技術(shù)編號：6566524
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝置、 許可信息提供程序、許可管理系統(tǒng)和記錄介質(zhì)，特別是涉及根據(jù)基于 軟件控制對基板進行處理的基板處理裝置、許可管理程序、許可信息 提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系統(tǒng)和記錄介質(zhì)。背景技術(shù)通常軟件的用戶有服從該許可協(xié)議的義務(wù)。許可協(xié)議的規(guī)定中有 各種條款，在達成協(xié)議的用戶數(shù)、計算機的臺數(shù)、或在使用期間等范 圍內(nèi)允許使用軟件。有時針對在半導(dǎo)體制造裝置等基板處理裝置上工作的軟件，在基 板處理裝置的制造商和基...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
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