專利名稱：生產(chǎn)周期目標(biāo)測量方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及生產(chǎn)周期目標(biāo)測量方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
集成電路制造過程包含很多工序，各工序?qū)?yīng)有相應(yīng)的機臺(tool)，用來處理待 處理產(chǎn)品。集成電路的制造過程即為待處理產(chǎn)品順次經(jīng)過各個機臺的處理，制造出最終產(chǎn) 品的過程。 通常情況下各工序及機臺性能等因素會有差別，因此各機臺單位時間內(nèi)處理的待 處理產(chǎn)品數(shù)目，即機臺的處理速率通常不一致，業(yè)界一般將處理速率最小的機臺稱為瓶頸 (bottleneck)機臺。 此外前一個機臺處理后的待處理產(chǎn)品，有時候需要在特定時間內(nèi)由下一機臺進行 處理，否則如果超過該特定時間才由下一機臺處理，就會導(dǎo)致下一機臺無法處理該待處理 產(chǎn)品或者最后形成的最終產(chǎn)品性能無法滿足要求，所述特定時間稱為等待時間(Q-time)。 在生產(chǎn)過程中，需要保證待處理產(chǎn)品在經(jīng)過前一機臺處理后，在等待時間內(nèi)進入下一個機 臺處理。 生產(chǎn)周期目標(biāo)(CT目標(biāo)，Cycle Time Target)，即生產(chǎn)出一批產(chǎn)品所需要的生產(chǎn) 時間，它是集成電路制造中重要的生產(chǎn)目標(biāo)，與集成電路的生產(chǎn)計劃密切相關(guān)。如果能準(zhǔn)確 測量CT目標(biāo)，則制作的生產(chǎn)計劃必然較為科學(xué)合理，生產(chǎn)效率相應(yīng)就高，否則如果不能準(zhǔn) 確測量CT目標(biāo)，則設(shè)計出的生產(chǎn)計劃也就不那么科學(xué)合理，生產(chǎn)效率相應(yīng)就低。但集成電 路制造過程包括很多工序，而且還要考慮等待時間等因素，因此其生產(chǎn)周期目標(biāo)(CT目標(biāo)， Cycle Time Target)很難測量，直至目前都沒有科學(xué)合理的測量方法，大多數(shù)生產(chǎn)都是依 靠經(jīng)驗數(shù)據(jù)來估計CT目標(biāo)，但這種根據(jù)經(jīng)驗數(shù)據(jù)估計CT目標(biāo)的方法無法保證CT目標(biāo)的有 效性，也就常常出現(xiàn)CT目標(biāo)與實際生產(chǎn)周期相差很大，降低生產(chǎn)效率的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供CT目標(biāo)測量方法及系統(tǒng)，以提高測量CT目標(biāo)的準(zhǔn)確性，進而提高生產(chǎn) 效率。 本發(fā)明提出了 CT目標(biāo)測量方法，包括獲得生產(chǎn)過程中各機臺性能數(shù)據(jù)；基于預(yù) 定產(chǎn)品完成時間及獲得的性能數(shù)據(jù)信息，計算各機臺預(yù)期利用率；基于獲得的性能數(shù)據(jù)，獲 得各機臺利用率與待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間的對應(yīng)關(guān)系；根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系及各機 臺預(yù)期利用率，計算待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間；加總待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時 間及各機臺處理待處理產(chǎn)品所需的處理時間，測量出生產(chǎn)周期目標(biāo)。 本發(fā)明還提出了 CT目標(biāo)測量系統(tǒng)，包括性能數(shù)據(jù)獲得單元，用于獲得生產(chǎn)過程 中各機臺性能數(shù)據(jù)；預(yù)期利用率計算單元，用于基于預(yù)定產(chǎn)品完成時間及性能數(shù)據(jù)獲得單 元獲得的性能數(shù)據(jù)信息，計算各機臺預(yù)期利用率；對應(yīng)關(guān)系獲得單元，用于基于性能數(shù)據(jù) 獲得單元獲得的性能數(shù)據(jù)，獲得各機臺利用率與待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間的對應(yīng)關(guān)系；等待時間計算單元，用于根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲得單元獲得的對應(yīng)關(guān)系及預(yù)期利用率計 算單元計算的各機臺預(yù)期利用率，計算待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間；以及生產(chǎn)周期目 標(biāo)測量單元，用于加總等待時間計算單元計算的待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間及各機臺 處理待處理產(chǎn)品所需的處理時間，測量出生產(chǎn)周期目標(biāo)。 本發(fā)明通過測量出各機臺預(yù)期利用率與等待時間的對應(yīng)關(guān)系，及采用預(yù)期利用率 模型計算出各機臺預(yù)期利用率，再根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系及預(yù)期利用率，測量出待處理產(chǎn)品在 各機臺前的等待時間，然后將所述各等待時間與各機臺處理待處理產(chǎn)品所需的處理時間加 總，就測量出CT目標(biāo)，從而提供了科學(xué)合理的CT目標(biāo)測量方案，避免了現(xiàn)有技術(shù)中通過采 用經(jīng)驗數(shù)據(jù)的方式測量CT目標(biāo)無法保證測量得到的CT目標(biāo)的有效性的問題，提高了測量 CT目標(biāo)的準(zhǔn)確性，從而提高了生產(chǎn)效率。


圖1為本發(fā)明實施例提出的CT目標(biāo)測量方法的流程圖；
圖2為本發(fā)明實施例提出的CT目標(biāo)測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
根據(jù)背景技術(shù)的分析可知，產(chǎn)品生產(chǎn)過程所耗費的時間即CT目標(biāo)，由待處理產(chǎn)品 在各機臺前等待時間及各機臺處理待處理產(chǎn)品的處理時間構(gòu)成，而各機臺的處理時間基本 是確定的，因此如果能夠測量出待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間，則再加總各機臺處理時 間即可得到CT目標(biāo)。要計算待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間，則由于各機臺的利用率與待 處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間相關(guān)，因此可以通過利用率及等待時間的歷史數(shù)據(jù)，模擬出 利用率和等待時間的函數(shù)關(guān)系，再通過利用率預(yù)期模型計算出預(yù)期利用率，則根據(jù)該函數(shù) 關(guān)系及預(yù)期利用率就可以計算出待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間。 基于上述想法，本發(fā)明實施例提出如下CT目標(biāo)測量方法，以提高CT目標(biāo)測量的準(zhǔn) 確性。 圖1為本發(fā)明實施例提出的CT目標(biāo)測量方法的流程圖，參照該圖，所述方法包括 步驟 步驟l，獲得生產(chǎn)過程中各機臺性能數(shù)據(jù)； 所述機臺性能數(shù)據(jù)可以包括機臺兩次故障間的平均時間、機臺發(fā)生故障后的平 均修復(fù)時間、機臺平均可用時間、預(yù)防保養(yǎng)(PM)時間、PM計劃、一個月內(nèi)機臺故障時間超過 一天的幾率pl， 一個月內(nèi)機臺故障時間超過兩天的幾率p2及一個月內(nèi)機臺故障時間超過 三天的幾率p3等。 步驟2，基于預(yù)定產(chǎn)品完成時間及獲得的性能數(shù)據(jù)信息，計算各機臺預(yù)期利用率；
計算預(yù)期利用率可以有兩種方法，第一種采用預(yù)期利用率動態(tài)模型，模型輸入?yún)?數(shù)為初始CT目標(biāo)、預(yù)定產(chǎn)品完成時間及機臺性能數(shù)據(jù)信息，輸出為機臺預(yù)期利用率；第二 種是采用預(yù)期利用率靜態(tài)模型，模型輸入?yún)?shù)為預(yù)定產(chǎn)品完成時間及機臺性能數(shù)據(jù)信息， 輸出為機臺預(yù)期利用率。這兩種計算方法的差別在于第一種方式考慮到當(dāng)前生產(chǎn)情況的影 響，第二種則適用于產(chǎn)品完成時間還是長期的情況，這時無需考慮當(dāng)前生產(chǎn)狀況的影響。上 述動態(tài)及靜態(tài)模型均為本領(lǐng)域公知常識，本申請無需詳細(xì)闡述。
步驟3，基于獲得的性能數(shù)據(jù)，獲得各機臺利用率與待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時 間的對應(yīng)關(guān)系； 根據(jù)已有機臺利用率和等待時間歷史數(shù)據(jù)，擬合出利用率和等待時間的函數(shù)關(guān) 系，即可獲得利用率與等待時間的對應(yīng)關(guān)系。但是由于機臺利用率和等待時間的歷史數(shù)據(jù) 通常并非生產(chǎn)當(dāng)前產(chǎn)品的機臺的數(shù)據(jù)，因此還需要對所述擬合的對應(yīng)關(guān)系進行調(diào)整，使其 更為精確。 調(diào)整的思路可以是在擬合出所述函數(shù)關(guān)系后，再在生產(chǎn)當(dāng)前產(chǎn)品各機臺中選擇 一個機臺，單獨計算出該選擇的機臺的預(yù)期利用率及等待時間，然后將該計算出的預(yù)期利 用率及等待時間代入該函數(shù)關(guān)系，調(diào)整相應(yīng)參數(shù)，即可得到新的函數(shù)關(guān)系，即為調(diào)整后的對 應(yīng)關(guān)系。較佳的，本發(fā)明實施例選擇單獨計算瓶頸機臺的預(yù)期利用率及等待時間，用以調(diào)整 擬合的對應(yīng)關(guān)系。在下述實施例中將詳細(xì)闡述。 步驟4，根據(jù)步驟3得到的所述對應(yīng)關(guān)系及步驟2得到的各機臺預(yù)期利用率，計算 待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間； 步驟5，加總待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間及各機臺處理待處理產(chǎn)品所需的處 理時間，測量出生產(chǎn)周期目標(biāo)。 通過以上步驟即可測量出CT目標(biāo)，與現(xiàn)有經(jīng)驗估計方法相比，此處提供了科學(xué)合
理的CT目標(biāo)測量方法，提高了 CT目標(biāo)測量的準(zhǔn)確率。 下面結(jié)合具體實施例詳細(xì)闡述上述CT目標(biāo)測量方法。 實施例一 ，采用預(yù)期利用率靜態(tài)模型的實施方式。 首先收集各機臺的性能數(shù)據(jù)，包括步驟1中涉及的數(shù)據(jù)；在收集到各機臺的性能 數(shù)據(jù)后，則采用預(yù)期利用率靜態(tài)模型計算各機臺的預(yù)期利用率；在利用靜態(tài)預(yù)期利用率模 型計算預(yù)期利用率時，可以將主生產(chǎn)計劃(MPS, MasterProduction Schedule)中該產(chǎn)品的 預(yù)定完成時間及收集的機臺性能參數(shù)作為預(yù)期利用率靜態(tài)模型的輸入?yún)?shù)，再運行計算該 模型，得到輸出的各機臺預(yù)期利用率。 在得到各機臺預(yù)期利用率后，采用如下過程獲得各機臺利用率和待處理產(chǎn)品在各 機臺前等待時間的對應(yīng)關(guān)系 首先選擇機臺利用率和等待時間的歷史數(shù)據(jù)；由于在機臺需要處理的待處理產(chǎn)品 數(shù)目較大即負(fù)荷較大時，CT目標(biāo)的測量更為重要，因此較佳的選擇機臺負(fù)荷較大，例如大于 99%時的歷史數(shù)據(jù)。此處的歷史數(shù)據(jù)可以是當(dāng)前機臺的歷史數(shù)據(jù)，也可以是其他機臺的歷 史數(shù)據(jù)。在選擇出歷史數(shù)據(jù)后，根據(jù)所述選擇的歷史數(shù)據(jù)擬合出機臺利用率和等待時間的 函數(shù)關(guān)系。由于該歷史數(shù)據(jù)通常不是當(dāng)前機臺生產(chǎn)當(dāng)前產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，因此還需要對該函數(shù) 關(guān)系進行調(diào)整。為調(diào)整所述函數(shù)關(guān)系，本實施例選擇瓶頸機臺作為參考，先計算待處理產(chǎn)品 在瓶頸機臺前的等待時間，然后將上述計算出的瓶頸機臺的預(yù)期利用率及該等待時間代入 所述函數(shù)關(guān)系，再調(diào)整該函數(shù)關(guān)系，得到所需的對應(yīng)關(guān)系。其中計算待處理產(chǎn)品在瓶頸機臺 前的等待時間的過程為獲得該瓶頸機臺的處理速率V，然后獲得該瓶頸機臺前待處理產(chǎn) 品的數(shù)量，再根據(jù)瓶頸機臺的閑置概率及整個產(chǎn)品生產(chǎn)周期調(diào)整該數(shù)量，最后用調(diào)整后的 該數(shù)量除以處理速率即可得到待處理產(chǎn)品在該瓶頸機臺前的等待時間。所述瓶頸機臺的閑 置概率可以根據(jù)V及整個系統(tǒng)中各機臺的pl、p2及p3測算。例如，如果處理速率V代表瓶 頸機臺每小時處理V數(shù)量待處理產(chǎn)品，則在pl = 0. 1、p2 = Q.05及p3 = 0. 03即系統(tǒng)中機臺一個月內(nèi)連續(xù)down機超過一天、兩天及三天的概率分別是0. 1， 0. 05和0. 03的情況下， 若選擇在該瓶頸機臺前安排數(shù)量為24*V的產(chǎn)品，則瓶頸機臺不會由于生產(chǎn)系統(tǒng)中其他機 臺down機超過24小時而閑置的概率是1-0. 1 = 0. 9 ;同理若安排數(shù)量為48*V的產(chǎn)品，則 瓶頸機臺不會由于生產(chǎn)系統(tǒng)中其他機臺down機超過2天而導(dǎo)致閑置的概率是1-0. 0. 5 = 0.95。調(diào)整瓶頸機臺前待處理產(chǎn)品的目標(biāo)數(shù)量，同時考慮該瓶頸機臺的閑置概率和整個產(chǎn) 品生產(chǎn)周期。根據(jù)瓶頸機臺的閑置概率及整個產(chǎn)品生產(chǎn)周期調(diào)整所述瓶頸機臺前待處理產(chǎn) 品數(shù)量的調(diào)整步驟是可選的，即使不調(diào)整，相對于現(xiàn)有技術(shù)而言，本實施例也能夠解決現(xiàn)有 技術(shù)的問題，精確測量CT目標(biāo)值。 在得到各機臺利用率及待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間的對應(yīng)關(guān)系后，根據(jù)各機 臺預(yù)期利用率，測量出待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間，然后將測量出的待處理產(chǎn)品在各 機臺前等待時間與各機臺處理需要生產(chǎn)的產(chǎn)品所需的處理時間加總，得到的時間即為CT 目標(biāo)。 該實施例采用靜態(tài)模型計算預(yù)期利用率，尤其適用于長期的生產(chǎn)計劃安排。
實施例二，采用預(yù)期利用率動態(tài)模型的實施方式。 實施例二與實施例一的區(qū)別在于，本實施例在計算各機臺的預(yù)期利用率時，采用 預(yù)期利用率動態(tài)模型計算。 由于動態(tài)模型的輸入?yún)?shù)還有初始CT目標(biāo)，因此在計算預(yù)期利用率前，需要設(shè)置 初始CT目標(biāo)，然后將初始CT目標(biāo)、預(yù)定產(chǎn)品完成時間及獲得的性能數(shù)據(jù)信息作為輸入，通 過運行計算動態(tài)模型，得到各機臺的預(yù)期利用率。然后再通過與實施例一類似的過程測量 出CT目標(biāo)。在測量出CT目標(biāo)后，還需要比較測量出的CT目標(biāo)及初始CT目標(biāo)，如果測量的 CT目標(biāo)與初始CT目標(biāo)的差別處于預(yù)定范圍內(nèi)，則確定所述測量出的CT目標(biāo)或該初始CT目 標(biāo)為所需的CT目標(biāo)，否則在比較出測量的CT目標(biāo)與初始CT目標(biāo)的差別未處于預(yù)定范圍內(nèi) 時，將測量出的CT目標(biāo)作為新的初始CT目標(biāo)，重新測量CT目標(biāo)，直至測量的CT目標(biāo)與初 始CT目標(biāo)的差別處于預(yù)定范圍內(nèi)為止。 由于在機臺性能數(shù)據(jù)和產(chǎn)品預(yù)定完成時間一定時，CT目標(biāo)與預(yù)期利用率負(fù)相關(guān)， 而機臺預(yù)期利用率與等待時間正相關(guān)，因此如果初期測量的CT目標(biāo)較大，則使得后續(xù)測量 的預(yù)期利用率較低，導(dǎo)致后續(xù)測量的CT目標(biāo)較小，所以CT目標(biāo)是收斂的，采用上述方法將 能夠得到CT目標(biāo)。 實施例二考慮了當(dāng)前的生產(chǎn)狀況，尤其有利于短期的生產(chǎn)計劃安排。 本發(fā)明實施例還提出了 CT目標(biāo)測量系統(tǒng)，以提高CT目標(biāo)測量的準(zhǔn)確率，進一步提
高生產(chǎn)效率。 圖2為本發(fā)明實施例提出的CT目標(biāo)測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述系統(tǒng)包括
性能數(shù)據(jù)獲得單元IO，用于獲得生產(chǎn)過程中各機臺性能數(shù)據(jù)； 預(yù)期利用率計算單元ll，用于基于預(yù)定產(chǎn)品完成時間及性能數(shù)據(jù)獲得單元10獲 得的性能數(shù)據(jù)信息，計算各機臺預(yù)期利用率； 對應(yīng)關(guān)系獲得單元12，用于基于性能數(shù)據(jù)獲得單元10獲得的性能數(shù)據(jù)，獲得各機 臺利用率與待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間的對應(yīng)關(guān)系； 等待時間計算單元13，用于根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲得單元12獲得的對應(yīng)關(guān)系及預(yù) 期利用率計算單元11計算的各機臺預(yù)期利用率，計算待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間；以及 生產(chǎn)周期目標(biāo)測量單元14，用于加總等待時間計算單元13計算的待處理產(chǎn)品在 各機臺前等待時間及各機臺處理待處理產(chǎn)品所需的處理時間，測量出生產(chǎn)周期目標(biāo)。
其中如果采用預(yù)期利用率動態(tài)模型計算各機臺預(yù)期利用率，則預(yù)期利用率計算單 元11具體包括用于獲得初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的子單元；以及用于根據(jù)初始生產(chǎn)周期目標(biāo)、 預(yù)定產(chǎn)品完成時間及獲得的性能數(shù)據(jù)信息，采用預(yù)期利用率動態(tài)模型，計算所述各機臺預(yù) 期利用率的子單元。 由于采用動態(tài)模型計算預(yù)期利用率需要輸入初始CT目標(biāo)，因此還可以通過判斷 測量出的CT目標(biāo)與初始CT目標(biāo)的差別是否在預(yù)定范圍，如果是，則測量出的CT目標(biāo)與初 始CT目標(biāo)較為接近，可以將測量出的CT目標(biāo)或初始CT目標(biāo)確定為最終測量出的CT目標(biāo)， 否則如果測量出的CT目標(biāo)與初始CT目標(biāo)的差別未處于預(yù)定范圍，則需要將測量出的CT目 標(biāo)作為初始CT目標(biāo)，重新測量CT目標(biāo)，直至測量出的CT目標(biāo)與初始CT目標(biāo)的差別處于預(yù) 定范圍為止。據(jù)此，本發(fā)明實施例提出上述CT目標(biāo)系統(tǒng)還可以包括用于比較測量出的生 產(chǎn)周期目標(biāo)及初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的單元；用于在比較出測量的生產(chǎn)周期目標(biāo)與初始生產(chǎn)周 期目標(biāo)的差別處于預(yù)定范圍內(nèi)時，確定所述測量出的生產(chǎn)周期目標(biāo)或該初始生產(chǎn)周期目標(biāo) 為最終的生產(chǎn)周期目標(biāo)的單元；以及用于在比較出測量的生產(chǎn)周期目標(biāo)與初始生產(chǎn)周期目 標(biāo)的差別未處于預(yù)定范圍內(nèi)時，將測量出的生產(chǎn)周期目標(biāo)作為新的初始生產(chǎn)周期目標(biāo)，重 新測量生產(chǎn)周期目標(biāo)，直至測量的生產(chǎn)周期目標(biāo)與初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的差別處于預(yù)定范圍 內(nèi)為止的單元。 如果采用預(yù)期利用率靜態(tài)模型計算各機臺預(yù)期利用率，則預(yù)期利用率計算單元11 具體包括用于基于預(yù)定產(chǎn)品完成時間及性能數(shù)據(jù)獲得單元獲得的性能數(shù)據(jù)信息，采用預(yù) 期利用率靜態(tài)模型計算各機臺預(yù)期利用率的子單元。 上述預(yù)期利用率動態(tài)模型和靜態(tài)模型與方法實施例部分類似，這里不再闡述。 參考上述方法實施例中獲得機臺利用率與等待時間對應(yīng)關(guān)系的方法，本實施例提
出對應(yīng)關(guān)系獲得單元12可以具體包括用于計算各機臺中瓶頸機臺及瓶頸機臺前各機臺
待處理的產(chǎn)品數(shù)目總和的子單元；用于根據(jù)瓶頸機臺的處理速率及所述數(shù)目總和，計算待
處理產(chǎn)品在瓶頸機臺前的等待時間的子單元；用于根據(jù)利用率歷史數(shù)據(jù)及對應(yīng)的等待時間
歷史數(shù)據(jù)，計算出利用率和等待時間的對應(yīng)關(guān)系的子單元；以及用于根據(jù)瓶頸機臺的預(yù)期
利用率及該等待時間，調(diào)整所述對應(yīng)關(guān)系的子單元。 本發(fā)明實施例提出的上述CT目標(biāo)測量方案，由于CT目標(biāo)與機臺性能數(shù)據(jù)對應(yīng)，因 此通過檢測CT目標(biāo)值還能夠容易的檢測出生產(chǎn)狀況，在各機臺性能數(shù)據(jù)等沒有達(dá)到標(biāo)準(zhǔn) 時，就能夠很容易檢測出其對生產(chǎn)狀況的影響，從而進行相應(yīng)改進，這將進一步提高生產(chǎn)效 率。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精 神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍 之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
一種生產(chǎn)周期目標(biāo)測量方法，其特征在于，包括獲得生產(chǎn)過程中各機臺性能數(shù)據(jù)；基于預(yù)定產(chǎn)品完成時間及獲得的性能數(shù)據(jù)信息，計算各機臺預(yù)期利用率；基于獲得的性能數(shù)據(jù)，獲得各機臺利用率與待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間的對應(yīng)關(guān)系；根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系及各機臺預(yù)期利用率，計算待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間；加總待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間及各機臺處理待處理產(chǎn)品所需的處理時間，測量出生產(chǎn)周期目標(biāo)。
2. 如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲得各機臺利用率與待處理產(chǎn)品在各 機臺前等待時間的對應(yīng)關(guān)系，具體包括計算各機臺中瓶頸機臺及瓶頸機臺前各機臺待處理的產(chǎn)品數(shù)目總和； 根據(jù)瓶頸機臺的處理速率及所述數(shù)目總和，計算待處理產(chǎn)品在瓶頸機臺前等待時間； 根據(jù)利用率歷史數(shù)據(jù)及對應(yīng)的等待時間歷史數(shù)據(jù)，計算出利用率和等待時間的對應(yīng)關(guān)系；根據(jù)待處理產(chǎn)品在瓶頸機臺前等待時間及預(yù)期利用率，調(diào)整所述對應(yīng)關(guān)系。
3. 如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在所述根據(jù)瓶頸機臺的處理速率及所述數(shù) 目總和，計算待處理產(chǎn)品在瓶頸機臺前等待時間前，還具體包括根據(jù)各機臺性能數(shù)據(jù)，調(diào) 整所述計算出的數(shù)目總和的步驟。
4. 如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，采用靜態(tài)模型計算所述各機臺預(yù)期利用率。
5. 如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，計算所述各機臺利用率，具體包括 獲得初始生產(chǎn)周期目標(biāo)；根據(jù)初始生產(chǎn)周期目標(biāo)、預(yù)定產(chǎn)品完成時間及獲得的性能數(shù)據(jù)信息，采用預(yù)期利用率 動態(tài)模型，計算所述各機臺預(yù)期利用率。
6. 如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，還包括步驟 比較測量出的生產(chǎn)周期目標(biāo)及初始生產(chǎn)周期目標(biāo)；在比較出測量的生產(chǎn)周期目標(biāo)與初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的差別處于預(yù)定范圍內(nèi)時，確定所 述測量出的生產(chǎn)周期目標(biāo)或該初始生產(chǎn)周期目標(biāo)為最終的生產(chǎn)周期目標(biāo)；在比較出測量的生產(chǎn)周期目標(biāo)與初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的差別未處于預(yù)定范圍內(nèi)時，將測 量出的生產(chǎn)周期目標(biāo)作為新的初始生產(chǎn)周期目標(biāo)，重新測量生產(chǎn)周期目標(biāo)，直至測量的生 產(chǎn)周期目標(biāo)與初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的差別處于預(yù)定范圍內(nèi)為止。
7. —種生產(chǎn)周期目標(biāo)測量系統(tǒng)，其特征在于，包括 性能數(shù)據(jù)獲得單元，用于獲得生產(chǎn)過程中各機臺性能數(shù)據(jù)；預(yù)期利用率計算單元，用于基于預(yù)定產(chǎn)品完成時間及性能數(shù)據(jù)獲得單元獲得的性能數(shù) 據(jù)信息，計算各機臺預(yù)期利用率；對應(yīng)關(guān)系獲得單元，用于基于性能數(shù)據(jù)獲得單元獲得的性能數(shù)據(jù)，獲得各機臺利用率 與待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間的對應(yīng)關(guān)系；等待時間計算單元，用于根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲得單元獲得的對應(yīng)關(guān)系及預(yù)期利用率計 算單元計算的各機臺預(yù)期利用率，計算待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間；以及生產(chǎn)周期目標(biāo)測量單元，用于加總等待時間計算單元計算的待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間及各機臺處理待處理產(chǎn)品所需的處理時間，測量出生產(chǎn)周期目標(biāo)。
8. 如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述對應(yīng)關(guān)系獲得單元，具體包括 用于計算各機臺中瓶頸機臺及瓶頸機臺前各機臺待處理的產(chǎn)品數(shù)目總和的子單元； 用于根據(jù)瓶頸機臺的處理速率及所述數(shù)目總和，計算所述待處理產(chǎn)品在瓶頸機臺前等待時間的子單元；用于根據(jù)利用率歷史數(shù)據(jù)及對應(yīng)的等待時間歷史數(shù)據(jù)，計算出利用率和等待時間的對 應(yīng)關(guān)系的子單元；以及 用于根據(jù)所述待處理產(chǎn)品在瓶頸機臺前等待時間及預(yù)期利用率，調(diào)整所述對應(yīng)關(guān)系的 子單元。
9. 如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)期利用率計算單元包括用于基于預(yù) 定產(chǎn)品完成時間及性能數(shù)據(jù)獲得單元獲得的性能數(shù)據(jù)信息，采用預(yù)期利用率靜態(tài)模型計算 各機臺預(yù)期利用率的子單元。
10. 如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)期利用率計算單元包括 用于獲得初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的子單元；以及用于根據(jù)初始生產(chǎn)周期目標(biāo)、預(yù)定產(chǎn)品完成時間及獲得的性能數(shù)據(jù)信息，采用預(yù)期利 用率動態(tài)模型，計算所述各機臺預(yù)期利用率的子單元。
11. 如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括 用于比較測量出的生產(chǎn)周期目標(biāo)及初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的單元；用于在比較出測量的生產(chǎn)周期目標(biāo)與初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的差別處于預(yù)定范圍內(nèi)時，確 定所述測量出的生產(chǎn)周期目標(biāo)或該初始生產(chǎn)周期目標(biāo)為最終的生產(chǎn)周期目標(biāo)的單元；以及用于在比較出測量的生產(chǎn)周期目標(biāo)與初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的差別未處于預(yù)定范圍內(nèi)時， 將測量出的生產(chǎn)周期目標(biāo)作為新的初始生產(chǎn)周期目標(biāo)，重新測量生產(chǎn)周期目標(biāo)，直至測量 的生產(chǎn)周期目標(biāo)與初始生產(chǎn)周期目標(biāo)的差別處于預(yù)定范圍內(nèi)為止的單元。
全文摘要
本發(fā)明提供了CT目標(biāo)測量方法及系統(tǒng)，以提高測量CT目標(biāo)的準(zhǔn)確性。該方法包括獲得生產(chǎn)過程中各機臺性能數(shù)據(jù)；基于預(yù)定產(chǎn)品完成時間及獲得的性能數(shù)據(jù)信息，計算各機臺預(yù)期利用率；基于獲得的性能數(shù)據(jù)，獲得各機臺利用率與待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間的對應(yīng)關(guān)系；根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系及各機臺預(yù)期利用率，計算待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間；加總待處理產(chǎn)品在各機臺前等待時間及各機臺處理待處理產(chǎn)品所需的處理時間，測量出CT目標(biāo)。
文檔編號G05B19/418GK101727098SQ20081020150
公開日2010年6月9日 申請日期2008年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月21日
發(fā)明者許磊 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司