保持件20減小，這樣，第二表面9B，在該傾斜表面中可以相對增加相對于透鏡保持件20的粘結(jié)區(qū)域，所以它可以將固體浸沒透鏡11保持到透鏡保持件20上。
然而在這種情況下，需要考慮入射角θi來選擇第二表面9B的傾斜角，以便不干擾到固體浸沒透鏡11的入射光Li。
具體而言，通過物鏡表面3的半徑d，固體浸沒透鏡11的突起部分2的傾斜角可以形成有相對于到固體浸沒透鏡11的入射角θi的余量。換句話說，通過使用該余量，可以提供其自物鏡表面3的傾斜角大于第一表面9A的傾斜角的第二表面9B。結(jié)果，可以更大的提高傾斜部分的長度，由此可以維持相對于透鏡保持件20的粘結(jié)面積。
同樣在這種情況下，當(dāng)突起部分的傾斜角變得相對小時，當(dāng)在固體浸沒透鏡時的入射光的入射角變大時，當(dāng)數(shù)字孔徑NA變大時，當(dāng)固體浸沒透鏡的折射率較大時或當(dāng)固體浸沒透鏡的半徑較小時，可以維持穩(wěn)定的粘結(jié)區(qū)域。
在圖16中，由同樣的參考數(shù)字表示和圖12同樣的元件和部分，因此無需描述。
接下來將描述其中在不影響入射光的情況下形成凹陷部分或水平差異部分的例子，如發(fā)明例1和2。
(1)發(fā)明例1作為固體浸沒透鏡，使用由OHARA公司制造的高折射率玻璃材料S-LAH79(牌號)并按圖17所示的示意圖布置，這樣制造出發(fā)明例1的固體浸沒透鏡，其中固體浸沒透鏡11的半徑r選擇為0.45mm，它的厚度r(1+1/n)選擇為0.667mm，在物鏡側(cè)的突起部分2的形狀為相對于物鏡表面3具有20度傾斜角的圓錐。這時，物鏡表面3的半徑d選擇為20μm。
在該發(fā)明例1中，當(dāng)球狀部分1從物鏡表面3到邊緣部分4的高度x為155.0μm時，從物鏡表面3到入射光Li的入射位置的高度Xi為216.6μm。因此，根據(jù)基于聚焦離子束系統(tǒng)的加工，通過切削61.6μm的高度x和xi之間的差的部分，形成圖12中所示的很小的凹陷部分，并將凹陷部分粘結(jié)到固體浸沒透鏡11的透鏡保持件20。結(jié)果，如圖10所示，與沒有通過根據(jù)機(jī)械加工的切削形成凹陷部分的情況相比，它被證明提高了粘結(jié)強(qiáng)度。
(2)發(fā)明例2接下來描述發(fā)明例2。作為固體浸沒透鏡，使用由OHARA公司制造的高折射率玻璃材料S-LAH79(牌號)并如圖18所示，這樣制造出發(fā)明例2的固體浸沒透鏡，其中固體浸沒透鏡11的半徑r選擇為0.45mm，它的厚度r(1+1/n)選擇為0.667mm，在物鏡側(cè)的突起部分2的形狀為相對于物鏡表面3具有10度傾斜角的圓錐。這時，物鏡表面3的半徑d選擇為20μm。
這時，當(dāng)球狀部分1從物鏡表面3到邊緣部分4的高度x為71.6μm時，從物鏡表面3到入射光Li的入射位置的高度Xi為130μm。因此，根據(jù)聚焦離子束系統(tǒng)，通過處理58.4μm的高度x和xi之間的差的部分，形成圖16中所示的水平差異形狀，并將該水平差異部分粘結(jié)到固體浸沒透鏡11的透鏡保持件20。結(jié)果，與沒有形成該水平差異部分的情況相比，它被證明提高了粘結(jié)強(qiáng)度。
在下面的表2中列出了發(fā)明例1和2的入射角θi、傾斜角θ、邊緣部分的高度x以及入射位置的高度x和高度xi之間的差(xi-x)。
表2

如上所述，通過考慮入射位置的高度xi和從物鏡表面到透鏡邊緣部分的高度差x并適當(dāng)選擇在粘結(jié)區(qū)域上形成的凹陷部分的深度，可以維持粘結(jié)區(qū)域而不干擾入射光，因此可以將固體浸沒透鏡牢固地粘結(jié)到透鏡保持件上。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡，通過提供突起部分可以提高相對于光學(xué)記錄介質(zhì)的傾斜余量。而且，通過在至少部分突起上形成凹陷部分或水平差異部分，在固體浸沒透鏡和透鏡保持件之間可以維持足夠大的粘結(jié)區(qū)域。
然后，根據(jù)本發(fā)明，可以穩(wěn)定地保持小的固體浸沒透鏡，它能夠?qū)崿F(xiàn)具有大數(shù)字孔徑的聚焦透鏡。因此，可以實(shí)現(xiàn)固體聚焦透鏡相對于光學(xué)記錄介質(zhì)的穩(wěn)定移動，因此它可以提高記錄和再生的穩(wěn)定性。這樣，可以構(gòu)造使用近場記錄和再生系統(tǒng)的相對于光學(xué)記錄介質(zhì)穩(wěn)定的記錄和再生系統(tǒng)。
而且，因為通過使用根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡可以實(shí)現(xiàn)小的重量輕的聚焦透鏡，可以提高伺服特性，例如聚焦伺服、尋軌伺服和搜尋時間。所以，它可以使光學(xué)記錄和再生裝置變得尺寸小、厚度薄、性能高。
結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明，通過使用近場記錄和再生系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)具有更高記錄密度和更大存儲容量的光學(xué)記錄介質(zhì)。
本發(fā)明不限于上述個別例子，在不脫離本發(fā)明的布置的情況下，通過在突起部分中形成凹陷部分的橫截面形狀，例如波紋狀、不規(guī)則狀或水平差異狀，它可以進(jìn)行各種修改和變化，由此具有不同曲率半徑的曲面可以彼此臨近。另外，無需贅言，固體浸沒透鏡的材料、布置、透鏡保持件的形狀等，也可以修改和變化。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡，因為將突起部分設(shè)置在固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)，水平差異部分或凹陷部分設(shè)置在至少部分突起部分上，因此可以提高與透鏡保持件的粘結(jié)區(qū)域，所以與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過透鏡保持件可以更穩(wěn)定地保持固體浸沒透鏡。
而且，根據(jù)本發(fā)明的聚焦透鏡、光拾取裝置和光學(xué)記錄和再生裝置，可以穩(wěn)定地保持與聚焦透鏡一起使用的固體浸沒透鏡，通過使用具有大數(shù)字孔徑的固體浸沒透鏡，可以提供能夠相對于光學(xué)記錄介質(zhì)穩(wěn)定運(yùn)動的光拾取裝置和光學(xué)記錄和再生裝置。
而且，根據(jù)本發(fā)明的固體浸沒透鏡的形成方法，在不對入射光施加影響的情況下，能夠高精度地形成可以被比較穩(wěn)定的保持的固體浸沒透鏡。
本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，根據(jù)設(shè)計要求和其它因素，可以進(jìn)行各種修改、組合、亞組合和選擇，它們都落在附加的權(quán)利要求及其等同物的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種固體浸沒透鏡，包括設(shè)置在所述固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上的突起部分；和至少設(shè)置在一部分所述突起部分上的水平差異部分或凹陷部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述固體浸沒透鏡，其中，所述凹陷部分至少設(shè)置在保持所述固體浸沒透鏡的保持件的一部分粘結(jié)區(qū)域上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述固體浸沒透鏡，其中，所述水平差異部分由兩個以上的傾斜平面構(gòu)成，所述傾斜平面相對于沿所述固體浸沒透鏡的所述光軸延伸的橫截面中的光軸以不同角度傾斜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述固體浸沒透鏡，其中，所述突起部分的形狀為圓錐形、金字塔形和曲面形的任何一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述固體浸沒透鏡，其中，所述突起部分具有聚焦部分，所述水平差異部分或所述凹陷部分設(shè)置在除所述聚焦部分以外的位置處。
6.一種聚焦透鏡，包括固體浸沒透鏡；光學(xué)透鏡，其光軸與所述固體浸沒透鏡一致，該光學(xué)透鏡位于物鏡側(cè)的相反側(cè)；突出地設(shè)置在所述固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上的突起部分；以及至少設(shè)置在一部分所述突起部分上的水平差異部分或凹陷部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述聚焦透鏡，其中，所述突起部分的形狀為圓錐形、金字塔形和曲面形的任何一種。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述聚焦透鏡，其中，所述凹陷部分至少設(shè)置在保持所述固體浸沒透鏡的保持件的一部分粘結(jié)區(qū)域上。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述聚焦透鏡，其中，所述突起部分具有聚焦部分，所述水平差異部分或所述凹陷部分設(shè)置在除所述聚焦部分以外的位置處。
10.一種光拾取裝置，包括至少一個固體浸沒透鏡和一光學(xué)透鏡，該光學(xué)透鏡的光軸與光源一致，該固體浸沒透鏡和該光學(xué)透鏡自物鏡側(cè)順序地設(shè)置；用于會聚由所述光源發(fā)射的光以形成光束點(diǎn)的聚焦透鏡；設(shè)置在所述固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上以向光學(xué)記錄介質(zhì)突出的突起部分；以及至少設(shè)置在一部分突起部分上的水平差異部分或凹陷部分。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述光拾取裝置，其中，所述突起部分的形狀為圓錐形、金字塔形和曲面形的任何一種。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述光拾取裝置，其中，還包括用于保持所述固體浸沒透鏡的保持件，所述凹陷部分至少設(shè)置在所述保持件的一部分粘結(jié)區(qū)域上。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述光拾取裝置，其中，還包括調(diào)節(jié)器，用于在聚焦和/或?qū)ぼ壏较蛏弦苿铀龉腆w浸沒透鏡。
14.一種光學(xué)記錄和再生裝置，包括至少一個光拾取裝置，用于通過聚焦透鏡將光集中在光學(xué)記錄介質(zhì)的記錄位置，以記錄和/或再生所述光學(xué)記錄介質(zhì)；以及控制驅(qū)動裝置，用于在所述光學(xué)記錄介質(zhì)的聚焦方向和/或?qū)ぼ壏较蛏弦苿铀鼍劢雇哥R和所述光拾取裝置，所述聚焦透鏡至少包括位于物鏡側(cè)上的固體浸沒透鏡，突起部分設(shè)置在所述固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上以向所述光學(xué)記錄介質(zhì)突出以及所述突起部分具有至少設(shè)置在其一部分上的水平差異部分或凹陷部分。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述光學(xué)記錄和再生裝置，其中，所述突起部分的形狀為圓錐形、金字塔形和曲面形的任何一種。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述光學(xué)記錄和再生裝置，其中，光拾取裝置還包括用于保持所述固體浸沒透鏡的保持件，所述凹陷部分至少設(shè)置在所述保持件的一部分粘結(jié)區(qū)域上。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述光學(xué)記錄和再生裝置，其中，所述光拾取裝置包括調(diào)節(jié)器，用于在聚焦和/或?qū)ぼ壏较蛏弦苿铀龉腆w浸沒透鏡。
18.一種形成固體浸沒透鏡的方法，包括如下步驟在所述固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上形成突起部分；以及通過聚焦離子束處理方法至少在一部分所述突出部分上形成水平差異部分或凹陷部分。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述固體浸沒透鏡的形成方法，其中，所述突起部分的形狀為圓錐形、金字塔形和曲面形的任何一種。
全文摘要
突起部分設(shè)置在固體浸沒透鏡的物鏡側(cè)上以向光學(xué)記錄介質(zhì)突出，水平差異部分或凹陷部分至少設(shè)置在部分突出部分上。然后，提供一種用于令人滿意地保持透鏡保持件的粘結(jié)狀態(tài)的固體浸沒透鏡、使用這種固體浸沒透鏡的聚焦透鏡、光拾取裝置、光學(xué)記錄和再生裝置和形成固體浸沒透鏡的方法。
文檔編號G11B7/1374GK1770285SQ20051010963
公開日2006年5月10日 申請日期2005年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月14日
發(fā)明者篠田昌孝 申請人:索尼株式會社