專利名稱：微驅動器、使用該微驅動器的磁頭折片組合以及磁盤驅動器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及磁盤驅動器，特別是指微驅動器以及使用該微驅動器的磁頭折片組合。
背景技術：
磁盤驅動器為一種使用磁介質儲存數(shù)據(jù)的信息存儲裝置。參考圖1a，現(xiàn)有典型的磁盤驅動器(Disk Drive)包括一個磁盤及一個用于驅動磁頭折片組合277(Head Gimbal Assembly，HGA)的驅動臂(磁頭折片組合277設有一個裝有磁頭203的懸臂件(未標示))。其中，磁盤裝在一個用以驅動磁盤旋轉的主軸馬達上，一個音圈馬達(Voice-Coil Motor，VCM)用于控制驅動臂的運動，從而控制磁頭203在磁盤表面上從一個磁軌移動到下一個磁軌，進而從磁盤中讀取或寫入數(shù)據(jù)。
然而，在磁頭203的行程中，由于音圈馬達(VCM)和懸臂件所固有的容差(Tolerance)，磁頭203不能進行很好的位置控制，因而影響磁頭203從磁盤中讀取或寫入數(shù)據(jù)。
為了解決上述問題，壓電微驅動器(piezoelectric(PZT)micro-actuator)被用于調整磁頭203的位移(displacement)。亦即，壓電微驅動器以一個較小的幅度調整磁頭203的位移從而補償音圈馬達(VCM)及懸臂件的容差。這樣，可使磁軌寬度變得更小，可以增加50％的磁盤驅動器的TPI值(‘tracks per inch’value)(即增加了其表面記錄密度)。
參考圖1b，傳統(tǒng)的壓電微驅動器205設有一個U形的陶瓷框架297。該U形陶瓷框架297包括兩個陶瓷臂207，其中每個陶瓷臂207在其一側設有一個壓電片(未圖示)。參考圖1a及1b，壓電微驅動器205與懸臂件213物理相連，其中，在每個陶瓷臂207一側，有三個電連接球209(金球焊接(gold ball bonding，GBB)或錫球焊接(solder bump bonding，SBB))將微驅動器205連接到磁頭折片組合的電纜210上。此外，還有四個電連接球208(GBB或SBB)用于實現(xiàn)磁頭203與懸臂件213之間的電連接。圖1c則展示了將磁頭203插入微驅動器205的詳細過程。其中，磁頭203通過環(huán)氧膠點212與兩個陶瓷臂207上的兩點206相粘結，從而使磁頭203的運動依賴于微驅動器205的陶瓷臂207。
當電流通過懸臂件電纜210施加于微驅動器205上時，微驅動器205的壓電片將膨脹或者收縮從而導致U形陶瓷框架297的兩個陶瓷臂207變形而使磁頭203在磁盤的軌道上移動。這樣，一個良好的磁頭位置調整(head positionadjustment)就可以實現(xiàn)。
然而，由于所述壓電微驅動器205和磁頭203被裝在懸臂舌(未標示)上，當壓電微驅動器205被激發(fā)時，由于微驅動器205的U形陶瓷框架297的限制，它將作單純的平動而使磁頭203搖擺，這樣將產生與激發(fā)懸臂件基板引起的震動相同的頻率的懸臂件的共振。這將限制磁盤驅動器的伺服系統(tǒng)帶寬以及容量的提高。如圖2所示，標號201代表激發(fā)懸臂件基板時的共振曲線，標號202代表激發(fā)微驅動器205時的共振曲線，該圖清楚地展示上述問題。
此外，由于微驅動器205包括一個附加塊，所以不僅影響其靜態(tài)性能，而且影響懸臂件213的動態(tài)性能，例如共振性能(resonance performance)，從而降低了懸臂件213的共振頻率并增加了其增益。
因此，提供一種微驅動器、磁頭折片組合、磁盤驅動器以解決上述問題實為必要。

發(fā)明內容
基于現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種微驅動器及磁頭折片組合，可以實現(xiàn)良好的磁頭位置調整，并且在激發(fā)微驅動器時具有良好的共振性能(resonance performance)。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種具有較大伺服系統(tǒng)帶寬以及磁頭位置調整能力的磁盤驅動器。
為了達到上述目的，本發(fā)明揭露了一種磁頭折片組合(head gimbalassembly)，包括磁頭(slider)；微驅動器(micro-actuator)；其中所述微驅動器包括底臂、活動臂及以底臂的軸線為對稱軸對稱分布、并分別連接所述底臂和活動臂的兩個側臂；以及至少一個與所述側臂相連接的壓電片；及用于支撐所述磁頭和微驅動器的懸臂件(suspension)；其中，所述磁頭裝在活動臂上，并在激發(fā)所述至少一個壓電片時被所述活動臂所旋轉。
在一個實施例中，所述活動臂包括一個支撐磁頭的支撐部，以及分別和位于支撐部對角線上的兩端部相連的兩個連接部。所述每個連接部的寬度均小于支撐部的寬度。所述磁頭部分裝在所述支撐框的支撐部，且磁頭與所述支撐部的中心相匹配。所述兩個連接部可通過兩個連接點與兩個側臂相連，所述兩個連接點以支撐框的縱軸為對稱軸對稱分布。兩個側臂間的距離大于磁頭的寬度。所述底臂和所述懸臂件部分相連，在所述支撐框與所述懸臂件間形成一個平行間隙。所述側臂形成于所述底臂和活動臂的兩側，在側臂和底臂之間或者在側臂和活動臂間形成至少一個間隔。所述至少一個壓電片裝在所述每個側臂的一側或兩側。所述用于粘結磁頭和支撐框的材料以及粘結所述支撐框底臂和懸臂件的材料為環(huán)氧膠、粘結劑或各向異性導電模(ACF)。
本發(fā)明一種微驅動器，包括底臂；用以支撐和旋轉磁頭的活動臂；以底臂的軸線為對稱軸對稱分布、并分別連接所述底臂和活動臂的兩個側臂；以及連接到所述兩側臂的至少一個壓電片。在一個實施例中，所述活動臂包括一個支撐磁頭的支撐部，以及分別和位于支撐部對角線上的兩端部相連的兩個連接部。所述每個連接部的寬度均小于支撐部的寬度。所述至少一個壓電片為薄膜壓電片或陶瓷壓電片。所述至少一個壓電片為單層結構或包含基層與壓電層的多層結構。所述壓電層為單層壓電結構或多層壓電結構，所述基層由金屬、陶瓷或聚合物(polymer)制成。所述側臂形成于所述底臂和活動臂的兩側，在側臂和底臂之間或者在側臂和活動臂間形成至少一個間隔。所述至少一個壓電片裝在所述每個側臂的一側或兩側。所述用于粘結磁頭和支撐框的材料為環(huán)氧膠、粘結劑或各向異性導電模(ACF)。
本發(fā)明一種硬盤驅動器，包括磁頭折片組合；與所述磁頭折片組合相連結的驅動臂；磁盤；及用以旋轉所述磁盤的主軸馬達；其中，所述磁頭折片組合包括磁頭(slider)、微驅動器(micro-actuator)及用于支撐所述磁頭和微驅動器的懸臂件(suspension)；其中，所述微驅動器包括底臂、活動臂及以底臂的軸線為對稱軸對稱分布、并分別連接所述底臂和活動臂的兩個側臂；以及至少一個與所述側臂相連接的壓電片；其中，所述磁頭裝在活動臂上，并在激發(fā)所述至少一個壓電片時被所述活動臂所旋轉；所述底臂部分裝在懸臂件上，在支撐框和懸臂件件形成一個平行間隙。
與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明微驅動器利用壓電片來彎曲支撐框的側臂，從而旋轉支撐框的活動臂，而因為磁頭部分地安裝于活動臂上，從而可以旋轉磁頭。同時，支撐框的兩個窄寬度的連接部可阻止磁頭橫向運動，而僅允許磁頭繞其中心并且和所述活動臂一起旋轉。同時，因為活動臂與磁頭的中心相對應，故磁頭可在不使磁頭折片組合擺動的情況下工作。
在本發(fā)明中，磁頭的后緣部(trailing side)及前緣部(leading side)可同時向不同方向旋轉從而使磁頭得到更大的移動幅度。同時，因為磁頭沿其中心旋轉，故可以獲得一個更大的位置行程調整能力及更寬的伺服系統(tǒng)帶寬。通常，通過旋轉方式調整磁頭的微驅動器的工作效率為通過平動方式調整磁頭的微驅動器(例如現(xiàn)有技術)的3倍。本發(fā)明微驅動器通過旋轉方式調整磁頭故可得到相當于現(xiàn)有技術3倍的工作效率。此外，因為磁頭的寬度小于兩側臂間的距離，從而在兩者間形成兩個間隙，這樣，當微驅動器被激發(fā)時，磁頭將更加自由地在更大范圍內轉動。另外，懸臂共振現(xiàn)象不會發(fā)生在低頻段，而僅僅有單純的微驅動器共振現(xiàn)象發(fā)生在高頻段，這將增大磁盤驅動器的伺服系統(tǒng)帶寬及磁盤驅動器容量。最后，對比現(xiàn)有的U型陶瓷框架，本發(fā)明微驅動器的結構將獲得更好的抗震性能。
為使本發(fā)明更加容易理解，下面將結合附圖進一步闡述本發(fā)明微驅動器、磁頭折片組合、硬盤驅動器的具體實施例。


圖1a為現(xiàn)有磁頭折片組合(HGA)的立體圖；圖1b為圖1a的放大局部視圖；圖1c展示了將磁頭插入圖1a中磁頭折片組合(HGA)的微驅動器中的詳細過程；圖2展示了圖1a中磁頭折片組合的共振曲線(resonance curve)；圖3本發(fā)明磁頭折片組合(HGA)第一實施例的立體圖；圖4是圖3中磁頭折片組合的局部放大圖；圖5是圖4的分解圖；圖6是圖3中磁頭折片組合的局部側視圖；圖7展示了圖3中微驅動器和裝在其上的磁頭的立體圖；圖8展示了圖7中裝有磁頭的微驅動器未被施加電壓時的初始狀態(tài)；圖9a展示了圖8所示的微驅動器的兩個壓電片間的電連接關系，根據(jù)本發(fā)明一個實施例，所述兩個壓電片具有相同的極化方向；圖9b展示了圖8所示的微驅動器的兩個壓電片間的電連接關系，根據(jù)本發(fā)明另一個實施例，所述兩個壓電片具有相反的極化方向；圖9c展示了分別加在圖9b所示兩個壓電片上的兩個電壓的波形圖；圖9d展示了分別加在圖9a所示兩個壓電片上的電壓的波形圖；圖10及11展示了圖8中裝有磁頭的微驅動器被激發(fā)時的兩種不同的工作方式；圖12為圖3中磁頭折片組合的共振曲線；圖13-15為本發(fā)明微驅動器的支撐框的三個實施例的立體圖；圖16-18為本發(fā)明微驅動器三個實施例的示意圖；圖19為本發(fā)明磁盤驅動器一個實施例的立體圖。
具體實施例方式
參考圖3，本發(fā)明一種磁頭折片組合3包括磁頭31、微驅動器32及用于承載所述磁頭31及微驅動器32的懸臂件8。
參考圖4及5，所述撓性件13亦包括一個懸臂舌片(suspension tongue)328，所述懸臂舌片328用于支撐微驅動器32和磁頭31，并使得承載力總是通過負載桿17上的小突起329施加于磁頭31的中心區(qū)域。所述懸臂舌片328上設有復數(shù)電極觸點113和310。磁頭31一端對應于懸臂舌片328上電極觸點113設有復數(shù)電極觸點204。
參考圖4-5，根據(jù)本發(fā)明一個實施例，微驅動器32包括支撐框320及兩個壓電片321。每個壓電片321上對應電極觸點310設有復數(shù)電極觸點333。所述支撐框320可由金屬(例如，不銹鋼)、陶瓷或者聚合物制成，其包括底臂393、活動臂394及兩側臂391、392。兩側臂391、392以底臂393的軸線為對稱軸對稱分布，每個側臂391、392均和底臂393和活動臂394相連。在該實施例中，兩側臂391、392間的距離大于磁頭31的寬度，當磁頭31裝在支撐框320上時，在支撐框320和磁頭31間就形成兩個間隙315。此外，活動臂394包括一個用于支撐磁頭31的支撐部10以及兩個連接部11及12。所述連接部11及12分別和位于支撐部10對角線上的兩端部相連。每個連接部11及12的寬度小于支撐部10的寬度，從而在側臂391和支撐部10間形成一個槽口14，同時在側臂392和支撐部10間形成一個切口(未標示)。為了增加支撐框320的彈性，在底臂393和兩側臂391、392間可形成兩個槽口16。在該實施例中，所述支撐部10為長方體形狀，所述連接部11和12與之垂直相連。
參考圖4-5，在負載桿17上形成有一個限位裝置207，該限位裝置207穿過懸臂舌片328用以防止懸臂舌片328在正常工作或受到震動或撞擊時不會過度彎曲.在本發(fā)明中，所述壓電片321與支撐框320的連接方式可為傳統(tǒng)連接方式，例如環(huán)氧膠連接(epoxy bonding)、各向異性導電膜(anisotropicconductive film，ACF)連接。
在一個實施例中，樞軸部394對應于負載桿17上小凸起329的位置而形成。這樣，支撐框320就和懸臂舌328具有相同的旋轉中心，同時一個平行間隙400形成在支撐框320和懸臂舌328之間。在本發(fā)明中，壓電片321通過將其兩端于支撐框320的兩個自由端392b和390b相連而與支撐框320連接起來。相似的，壓電片322通過將其兩端于支撐框320的兩個自由端392a和390a相連而與支撐框320連接起來。在本發(fā)明中，所述壓電片321最好由壓電薄膜材料制成，該壓電片321可為單層壓電元件或多層壓電元件。在一個實施例中，所述每個壓電片321均可為包括內基層與外壓電層的多層結構。所述內基層可由陶瓷、聚合物或金屬制成，外壓電層可為單層壓電元件或多層壓電元件。
參考圖3-8，所述兩個壓電片321和支撐框320連在一起而形成微驅動器32；然后，將磁頭31和微驅動器32的支撐部10相粘結；接著，磁頭31和微驅動器32按如下步驟裝在懸臂件8上而形成磁頭折片組合3首先，支撐框320通過ACF、粘接劑或環(huán)氧膠(epoxy)部分連接于撓性件13的懸臂舌片328上，并且在所述支撐框320和懸臂舌片328之間形成一個平行間隙。然后，復數(shù)金屬球332(GBB或SBB)將兩個壓電片321上的電極觸點333與懸臂舌片328上的電極觸點310電性連接，從而將微驅動器32與懸臂件8上的兩個電纜311電性連接。同時，復數(shù)金屬球405(GBB或SBB)將磁頭31上的電極觸點204與電極觸點113電性相連，從而將磁頭31與電纜309電性連接。通過所述電纜309、311，所述電極觸點308將磁頭31及微驅動器32與控制系統(tǒng)電性相連(未圖示)。顯而易見，磁頭折片組合3亦可這樣裝配首先將微驅動器32與懸臂件8相連接，然后將磁頭31裝在微驅動器32上。
參考圖5和7，磁頭31通過兩個環(huán)氧條18(epoxy bar)部分裝設于支撐部10上，并且磁頭31和支撐部10的中心相對應。在該實施例中，兩個環(huán)氧條18以支撐部10中心為對稱點對稱地設于的支撐部10的兩端。
圖8，9a，9d和10展示了微驅動器32實現(xiàn)磁頭位置調整功能的第一種工作方式。在該實施例中，所述兩個壓電片321具有相同的極化方向(polarizationdirection)，如圖9a所示，該兩個壓電片321的一端404被共同接地，另一端401a和401b被分別施加具有同一正弦波形407的電壓(參圖9d)。圖8展示了微驅動器32的初始狀態(tài)，即沒有電壓施加于其上的狀態(tài)。當具有波形407的正弦電壓施加于兩個壓電片321上時，在第一個半個周期，兩個壓電片321隨著驅動電壓的增加同時逐漸收縮到一個最短的位置(對應于最大的位移位置)；然后隨著驅動電壓的減小同時逐漸回復其初始位置。
參考圖10和7，當兩個壓電片321同時收縮時，其將使兩個側臂391和392彎曲，進而驅使活動臂394的兩個連接部11、12向相反的方向移動。因為兩個連接部11、12沿支撐部10的對角線與之向連接，并且每個連接部11、12的寬度小于支撐部10的寬度，從而使支撐部10在兩個連接部11、12產生的扭矩的作用下圍繞其中心從原始位置501旋轉至最大位移位置502，然后又回到原始位置501。對應地，因為磁頭31通過兩個環(huán)氧條18和支撐部10部分連接，并且磁頭31和支撐部10的中心相對應，從而磁頭31將圍繞其中心并隨支撐部10從原始位置501轉到最大位移位置502，然后又回到其原始位置501。此外，在磁頭31和支撐框320之間的兩個間隙315保證了磁頭31的自由旋轉。
參考圖8、9a、9d和11，當驅動電壓407進入第二個半個周期時(和第一個半個周期的相位相反)，兩個壓電片321將隨著負驅動電壓的增加同時逐漸膨脹到一個最大位移位置，然后隨著負驅動電壓減小到零而逐漸回到其原始位置。對應地，它將使磁頭31從其原始位置501旋轉至最大位移位置503，然后又回到其原始位置。這里，因為磁頭31被驅使沿其中心旋轉，從而可進行一個良好的磁頭位置調整。
圖8、9b、9c及10-11展示了兩個壓電片321實現(xiàn)磁頭位置調整功能的另一種工作方式。在該實施例中，所述兩個壓電片321具有相反的極化方向，如圖9b所示。該兩個壓電片321的一端404被共同接地，另一端401a和401b被分別施加具有兩個不同波形406、408的兩個電壓(如圖9c所示)。在上述電壓驅動下，在相同的半個周期內，兩個壓電片321將同時逐漸收縮到最短的位置，然后又回到其初始位置。當驅動電壓406、408進入下半個周期時，兩個壓電片321將同時膨脹到最長的位置，然后又回到其原始位置。相似地，磁頭31將循環(huán)地圍繞其中心旋轉進而獲得良好的磁頭位置調整。
在本發(fā)明中，因為所述每個連接部11、12的寬度比支撐框32的支撐部10的寬度小，所以其將有助于支撐部10和磁頭31的旋轉，亦即，連接部11、12具有一個窄的寬度將使其易被彎曲從而可驅使支撐部10和磁頭31旋轉。此外，參考圖6，懸臂舌片328和活動臂394間的平行間隙將使支撐部10和磁頭31在被壓電片321驅動時可更加自由的旋轉。
與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明微驅動器32通過用兩個壓電片321旋轉其上的活動臂，從而使磁頭31以其中心為旋轉中心而旋轉，進而使磁頭31的前緣部(leading side)和后緣部(trailing side)往不同方向移動，而現(xiàn)有的微驅動器僅能擺動磁頭的后緣部(因為其前緣部被固定)。這樣，本發(fā)明可使磁頭的位置調整更加有效。對應地，就可以提高磁頭的位置調整能力(head positionadjustment capacity)。
圖12展示了本發(fā)明磁頭折片組合共振性能的測試結果，其中，701代表懸臂件的基板激發(fā)共振曲線，而702代表微驅動器激發(fā)共振曲線。從該圖可看出，當激發(fā)微驅動器32時，懸臂共振未發(fā)生在低頻段，而僅僅有單純的微驅動器共振發(fā)生在高頻段，這樣將增大磁盤驅動器的伺服系統(tǒng)帶寬并提高其容量，同時減少磁頭的搜索及定位時間(seeking and settling time)。
參考圖13-15，在本發(fā)明中，支撐框32亦可為其它結構，例如，支撐部10可為除長方體以外的其它形狀(例如，長斜方體)。可選擇地，連接部11、12可以一定角度(不是90度)與支撐部10相連接。為了更容易的彎曲連接部11、12，一個切口15可提供在連接部11(12)和支撐部10之間。
在本發(fā)明三個實施例中，參考圖16-18，支撐部10可具有一個由光滑圓弧構成的輪廓。此外，連接部11，12亦可為曲線狀。另外，為了使施加于支撐部10上的力保持平衡，連接部11、12可通過兩個連接點500與兩個側臂391、392相連，所述兩個連接點500以支撐框的縱軸為對稱軸對稱分布。在本發(fā)明中，所述壓電片可以裝在每個側臂391，392的一側或兩側。
在本發(fā)明中，參考圖19，將本發(fā)明磁頭折片組合3與磁盤驅動器殼體108、磁盤101、主軸馬達102、音圈馬達107等進行組裝即可形成一個磁盤驅動器。因為本發(fā)明磁盤驅動器的組裝過程及結構為業(yè)界普通技術人員所知曉，故在此不再詳述。
權利要求
1.一種磁頭折片組合(head gimbal assembly)，其特征在于包括磁頭(slider)；微驅動器(micro-actuator)；其中所述微驅動器包括底臂、活動臂及以底臂的軸線為對稱軸對稱分布、并分別連接所述底臂和活動臂的兩個側臂；以及至少一個與所述側臂相連接的壓電片；及用于支撐所述磁頭和微驅動器的懸臂件(suspension)；其中，所述磁頭裝在活動臂上，并在激發(fā)所述至少一個壓電片時被所述活動臂所旋轉。
2.如權利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述活動臂包括一個支撐磁頭的支撐部，以及分別和位于支撐部對角線上的兩端部相連的兩個連接部。
3.如權利要求2所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個連接部的寬度均小于支撐部的寬度。
4.如權利要求2所述的磁頭折片組合，其特征在于所述磁頭部分裝在所述支撐框的支撐部，且磁頭與所述支撐部的中心相匹配。
5.如權利要求2所述的磁頭折片組合，其特征在于所述兩個連接部可通過兩個連接點與兩個側臂相連，所述兩個連接點以支撐框的縱軸為對稱軸對稱分布。
6.如權利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于兩個側臂間的距離大于磁頭的寬度。
7.如權利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述底臂和所述懸臂件部分相連，在所述支撐框與所述懸臂件間形成一個平行間隙。
8.如權利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述側臂形成于所述底臂和活動臂的兩側，在側臂和底臂之間或者在側臂和活動臂間形成至少一個間隔。
9.如權利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述至少一個壓電片裝在所述每個側臂的一側或兩側。
10.如權利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述用于粘結磁頭和支撐框的材料以及粘結所述支撐框底臂和懸臂件的材料為環(huán)氧膠、粘結劑或各向異性導電模(ACF)。
11.一種微驅動器，包括底臂，用以支撐和旋轉磁頭的活動臂；以底臂的軸線為對稱軸對稱分布、并分別連接所述底臂和活動臂的兩個側臂；以及連接到所述兩側臂的至少一個壓電片。
12.如權利要求11所述的微驅動器，其特征在于所述活動臂包括一個支撐磁頭的支撐部，以及分別和位于支撐部對角線上的兩端部相連的兩個連接部。
13.如權利要求12所述的微驅動器，其特征在于所述每個連接部的寬度均小于支撐部的寬度。
14.如權利要求11所述的微驅動器，其特征在于所述至少一個壓電片為薄膜壓電片或陶瓷壓電片。
15.如權利要求11所述的微驅動器，其特征在于所述至少一個壓電片為單層結構或包含基層與壓電層的多層結構。
16.如權利要求15所述的微驅動器，其特征在于所述壓電層為單層壓電結構或多層壓電結構，所述基層由金屬、陶瓷或聚合物(polymer)制成。
17.如權利要求11所述的微驅動器，其特征在于所述側臂形成于所述底臂和活動臂的兩側，在側臂和底臂之間或者在側臂和活動臂間形成至少一個間隔。
18.如權利要求11所述的微驅動器，其特征在于所述至少一個壓電片裝在所述每個側臂的一側或兩側。
19.如權利要求11所述的微驅動器，其特征在于所述用于粘結磁頭和支撐框的材料為環(huán)氧膠、粘結劑或各向異性導電模(ACF)。
20.一種硬盤驅動器，包括磁頭折片組合；與所述磁頭折片組合相連結的驅動臂；磁盤；及用以旋轉所述磁盤的主軸馬達；其特征在于所述磁頭折片組合包括磁頭(slider)、微驅動器(micro-actuator)及用于支撐所述磁頭和微驅動器的懸臂件(suspension)；其中，所述微驅動器包括底臂、活動臂及以底臂的軸線為對稱軸對稱分布、并分別連接所述底臂和活動臂的兩個側臂；以及至少一個與所述側臂相連接的壓電片；其中，所述磁頭裝在活動臂上，并在激發(fā)所述至少一個壓電片時被所述活動臂所旋轉；所述底臂部分裝在懸臂件上，在支撐框和懸臂件件形成一個平行間隙。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種磁頭折片組合，包括磁頭(slider)；微驅動器(micro－actuator)；其中所述微驅動器包括底臂、活動臂及以底臂的軸線為對稱軸對稱分布、并分別連接所述底臂和活動臂的兩個側臂；以及至少一個與所述側臂相連接的壓電片；及用于支撐所述磁頭和微驅動器的懸臂件(suspension)。其中，所述磁頭裝在活動臂上，并在激發(fā)所述至少一個壓電片時被所述活動臂所旋轉。本發(fā)明同時公開了使用該磁頭折片組合的硬盤驅動器結構。
文檔編號G11B5/56GK1770268SQ200410092058
公開日2006年5月10日 申請日期2004年11月1日 優(yōu)先權日2004年11月1日
發(fā)明者姚明高, 謝怡如, 白石一雅 申請人:新科實業(yè)有限公司