草酸濃度控制器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種草酸濃度控制器，包括主機(jī)臺(tái)、計(jì)量補(bǔ)給部以及測(cè)定控制部；所述計(jì)量補(bǔ)給部包括酸液進(jìn)入口、酸液回流口以及凈水補(bǔ)給口；待測(cè)酸液從所述酸液進(jìn)入口進(jìn)入流經(jīng)所述計(jì)量補(bǔ)給部后從所述酸液回流口流出；所述計(jì)量補(bǔ)給部向所述測(cè)定控制部提供部分所述待測(cè)酸液；所述測(cè)定控制部包括電導(dǎo)率測(cè)定計(jì)和溫度測(cè)定計(jì)；所述電導(dǎo)率測(cè)定計(jì)測(cè)量所述待測(cè)酸液的電導(dǎo)率；所述溫度測(cè)定計(jì)測(cè)量所述待測(cè)酸液的溫度；所述的測(cè)定控制部向所述計(jì)量補(bǔ)給部發(fā)出補(bǔ)給指令，控制所述凈水補(bǔ)給口向所述酸液回流口提供凈水補(bǔ)給。本實(shí)用新型根據(jù)藥液的電導(dǎo)率，實(shí)時(shí)計(jì)算出藥液的濃度，并進(jìn)行控制，能更好的保證產(chǎn)品的質(zhì)量，并且有效的延長(zhǎng)藥液的使用壽命，減少使用費(fèi)用。
【專利說(shuō)明】草酸濃度控制器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及蝕刻液濃度測(cè)定控制設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種草酸濃度控制器。

【背景技術(shù)】
[0002]TFT、觸摸屏ITO膜蝕刻液用量比較大，必須24H連續(xù)生產(chǎn)，對(duì)蝕刻液濃度控制必須實(shí)時(shí)進(jìn)行，用化學(xué)滴定法，周期長(zhǎng)，而且需要離線測(cè)量，不能很好的實(shí)時(shí)監(jiān)控。實(shí)際在生產(chǎn)過(guò)程中，為了節(jié)省ITO膜蝕刻液的用量，ITO膜蝕刻液需要反復(fù)使用，一次加入量在400L左右，因此需要實(shí)時(shí)對(duì)草酸濃度進(jìn)行測(cè)定以保證藥液濃度在一定的可控范圍內(nèi)。一般采用測(cè)量草酸溶液的電導(dǎo)率來(lái)技術(shù)草酸的濃度，但是由于草酸溶液在使用過(guò)程中需要加熱，而溫度對(duì)液體的電導(dǎo)率是有很大影響的，因此草酸液體的溫度對(duì)濃度的計(jì)算帶來(lái)了干擾。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是:提供一種草酸濃度控制器，根據(jù)草酸液濃度與電導(dǎo)率曲線、草酸液溫度與電導(dǎo)率曲線，通過(guò)實(shí)時(shí)測(cè)量藥液的電導(dǎo)率和溫度計(jì)算出藥液的實(shí)時(shí)濃度，并根據(jù)實(shí)時(shí)濃度對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行補(bǔ)水，保證藥液濃度在一定的可控范圍內(nèi)，減少了濃度波動(dòng)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0005]一種草酸濃度控制器，包括主機(jī)臺(tái)、計(jì)量補(bǔ)給部以及測(cè)定控制部；所述計(jì)量補(bǔ)給部包括酸液進(jìn)入口、酸液回流口以及凈水補(bǔ)給口 ；待測(cè)酸液從所述酸液進(jìn)入口進(jìn)入流經(jīng)所述計(jì)量補(bǔ)給部后從所述酸液回流口流出；所述計(jì)量補(bǔ)給部向所述測(cè)定控制部提供部分所述待測(cè)酸液；所述測(cè)定控制部包括電導(dǎo)率測(cè)定計(jì)和溫度測(cè)定計(jì)；所述電導(dǎo)率測(cè)定計(jì)測(cè)量所述待測(cè)酸液的電導(dǎo)率；所述溫度測(cè)定計(jì)測(cè)量所述待測(cè)酸液的溫度；所述的測(cè)定控制部向所述計(jì)量補(bǔ)給部發(fā)出補(bǔ)給指令，控制所述凈水補(bǔ)給口向所述酸液回流口提供凈水補(bǔ)給。
[0006]進(jìn)一步的，所述計(jì)量補(bǔ)給部還包括凈水供應(yīng)口，連接于外部?jī)羲础?br> [0007]進(jìn)一步的，還包括廢液排放口。
[0008]本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的積極效果是:
[0009]本實(shí)用新型由于設(shè)置了測(cè)定控制部和計(jì)量補(bǔ)給部，測(cè)定控制部又包括電導(dǎo)率測(cè)定計(jì)和溫度測(cè)定計(jì)，通過(guò)實(shí)時(shí)測(cè)量藥液的電導(dǎo)率和溫度，根據(jù)草酸液的濃度與電導(dǎo)率曲線、草酸液溫度與電導(dǎo)率曲線，計(jì)算出藥液的實(shí)時(shí)濃度，并根據(jù)實(shí)時(shí)濃度對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行補(bǔ)水，保證藥液濃度在一定的可控范圍內(nèi)，減少了濃度波動(dòng)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型草酸濃度控制器的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0011]以下結(jié)合附圖進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施例。
[0012]請(qǐng)參見(jiàn)圖1所示，包括主機(jī)臺(tái)1、計(jì)量補(bǔ)給部2以及測(cè)定控制部3 ;所述計(jì)量補(bǔ)給部2包括酸液進(jìn)入口 4、酸液回流口 5以及凈水補(bǔ)給口 8 ;待測(cè)酸液從所述酸液進(jìn)入口 4進(jìn)入流經(jīng)所述計(jì)量補(bǔ)給部2后從所述酸液回流口 5流出；所述計(jì)量補(bǔ)給部2向所述測(cè)定控制部3提供部分所述待測(cè)酸液；所述測(cè)定控制部3包括電導(dǎo)率測(cè)定計(jì)31和溫度測(cè)定計(jì)32 ;所述電導(dǎo)率測(cè)定計(jì)31測(cè)量所述待測(cè)酸液的電導(dǎo)率；所述溫度測(cè)定計(jì)32測(cè)量所述待測(cè)酸液的溫度；所述的測(cè)定控制部3向所述計(jì)量補(bǔ)給部2發(fā)出補(bǔ)給指令，控制所述凈水補(bǔ)給口 8向所述酸液回流口 5提供凈水補(bǔ)給。
[0013]優(yōu)選的，所述計(jì)量補(bǔ)給部2還包括凈水供應(yīng)口 7，連接于外部?jī)羲础?br> [0014]優(yōu)選的，還包括廢液排放口 6，用于草酸濃度控制器內(nèi)的廢液排出。
[0015]本實(shí)用新型通過(guò)測(cè)定控制部3通過(guò)實(shí)時(shí)測(cè)量藥液的電導(dǎo)率和溫度，根據(jù)草酸液的濃度與電導(dǎo)率曲線、草酸液溫度與電導(dǎo)率曲線，計(jì)算出藥液的實(shí)時(shí)濃度，并根據(jù)實(shí)時(shí)濃度確定系統(tǒng)需要的補(bǔ)水量，然后向計(jì)量補(bǔ)給部2發(fā)出指令，通過(guò)凈水補(bǔ)給口 8向酸液回流口 5補(bǔ)給凈水，保證藥液濃度在一定的可控范圍內(nèi)，減少了濃度波動(dòng)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。
[0016]請(qǐng)參見(jiàn)圖1所示，根據(jù)生產(chǎn)需求，從刻蝕機(jī)臺(tái)10中的TANKA(儲(chǔ)液箱)or TANK B中給機(jī)臺(tái)供液，供液的同時(shí)通過(guò)酸液進(jìn)入口 4給本實(shí)用新型草酸濃度控制器供應(yīng)液體，測(cè)定控制部3測(cè)得供液的導(dǎo)電率和溫度，并計(jì)算得待測(cè)液的濃度，進(jìn)而計(jì)算補(bǔ)水的量和時(shí)間，濃度偏得越高，相對(duì)補(bǔ)水時(shí)間越長(zhǎng)。
[0017]綜上所述，本實(shí)用新型根據(jù)藥液的電導(dǎo)率和溫度，實(shí)時(shí)計(jì)算出藥液的濃度，并進(jìn)行控制，能更好的保證產(chǎn)品的質(zhì)量，并且有效的延長(zhǎng)藥液的使用壽命，減少使用費(fèi)用。
【權(quán)利要求】
1.一種草酸濃度控制器，其特征在于:包括主機(jī)臺(tái)(1)、計(jì)量補(bǔ)給部(2)以及測(cè)定控制部⑶；所述計(jì)量補(bǔ)給部⑵包括酸液進(jìn)入口(4)、酸液回流口(5)以及凈水補(bǔ)給口⑶；待測(cè)酸液從所述酸液進(jìn)入口(4)進(jìn)入流經(jīng)所述計(jì)量補(bǔ)給部(2)后從所述酸液回流口(5)流出；所述計(jì)量補(bǔ)給部⑵向所述測(cè)定控制部⑶提供部分所述待測(cè)酸液；所述測(cè)定控制部(3)包括電導(dǎo)率測(cè)定計(jì)(31)和溫度測(cè)定計(jì)(32);所述電導(dǎo)率測(cè)定計(jì)(31)測(cè)量所述待測(cè)酸液的電導(dǎo)率；所述溫度測(cè)定計(jì)(32)測(cè)量所述待測(cè)酸液的溫度；所述的測(cè)定控制部(3)向所述計(jì)量補(bǔ)給部⑵發(fā)出補(bǔ)給指令，控制所述凈水補(bǔ)給口⑶向所述酸液回流口(5)提供凈水補(bǔ)給。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的草酸濃度控制器，其特征在于:所述計(jì)量補(bǔ)給部(2)還包括凈水供應(yīng)口(7)，連接于外部?jī)羲础?br> 3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的草酸濃度控制器，其特征在于:還包括廢液排放口(6)。
【文檔編號(hào)】G05D11/13GK204256544SQ201420646795
【公開(kāi)日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年11月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月2日
【發(fā)明者】姚強(qiáng), 蔣繼德, 劉寧, 繆星鑫 申請(qǐng)人:上海斡鈮禾自動(dòng)化科技有限公司