硅片批次管理方法及系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的硅片批次管理方法及系統(tǒng)，應用于在硅片的處理流程中，包括：設定聚集規(guī)則和流程聚集等級；流程聚集等級包括不同的聚集類別；選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次，然后轉移硅片。本發(fā)明實現(xiàn)了系統(tǒng)的自動批次聚集或解散的操作和控制，避免出現(xiàn)交叉污染的情況，以及實現(xiàn)對特殊產(chǎn)品的重點控制。
【專利說明】
硅片批次管理方法及系統(tǒng)
技術領域
[0001] 本發(fā)明涉及集成電路技術領域，具體涉及一種硅片批次管理方法及系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002] 在現(xiàn)有集成電路制造行業(yè)中，硅片一般以25片為一個產(chǎn)品批次(Lot)放置在裝載 盒中進行制造的，相關設備和系統(tǒng)也是基于25片的基礎進行產(chǎn)能優(yōu)化的。但在實際生產(chǎn)中， 往往由于各種需求會出現(xiàn)硅片裝載盒中的硅片數(shù)量少于25片的情況，并且由于一些設備和 工藝的生產(chǎn)需求，必須要相同條件的硅片放置在同一個硅片裝載盒中然后一起進行生產(chǎn)， 因此就需要把不同條件的硅片放置在不同的硅片裝載盒中。這樣不僅大大增加了制造工廠 的硅片裝載盒的需求量，而且由于不管這個硅片裝載盒中有幾片硅片，設備專用的資源和 消耗的成本都是和25片一樣的，因此還大大增加了制造工廠的生產(chǎn)成本。
[0003] 目前業(yè)界大部分制造工廠所使用的管理系統(tǒng)所使用的命令主要以轉移 (Transfer)或者更換(Exchange)命令來實現(xiàn)娃片的娃片裝載盒的更換，并且需要由人工一 批一批的手動進行操作。由于這些相關的命令只是進行產(chǎn)品批次和硅片裝載盒的從屬關系 的更改和確認，往往只是針對污染等級進行管控，對產(chǎn)品批次之間的生產(chǎn)條件和是否可以 放置在一起沒有管控，因此操作者需要憑借經(jīng)驗來進行操作。

【發(fā)明內容】

[0004] 為了克服以上問題，本發(fā)明旨在提供一種硅片批次管理方法及系統(tǒng)，從而實現(xiàn)系 統(tǒng)的自動批次聚集或解散的操作和控制，避免出現(xiàn)交叉污染的情況，以及實現(xiàn)對特殊產(chǎn)品 的重點控制。
[0005] 為了達到上述目的，本發(fā)明提供了一種硅片批次管理方法，應用于在硅片的處理 流程中，其包括：
[0006] 步驟01:設定聚集規(guī)則和流程聚集等級;流程聚集等級包括不同的聚集類別；
[0007] 步驟02:選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次，然后轉移硅片。
[0008] 優(yōu)選地，所述步驟02中，在選擇了硅片批次之后具體包括：
[0009] 步驟021:選擇用于聚集硅片的或者用于放置解散的硅片的目標硅片裝載容器； [0010]步驟022:檢測所選擇的硅片批次中每個硅片的位置信息，并且存儲起來；
[0011] 步驟023:確認開始操作，把所有所選擇的硅片批次標注為已選屬性，此時，所有所 選擇的硅片批次不允許用于其它工藝；
[0012] 步驟024:開始轉移所選擇的硅片批次至目標硅片裝載容器，同時實時檢測和更新 所選擇的硅片批次的每個硅片的位置信息；
[0013] 步驟025:所有所選擇的硅片批次轉移完畢，將選擇的硅片批次標注為正常屬性； 此時，所選擇的硅片批次允許用于其他工藝。
[0014] 優(yōu)選地，所述步驟023中，還將目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在的硅片 裝載容器均標記為已選屬性，此時目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在的硅片裝載 容器不允許用于其它工藝;所述步驟025中，還將目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所 在的硅片裝載容器均標記為正常屬性，此時，目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在 的硅片裝載容器允許用于其他工藝。
[0015]優(yōu)選地，針對聚集硅片的過程，在步驟01中還包括搜索出實際硅片數(shù)小于目標硅 片數(shù)的硅片批次，并且設定批次聚集等級;所述步驟02具體包括:a，根據(jù)批次聚集等級，篩 除所搜索出的硅片批次中不能聚集的硅片批次;b，根據(jù)流程聚集等級和/或聚集規(guī)則，在剩 余的所搜索出的硅片批次中，選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次;c，將所選 擇的硅片批次聚集到目標硅片裝載容器中。
[0016] 優(yōu)選地，所述b過程還包括:針對符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次，篩 除掉與該硅片批次對應的流程聚集等級和所設定的污染等級相沖突的硅片批次;并且，在c 過程中將所選擇的硅片聚集到硅片裝載容器之前，計算每個所選擇的硅片批次的硅片數(shù) 量;若所計算的所選擇的硅片批次的硅片數(shù)量超過設定的批次目標數(shù)量，則停止對所選擇 的硅片批次的聚集。
[0017] 為了達到上述目的，本發(fā)明還提供了一種上述的硅片批次管理方法所采用的系 統(tǒng)，其包括：
[0018] 存儲模塊，用于將設定的流程聚集等級和聚集規(guī)則進行存儲，流程聚集等級包括 不同的聚集類別；
[0019] 選擇模塊，選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次；
[0020] 運輸模塊，用于轉移所選擇的硅片批次；
[0021 ]控制模塊，控制所述運輸模塊將硅片批次進行轉移。
[0022] 優(yōu)選地，所述系統(tǒng)還包括檢測模塊和標記模塊;選擇模塊還選擇用于聚集硅片的 或者用于放置解散的硅片的目標硅片裝載容器;檢測模塊用于檢測所選擇的硅片批次中每 個硅片的位置信息，并且存儲于存儲模塊中；控制模塊確認開始操作并且發(fā)送信號給標記 模塊，標記模塊把所有所選擇的硅片批次標注為已選屬性，此時，所有所選擇的硅片批次不 允許用于其它工藝;控制模塊控制運輸模塊開始轉移所選擇的硅片批次至目標硅片裝載容 器，同時檢測模塊實時檢測所選擇的硅片批次的每個硅片的位置信息并且更新于所述存儲 模塊中；檢測模塊檢測到所有的所選擇的硅片批次轉移完畢后發(fā)送信號給標記模塊，標記 模塊將選擇的硅片批次標注為正常屬性;此時，所選擇的硅片批次允許用于其他工藝。
[0023] 優(yōu)選地，所述標記模塊還將目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在的硅片裝 載容器均標記為已選屬性，此時目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在的硅片裝載容 器不允許用于其它工藝;所述標記模塊還將目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在的 硅片裝載容器均標記為正常屬性，此時，目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在的硅 片裝載容器允許用于其他工藝。
[0024] 優(yōu)選地，針對聚集硅片的過程，所述檢測模塊還搜索出實際硅片數(shù)小于目標硅片 數(shù)的硅片批次，并且所述存儲模塊還將設定的批次聚集等級進行存儲;所述選擇模塊還根 據(jù)批次聚集等級，篩除所搜索出的硅片批次中不能聚集的硅片批次;然后，所述選擇模塊根 據(jù)流程聚集等級和/或聚集規(guī)則，在剩余的所搜索出的硅片批次中，選擇符合流程聚集等級 和/或聚集規(guī)則的批次;控制模塊控制運輸模塊轉移所選擇的硅片批次到目標硅片裝載容 器中。
[0025] 優(yōu)選地，所述系統(tǒng)還包括計算模塊和判斷模塊;針對符合流程等級和/或聚集規(guī)則 的硅片批次，所述選擇模塊還篩除掉與該硅片批次對應的流程聚集等級和所設定的污染等 級相沖突的硅片批次;并且，在將所選擇的硅片聚集到硅片裝載容器之前，所述計算模塊計 算每個所選擇的硅片批次的硅片數(shù)量;所述判斷模塊判斷所計算的所選擇的硅片批次的硅 片數(shù)量是否超過所設定的批次目標數(shù)量;若超出，則所述判斷模塊發(fā)送信號給控制模塊，控 制模塊控制運輸模塊對所選擇的硅片批次的轉移。
[0026] 本發(fā)明解決了現(xiàn)有系統(tǒng)中，不能快速、安全有效的進行多個硅片批次(Lot)的和批 工作，通過聚集(Banding)過程，使具有相同批次等級(Banding Flag)的小于目標總數(shù)(例 如25片的）硅片批次（Lot)以批處理的形式進行自動合并到同一個硅片裝載容器(F0UP， P0D)內，以此使每一個硅片裝載容器(FOUP，P0D)在上機臺生產(chǎn)時盡可能處于目標總數(shù)(例 如25片）的滿批狀態(tài)，從而有效地降低小硅片批次(Lot)對設備生產(chǎn)效率的影響，并且可以 通過解散過程使聚集在一起的硅片批次(Lot)完成一定步驟的生產(chǎn)后以批處理的形式安 全、快速的分開。
【附圖說明】
[0027]圖1為本發(fā)明的一個較佳實施例的硅片批次管理方法的流程示意圖 [0028]圖2為本發(fā)明的一個較佳實施例的硅片批次管理方法的方塊圖
【具體實施方式】
[0029]為使本發(fā)明的內容更加清楚易懂，以下結合說明書附圖，對本發(fā)明的內容作進一 步說明。當然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領域內的技術人員所熟知的一般替換也 涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內。
[0030] 以下結合附圖1-2和具體實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。需說明的是，附圖均 采用非常簡化的形式、使用非精準的比例，且僅用以方便、清晰地達到輔助說明本實施例的 目的。
[0031] 本實施例中，硅片批次管理方法應用于硅片的處理流程中；硅片的處理流程包括 硅片的各種制備工藝，例如:有源區(qū)制備、前道器件制備、后道互連制備等一系列過程中，在 這些過程中，硅片會被多次運輸?shù)较鄳奶幚砉に嚺_上，如何實現(xiàn)有效的批次傳輸是本發(fā) 明所要解決的問題。請參閱圖1，本實施例的硅片批次管理方法包括：
[0032] 步驟01:設定聚集規(guī)則和流程聚集等級;流程聚集等級包括不同的聚集類別；
[0033] 具體的，聚集規(guī)則可以根據(jù)經(jīng)驗來設定，聚集規(guī)則通常是來指導可以聚集在一起 的硅片批次進行聚集;流程批次等級可以用于硅片聚集或硅片解散，如表一所示，表一中列 出了本實施例所劃分的流程批次等級及其相對應的功能解釋;但本發(fā)明對于流程批次等級 不限于此分類；只要是根據(jù)實際工藝流程所進行的分類都可以應用于本發(fā)明中。需要說明 的是，本實施例中，可以選擇符合流程聚集等級的硅片批次，也可以將屬于不同流程聚集等 級的但符合聚集規(guī)則的硅片批次聚集在一起，也可以只將符合聚集規(guī)則的硅片批次聚集在 一起。
[0035]步驟02:選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次，然后轉移硅片；
[0036]具體的，步驟02中，在選擇屬于相同流程聚集等級的硅片批次之后具體包括：
[0037]步驟021:選擇用于聚集硅片的或者用于放置解散的硅片的目標硅片裝載容器； [0038]步驟022:檢測所選擇的硅片批次中每個硅片的位置信息，并且存儲起來；
[0039]步驟023:確認開始操作，把所有所選擇的硅片批次標注為已選屬性，此時，所有所 選擇的硅片批次不允許用于其它工藝;這里，還將目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次 所在的硅片裝載容器均標記為已選屬性，此時目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在 的硅片裝載容器不允許用于其它工藝；
[0040] 步驟024:開始轉移所選擇的硅片批次至目標硅片裝載容器，同時實時檢測和更新 所選擇的硅片批次的位置信息；
[0041] 步驟025:所有所選擇的硅片批次轉移完畢，將選擇的硅片批次標注為正常屬性； 此時，所選擇的硅片批次允許用于其他工藝;這里，還將目標硅片裝載容器和所選擇的硅片 批次所在的硅片裝載容器均標記為正常屬性，此時，目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批 次所在的硅片裝載容器允許用于其他工藝。
[0042] 本實施例中，針對聚集硅片的過程具體如下：
[0043]在上述步驟01中還包括搜索出實際硅片數(shù)小于目標硅片數(shù)的硅片批次，并且設定 批次聚集等級;批次聚集等級包括能聚集的批次等級和不能聚集的批次等級；
[0044] 上述步驟02具體包括：
[0045] a，根據(jù)批次聚集等級，篩除所搜索出的硅片批次中不能聚集的硅片批次；
[0046] b，根據(jù)流程聚集等級和/或聚集規(guī)則，在剩余的所搜索出的硅片批次中，選擇符合 流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次;這里，本過程b還包括:針對符合流程聚集等級 和/或聚集規(guī)則的硅片批次，篩除掉與該硅片批次對應的流程聚集等級和所設定的污染等 級相沖關的娃片批次。
[0047] c，將所選擇的硅片批次聚集到目標硅片裝載容器中。在本c過程中將所選擇的硅 片聚集到硅片裝載容器之前，計算每個所選擇的硅片批次的硅片數(shù)量;若所計算的所選擇 的硅片批次的硅片數(shù)量超過設定的批次目標數(shù)量，則停止對所選擇的硅片批次的聚集;若 沒有超過，則繼續(xù)進行聚集。
[0048] 本實施例中，還具有導片設備，導片設備具有內置存放區(qū)域;針對本實施例的聚集 硅片的過程包括:在步驟02中，包括將硅片盤拾取聚集到目標硅片裝載容器中的過程，具體 為:首先，將所有所選擇的硅片批次轉移至導片設備中的內置存放區(qū)域;然后，把目標硅片 裝載容器設置于導片設備中，導片設備從內置存放區(qū)域中將所選擇的硅片批次轉移至目標 硅片裝載容器中。
[0049] 本實施例中還包括將硅片從目標硅片裝載容器中拾取解散出來的過程，具體包 為:首先，選擇需要解散的硅片裝載容器，然后從需要解散的硅片裝載容器中選擇需要解散 的硅片批次，將所選擇的需要解散的硅片批次從硅片裝載容器轉移至導片設備的內置存放 區(qū)域中；然后，從內置存放區(qū)域中將所選擇的需要解散的硅片批次拾取出來，并且轉移至目 標硅片裝載容器中。
[0050] 舉例來說，對于聚集硅片過程，包括：
[0051] 步驟101:搜索出實際硅片數(shù)小于目標硅片數(shù)的硅片批次，并且設定聚集規(guī)則、批 次聚集等級和流程聚集等級；
[0052]步驟102:在每一個工藝開始之前，根據(jù)批次聚集等級，篩除所搜索出的硅片批次 中不能聚集的娃片批次；
[0053]步驟103:根據(jù)流程聚集等級和/或聚集規(guī)則，在剩余的所搜索出的硅片批次中，選 擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次;這里還包括:針對符合流程聚集等級和/ 或聚集規(guī)則的硅片批次，篩除掉與該硅片批次對應的流程聚集等級和所設定的污染等級相 沖關的娃片批次；
[0054]步驟104:將所選擇的硅片批次聚集到目標硅片裝載容器中；
[0055] 這里，還包括:選擇用于聚集硅片的或者用于放置解散的硅片的目標硅片裝載容 器;檢測所選擇的硅片批次中每個硅片的位置信息，并且存儲起來；
[0056] 同時，計算每個所選擇的硅片批次的硅片數(shù)量;若所計算的所選擇的硅片批次的 硅片數(shù)量超過設定的批次目標數(shù)量，則停止對所選擇的硅片批次的聚集，并且可以發(fā)出警 報提不；
[0057]然后，確認開始操作，把所有所選擇的硅片批次、所選擇的硅片所在硅片裝載容器 標注、目標硅片裝載容器標記為已選屬性，此時，所有所選擇的硅片批次、所選擇的硅片所 在硅片裝載容器標注、目標硅片裝載容器雋不允許用于其它工藝；
[0058]開始轉移所選擇的硅片批次至目標硅片裝載容器，同時實時檢測和更新所選擇的 硅片批次的每個硅片的位置信息；
[0059] 所有所選擇的硅片批次轉移完畢，將選擇的硅片批次標注為正常屬性;此時，所選 擇批次的硅片、目標硅片裝載容器和所選擇批次的硅片所在的硅片裝載容器允許用于其他 工藝，例如派工或生產(chǎn)。
[0060] 再次舉例，對于解散硅片的過程，包括：
[0061 ]步驟201:設定流程聚集等級和聚集規(guī)則;流程聚集等級包括不同的聚集類別；
[0062] 步驟202:在每一個工藝結束之后，選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的需要 解散的硅片批次；
[0063] 具體的，選擇要解散的硅片裝載容器，根據(jù)流程聚集等級和/或聚集規(guī)則來選擇需 要解散的符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次，也即是前面硅片聚集的過程已經(jīng) 將硅片聚集并進行了處理，之后，需要將聚集的硅片解散出來;聚集在同一個硅片裝載容器 中的硅片批次可以根據(jù)流程聚集等級和/或聚集規(guī)則選擇出來;根據(jù)流程聚集等級和/或聚 集規(guī)則可以知曉所選擇的硅片批次中的每個硅片的數(shù)量、位置和編號；
[0064]步驟203:選擇將硅片批次解散到的目標硅片裝載容器；
[0065]步驟204:檢測所選擇硅片批次中每個硅片的位置信息，并且存儲起來；
[0066]步驟205:確認開始操作，把所有所選擇的硅片批次、目標硅片裝載容器和所選擇 批次的硅片所在的硅片裝載容器標注為已選屬性;此時，所有所選擇批次的硅片、目標硅片 裝載容器和所選擇批次的硅片所在的硅片裝載容器不允許用于其它工藝，例如派工或生 產(chǎn)；
[0067]步驟206:開始轉移所選擇的硅片批次至目標硅片裝載容器，同時檢測和更新所選 擇的硅片批次中每個硅片的位置信息；
[0068]步驟207:所有所選擇的硅片批次轉移完畢，將所選擇的硅片批次、目標硅片裝載 容器和所選擇批次的硅片所在的硅片裝載容器標注為正常屬性;此時，所選擇批次的硅片、 目標硅片裝載容器和所選擇批次的硅片所在的硅片裝載容器允許用于其他工藝。
[0069]本實施例中，請參閱圖2,還提供了進行上述的硅片批次管理方法所采用的系統(tǒng)， 其包括：
[0070] 存儲模塊，用于將設定的流程聚集等級和聚集規(guī)則進行存儲，流程聚集等級包括 不同的聚集類別；
[0071] 選擇模塊，根據(jù)流程聚集等級來選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批 次；
[0072] 運輸模塊，用于轉移所選擇的硅片批次；
[0073] 控制模塊，控制運輸模塊將硅片批次進行轉移。
[0074]系統(tǒng)還包括檢測模塊和標記模塊;選擇模塊還選擇用于聚集硅片的或者用于放置 解散的硅片的目標硅片裝載容器;檢測模塊用于檢測所選擇的硅片批次中每個硅片的位置 信息，并且存儲于存儲模塊中；控制模塊確認開始操作并且發(fā)送信號給標記模塊，標記模塊 把所有所選擇的硅片批次標注為已選屬性，此時，所有所選擇的硅片批次不允許用于其它 工藝;控制模塊控制運輸模塊開始轉移所選擇的硅片批次至目標硅片裝載容器，同時檢測 模塊實時檢測所選擇的硅片批次的每個硅片的位置信息并且更新于存儲模塊中；檢測模塊 檢測到所有的所選擇的硅片批次轉移完畢后發(fā)送信號給標記模塊，標記模塊將選擇的硅片 批次標注為正常屬性;此時，所選擇的硅片批次允許用于其他工藝；
[0075] 本實施例中，標記模塊還將目標硅片裝載容器和所選擇批次的硅片所在的硅片裝 載容器、或者目標硅片裝載器和所選擇批次的硅片要放置到的硅片裝載容器均標記為已選 屬性，此時目標硅片裝載容器和所選擇批次的硅片所在的硅片裝載容器、或者目標硅片裝 載器和所選擇批次的硅片要放置到的硅片裝載容器不允許用于其它工藝;此外，標記模塊 還將目標硅片裝載容器和所選擇批次的硅片所在的硅片裝載容器、或者目標硅片裝載器和 所選擇批次的硅片要放置到的硅片裝載容器均標記為正常屬性，此時，目標硅片裝載容器 和所選擇批次的硅片所在的硅片裝載容器、或者目標硅片裝載器和所選擇批次的硅片要放 置到的硅片裝載容器允許用于其他工藝。
[0076] 本實施例中，針對聚集硅片的過程，檢測模塊還搜索出實際硅片數(shù)小于目標硅片 數(shù)的硅片批次，并且存儲模塊還將設定的批次聚集等級進行存儲;選擇模塊還根據(jù)批次聚 集等級，篩除所搜索出的硅片批次中不能聚集的硅片批次;然后，選擇模塊根據(jù)流程聚集等 級，在剩余的所搜索出的硅片批次中，選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的批次;控制 模塊控制運輸模塊轉移所選擇的硅片批次到目標硅片裝載容器中。
[0077] 本實施的系統(tǒng)還包括計算模塊和判斷模塊;針對符合流程等級和/或聚集規(guī)則的 硅片批次，選擇模塊還篩除掉與該硅片批次對應的流程聚集等級和所設定的污染等級相沖 突的硅片批次;并且，在將所選擇的硅片聚集到硅片裝載容器之前，計算模塊計算每個所選 擇的硅片批次的硅片數(shù)量;判斷模塊判斷所計算的所選擇的硅片批次的硅片數(shù)量是否超過 所設定的批次目標數(shù)量;若超出，則判斷模塊發(fā)送信號給控制模塊，控制模塊控制運輸模塊 對所選擇的硅片批次的轉移。
[0078] 雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭示如上，然所述實施例僅為了便于說明而舉例而 已，并非用以限定本發(fā)明，本領域的技術人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若 干的更動與潤飾，本發(fā)明所主張的保護范圍應以權利要求書所述為準。
【主權項】
1. 一種硅片批次管理方法，應用于在硅片的處理流程中，其特征在于，包括： 步驟01:設定聚集規(guī)則和流程聚集等級;流程聚集等級包括不同的聚集類別； 步驟02:選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次，然后轉移硅片。2. 根據(jù)權利要求1所述的硅片批次管理方法，其特征在于，所述步驟02中，在選擇了硅 片批次之后具體包括： 步驟021:選擇用于聚集硅片的或者用于放置解散的硅片的目標硅片裝載容器； 步驟022:檢測所選擇的硅片批次中每個硅片的位置信息，并且存儲起來； 步驟023:確認開始操作，把所有所選擇的硅片批次標注為已選屬性，此時，所有所選擇 的硅片批次不允許用于其它工藝； 步驟024:開始轉移所選擇的硅片批次至目標硅片裝載容器，同時實時檢測和更新所選 擇的硅片批次的每個硅片的位置信息； 步驟025:所有所選擇的硅片批次轉移完畢，將選擇的硅片批次標注為正常屬性;此時， 所選擇的硅片批次允許用于其他工藝。3. 根據(jù)權利要求2所述的硅片批次管理方法，其特征在于，所述步驟023中，還將目標硅 片裝載容器和所選擇的硅片批次所在的硅片裝載容器均標記為已選屬性，此時目標硅片裝 載容器和所選擇的硅片批次所在的硅片裝載容器不允許用于其它工藝;所述步驟025中，還 將目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在的硅片裝載容器均標記為正常屬性，此時， 目標硅片裝載容器和所選擇的硅片批次所在的硅片裝載容器允許用于其他工藝。4. 根據(jù)權利要求1所述的硅片批次管理方法，其特征在于，針對聚集硅片的過程，在步 驟01中還包括搜索出實際硅片數(shù)小于目標硅片數(shù)的硅片批次，并且設定批次聚集等級;所 述步驟02具體包括:a，根據(jù)批次聚集等級，篩除所搜索出的硅片批次中不能聚集的硅片批 次;b，根據(jù)流程聚集等級和/或聚集規(guī)則，在剩余的所搜索出的硅片批次中，選擇符合流程 聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次;c，將所選擇的硅片批次聚集到目標硅片裝載容器中。5. 根據(jù)權利要求4所述的硅片批次管理方法，其特征在于，所述b過程還包括:針對符合 流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次，篩除掉與該硅片批次對應的流程聚集等級和所 設定的污染等級相沖突的硅片批次;并且，在c過程中將所選擇的硅片聚集到硅片裝載容器 之前，計算每個所選擇的硅片批次的硅片數(shù)量;若所計算的所選擇的硅片批次的硅片數(shù)量 超過設定的批次目標數(shù)量，則停止對所選擇的硅片批次的聚集。6. -種權利要求1所述的硅片批次管理方法所采用的系統(tǒng)，其特征在于，包括： 存儲模塊，用于將設定的流程聚集等級和聚集規(guī)則進行存儲，流程聚集等級包括不同 的聚集類別； 選擇模塊，選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次； 運輸模塊，用于轉移所選擇的硅片批次； 控制模塊，控制所述運輸模塊將硅片批次進行轉移。7. 根據(jù)權利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括檢測模塊和標記模塊;選 擇模塊還選擇用于聚集硅片的或者用于放置解散的硅片的目標硅片裝載容器;檢測模塊用 于檢測所選擇的硅片批次中每個硅片的位置信息，并且存儲于存儲模塊中；控制模塊確認 開始操作并且發(fā)送信號給標記模塊，標記模塊把所有所選擇的硅片批次標注為已選屬性， 此時，所有所選擇的硅片批次不允許用于其它工藝;控制模塊控制運輸模塊開始轉移所選 擇的硅片批次至目標硅片裝載容器，同時檢測模塊實時檢測所選擇的硅片批次的每個硅片 的位置信息并且更新于所述存儲模塊中；檢測模塊檢測到所有的所選擇的硅片批次轉移完 畢后發(fā)送信號給標記模塊，標記模塊將選擇的硅片批次標注為正常屬性;此時，所選擇的硅 片批次允許用于其他工藝。8. 根據(jù)權利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述標記模塊還將目標硅片裝載容器和所 選擇的硅片批次所在的硅片裝載容器均標記為已選屬性，此時目標硅片裝載容器和所選擇 的硅片批次所在的硅片裝載容器不允許用于其它工藝;所述標記模塊還將目標硅片裝載容 器和所選擇的硅片批次所在的硅片裝載容器均標記為正常屬性，此時，目標硅片裝載容器 和所選擇的硅片批次所在的硅片裝載容器允許用于其他工藝。9. 根據(jù)權利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，針對聚集硅片的過程，所述檢測模塊還搜 索出實際硅片數(shù)小于目標硅片數(shù)的硅片批次，并且所述存儲模塊還將設定的批次聚集等級 進行存儲;所述選擇模塊還根據(jù)批次聚集等級，篩除所搜索出的硅片批次中不能聚集的硅 片批次;然后，所述選擇模塊根據(jù)流程聚集等級和/或聚集規(guī)則，在剩余的所搜索出的硅片 批次中，選擇符合流程聚集等級和/或聚集規(guī)則的批次;控制模塊控制運輸模塊轉移所選擇 的硅片批次到目標硅片裝載容器中。10. 根據(jù)權利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括計算模塊和判斷模塊;針 對符合流程等級和/或聚集規(guī)則的硅片批次，所述選擇模塊還篩除掉與該硅片批次對應的 流程聚集等級和所設定的污染等級相沖突的硅片批次;并且，在將所選擇的硅片聚集到硅 片裝載容器之前，所述計算模塊計算每個所選擇的硅片批次的硅片數(shù)量;所述判斷模塊判 斷所計算的所選擇的硅片批次的硅片數(shù)量是否超過所設定的批次目標數(shù)量;若超出，則所 述判斷模塊發(fā)送信號給控制模塊，控制模塊控制運輸模塊對所選擇的硅片批次的轉移。
【文檔編號】H01L21/66GK106056464SQ201610498407
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年6月30日
【發(fā)明人】馬蘭濤, 陳毅俊, 朱駿
【申請人】上海華力微電子有限公司