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高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置及比表面積及孔徑分析儀的制作方法

文檔序號(hào):6267772閱讀:375來源:國(guó)知局
專利名稱:高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置及比表面積及孔徑分析儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置及比表面積及孔徑分析儀。
背景技術(shù)
氣體流量調(diào)節(jié)裝置在測(cè)試測(cè)量?jī)x器中應(yīng)用廣泛,并起著關(guān)鍵的作用。現(xiàn)有技術(shù)中常用的氣體流量調(diào)節(jié)裝置有①氣體質(zhì)量流量計(jì),②機(jī)械式調(diào)節(jié)閥。但上述的氣體流量調(diào)節(jié)裝置都存在著缺陷①氣體質(zhì)量流量計(jì)可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié),但成本高,同時(shí)由于其為電磁調(diào)節(jié),精度低,可重復(fù)性差;②機(jī)械式調(diào)節(jié)閥的調(diào)節(jié)精度很高,但需要手動(dòng)調(diào)節(jié),若氣體流量變動(dòng)頻繁,需要花費(fèi)大量的人力,同時(shí)操作中還需要依賴操作者的經(jīng)驗(yàn),容易造成操作的失誤對(duì)整體儀器的測(cè)量精度產(chǎn)生無法消除的影響。因此,需要提供一種高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,其既可以通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體流量,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量,減少操作者的工作強(qiáng)度,又可以保證氣體流量調(diào)節(jié)精度。另外現(xiàn)有技術(shù)中比表面積及孔徑分析儀對(duì)于進(jìn)氣流量的控制有著高精度自動(dòng)化的要求。

實(shí)用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,其可以通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體流量,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量,并可以保證氣體流量調(diào)節(jié)的精度;同時(shí)本實(shí)用新型還需要提供一種可以精確自動(dòng)控制氣體流量的比表面積及孔徑分析儀。( 二 )技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供了一種高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,包括與氣源連通的進(jìn)氣管路,所述進(jìn)氣管路上設(shè)置有高精度機(jī)械閥,所述高精度機(jī)械閥的輸出端連接到氣體流量被控管路,所述高精度機(jī)械閥的控制端連接到電機(jī);所述高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置還包括控制器,所述氣體流量被控管路上設(shè)置有流量傳感器,所述控制器與所述流量傳感器及所述電機(jī)電連接,控制器用于讀取所述流量傳感器監(jiān)測(cè)的流量值,根據(jù)其內(nèi)部預(yù)設(shè)程序控制所述電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),從而調(diào)節(jié)所述高精度機(jī)械閥的開度。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述控制器為PLC、PC機(jī)或單片機(jī)。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述控制器與所述步進(jìn)電機(jī)之間設(shè)置有步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器,所述控制器根據(jù)預(yù)設(shè)程序發(fā)送脈沖信號(hào)通過所述步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器控制所述步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述電機(jī)與所述高精度機(jī)械閥的控制端通過聯(lián)軸器連接。
3[0014]本實(shí)用新型還提供了一種比表面積及孔徑分析儀,其包括上述的高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,所述高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置安裝于所述比表面積及孔徑分析儀的進(jìn)氣管路上,用于自動(dòng)精確地調(diào)節(jié)所述進(jìn)氣管路中的氣體流量。(三)有益效果 上述技術(shù)方案所提供的一種高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,包括與氣源連通的進(jìn)氣管路,所述進(jìn)氣管路上設(shè)置有高精度機(jī)械閥,所述高精度機(jī)械閥的輸出端連接到氣體流量被控管路,所述高精度機(jī)械閥的控制端連接到電機(jī);所述高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置還包括控制器,所述氣體流量被控管路上設(shè)置有流量傳感器,所述控制器與所述流量傳感器及所述電機(jī)電連接,控制器用于讀取所述流量傳感器監(jiān)測(cè)的流量值,根據(jù)其內(nèi)部預(yù)設(shè)程序控制所述電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),從而調(diào)節(jié)所述高精度機(jī)械閥的開度。本裝置通過流量傳感器對(duì)氣體流量進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè),利用控制器讀取氣體流量值并根據(jù)其內(nèi)預(yù)設(shè)程序控制閥體的開度,調(diào)節(jié)實(shí)際氣體流量,提高自動(dòng)氣體流量調(diào)節(jié)的精度的同時(shí)大大降低成本,另外自動(dòng)化調(diào)節(jié)取代人工操作,可大大降低操作者的工作強(qiáng)度。同時(shí)本裝置優(yōu)選步進(jìn)電機(jī),可以實(shí)現(xiàn)很小角度的調(diào)整,提高氣體流量調(diào)節(jié)精度。本實(shí)用新型還提供了一種比表面積及孔徑分析儀。

圖I是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;其中,I :控制器;2 :流量傳感器;3 :高精機(jī)械閥;4 :步進(jìn)電機(jī);5 :聯(lián)軸器;6 :進(jìn)氣管路;7 :氣體流量被控管路。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型,但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。結(jié)合圖I所示,其為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,包括與氣源連通的進(jìn)氣管路6,進(jìn)氣管路6上設(shè)置有高精度機(jī)械閥3,高精度機(jī)械閥3的輸出端連接到氣體流量被控管路7 (進(jìn)氣管路6及氣體流量被控管路7見附圖中具有箭頭的實(shí)線,箭頭方向表示氣流的流動(dòng)方向),高精度機(jī)械閥3的控制端連接到電機(jī)4。高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置還包括控制器I,氣體流量被控管路7上設(shè)置有流量傳感器2,控制器I與流量傳感器2及電機(jī)4電連接(如附圖中虛線所示,表示電控制連接關(guān)系),控制器I用于讀取流量傳感器2監(jiān)測(cè)的流量值,根據(jù)其內(nèi)部預(yù)設(shè)程序控制電機(jī)4轉(zhuǎn)動(dòng),從而調(diào)節(jié)高精度機(jī)械閥3的開度。本裝置通過流量傳感器2對(duì)氣體流量進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè),利用控制器I讀取氣體流量值并根據(jù)其內(nèi)預(yù)設(shè)程序控制閥體的開度,調(diào)節(jié)實(shí)際氣體流量,提高自動(dòng)氣體流量調(diào)節(jié)的精度的同時(shí)大大降低成本,另外自動(dòng)化調(diào)節(jié)取代人工操作,可大大降低操作者的工作強(qiáng)度。上述的高精度機(jī)械閥3可選精密氣體穩(wěn)流閥。本實(shí)施例優(yōu)選的控制器I為PLC、PC機(jī)或單片機(jī)。在控制器I中預(yù)設(shè)程序,根據(jù)實(shí)際測(cè)試儀器對(duì)氣體流量的需求進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)置。對(duì)應(yīng)的,電機(jī)4優(yōu)選步進(jìn)電機(jī)。步進(jìn)電機(jī)可以精確的控制轉(zhuǎn)動(dòng)角度,達(dá)到調(diào)節(jié)微小的變化量且調(diào)節(jié)精度高??刂破鱅與步進(jìn)電機(jī)之間設(shè)置有步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器,控制器I根據(jù)預(yù)設(shè)程序發(fā)送脈沖信號(hào)通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器控制步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。優(yōu)選的,電機(jī)4與高精度機(jī)械閥3的控制端通過聯(lián)軸器5連接。本裝置的具體工作原理為氣體流量被控管路7上設(shè)置的流量傳感器2實(shí)時(shí)檢測(cè)其內(nèi)通過的氣體流量,并將信號(hào)發(fā)送到控制器I中,控制器I根據(jù)其內(nèi)部預(yù)設(shè)程序判斷當(dāng)前氣體流量被控管路7中氣體流量是否處于所需的數(shù)值區(qū)間,當(dāng)超出數(shù)值范圍,預(yù)設(shè)程序轉(zhuǎn)入相應(yīng)的解決方案程序中,并輸出從而調(diào)節(jié)電機(jī)I的轉(zhuǎn)動(dòng),包括正轉(zhuǎn)反轉(zhuǎn)及具體的轉(zhuǎn)動(dòng)角度,進(jìn)而調(diào)節(jié)高精度機(jī)械閥3的開度。例如當(dāng)前氣體流量被控管路7中的氣體流量值低于測(cè)試儀器需要的預(yù)設(shè)值時(shí),控制器I發(fā)出指令信號(hào)控制步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)動(dòng)相應(yīng)的角度將高精度機(jī)械閥3的開度調(diào)大,從而調(diào)高氣體流量被控管路7中的氣體流量。該過程中無需人為的介入,便可實(shí)現(xiàn)高精度準(zhǔn)確實(shí)時(shí)的調(diào)整。另外,本實(shí)施例還提供了一種比表面積及孔徑分析儀,其包括上述的高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置安裝于比表面積及孔徑分析儀的進(jìn)氣管路上,用于自動(dòng)精確地調(diào)節(jié)所述進(jìn)氣管路中的氣體流量。應(yīng)用該種高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置后可以整體提高比表面積及孔徑分析儀的測(cè)量精度及自動(dòng)化程度,由于其使用的氣體流量調(diào)節(jié)裝置相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中的機(jī)械閥調(diào)節(jié),可以自動(dòng)實(shí)現(xiàn)高精度的氣體流量調(diào)節(jié),將勞動(dòng)者從繁雜的調(diào)節(jié)操作中解放出來;而相對(duì)先有技術(shù)中的氣體質(zhì)量流量計(jì),優(yōu)點(diǎn)在于成本低,精度高。由以上實(shí)施例可以看出,本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,包括與氣源連通的進(jìn)氣管路6,進(jìn)氣管路6上設(shè)置有高精度機(jī)械閥3,高精度機(jī)械閥3的輸出端連接到氣體流量被控管路7,高精度機(jī)械閥3的控制端連接到電機(jī)4 ;高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置還包括控制器1,氣體流量被控管路7上設(shè)置有流量傳感器2,控制器I與流量傳感器2及電機(jī)4電連接,控制器I用于讀取流量傳感器2監(jiān)測(cè)的流量值,根據(jù)其內(nèi)部預(yù)設(shè)程序控制電機(jī)4轉(zhuǎn)動(dòng),從而調(diào)節(jié)高精度機(jī)械閥3的開度。本裝置通過流量傳感器2對(duì)氣體流量進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè),利用控制器I讀取氣體流量值并根據(jù)其內(nèi)預(yù)設(shè)程序控制閥體的開度,調(diào)節(jié)實(shí)際氣體流量,提高自動(dòng)氣體流量調(diào)節(jié)的精度的同時(shí)大大降低成本,另外自動(dòng)化調(diào)節(jié)取代人工操作,可大大降低操作者的工作強(qiáng)度。同時(shí)本裝置優(yōu)選步進(jìn)電機(jī),可以實(shí)現(xiàn)很小角度的調(diào)整,提高氣體流量調(diào)節(jié)精度。本實(shí)施例還提供了一種應(yīng)用上述高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的比表面積及孔徑分析儀,其包括上述的高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,所述高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置安裝于比表面積及孔徑分析儀的進(jìn)氣管路上,用于自動(dòng)精確地調(diào)節(jié)所述進(jìn)氣管路中的氣體流量。通過將高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置應(yīng)用于比表面積及孔徑分析儀的進(jìn)氣管路,可以對(duì)進(jìn)氣管路的實(shí)際氣體流量進(jìn)行調(diào)節(jié),提高自動(dòng)氣體流量調(diào)節(jié)的精度的同時(shí)大大降低成本,另外自動(dòng)化調(diào)節(jié)取代人工操作,可大大降低操作者的工作強(qiáng)度,從而進(jìn)一步提高比表面積及孔徑分析儀的自動(dòng)化程度及整體測(cè)試精度。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和替換,這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,其特征在于,包括與氣源連通的進(jìn)氣管路(6),所述進(jìn)氣管路(6)上設(shè)置有高精度機(jī)械閥(3),所述高精度機(jī)械閥(3)的輸出端連接到氣體流量被控管路(7),所述高精度機(jī)械閥(3)的控制端連接到電機(jī)(4); 所述高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置還包括控制器(I),所述氣體流量被控管路(7)上設(shè)置有流量傳感器(2),所述控制器(I)與所述流量傳感器(2)及所述電機(jī)(4)電連接,所述控制器(I)用于讀取所述流量傳感器(2)監(jiān)測(cè)的流量值,根據(jù)其內(nèi)部預(yù)設(shè)程序控制所述電機(jī)(4)轉(zhuǎn)動(dòng),從而調(diào)節(jié)所述高精度機(jī)械閥(3)的開度。
2.如權(quán)利要求I所述的高精度流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,其特征在于,所述控制器(I)為PLC、PC機(jī)或單片機(jī)。
3.如權(quán)利要求2所述的高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,其特征在于,所述電機(jī)(4)為步進(jìn)電機(jī)。
4.如權(quán)利要求3所述的高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,其特征在于,所述控制器(I)與所述步進(jìn)電機(jī)之間設(shè)置有步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器,所述控制器(I)根據(jù)預(yù)設(shè)程序發(fā)送脈沖信號(hào)通過所述步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器控制所述步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。
5.如權(quán)利要求I所述的高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,其特征在于,所述電機(jī)(4)與所述高精度機(jī)械閥(3)的控制端通過聯(lián)軸器(5)連接。
6.一種比表面積及孔徑分析儀,其特征在于,其包括如權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,所述高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置安裝于所述比表面積及孔徑分析儀的進(jìn)氣管路上,用于自動(dòng)精確地調(diào)節(jié)所述進(jìn)氣管路中的氣體流量。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置及比表面積及孔徑分析儀,包括與氣源連通的進(jìn)氣管路,進(jìn)氣管路上設(shè)置有高精度機(jī)械閥,高精度機(jī)械閥的輸出端連接到氣體流量被控管路,高精度機(jī)械閥的控制端連接到電機(jī);高精度氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置還包括控制器,氣體流量被控管路上設(shè)置有流量傳感器,控制器與流量傳感器及電機(jī)電連接,控制器用于讀取流量傳感器監(jiān)測(cè)的流量值,根據(jù)其內(nèi)部預(yù)設(shè)程序控制電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),從而調(diào)節(jié)高精度機(jī)械閥的開度。本裝置提高自動(dòng)氣體流量調(diào)節(jié)的精度的同時(shí)大大降低成本,另外自動(dòng)化調(diào)節(jié)取代人工操作,可大大降低操作者的工作強(qiáng)度。同時(shí)本實(shí)用新型還提供了一種應(yīng)用其的比表面積及孔徑分析儀。
文檔編號(hào)G05D7/06GK202661885SQ201220196010
公開日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月4日
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