專利名稱：基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系統(tǒng)和記 ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝置、 許可信息提供程序、許可管理系統(tǒng)和記錄介質(zhì)，特別是涉及根據(jù)基于 軟件控制對基板進(jìn)行處理的基板處理裝置、許可管理程序、許可信息 提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系統(tǒng)和記錄介質(zhì)。
背景技術(shù)：
通常軟件的用戶有服從該許可協(xié)議的義務(wù)。許可協(xié)議的規(guī)定中有 各種條款，在達(dá)成協(xié)議的用戶數(shù)、計(jì)算機(jī)的臺數(shù)、或在使用期間等范 圍內(nèi)允許使用軟件。
有時針對在半導(dǎo)體制造裝置等基板處理裝置上工作的軟件，在基 板處理裝置的制造商和基板處理裝置的用戶之間簽訂許可協(xié)議。在這 種情況下，基板處理裝置的制造商向用戶要求軟件的許可費(fèi)，在繳納 該許可費(fèi)后，才允許使用該軟件。具體而言，與一般的軟件相同，基
板處理裝置的制造商通知用戶許可密鑰(licence key)等，輸入該許可 密鑰等，此后可以使用該軟件。
然而，在該許可協(xié)議僅在制造商與該用戶之間有效的情況下，當(dāng) 該用戶轉(zhuǎn)賣基板處理裝置時，制造商可以向轉(zhuǎn)賣對方的用戶重新要求 許可費(fèi)。
專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-84889號公報
但是， 一直以來只要沒有來自用戶的報告，制造商很難察覺基板 處理裝置的轉(zhuǎn)賣。作為實(shí)際問題，根據(jù)制造商所派遣的保養(yǎng)作業(yè)員的 報告，也許能夠察覺基板處理裝置被轉(zhuǎn)移到了某處。但是，可以想象 如果轉(zhuǎn)賣對方的用戶不合作，很難正確地把握轉(zhuǎn)賣的目的地。
于是，存在不得不眼睜睜地看著該軟件被不正當(dāng)?shù)厥褂茫圃焐?無法要求軟件的許可費(fèi)，導(dǎo)致利益蒙受侵害的問題。
而且，在專利文獻(xiàn)1所記載的技術(shù)中，即使能夠?qū)γ總€作為許可 對象的機(jī)器進(jìn)行許可管理，也很難在該機(jī)器被轉(zhuǎn)賣時妥當(dāng)?shù)胤乐乖摍C(jī) 器所用的軟件的使用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種能夠妥當(dāng) 地防止在基板處理裝置中工作的軟件的不正當(dāng)使用的基板處理裝置、 許可管理程序、許可信息提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系 統(tǒng)和記錄介質(zhì)。
因此，為了解決上述課題，本發(fā)明提供了一種根據(jù)基于軟件控制 對基板進(jìn)行處理的基板處理裝置，其特征在于，包括許可信息接收 單元，定期從通過網(wǎng)絡(luò)連接的許可信息提供裝置接收上述軟件的許可
信息；許可信息解析單元，從上述許可信息取出上述許可信息提供裝 置在網(wǎng)絡(luò)上的地址信息；和許可判定單元，將從上述許可信息取出的 上述地址信息與預(yù)先保存在該基板處理裝置中的上述許可信息提供裝 置的上述地址信息進(jìn)行比較。并且，在兩個上述地址信息的值不一致 的情況下，限制上述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。
并且，為了解決上述課題，本發(fā)明提供了一種通過網(wǎng)絡(luò)與上述基 板處理裝置連接的許可信息提供裝置，其特征在于，包括許可信息
生成單元，根據(jù)該許可信息提供裝置的上述地址信息，生成上述許可
信息；和許可信息發(fā)送單元，向上述基板處理裝置發(fā)送上述許可信息。 根據(jù)上述基板處理裝置和上述許可信息提供裝置，能夠妥當(dāng)?shù)胤?止在基板處理裝置中工作的軟件的不正當(dāng)使用。
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，提供一種能夠妥當(dāng)?shù)胤乐乖诨逄幚硌b置中工作的 軟件的不正當(dāng)使用的基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝 置、許可信息提供程序、許可管理系統(tǒng)和記錄介質(zhì)。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的基板處理裝置構(gòu)成例示意圖。
圖2是表示第一實(shí)施方式中的網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成例和系統(tǒng)控制器構(gòu)成例的圖。
圖3是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的許可密鑰服務(wù)器的硬件構(gòu)成例的圖。
圖4是表示第一實(shí)施方式中的用于實(shí)現(xiàn)許可管理系統(tǒng)的許可密鑰 服務(wù)器和基板處理裝置的功能構(gòu)成例的圖。
圖5是用于說明輸入初始密鑰時許可密鑰服務(wù)器中的初始設(shè)定處 理的處理順序的流程圖。
圖6是用于說明接收初始密鑰時基板處理裝置中的處理順序的流 程圖。
圖7是用于說明基板處理裝置中許可的更新處理的處理順序的流 程圖。
圖8是用于說明許可密鑰服務(wù)器中的許可密鑰的更新處理的流程圖。
圖9是表示第二實(shí)施方式中的網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成例和系統(tǒng)控制器構(gòu)成例的圖。
圖IO是表示第三實(shí)施方式中的網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成例和系統(tǒng)控制器構(gòu)成例的圖。
圖11是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的第二基板處理裝置的構(gòu)成例的示 意圖。
圖12是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的第三基板處理裝置的構(gòu)成例的示 意圖。
圖13是第二處理單元的截面圖。 圖14是表示第二處理舟構(gòu)成的立體示意圖。 圖15是表示第二負(fù)載鎖定單元的單元驅(qū)動用干燥空氣供給系統(tǒng)的 構(gòu)成的示意圖。
圖16是表示第三基板處理裝置中的系統(tǒng)控制器的構(gòu)成例的圖。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是表示本發(fā)明 實(shí)施方式中的基板處理裝置構(gòu)成的示意圖。
在圖1中，基板處理裝置2主要包括對作為被搬送體的半導(dǎo)體 晶片(基板)W進(jìn)行成膜處理、擴(kuò)散處理、蝕刻處理等各種處理的處 理系統(tǒng)5和將晶片W搬入、搬出該處理系統(tǒng)的搬送系統(tǒng)6。處理系統(tǒng)
5由能夠抽真空的移載室8和通過閘閥10A 10D連接的4個處理腔室 (處理室)12A 12D構(gòu)成，在各處理腔室12A 12D中，對晶片W 實(shí)施相同種類或不同種類的熱處理。在各處理腔室12A 12D內(nèi)，分 別設(shè)置有用于載置晶片W的基座14A 14D。并且，在移載室8內(nèi)， 設(shè)有能夠自由伸縮和旋轉(zhuǎn)的移載臂部16，其能夠在各處理腔室12A 12D之間和與后述的負(fù)載鎖定室之間進(jìn)行晶片W的交接。
另一方面，搬送系統(tǒng)6由載置盒容器的盒臺18和移動搬送臂部20 的搬送臺22構(gòu)成，該搬送臂部20用于搬送晶片W并進(jìn)行交接。在盒 臺18內(nèi)設(shè)有容器載置臺24，其中能夠載置多個、圖示例中最多為4 個盒容器26A 26D。各盒容器26A 26D能夠以等間距分多段載置并 收容最大例如25片晶片W。在搬送臺22上，設(shè)有從中心部沿著長度 方向延伸的直線導(dǎo)軌28，由線性電動機(jī)驅(qū)動臺34所支承的搬送臂部 20，沿著該直線導(dǎo)軌28，可動線圈高效地變換從磁鐵發(fā)出的磁通量，
能夠非接觸式地進(jìn)行高速且高精度的直線運(yùn)動。
并且，在搬送臺22的另一端，設(shè)有作為對晶片進(jìn)行定位的方向定 位裝置的定位器36，而且，在搬送臺22的途中，設(shè)有用于與上述移載 室8之間連接的能夠抽真空的兩個負(fù)載鎖定室38A、 38B。各負(fù)載鎖定 室38A、 38B內(nèi)，設(shè)有載置晶片W的被搬送體載置臺40A、 40B，并 且在各負(fù)載鎖定室38A、 38B的前后，分別設(shè)有用于與移載室8或搬 送臺22連通的閘閥42A、 42B和44A、 44B。其中，在基板處理裝置2 中，至少由移載臂部16和搬送臂部20構(gòu)成搬送單元。
基板處理裝置2還包括控制處理系統(tǒng)5和搬送系統(tǒng)6等的動作 的系統(tǒng)控制器、和配置于搬送臺22 —端的操作控制器88。
操作控制器88具有例如由LCD (Liquid Crystal Display:液晶顯 示器)構(gòu)成的顯示部和輸入部等。例如，操作控制器88顯示輸出基板 處理裝置2的各工作狀況等，并接收通過觸筆等的畫面選擇等的輸入 指示。
圖2是表示第一實(shí)施方式中的網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成例和系統(tǒng)控制器構(gòu)成例的
圖。在圖2中，系統(tǒng)控制器包括EC (Equipment Controller:設(shè)備控制 器)89、兩個MC (Module Controller:模塊控制器)90和91、以及連 接EC89和各MC的切換中心93。
EC89是控制包括各MC的整個基板處理裝置2的動作的主控制部 (Master控制部)。并且，EC89具有CPU891、 RAM892、 HDD893 等，根據(jù)在操作控制器88中由用戶等指定的晶片W的處理方法，即 對應(yīng)于方案的程序，CPU向各MC發(fā)送控制信號，由此控制處理系統(tǒng) 5和搬送系統(tǒng)6等的動作。并且，在本實(shí)施方式中，EC89實(shí)現(xiàn)了在基 板處理裝置2中控制基板處理等的軟件的許可管理功能。后面對許可 管理功能進(jìn)行詳細(xì)的描述。
切換中心93，根據(jù)來自EC89的控制信號，切換作為EC89的連接 目標(biāo)的MC。
MC卯和91是分別控制處理系統(tǒng)5和搬送系統(tǒng)6動作的副控制部 (Slave控制部)o各MC由DIST(Distribution:分配)板96通過GHOST 網(wǎng)絡(luò)95分別與I/O (輸入輸出)模塊97或98連接。GHOST網(wǎng)絡(luò)95 是通過被稱為GHOST ( General High-Speed Optimum Scalable Transceiver)的LSI所實(shí)現(xiàn)的網(wǎng)絡(luò)，其搭載于MC所擁有的MC板上。 GHOST網(wǎng)絡(luò)95可以連接有多個I/O模塊，在GHOST網(wǎng)絡(luò)95中，MC
相當(dāng)于主，而i/o模塊相當(dāng)于副。
1/0模塊97由與處理系統(tǒng)5的各構(gòu)成要素(下面稱為"終端裝置") 連接的多個I/O部100構(gòu)成，傳遞向各終端裝置的控制信號和來自各終 端裝置的輸出信號。I/O模塊97中與I/O部100連接的終端裝置，例 如相當(dāng)于處理腔室12A 12D等中的氨氣供給管的MFC、氟化氫氣體 供給管的MFC、壓力計(jì)、APC閥、氮?dú)夤┙o管的MFC和移載室8的 移載臂部16等。
并且，1/0模塊98具有與I/0模塊97相同的構(gòu)成，與搬送系統(tǒng)6 的連接關(guān)系也和上述MC90與1/0模塊97的連接關(guān)系相同。即，在I/O 模塊98中，與I/O部100連接的終端裝置例如相當(dāng)于搬送臺22的線性 電動機(jī)驅(qū)動臺34、搬送臂部20和各負(fù)載鎖定室38A、 38B的閘閥等。
并且，對I/O部100中的數(shù)字信號、模擬信號和串行信號的輸入輸 出進(jìn)行控制的I/0板(未圖示)也與各GHOST網(wǎng)絡(luò)95連接。
在基板處理裝置2中，對晶片W實(shí)施規(guī)定處理時，根據(jù)與該規(guī)定
的處理方案相對應(yīng)的程序，EC89的CPU891通過切換中心93、 MC卯、 GHOST網(wǎng)絡(luò)95和I/O模塊97的I/O部100，向指定的終端裝置發(fā)送 控制信號，由此在處理腔室12A等中實(shí)行該規(guī)定的處理。
在圖2的系統(tǒng)控制器中，多個終端裝置不與EC89直接連接，多個 與終端裝置連接的I/O部100被模塊化，構(gòu)成I/O模塊，由于該I/O模 塊通過MC和切換中心93與EC89連接，所以能夠使通信系統(tǒng)簡單化。
并且，由于EC89的CPU891發(fā)送的控制信號中包括與所期望的終 端地址連接的I/O部100的地址和含有I/O部100的I/O模塊的地址， 所以切換中心93參照控制信號中的I/O模塊的地址，并參照MC的 GHOST控制信號中的I/O部100的地址，切換中心93和MC可以不 用向CPU891査詢控制信號的發(fā)送目的地，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)控制信號
系統(tǒng)控制器，從EC89通過設(shè)于工廠內(nèi)的LAN( Local Area Network: 局域網(wǎng))等網(wǎng)絡(luò)170 (不限于有線或無線)，與同一工廠內(nèi)的許可密鑰 服務(wù)器60連接。許可密鑰服務(wù)器60是向基板處理裝置2提供許可密 鑰的PC (Personal Computer:個人電腦)等的計(jì)算機(jī)。這里，所謂許 可密鑰是指證明在基板處理裝置2中工作的軟件的許可(使用許可) 的數(shù)據(jù)。即，在輸入合適的許可密鑰之前，本實(shí)施方式的基板處理裝 置2中的規(guī)定軟件的功能的一部分或全部受到限制。
而且，系統(tǒng)控制器可以通過網(wǎng)絡(luò)170與對設(shè)置有基板處理裝置2 的整個工場的制造工序進(jìn)行管理的MES (Manufacturing Execution System:制造執(zhí)行系統(tǒng))連接。MES與系統(tǒng)控制器一起將與工廠的工 序相關(guān)的實(shí)時信息反饋給骨干業(yè)務(wù)(未圖示)并考慮整個工廠的負(fù)荷 等進(jìn)行與工序相關(guān)的判斷。
對許可密鑰服務(wù)器60進(jìn)行說明。圖3是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的 許可密鑰服務(wù)器的硬件構(gòu)成例的圖。本實(shí)施方式的許可密鑰服務(wù)器60 包括分別通過總線B互相連接的驅(qū)動裝置600、輔助存儲裝置602、存 儲器裝置603、 CPU604、接口裝置605、顯示裝置606和輸入裝置607 等。
實(shí)現(xiàn)許可密鑰服務(wù)器60中的后述功能的程序，由例如floppy (注
冊商標(biāo))盤、硬盤、磁光盤、CD-ROM、 CD-R、 CD-RW、 DVD-ROM、 DVD-RAM、 DVD-RW、 DVD+RW、磁帶、非易失性存儲卡、ROM等 記錄介質(zhì)601提供。將記錄有程序的記錄介質(zhì)601裝入驅(qū)動裝置600 時，程序從記錄介質(zhì)601通過驅(qū)動裝置600安裝到輔助存儲裝置602 中。而且，程序也可以從網(wǎng)絡(luò)下載而不來自記錄介質(zhì)601。
輔助存儲裝置602存儲已安裝的程序，同時存儲必要的文件和數(shù) 據(jù)。存儲器裝置603在具有程序的啟動指令時，從輔助存儲裝置602 讀出程序并進(jìn)行存儲。CPU604根據(jù)儲存在存儲器裝置603的程序，執(zhí) 行與許可密鑰服務(wù)器60相關(guān)的功能。這里，CPU604所執(zhí)行的與許可 密鑰服務(wù)器60相關(guān)的功能，包括以在CPU604上運(yùn)行的許可密鑰服務(wù) 器60的OS (Operating System:操作系統(tǒng))等處理的執(zhí)行為基礎(chǔ)的功 能。而且，也包括在將上述程序?qū)懭氩迦氲皆S可密鑰服務(wù)器60中的各 種功能擴(kuò)展板或功能擴(kuò)展單元所具備的存儲器之后，根據(jù)該存儲器上 的程序，各種功能擴(kuò)展板或功能擴(kuò)展單元所具備的CPU等進(jìn)行處理的 一部分或全部，并通過該處理而實(shí)現(xiàn)的功能。
其中，上述程序的形態(tài)可以是目標(biāo)代碼、由編譯器執(zhí)行的程序代 碼、向OS提供的腳本數(shù)據(jù)等中的任何一個。
接口裝置605用作與網(wǎng)絡(luò)170連接的接口，例如，相當(dāng)于NIC (Network Interface Card:互聯(lián)網(wǎng)卡)等。顯示裝置606顯示程序的 GUI等。輸入裝置607由鍵盤和鼠標(biāo)等構(gòu)成，用于接收各種操作指示。
由許可密鑰服務(wù)器60的許可密鑰的提供功能和基板處理裝置2的 EC89的許可管理功能，構(gòu)成基板處理裝置2的許可管理系統(tǒng)。
圖4是表示用于實(shí)現(xiàn)第一實(shí)施方式中的許可管理系統(tǒng)的許可密鑰
服務(wù)器和基板處理裝置的功能構(gòu)成例的圖。
在圖4中，許可密鑰服務(wù)器60由初始設(shè)定部61、密鑰傳送部62、 許可管理部63、更新請求接收部64、更新判定部65、網(wǎng)絡(luò)連接判定部 66和更新密鑰生成部67等構(gòu)成。這些各部通過由CPU604處理安裝在 許可密鑰服務(wù)器60中的程序而發(fā)揮作用。
初始設(shè)定部61根據(jù)初始密鑰621的輸入，進(jìn)行用于解除基板處理 裝置2的軟件功能限制的初始設(shè)定。這里，所謂初始密鑰621指用于 開始使用基板處理裝置2的軟件而在最初輸入的許可密鑰，優(yōu)選由基
板處理裝置2的制造商設(shè)定。
在本實(shí)施方式中，初始密鑰621根據(jù)許可密鑰服務(wù)器60與網(wǎng)絡(luò)170 連接而分配的IP地址(密鑰服務(wù)器地址)、基板處理裝置2與網(wǎng)絡(luò)170 連接而分配的IP地址(裝置地址)、基板處理裝置2的串行號(裝置 串行號)、生成許可密鑰(初始密鑰)的日期(許可日期)，按照規(guī)定 的算法(例如加密等，下面稱為"密鑰生成算法")生成。而且，需要 密鑰生成算法能夠雙向可逆，即能夠由初始密鑰621復(fù)原其構(gòu)成信息 (密鑰服務(wù)器地址、裝置地址、裝置串行號、許可日期)。并且，密鑰 生成算法必須對用戶保密。
在初始密鑰621由制造商設(shè)定的情況下，基板處理裝置2的用戶 在決定了密鑰服務(wù)器地址和裝置地址之后，將這些數(shù)值和裝置串行號 通過電子郵件或郵寄等通知制造商。制造商根據(jù)收到的信息，使用密 鑰生成算法生成初始密鑰621，利用CD-ROM或Floppy (注冊商標(biāo)) 盤等記錄介質(zhì)或通過網(wǎng)絡(luò)，向用戶配發(fā)所生成的初始密鑰621。而且， 向許可密鑰服務(wù)器60輸入初始密鑰621，不限于制造商的操作員，也 可以由用戶進(jìn)行。
作為基于初始密鑰621的輸入的初始設(shè)定處理，初始設(shè)定部61解 讀(解析)初始密鑰621，將初始密鑰621所包含的裝置地址和裝置串 行號保存在許可管理部63中。初始設(shè)定部61還向密鑰傳送部62指示 對基板處理裝置2發(fā)送初始密鑰。
許可管理部63管理裝置固有信息，該裝置固有信息用于專門識別 作為軟件的使用許可對象的基板處理裝置2。在本實(shí)施方式中，裝置地 址和裝置串行號或其中的任何一個相當(dāng)于裝置固有信息。而且，優(yōu)選 許可管理部63對裝置固有信息進(jìn)行加密等進(jìn)行管理。這是為了防止懷 有惡意的用戶通過改寫裝置固有信息，不正當(dāng)?shù)亟獬龑τ跊]有得到使 用許可的基板處理裝置2的功能限制。
更新請求接收部64在初始密鑰等的許可密鑰的有效期限結(jié)束時， 通過基板處理裝置2接收許可密鑰的更新請求。許可密鑰的更新請求 中包括裝置固有信息。即，在本實(shí)施方式中，初始密鑰等的許可密鑰 確定了有效期限，通過定期更新許可密鑰，能夠維持基板處理裝置2 中的軟件的使用許可。
更新判定部65調(diào)查請求更新許可密鑰的是否為得到使用許可的基 板處理裝置2，并由網(wǎng)絡(luò)連接判定部66檢查該許可密鑰服務(wù)器60是否 與網(wǎng)絡(luò)170正常連接，由此判定是否允許更新許可密鑰。
更新密鑰生成部67在允許更新許可密鑰時，生成用于更新許可期 限的許可密鑰(下面稱為"更新密鑰")。更新密鑰與初始密鑰一樣， 根據(jù)密鑰服務(wù)器地址、裝置地址、裝置串行號、許可日期，由密鑰生 成算法生成。但是，密鑰服務(wù)器地址使用在生成更新密鑰時設(shè)定于許 可密鑰服務(wù)器60中的現(xiàn)在值(密鑰服務(wù)器地址622)。并且，裝置地 址和裝置串行號使用在許可管理部63中進(jìn)行管理的值。而且，許可日 期使用在生成更新密鑰時許可密鑰服務(wù)器60的計(jì)時器所顯示的日期 (現(xiàn)在日期623)。如果更新密鑰生成部67生成更新密鑰，就會將向 該密鑰傳送部62指示對基板處理裝置2傳送該更新密鑰。
密鑰傳送部62向基板處理裝置2傳送初始密鑰和更新密鑰。
另一方面，在圖4中，基板處理裝置2由密鑰接收部81、密鑰解 析部82、許可判定部83、期限管理部84和密鑰更新部85等構(gòu)成。這 些各部通過由CPU891處理存儲于EC89的HDD893或未圖示的ROM 等中的程序而發(fā)揮作用。程序可以通過例如CD-ROM894 (圖2)等記 錄介質(zhì)或網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行安裝，也可以在出廠時預(yù)先裝入。
密鑰接收部81接收許可密鑰服務(wù)器60傳送的許可密鑰(初始密 鑰621或更新密鑰)。
密鑰解析部82解讀收到的許可密鑰，取出該許可密鑰所包含的密 鑰服務(wù)器地址、裝置地址、裝置串行號、許可日期。密鑰解析部82在 收到初始密鑰621時，將密鑰服務(wù)器地址的初始值作為密鑰服務(wù)器地 址802保存在指定的存儲區(qū)域中。密鑰解析部82每次收到許可密鑰時， 根據(jù)取出的許可日期對許可日期801進(jìn)行更新。
許可判定部83根據(jù)從收到的許可密鑰取出的信息，作為初始值保 存的密鑰服務(wù)器地址802、現(xiàn)在值的裝置地址803和基板處理裝置2 出廠時等預(yù)先保存在未圖示的ROM等中的裝置串行號804等，判定許 可密鑰的正當(dāng)性。當(dāng)判定許可密鑰為不正當(dāng)時，許可判定部83將功能 限制標(biāo)志806設(shè)為ON。所謂功能限制標(biāo)志806是用于對基板處理裝置 2的軟件的一部或全部功能的利用進(jìn)行限制的標(biāo)志信息。S卩，為控制基
板處理裝置2的各功能的軟件，根據(jù)許可合約需要使用許可的軟件在
執(zhí)行該功能時，參照功能限制標(biāo)志806。該軟件在功能限制標(biāo)志806 為OFF時執(zhí)行該功能，在ON時拒絕執(zhí)行。
期限管理部84通過管理從收到許可密鑰時經(jīng)過的相對時間，檢測 許可密鑰的有效期限的到期。期限管理部84例如利用許可計(jì)數(shù)器805， 檢測許可密鑰的有效期限的到期。許可計(jì)數(shù)器805在收到許可密鑰時 被初始化，此后每單位時間(例如每天)對計(jì)數(shù)進(jìn)行累計(jì)。期限管理 部84在計(jì)數(shù)的數(shù)值達(dá)到表示許可密鑰的有效期限的數(shù)值時，或達(dá)到許 可密鑰的有效期限的指定期間內(nèi)的數(shù)值時，向密鑰更新部85指示更新 許可密鑰。而且，由許可計(jì)數(shù)器805管理有效期限，該許可計(jì)數(shù)器所 計(jì)算不是絕對日期而是相對值，所以能夠防止因基板處理裝置2的計(jì) 時器的日期變更而導(dǎo)致許可密鑰的有效期限的不正當(dāng)延長。
密鑰更新部85根據(jù)來自期限管理部84的請求，向基板處理裝置2 發(fā)送許可密鑰的更新請求。
而且，在圖4中，許可密鑰服務(wù)器60與基板處理裝置2是一一對 應(yīng)的關(guān)系，但是一臺許可密鑰服務(wù)器60也可以對多臺基板處理裝置2 提供許可密鑰。
下面，對圖4的許可密鑰服務(wù)器60和基板處理裝置2的處理順序 進(jìn)行說明。下面的處理，通過許可密鑰服務(wù)器60的CPU604或EC89 的CPU891處理安裝在許可密鑰服務(wù)器60或基板處理裝置2的EC89 中的程序而實(shí)現(xiàn)。
圖5是用于說明輸入初始密鑰時許可密鑰服務(wù)器的初始設(shè)定處理 的處理順序的流程圖。
在步驟SIOI中，基板處理裝置2的用戶或制造商派遣的操作員， 向許可密鑰服務(wù)器60輸入制造商所配發(fā)的初始密鑰621。對應(yīng)于初始 密鑰621的輸入，初始設(shè)定部61例如根據(jù)密鑰生成算法的逆運(yùn)算等的 規(guī)定的算法(下面，稱為"密鑰解讀算法")，從初始密鑰621解讀 密鑰服務(wù)器地址、裝置地址、裝置串行號和許可日期等(S102)。如 上所述，這里所解讀出的密鑰服務(wù)器地址、裝置地址和裝置串行號預(yù) 先由用戶向制造商提供。
接著，初始設(shè)定部61將從初始密鑰621解讀出的信息中的至少作
為裝置固有信息的裝置地址和裝置串行號保存在許可管理部63中
(5103) 。接著，當(dāng)初始設(shè)定部61向密鑰傳送部62輸出初始密鑰621 時，密鑰傳送部62通過網(wǎng)絡(luò)170向基板處理裝置2傳送初始密鑰621
(5104) 。
下面，對接收初始密鑰621傳送的基板處理裝置2中的處理順序 進(jìn)行說明。圖6是用于說明接收初始密鑰時基板處理裝置的處理順序 的流程圖。
密鑰接收部81請求密鑰解析部82解析從許可密鑰服務(wù)器60接收 的初始密鑰621 (S201)。密鑰解析部82根據(jù)密鑰解讀算法從初始密 鑰621解讀密鑰服務(wù)器地址、裝置地址、裝置串行號和許可日期等 (S202)。
接著，許可判定部83根據(jù)所解讀出的裝置固有信息等，判定初始 密鑰621的正當(dāng)性。即，讀解出的裝置地址與現(xiàn)在的(設(shè)定于現(xiàn)在基 板處理裝置2中的)裝置地址803 —致(S203的Yes)，且解讀出的 裝置串行號與預(yù)先保存在基板處理裝置2內(nèi)的裝置串行號804 —致 (S204的Yes)時，判定該初始密鑰621為對于該基板處理裝置2而 發(fā)行的，為正當(dāng)?shù)拿荑€。
在確認(rèn)了初始密鑰621的正當(dāng)性的情況下，許可判定部83對許可 計(jì)數(shù)器805迸行初始化(例如，將許可計(jì)數(shù)器的值設(shè)為"O"。 ) (S205)， 并將功能限定標(biāo)志806設(shè)為OFF (S206)。所以，在這種情況下，在 初始密鑰621的有效期限內(nèi)，基板處理裝置2的軟件的功能不會受到 限制，能夠利用。
接著，密鑰解析部82接收初始密鑰621的正當(dāng)性的確認(rèn)，將從初 始密鑰621解讀出的密鑰服務(wù)器地址作為初始值的密鑰服務(wù)器地址 802，并且，將解讀出的許可日期作為許可日期801保存(S207)。
另一方面，在裝置地址和裝置串行號中的至少一個不同的情況下 (S203或S204的No)，許可判定部83認(rèn)為該初始密鑰621不具有正 當(dāng)性，將功能限制標(biāo)志806設(shè)為ON (S208)。所以，在這種情況下， 基板處理裝置2的軟件的一部分或全部功能的利用受到限制。
下面，說明在初始密鑰621或更新密鑰的許可密鑰的有效期限到 期時，在基板處理裝置2中執(zhí)行的許可的更新處理的處理順序。圖7
是用于說明基板處理裝置的許可的更新處理的處理順序的流程圖。
期限管理部84在許可密鑰的有效期限內(nèi)，在每規(guī)定的單位時間(例 如每天)對許可計(jì)數(shù)器805進(jìn)行累積(S301)，將許可計(jì)數(shù)器805的 值與表示有效期限的值迸行比較(S302)。許可密鑰的有效期限可以 根據(jù)使用適當(dāng)設(shè)定。例如，在每天對許可計(jì)數(shù)器805進(jìn)行累積的情況 下，許可密鑰的有效期限為1年時，表示有效期限的數(shù)值為"365"。
如果許可計(jì)數(shù)器805的值達(dá)到表示有效期限的值或表示距有效期 限達(dá)到規(guī)定期間內(nèi)的值(S302的No)，期限管理部84就會將該消息 通知密鑰更新部85?；谠撏ㄖ?，密鑰更新部85向許可密鑰服務(wù)器 60發(fā)送更新許可密鑰的請求(S303)。而且，可以在更新許可密鑰的 請求中添加現(xiàn)在的裝置地址803和裝置串行號804。發(fā)送更新許可密鑰 的請求之后，密鑰更新部85在由密鑰接收部81接收到更新密鑰之前， 在規(guī)定時期內(nèi)待機(jī)。
如果密鑰接收部81從許可密鑰服務(wù)器接收更新密鑰(S304的 Yes),就會將該消息通知密鑰更新部85，同時向密鑰解析部82輸出 接收到的更新密鑰。根據(jù)來自密鑰接收部81的通知，解除密鑰更新部 85的待機(jī)狀態(tài)。
密鑰解析部82根據(jù)密鑰解讀算法從更新密鑰解讀密鑰服務(wù)器地 址、裝置地址、裝置串行號和許可日期等(S305)。
接著，許可判定部83對更新密鑰的正當(dāng)性進(jìn)行判定。即，許可判 定部83將解讀出的密鑰服務(wù)器地址(現(xiàn)在的許可密鑰服務(wù)器60的IP 地址)與初始值的密鑰服務(wù)器地址802 (即初始密鑰621所包含的密鑰 服務(wù)器地址)進(jìn)行比較，由此判定該許可密鑰服務(wù)器60是否在網(wǎng)絡(luò)上 被移動(S306)。如果兩者一致，判定許可密鑰服務(wù)器60在許可期間 內(nèi)未被移動。如果兩者不同，則判定許可密鑰服務(wù)器60已被移動。
在兩者一致(S306的Yes)的情況下，許可判定部83對解讀出的 裝置地址(即初始密鑰621所包含的裝置地址)與現(xiàn)在的裝置地址803 進(jìn)行比較，由此判定該更新密鑰是否針對該基板處理裝置2，以及該基 板處理裝置2是否在網(wǎng)絡(luò)上被移動(S307)。如果兩者一致，判定該 更新密鑰針對該基板處理裝置2，并且基板處理裝置2未被移動。如果 兩者不同，則判定該更新密鑰不針對該基板處理裝置2，或者基板處理
裝置2已被移動。
在兩者一致(S307的Yes)的情況下，許可判定部83將解讀出的 裝置串行號(即初始密鑰621所包含的裝置地址)與預(yù)先保存在基板 處理裝置2中的裝置串行號804進(jìn)行比較，由此判定該更新密鑰是否 確實(shí)針對該基板處理裝置2。如果兩者一致，判定該更新密鑰針對該基 板處理裝置2。如果兩者不同，判定該更新密鑰并不針對該基板處理裝 置2。
在從步驟S306到S308的判定中，當(dāng)各比較值一致時，判定該更 新密鑰為正當(dāng)?shù)拿荑€。所以，在這種情況下，由許可判定部83對許可 計(jì)數(shù)器805進(jìn)行初始化(S309)，由密鑰解析部82將許可日期801更 新為所解讀的值(S310)。通過對許可計(jì)數(shù)器進(jìn)行初始化，從而延長 許可期限，能夠繼續(xù)執(zhí)行步驟S301之后的處理。
另一方面，請求許可密鑰的更新后，在規(guī)定時間內(nèi)待機(jī)依然沒有 收到更新密鑰的情況下(超時的情況)(S304的No)，密鑰更新部 85將功能限制標(biāo)志806設(shè)為ON (S308)。此外，在許可判定部83判 定許可密鑰具有不正當(dāng)性的情況下(S306 S308中的任何一步的No 的情況)，許可判定部83將功能限制標(biāo)志806設(shè)為ON。所以，在這 種情況下，基板處理裝置2的軟件的一部分或全部功能的利用受到限 制。
下面，對從基板處理裝置2收到許可密鑰的更新請求時的許可密 鑰服務(wù)器60中的處理順序進(jìn)行說明。圖8是用于說明許可密鑰服務(wù)器 中的許可密鑰的更新處理的流程圖。
如果更新請求接收部64從基板處理裝置2的密鑰更新部85接收 許可密鑰的更新請求，就會向更新判定部65輸出該更新請求所包含的 裝置串行號804和現(xiàn)在的裝置地址803 (S401)。
更新判定部65將接收到的裝置串行號804和裝置地址803的組合 與保存在許可管理部63中的裝置串行號和裝置地址的組合進(jìn)行比較， 判定請求許可密鑰更新方是否為發(fā)行許可密鑰的基板處理裝置2 (S402)。在裝置串行號804和裝置地址803的組合沒有被包含在許 可管理部63所管理的一覽表中的情況下(S402)，更新判定部65判 定更新請求方不是許可對象，中止其后的處理。所以，在這種情況下，
不發(fā)行更新密鑰。而且，其中，在裝置串行號804與保存在許可管理 部63中的值一致的情況下，只有裝置地址803不同時，能夠確認(rèn)基板 處理裝置2已在網(wǎng)絡(luò)上被移動的可能性。所以，在步驟S402中，能夠 檢測出基板處理裝置2的移動。
在裝置串行號804和裝置地址803的組合被包含在保存于許可管 理部63的一覽表中的情況下，更新判定部65向網(wǎng)絡(luò)連接判定部66確 認(rèn)許可密鑰服務(wù)器60是否與網(wǎng)絡(luò)170連接(S403)。例如可以通過發(fā) 出ping命令，向與網(wǎng)絡(luò)170連接的特定的主計(jì)算機(jī)發(fā)行IP地址包，確 認(rèn)該IP地址包是否正確到達(dá)并進(jìn)行回答等，進(jìn)行與網(wǎng)絡(luò)170的連接確 認(rèn)。這時，作為連接的特定的主計(jì)算機(jī)，優(yōu)選為基板處理裝置2的制 造商指定的主計(jì)算機(jī)。其中，確認(rèn)與網(wǎng)絡(luò)170連接的意義在后面闡述。
在判定許可密鑰服務(wù)器60未與網(wǎng)絡(luò)170連接的情況下(S403的 No)，更新判定部65中止其后的處理。所以，在這種情況下，無法進(jìn) 行更新密鑰的發(fā)行。另一方面，在判定許可密鑰服務(wù)器60與網(wǎng)絡(luò)170 連接的情況下(S403的Yes)，更新判定部65向更新密鑰生成部67 請求生成更新密鑰。
更新密鑰生成部67根據(jù)現(xiàn)在的密鑰服務(wù)器地址622、現(xiàn)在曰期 623、以及保存于許可管理部63中的作為更新請求對象的基板處理裝 置2的裝置串行號和裝置地址，使用密鑰生成算法，生成更新密鑰
(5404) 。生成的更新密鑰由密鑰傳送部62傳送到基板處理裝置2
(5405) 。與更新密鑰的發(fā)送相對應(yīng)，在基板處理裝置2中執(zhí)行圖7 的步驟S305以后的處理。
如上所述，根據(jù)第一實(shí)施方式中的許可管理系統(tǒng)，即使在基板處 理裝置2因轉(zhuǎn)賣等而被移設(shè)的情況下，也能夠有效地限制在該基板處 理裝置2中工作的軟件的不正當(dāng)使用。
艮P，在用戶想繼續(xù)使用基板處理裝置2的軟件時，必須通過網(wǎng)絡(luò) 連接許可密鑰服務(wù)器60。這是因?yàn)槿绻贿B接許可密鑰服務(wù)器60，就 不能提供更新密鑰。因此，用戶必須將基板處理裝置2與許可密鑰服 務(wù)器60—同轉(zhuǎn)賣、移設(shè)。但是，在這種情況下，密鑰服務(wù)器地址622 的IP地址必須變更為與移設(shè)對方的網(wǎng)絡(luò)相對應(yīng)的地址。結(jié)果，更新密 鑰所包含的密鑰服務(wù)器地址622與保存在基板處理裝置2中的初始值的密鑰服務(wù)器地址802不一致(圖7的S306中的No)，功能限制標(biāo) 志變?yōu)镺N。而且，為了避免移設(shè)后的密鑰服務(wù)器地址622與初始值的 密鑰服務(wù)器地址802不一致而不變更密鑰服務(wù)器地址622的值是很難 的。這是因?yàn)樯筛旅荑€時，在確認(rèn)了許可密鑰服務(wù)器60通過網(wǎng)絡(luò) 連接部66與網(wǎng)絡(luò)連接之后(圖8的S403)，如果不變更密鑰服務(wù)器地 址，則無法與移設(shè)對方的網(wǎng)絡(luò)正常連接。
并且，在只轉(zhuǎn)賣、移設(shè)基板處理裝置2的情況下，即使通過因特 網(wǎng)等維持許可密鑰服務(wù)器60與基板處理裝置2的連接，也能夠?qū)?處理裝置2的軟件的使用進(jìn)行限制。即，由于移設(shè)，裝置地址也必須 變更為與移設(shè)對方的網(wǎng)絡(luò)相對應(yīng)的地址。結(jié)果，來自基板處理裝置2 的許可密鑰的更新請求所包含的裝置地址803的值與許可管現(xiàn)部63所 管理的裝置地址的值不一致。所以，更新判定部65中止更新密鑰的生 成(圖8的S403)。而且，即使更新判定部65不進(jìn)行檢查，也能夠檢 查出基板處理裝置2被移設(shè)。即，在基板處理裝置2請求更新許可密 鑰時，即使更新判定部65不進(jìn)行檢查，按照請求生成更新密鑰，傳送 到基板處理裝置2，利用基板處理裝置2的許可判定部83也能夠檢査 出更新密鑰所包含的裝置地址與現(xiàn)在的裝置地址803不一致(圖7的 S307)。
而且，在確認(rèn)基板處理裝置2的許可密鑰的正當(dāng)性時，也對裝置 固有信息進(jìn)行確認(rèn)(S307、 S308)，所以能夠?qū)γ總€基板處理裝置2 進(jìn)行如上所述的許可管理。其中，在第一實(shí)施方式中，使用裝置地址 和裝置串行號作為用于確定各基板處理裝置2的信息，但是也可以使 用其中的任何一個。然而，使用兩者能夠提高可靠性。
下面，對第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖9是表示第二實(shí)施方式中的 網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成例和系統(tǒng)控制器構(gòu)成例的圖。圖9中與圖2相同的部分用同 一符號表示，并省略其說明。
在圖9中，許可密鑰服務(wù)器60至少具有兩個與網(wǎng)絡(luò)的連接口 (接 口裝置605)(例如，至少安裝有兩枚NIC)。 一個直接與網(wǎng)絡(luò)170連 接，另一個與基板處理裝置2的EC89連接。即，第二實(shí)施方式中，基 板處理裝置2為不與網(wǎng)絡(luò)170直接連接的示例。從安全上的觀點(diǎn)出發(fā)， 不愿意將基板處理裝置2直接與網(wǎng)絡(luò)170連接的用戶可以考慮這種構(gòu)
成例。而且，在一臺許可密鑰服務(wù)器60上連接有多個基板處理裝置2
的情況下，兩者之間可以具有切換中心80。此外，由于許可密鑰服務(wù) 器60與基板處理裝置2位于同一工場內(nèi)，所以基板處理裝置2的大致 構(gòu)成例(圖1)、許可密鑰服務(wù)器60的硬件構(gòu)成例(圖3)、和用于 實(shí)現(xiàn)許可管理系統(tǒng)的許可密鑰服務(wù)器60與基板處理裝置2的功能構(gòu)成 例(圖4)，可以與第一實(shí)施方式相同。
并且，在第二實(shí)施方式中，分別在許可密鑰服務(wù)器60和基板處理 裝置2中進(jìn)行的處理與在第一實(shí)施方式中說明的(圖5、圖6、圖7和 圖8)相同。
由于基板處理裝置2沒有直接與網(wǎng)絡(luò)170連接，所以其IP地址(裝 置地址)沒有必要與網(wǎng)絡(luò)170相對應(yīng)。因此，對該裝置地址進(jìn)行限制， 設(shè)定為由基板處理裝置2的制造商所指定的固定地址，制造商可以根 據(jù)該固定地址生成初始密鑰621。另外，也可以在請求發(fā)行初始密鑰時 申請用戶任意設(shè)定的IP地址，然后根據(jù)該IP地址生成初始密鑰621 。 無論在那種情況下，僅基板處理裝置2因轉(zhuǎn)賣而被移設(shè)時，為了維持 該基板處理裝置2與許可密鑰服務(wù)器60的連接，必須使基板處理裝置 2與移設(shè)對方的網(wǎng)絡(luò)連接，在這種情況下，不得不變更裝置地址803。 因此，在這種情況下，功能限定標(biāo)志806為ON，能夠有效地限制軟件 的不正當(dāng)使用。
此外，在因轉(zhuǎn)賣而同時移設(shè)許可密鑰服務(wù)器60的情況下，必須變 更密鑰服務(wù)器地址622。因此，在這種情況下，功能限定標(biāo)志806也為 ON，能夠有效地限制軟件的不正當(dāng)使用。
下面對第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖IO是表示第三實(shí)施方式中的網(wǎng) 絡(luò)構(gòu)成例和系統(tǒng)控制器構(gòu)成例的圖。圖10中與圖2相同的部分用同一 符號表示，并省略其說明。
在圖10中，許可密鑰服務(wù)器60通過因特網(wǎng)等的廣域網(wǎng)180與基 板處理裝置2連接?；逄幚硌b置2通過網(wǎng)絡(luò)170與廣域網(wǎng)180連接。 第三實(shí)施方式是將許可密鑰服務(wù)器60設(shè)置于基板處理裝置2的制造商 這一方時的構(gòu)成例?；逄幚硌b置2的大致構(gòu)成例(圖1)、許可密鑰 服務(wù)器60的硬件構(gòu)成例(圖3)、和用于實(shí)現(xiàn)許可管理系統(tǒng)的許可密 鑰服務(wù)器60與基板處理裝置2的功能構(gòu)成例(圖4)，可與第一實(shí)施 方式相同。
并且，在第三實(shí)施方式中，分別在許可密鑰服務(wù)器60和基板處理 裝置2進(jìn)行的處理，與在第一實(shí)施方式中所說明的(圖5、圖6、圖7 和圖8)相同。
但是，在許可密鑰服務(wù)器60設(shè)置于制造商這一方時，能夠保證由 制造商這一方的操作員進(jìn)行初始設(shè)定的情況下，可以在初始設(shè)定時不 輸入初始密鑰621，而是輸入密鑰服務(wù)器地址、裝置地址、裝置串行號 和許可日期，根據(jù)這些輸入，許可密鑰服務(wù)器60生成初始密鑰。
另外，在第三實(shí)施方式中，雖然并不擔(dān)心許可密鑰服務(wù)器60與基 板處理裝置2 —同被轉(zhuǎn)賣，但是有可能僅基板處理裝置2被轉(zhuǎn)賣。在 這種情況下，隨著移設(shè)，基板處理裝置2的裝置地址不得不變更為與 生成初始密鑰時的裝置地址不同的地址，所以功能限制標(biāo)志為ON，軟 件的不正當(dāng)使用受到限制。
并且，上述第一至第三實(shí)施方式中的基板處理裝置2，例如可以如 圖11或圖12所示構(gòu)成。圖11是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的第二基板處 理裝置構(gòu)成例的示意圖。圖11中與圖1相同的部分用同一符號表示， 并省略其說明。
圖1中的基板處理裝置2與圖11中的基板處理裝置3的較大不同 點(diǎn)在于，基板處理裝置2有4個處理腔室(12A 12D),而基板處理 裝置3有6個處理腔室(12A 12F)。另夕卜，移載室8的構(gòu)成也不同， 基板處理裝置3的移動臂部16，通過沿著軌道17A和17B的直線運(yùn)動 和以臂的起點(diǎn)為中心的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動搬運(yùn)晶片W。
其中，基板處理裝置3的EC89的處理與基板處理裝置2的情況相同。
此外，圖12是表示本發(fā)明實(shí)施方式的第三基板處理裝置構(gòu)成例的 示意圖。
圖12中的基板處理裝置4包括第一處理舟211，對晶片W實(shí)施 反應(yīng)性離子刻蝕(下面，稱為"RIE")處理；第二處理舟212，與第 一處理舟211平行配置，對已經(jīng)在第一處理舟211實(shí)施了 RIE處理的 晶片W實(shí)施COR (Chemical Oxide Removal:化學(xué)氧化物去除)處理 和PHT (Post Heat Treatment:后熱處理)處理；和負(fù)載單元213，其
作為分別連接第一處理舟211和第二處理舟212的矩形狀的共用搬送 室。
負(fù)載單元213除了與第一處理舟211和第二處理舟212連接以外， 還連接有3個FOUP (Front opening Unified Pod:前開式晶片盒)載置 臺215、定位器216和第一、第二IMS (Integrated Metrology System, Therma-Wave，Inc) 217、 218。該FOUP載置臺215分別載置有作為收 容25片晶片W的容器的FOUP214，定位器216對從FOUP214搬出的 晶片W進(jìn)行對位，第一、第二IMS217、 218測定晶片W的表面狀態(tài)。
第一處理舟211和第二處理舟212與負(fù)載單元213的長度方向的 側(cè)壁連接，并以夾著負(fù)載單元213與三個FOUP載置臺215相對的方 式配置，定位器216配置在負(fù)載單元213的長度方向的一端，第一 IMS217配置在負(fù)載單元213的長度方向的另一端，第二IMS218與三 個FOUP載置臺215并列配置。
負(fù)載單元213包括搬送臂機(jī)構(gòu)219，配置在內(nèi)部，搬送晶片W, 為關(guān)節(jié)式雙臂型；和三個裝載口 220，對應(yīng)于各FOUP載置臺215配置 在側(cè)壁上，作為晶片W的投入口。搬送臂機(jī)構(gòu)219從載置在FOUP載 置臺215上的FOUP214中經(jīng)過裝載口 220取出晶片W，將取出的晶 片W向第一處理舟211、第二處理舟212、定位器216、第一IMS217 和第二IMS218搬入搬出。
第一 IMS217為光學(xué)系的監(jiān)控器，包括載置搬入的晶片W的載置 臺221、和對載置在載置臺221上的晶片W進(jìn)行定向的光學(xué)傳感器222， 測定晶片W的表面形狀，例如，表面層的膜厚以及配線槽和柵極電極 等的CD (Critical Dimension:臨界尺寸)值。第二 IMS218也為光學(xué) 系的監(jiān)控器，和第一 IMS217相同，包括載置臺223和光學(xué)傳感器224， 測定晶片W的表面的顆粒數(shù)。
第一處理舟211包括第一處理單元225，作為對晶片W實(shí)施RIE 處理的第一真空處理室；第一負(fù)載鎖定單元227，內(nèi)置有向該第一處理 單元225交接晶片W的鏈節(jié)式單拾取型的第一搬送臂226。
第一處理單元225具有圓筒狀的處理腔室(處理室)和配置于處 理腔室內(nèi)的上部電極和下部電極。上部電極和下部電極之間的距離設(shè) 定為用于對晶片W實(shí)施RIE處理的適當(dāng)?shù)拈g隔。此外，下部電極在其
頂部具有通過庫侖力等卡住晶片W的ESC228。
在第一處理單元225中，向腔室內(nèi)部導(dǎo)入處理氣體，通過在上部 電極和下部電極之間產(chǎn)生電場，使導(dǎo)入的處理氣體等離子體化，產(chǎn)生 離子和自由基，利用該離子和自由基對晶片W實(shí)施RIE處理。
在第一處理舟211中，負(fù)載單元213的內(nèi)部壓力維持在大氣壓， 而另一方面，第一處理單元225的內(nèi)部壓力維持在真空。因此，第一 負(fù)載鎖定單元227在與第一處理單元225的連接部具有真空閘閥229， 并且在與負(fù)載單元213的連接部具有大氣閘閥230，從而構(gòu)成能夠調(diào)整 其內(nèi)部壓力的真空預(yù)備搬送室。
在第一負(fù)載鎖定單元227的內(nèi)部，大致在中央部設(shè)置有第一搬送 臂226，在比該第一搬送臂226靠近第一處理單元225的一側(cè)設(shè)置有第 一緩沖器231 ，在比第一搬送臂226靠近負(fù)載單元213的一側(cè)設(shè)置有第 二緩沖器232。第一緩沖器231和第二緩沖器232在配置于第一搬送臂 226先端部的支承晶片W的支承部(拾取器)233進(jìn)行移動的軌道上 配置，通過使實(shí)施RIE處理后的晶片W暫時避讓在支承部233的軌道 上方，能夠在第一處理單元225中順利地更換未經(jīng)RIE處理的晶片W 和RIE處理完畢的晶片W。
第二處理舟212包括第二處理單元234，其作為對晶片W實(shí)施 COR處理的第二真空處理室；第三處理單元236，其通過真空閘閥35 與該第;二處理單元234連接，作為對晶片W實(shí)施PHT處理的第三真空 處理室；和第二負(fù)載鎖定單元249，內(nèi)置有向第二處理單元234和第三 處理單元236交接晶片W的鏈節(jié)式單拾取型的第二搬送臂237。
圖13是第二處理單元的截面圖。圖13 (A)是沿圖12中的II-II 線的截面圖，圖13 (B)是圖13 (A)中的A部的放大圖。
在圖13 (A)中，第二處理單元234包括圓筒狀的處理腔室238、 作為配置在處理腔室238內(nèi)的晶片W的載置臺的ESC239、配置在處 理腔室238上方的噴頭240、對處理腔室238內(nèi)的氣體等進(jìn)行排氣的 TMP (Turbo Molecular Pump:渦輪分子泵)241、和配置在處理腔室 238和TMP241之間作為控制處理腔室238內(nèi)壓力的可變式蝶閥的APC (Adaptive Pressure Control:適應(yīng)性壓力控制)閥242。
ESC239具有向內(nèi)部施加直流電壓的電極板(未圖示)，利用直流
電壓產(chǎn)生的庫侖力或約翰遜-拉別克(Johnsen-Rahbeck)力吸附并保持 晶片W。并且，ESC239具有作為從其上表面自由突出的提升銷的多個 推進(jìn)銷256，這些推進(jìn)銷256在晶片W被ESC239吸附保持時收容在 ESC239中，在將已實(shí)施COR處理的晶片W從處理腔室238搬出時， 從ESC239的上表面突出，將晶片W向上方抬起。
噴頭240具有雙層構(gòu)造，在下層部243和上層部244分別具有第 一緩沖室245和第二緩沖室246。第一緩沖室245和第二緩沖室246 分別通過氣體通氣孔247、 248與處理腔室238內(nèi)連通。對晶片W實(shí) 施COR處理時，從后述的氨氣供給管257向第一緩沖室245供給NH3 氣(氨氣)，通過氣體通氣孔247向處理腔室238內(nèi)供給該被供給的 氨氣，同時從后述的氟化氫氣體供給管258向第二緩沖室246供給HF (氟化氫)氣體，通過氣體通氣孔248向處理腔室238內(nèi)供給該被供 給的氟化氫氣體。
另夕卜，如圖13 (B)所示，氣體通氣孔247、 248的向處理腔室238 內(nèi)的開口部形成為末端擴(kuò)大狀。由此，能夠有效地使氨氣和氟化氫氣 體向處理腔室238內(nèi)擴(kuò)散。而且，氣體通氣孔247、 248的截面呈中間 變細(xì)的形狀，所以能夠防止在處理腔室238中產(chǎn)生的堆積物向氣體通 氣孔247、 248進(jìn)而向第一緩沖室245和第二緩沖室246逆流。而且， 氣體通氣孔247、 248也可以是螺旋狀的通氣孔。
該第二處理單元234通過調(diào)整處理腔室238內(nèi)的壓力以及氨氣與 氟化氫氣體的體積流量比，對晶片W實(shí)施COR處理。
回到圖12，第三處理單元236包括框體狀的處理腔室250;平 臺加熱器251，作為配置于處理腔室250內(nèi)的晶片W的載置臺；和緩 沖壁252，配置在平臺加熱器251的上部，用于調(diào)整搬送順序暫時載置 晶片W。
平臺加熱器251由在表面形成有氧化覆膜的鋁構(gòu)成，通過內(nèi)置的 電熱線等將載置的晶片W加熱到規(guī)定的溫度。緩沖臂252通過使已實(shí) 施COR處理的晶片W暫時避讓在第二搬送臂237的支承部253的軌 道上方，能夠順利地在第二處理單元234和第三處理單元236中進(jìn)行 晶片W的交換。
該第三處理單元236通過調(diào)整晶片W的溫度對晶片W實(shí)施PHT
處理。
第二負(fù)載鎖定單元249具有內(nèi)置有第二搬送臂237的框體狀的搬 送室270。并且，負(fù)載單元213的內(nèi)部壓力維持在大氣壓，而另一方面 第二處理單元234和第三處理單元236的內(nèi)部壓力維持在真空。因此， 第二負(fù)載鎖定單元249在與第三處理單元236的連接部具有真空閘閥 254，并且在與負(fù)載單元213的連接部具有大氣門式閥255，從而構(gòu)成 能夠調(diào)節(jié)其內(nèi)部壓力的真空預(yù)備搬送室。
圖14是表示第二處理舟構(gòu)成的立體示意圖。
在圖14中，第二處理單元234包括向第一緩沖室245供給氨氣 的氨氣供給管257、向第二緩沖室246供給氟化氫氣體的氟化氫氣體供 給管258、測定處理腔室238內(nèi)壓力的壓力計(jì)259、和向設(shè)置于ESC239 內(nèi)的冷卻系統(tǒng)供給致冷劑的冷卻單元260。
在氨氣供給管257上設(shè)置有MFC (Mass Flow Controller:質(zhì)量流 量控制器)(未圖示)，該MFC調(diào)整向第一緩沖室245供給的氨氣的 流量，同時，在氟化氫氣體供給管258上也設(shè)置有MFC (未圖示)， 該MFC調(diào)整向第二緩沖室246供給的氟化氫氣體的流量。氨氣供給管 257的MFC和氟化氫氣體供給管258的MFC協(xié)同工作，調(diào)整向處理 腔室238供給的氨氣和氟化氫氣體的體積流量比。
并且，在第二處理單元的234的下方，配置有與DP (Dry Pump: 干式泵)(未圖示)連接的第二處理單元排氣系統(tǒng)261。第二處理單元 排氣系統(tǒng)261具有與設(shè)置于處理腔室238和APC閥242之間的排氣管 262連通的排氣管263、和連接于TMP241下方(排氣側(cè))的排氣管264， 對處理腔室238內(nèi)的氣體等進(jìn)行排氣。而且，排氣管264在DP之前與 排氣管263連接。
第三處理單元236包括向處理腔室250供給氮?dú)?N2)的氮?dú)?供給管265、測定處理腔室250內(nèi)壓力的壓力計(jì)266、和對處理腔室250 內(nèi)的氮?dú)獾冗M(jìn)行排氣的第三處理單元排氣系統(tǒng)267。
氮?dú)夤┙o管265上設(shè)有MFC (未圖示)，該MFC調(diào)整向處理腔 室250供給的氮?dú)饬髁?。第三處理單元排氣系統(tǒng)267包括主排氣管 268，與處理腔室250連通并與DP連接；APC閥269，設(shè)置于主排氣 管268的途中；和副排氣管268a，從主排氣管268分出以避開APC閥
269，且在DP之前與主排氣管268連接。APC闊269控制處理腔室250 內(nèi)的壓力。
第二負(fù)載鎖定單元249包括向搬送室270供給氮?dú)獾牡獨(dú)夤┙o 管271、測定搬送室270內(nèi)壓力的壓力計(jì)272、對搬送室270內(nèi)的氮?dú)?等進(jìn)行排氣的第二負(fù)載鎖定單元排氣系統(tǒng)273、和將搬送室270內(nèi)向大 氣開放的大氣連通管274。
氮?dú)夤┙o管271上設(shè)有MFC (未圖示)，該MFC調(diào)整向搬送室 270供給的氮?dú)獾牧髁?。第二?fù)載鎖定單元排氣系統(tǒng)273由一根排氣管 構(gòu)成，該排氣管與搬送室270連通，并在DP之前與第三處理單元排氣 系統(tǒng)267的主排氣管268連接。而且，第二負(fù)載鎖定單元排氣系統(tǒng)273 和大氣連通管274分別具有能夠自由開關(guān)的排氣閥275和安全閥276， 該排氣閥275和安全閥276協(xié)同工作，將搬送室270內(nèi)的壓力調(diào)整為 從大氣壓到所期望的真空度的任一個真空度。
圖15是表示第二負(fù)載鎖定單元的單元驅(qū)動用干燥空氣供給系統(tǒng)構(gòu) 成的示意圖。
在圖15中，第二負(fù)載鎖定單元249的單元驅(qū)動用干燥空氣供給系 統(tǒng)277的干燥空氣供給目的地相當(dāng)于，大氣門式閥255所具有的滑動 門驅(qū)動用的門式閥汽缸、作為N2吹掃單元的氮?dú)夤┙o管271所具有的 MFC、作為大氣開放用安全單元的大氣連通管274所具有的安全閥 276、作為抽真空單元的第二負(fù)載鎖定單元排氣系統(tǒng)273所具有的排氣 閥275、和真空閘閥254所具有的滑動門驅(qū)動用的閘閥氣缸。
單元驅(qū)動用干燥空氣供給系統(tǒng)277包括從第二處理舟212所具 有的主干燥空氣供給管278分支出的副干燥空氣供給管279、和與該副 干燥空氣供給管279連接的第一電磁閥280以及第二電磁閥281 。
第一電磁閥280分別通過干燥空氣供給管282、 283、 284、 285與 門式閥氣缸、MFC、安全閥276和閘閥氣缸連接，通過控制向這些部 件供給的干燥空氣的量，控制各部的動作。并且，第二電磁閥281通 過干燥空氣供給管286與排氣閥275連接，通過控制向排氣閥275供 給的千燥空氣的量，控制排氣閥275的動作。
而且，氮?dú)夤┙o管271的MFC也與氮?dú)?N2)供給系統(tǒng)287連接。
而且，第二處理單元234和第三處理單元236也包括與上述第二
負(fù)載鎖定單元249的單元驅(qū)動用干燥空氣供給系統(tǒng)277具有相同構(gòu)成 的單元驅(qū)動用干燥空氣供給系統(tǒng)。
回到圖12，基板處理裝置4包括控制第一處理舟211、第二處 理舟212和負(fù)載單元213動作的系統(tǒng)控制器，和配置在負(fù)載單元213 長度方向的一端的操作控制器288。
操作控制器288與圖1的操作控制器88相同，具有例如由LCD (Liquid Crystal Display:液晶顯示器)構(gòu)成的顯示部，該顯示部顯示 基板處理裝置4的各構(gòu)成要素的工作狀況和記錄信息。
圖16是表示第三基板處理裝置中的系統(tǒng)控制器構(gòu)成例的圖。圖16 中與圖2相同的部分用同一符號表示，并省略其說明。
在圖16中，MC290、 291、 292是分別控制第一處理舟211 、第二 處理舟212和負(fù)載單元213動作的副控制部(slave控制部)。各MC 利用DIST (Distribution:分配)板96通過GHOST網(wǎng)絡(luò)95分別與各 I/O (輸入輸出)模塊297、 298、 299連接，這一點(diǎn)與圖2相同。
并且，對于I/0模塊297、 298、 299，除了分別與第-一處理舟211 、 第二處理舟212或負(fù)載單元213相對應(yīng)之外，與圖2中的I/O模塊97 或98的構(gòu)成相同。
而且，在圖16中，例示了許可密鑰服務(wù)器60與EC98通過網(wǎng)絡(luò) 170連接的示例，但是兩者的網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成也可以變更為第二實(shí)施方式或第 三實(shí)施方式。
以上，對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)描述，但本發(fā)明不限于這些 特定的實(shí)施方式，可以在權(quán)利要求所記載的本發(fā)明的要點(diǎn)的范圍內(nèi)進(jìn) 行各種變形或變更。
本國際申請要求2006年1月19日申請的日本特許申請 2006-0U219號的優(yōu)選權(quán)，并在本國際申請中引用2006-011219號的全 部內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，根據(jù)基于軟件的控制對基板進(jìn)行處理，其特征在于包括許可信息接收單元，定期從通過網(wǎng)絡(luò)連接的許可信息提供裝置接收所述軟件的許可信息；許可信息解析單元，從所述許可信息取出所述許可信息提供裝置在網(wǎng)絡(luò)上的地址信息；和許可判定單元，將從所述許可信息取出的所述地址信息與預(yù)先保存在該基板處理裝置中的所述許可信息提供裝置的所述地址信息進(jìn)行比較，在兩個所述地址信息的值不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于 所述許可信息解析單元從所述許可信息取出裝置固有信息，所述裝置固有信息為每個所述基板處理裝置所具有的固有值，所述許可判定單元將從所述許可信息取出的所述裝置固有信息與該基板處理裝置的所述裝置固有信息進(jìn)行比較，在兩個所述裝置固有信息的值不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。
3. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于 所述許可信息解析單元從所述許可信息取出允許使用所述軟件的所述基板處理裝置的所述地址信息，所述許可判定單元將從所述許可信息取出的所述基板處理裝置的 所述地址信息與設(shè)定在該基板處理裝置中的所述地址信息進(jìn)行比較，在兩個所述地址信息不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部 分功能的執(zhí)行。
4. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于預(yù)先保存在所述基板處理裝置中的所述許可信息提供裝置的所述 地址信息，包含在最初從所述許可信息提供裝置接收的所述許可信息 之中。
5. 如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，包括 期限管理單元，管理從接收到所述許可信息時開始經(jīng)過的相對時間；禾口許可信息請求單元，在所述經(jīng)過的相對時間達(dá)到所述許可信息的 有效期限的規(guī)定期間內(nèi)時，向所述許可信息提供裝置發(fā)送所述許可信 息的更新請求。
6. 如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于-在發(fā)送所述許可信息的更新請求后，在規(guī)定期間內(nèi)沒有收到所述許可信息時，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。
7. —種許可管理程序，其特征在于在根據(jù)基于軟件的控制對基板進(jìn)行處理的基板處理裝置中，執(zhí)行下述步驟許可信息接收步驟，定期從通過網(wǎng)絡(luò)連接的許可信息提供裝置接收所述軟件的許可信息；許可信息解析步驟，從所述許可信息取出所述許可信息提供裝置在網(wǎng)絡(luò)上的地址信息；和許可判定步驟，將從所述許可信息取出的所述地址信息與預(yù)先保 存在該基板處理裝置中的所述許可信息提供裝置的所述地址信息進(jìn)行 比較，在兩個所述地址信息的值不一致的情況下，限制所述軟件的至少 一部分功能的執(zhí)行。
8. 如權(quán)利要求7所述的許可管理程序，其特征在于 所述許可信息解析步驟從所述許可信息取出裝置固有信息，該裝置固有信息為每個所述基板處理裝置所具有的固有值， 所述許可判定步驟將從所述許可信息取出的所述裝置固有信息與 該基板處理裝置的所述裝置固有信息進(jìn)行比較，在兩個所述裝置固有信息的值不一致的情況下，限制所述軟件的 至少一部分功能的執(zhí)行。
9. 如權(quán)利要求7所述的許可管理程序，其特征在于 所述許可信息解析步驟從所述許可信息取出允許使用所述軟件的所述基板處理裝置的所述地址信息，所述許可判定步驟將從所述許可信息取出的所述基板處理裝置的 所述地址信息與設(shè)定在該基板處理裝置中的所述地址信息進(jìn)行比較，在兩個所述地址信息不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部 分功能的執(zhí)行。
10. 如權(quán)利要求7所述的許可管理程序，其特征在于 預(yù)先保存在所述基板處理裝置中的所述許可信息提供裝置的所述地址信息，包含在最初從所述許可信息提供裝置接收的所述許可信息 之中。
11. 如權(quán)利要求7所述的許可管理程序，其特征在于，包括 期限管理步驟，管理從接收到所述許可信息時幵始經(jīng)過的相對時間；和許可信息請求步驟，在經(jīng)過的所述相對時間達(dá)到所述許可信息的 有效期限的規(guī)定期間內(nèi)時，向所述許可信息提供裝置發(fā)送所述許可信 息的更新請求。
12. 如權(quán)利要求11所述的許可管理程序，其特征在于 在發(fā)送所述許可信息的更新請求后，在規(guī)定期間內(nèi)沒有收到所述許可信息時，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。
13. —種計(jì)算機(jī)可讀取的記錄介質(zhì)，其特征在于 記錄有權(quán)利要求7所述的許可管理程序。
14.一種許可信息提供裝置，通過網(wǎng)絡(luò)與權(quán)利要求1所述的基板處理裝置連接，其特征在于，包括許可信息生成單元，根據(jù)該許可信息提供裝置的所述地址信息， 生成所述許可信息；和許可信息發(fā)送單元，向所述基板處理裝置發(fā)送所述許可信息。
15.如權(quán)利要求14所述的許可信息提供裝置，其特征在于 具有許可管理單元，其管理允許使用所述軟件的所述基板處理裝置的所述固有信息，所述許可信息生成單元，根據(jù)所述許可管理單元管理的所述固有信息生成所述許可信息。
16.如權(quán)利要求15所述的許可信息生成裝置，其特征在于 所述許可管理單元管理允許使用所述軟件的所述基板處理裝置的 所述地址信息，所述許可信息生成單元根據(jù)允許使用所述軟件的所述基板處理裝 置的所述地址信息，生成所述許可信息。
17. 如權(quán)利要求15所述的許可信息提供裝置，其特征在于-包括更新請求接收單元，從所述基板處理裝置接收所述許可信息的更新請求；禾口更新判定單元，通過將所述更新請求包含的所述更新請求的發(fā)送 方的所述基板處理裝置的所述固有信息與所述許可管理單元管理的所 述裝置固有信息進(jìn)行比較，判定是否允許所述許可信息的更新，所述許可信息生成單元，在所述更新判定單元允許所述許可信息 的更新的情況下，生成所述許可信息。
18. 如權(quán)利要求14所述的許可信息提供裝置，其特征在于具有判定該許可信息提供裝置是否與網(wǎng)絡(luò)連接的網(wǎng)絡(luò)連接判定單元，所述許可信息生成單元，在判定該許可信息提供裝置與網(wǎng)絡(luò)連接 的情況下，生成所述許可信息。
19. 一種許可信息提供程序，其特征在于，用于在通過網(wǎng)絡(luò)與權(quán)利要求1所述的基板處理裝置連接的許可信息提供裝置中執(zhí)行下述步驟: 許可信息生成步驟，根據(jù)該許可信息提供裝置的所述地址信息，生成所述許可信息；和許可信息發(fā)送步驟，向所述基板處理裝置發(fā)送所述許可信息。
20. 如權(quán)利要求19所述的許可信息提供程序，其特征在于 具有許可管理步驟，管理允許使用所述軟件的所述基板處理裝置的所述固有信息，所述許可信息生成步驟根據(jù)在所述許可管理步驟中管理的所述固 有信息生成所述許可信息。
21. 如權(quán)利要求20所述的許可信息提供程序，其特征在于 所述許可管理步驟管理允許使用所述軟件的所述基板處理裝置的所述地址信息，所述許可信息生成步驟根據(jù)允許使用所述軟件的所述基板處理裝 置的所述地址信息，生成所述許可信息。
22. 如權(quán)利要求20所述的許可信息提供程序，其特征在于 包括更新請求接收步驟，從所述基板處理裝置接收所述許可信息的更新請求；更新判定工序，通過將所述更新請求包含的所述更新請求的發(fā)送 方的所述基板處理裝置的所述固有信息與在所述許可管理步驟中管理 的所述裝置固有信息進(jìn)行比較，判定是否允許所述許可信息的更新，所述許可信息生成步驟，在所述更新判定步驟中允許所述許可信 息更新的情況下，生成所述許可信息。
23. 如權(quán)利要求19所述的許可信息提供程序，其特征在于 具有判定該許可信息提供裝置是否與網(wǎng)絡(luò)連接的網(wǎng)絡(luò)連接判定步驟，所述許可信息生成步驟，在判定該許可信息提供裝置與網(wǎng)絡(luò)連接 的情況下，生成所述許可信息。
24. —種計(jì)算機(jī)可讀取的記錄介質(zhì)，其特征在于 記錄有權(quán)利要求19所述的許可信息提供程序。
25. —種許可管理系統(tǒng)，其特征在于具有根據(jù)基于軟件的控制對基板進(jìn)行處理的基板處理裝置，和對 所述基板處理裝置提供與所述軟件相關(guān)的許可信息的許可信息提供裝 置，其中，所述基板處理裝置包括許可信息接收單元，定期從所述許可信息提供裝置接收所述軟件的許可信息；許可信息解析單元，從所述許可信息取出所述許可信息提供裝置在網(wǎng)絡(luò)上的地址信息；和許可判定單元，將從所述許可信息取出的所述地址信息與預(yù)先保 存在該基板處理裝置中的所述許可信息提供裝置的所述地址信息進(jìn)行 比較，在兩個所述地址信息的值不一致的情況下，限制所述軟件的至少 一部分功能的執(zhí)行。
全文摘要
本發(fā)明提供一種根據(jù)基于軟件的控制對基板進(jìn)行處理的基板處理裝置，包括許可信息接收單元，定期從通過網(wǎng)絡(luò)連接的許可信息提供裝置接收上述軟件的許可信息；許可信息解析單元，從上述許可信息取出上述許可信息提供裝置在網(wǎng)絡(luò)上的地址信息；和許可判定單元，將從上述許可信息取出的上述地址信息與預(yù)先保存在該基板處理裝置中的上述許可信息提供裝置的上述地址信息進(jìn)行比較。在兩個上述地址信息值不一致的情況下，限制上述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。由此，能夠妥當(dāng)?shù)胤乐乖诨逄幚硌b置中工作的軟件的不正當(dāng)使用。
文檔編號G06F21/24GK101107613SQ200680003010
公開日2008年1月16日 申請日期2006年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月19日
發(fā)明者志岐啟一郎 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社