一種利用光纖光柵進(jìn)行精密位移的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于精密位移測量技術(shù)領(lǐng)域，涉及到一種精密位移裝置，具體是指一 種利用光纖光柵進(jìn)行精密位移的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 光柵尺是一種用來精密測量物體移動位移的工具，其主要在機(jī)床領(lǐng)域內(nèi)廣泛使 用。目前的光柵尺是利用莫爾條紋原理制成，由一對光柵副中的主光柵（即標(biāo)尺光柵）和副 光柵（即指示光柵）進(jìn)行相對位移時，在光的干涉與衍射共同作用下產(chǎn)生黑白相間（或明暗 相間）的規(guī)則條紋圖形(稱為莫爾條紋)，經(jīng)過光電器件轉(zhuǎn)換使黑白（或明暗）相同的條紋轉(zhuǎn) 換成正弦波變化的電信號，再經(jīng)過放大器放大，整形電路整形后，得到兩路相差為90°的正 弦波或方波，送入光柵數(shù)顯表計(jì)數(shù)顯示位移。目前高分辨率的光柵尺測量位移精度只能達(dá) 到微米量級，并且造價昂貴；同時此種光柵尺的安裝條件和使用環(huán)境要求比較苛刻，不適宜 大范圍推廣使用。
[0003] 光纖光柵（FiberBraggGrating，簡稱FBG))是利用光纖的光敏性制成，通過紫外 光曝光的方法將入射光相干場圖樣寫入纖芯，在纖芯內(nèi)產(chǎn)生沿纖芯軸向的折射率周期性變 化，從而形成永久性空間的相位。光纖光柵（FBG)作為一種光無源器件，已經(jīng)在光通信、傳 感測量、位移監(jiān)測等方面有大范圍的應(yīng)用。隨著技術(shù)的發(fā)展，目前的光纖光柵的長度已由原 有的毫米級增加到現(xiàn)在的米級、十米級甚至更長的長度，由于光纖光柵的信道精度已經(jīng)達(dá) 到納米級別，因此將光纖光柵應(yīng)用與物體移動位移的精密測量，實(shí)現(xiàn)位移納米級精度控制， 可有效解決現(xiàn)有光柵尺不能實(shí)現(xiàn)高等級精度位移的問題。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004] 本實(shí)用新型目的在于提供一種利用光纖光柵進(jìn)行精密位移的方法及其裝置，其利 用光纖光柵納米級精度特性進(jìn)行位移控制，以解決現(xiàn)有光柵尺造價昂貴，安裝使用環(huán)境要 求苛刻，并且不能實(shí)現(xiàn)納米級及以上精度位移的問題；同時還可實(shí)現(xiàn)其他精密位移的需求。
[0005] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：
[0006] -種利用光纖光柵進(jìn)行精密位移的裝置，包括光纖光柵和解調(diào)儀，所述的光纖光 柵上設(shè)置有沿光纖光柵表面移動的光電探測器，所述的光電探測器與所述的解調(diào)儀通信連 接。
[0007] 上述的光電探測器還連接有數(shù)顯裝置。
[0008] 上述的光纖光柵為固定在一裝置內(nèi)的直線狀、環(huán)形、或其他形狀。該裝置可以是直 線狀、環(huán)形、或其他形狀的板材，將光纖光柵固定在裝置上形成所述的形狀。
[0009] 上述的光纖光柵為體布拉格光柵（VolumeBraggGratings，簡稱VBG;又稱體全 息光柵，VolumeHolographicGrating，簡稱VHG，本實(shí)用新型的下述敘述采用體布拉格光 柵VBG)。所述的體布拉格光柵（VBG)是在玻璃中刻入光柵(紫外光調(diào)制玻璃的折射率）制 作而成，其可與光纖光柵（FBG)具有相同的參數(shù)特征。
[0010] 上述的玻璃是光敏玻璃、石英玻璃或其他玻璃。
[0011] 上述的解調(diào)儀可以是調(diào)制解調(diào)器。
[0012] 本實(shí)用新型相對于現(xiàn)有技術(shù)，具有如下優(yōu)點(diǎn)和效果：
[0013] 1、本實(shí)用新型采用光纖光柵（FBG)光學(xué)納米級特性原理替代傳統(tǒng)莫爾條紋原理的 平面物理性光柵尺實(shí)現(xiàn)高精度測量。傳統(tǒng)的莫爾條紋光柵尺最高精度只有微米級別；而現(xiàn) 有的光纖光柵信道周期精度可以達(dá)到納米、甚至皮米級別，相對于傳統(tǒng)的光柵尺來說，本實(shí) 用新型的方法及其裝置精度級別更高，可以將精密測量加工等級提高到納米，甚至皮米級 別。
[0014] 2、由于莫爾條紋光柵尺的結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，制作工藝難度大，使得高精度的莫爾條 紋光柵尺價格高達(dá)幾十萬元，十分昂貴；而現(xiàn)有光纖光柵的制作工藝已經(jīng)相當(dāng)成熟，其光柵 的長度也可以實(shí)現(xiàn)幾米甚至百米長度的刻寫，同時光纖光柵的封裝結(jié)構(gòu)簡單，制作成本低 廉，適合大范圍推廣使用。
[0015] 3、采用莫爾條紋原理制作的平面物理光柵尺對于環(huán)境的使用要求比較苛刻，尤其 是對一些高精度要求的機(jī)床來說，使用的環(huán)境潔凈度、振動、噪聲、溫度等有嚴(yán)格的要求；而 本實(shí)用新型的裝置可以避免上述環(huán)境因素的影響，降低了使用環(huán)境要求的限制，不僅能用 于高端機(jī)床設(shè)備上，同時可以用在對環(huán)境要求低的普通機(jī)床上，以實(shí)現(xiàn)精密位移的要求。
【附圖說明】
[0016] 圖la是本實(shí)用新型的光纖光柵為均勻周期的原理示意圖。
[0017] 圖lb是本實(shí)用新型的光纖光柵為非均勻周期的原理示意圖。
[0018] 圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例1裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019] 圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例3裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020] 圖中，1-光纖光柵、2-光電探測器、3-解調(diào)儀、4-數(shù)顯裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0021] 傳統(tǒng)的光柵尺利用莫爾條紋原理制成，經(jīng)過光電器件轉(zhuǎn)換使黑白（或明暗）相同的 條紋轉(zhuǎn)換成波形信號，送入光柵數(shù)顯表計(jì)數(shù)顯示位移。而本實(shí)用新型的原理在于：當(dāng)在光纖 中寫入光纖光柵（FBG)后，光纖光柵的信道間隔(也可以是相鄰信道中心波長變化量)，在光 纖內(nèi)相當(dāng)于相臨間隔的條紋，當(dāng)光纖光柵為均勻周期時，信道間隔在寫制光柵時可以確定。 本實(shí)用新型中，光電探測器沿光纖光柵（FBG)表面橫向移動以累積疊加的方式檢測經(jīng)過光 纖光柵信道的數(shù)量，那么從首個信道開始，光電探測器沿光纖光柵表面橫向移動的位移量 為檢測經(jīng)過的光纖光柵信道的數(shù)量與光纖光柵信道間隔的乘積，當(dāng)計(jì)數(shù)出一定長度光纖光 柵上的信道數(shù)量相當(dāng)于計(jì)算出光纖光柵的有效長度以實(shí)現(xiàn)精密位移。如圖la所示，當(dāng)光纖 光柵為均勻周期時，光纖光柵上有n+1個信道，n+1個信道對應(yīng)的光纖光柵的距離是L，那個 從第1個信道開始，L= (n+1)施，森為信道間隔。如圖lb所示，當(dāng)光纖光柵為非均勻周期 時，其信道間隔為等差數(shù)列方式，L=n(1^纛為第一個信道間隔，矗n+1為第n+1 個信道的信道間隔，當(dāng)光纖光柵為非均勻周期時，信道間隔成遞減(遞增）方式，其精度也成 遞減(遞增）方式。因此在本實(shí)用新型的下述敘述中，均是以均勻周期光纖光柵進(jìn)行說明。
[0022] 同時，在本實(shí)用新型中所述的光纖光柵（FBG)可以是體布拉格光柵（VBG)，所述的 體布拉格光柵（VBG)是利用玻璃的光敏性，通過紫外光對玻璃的折射率進(jìn)行調(diào)制而成，而調(diào) 制的玻璃可以是光敏玻璃、石英玻璃或其他玻璃。體布拉格光柵（VBG)是在玻璃中刻入光 柵制作，而其光柵的刻入也是通過紫外光照射實(shí)現(xiàn)，由于體布拉格光柵（VBG)是通過在玻璃 中刻入光柵實(shí)現(xiàn)，光纖光柵（FBG)是通過在光纖中刻入光柵實(shí)現(xiàn)，兩者同時也可以刻入?yún)?shù) 相同的光柵。
[0023] 下面結(jié)合具體實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0024] 實(shí)施例1
[0025] 參見圖2, 一種利用光纖光柵進(jìn)行精密位移的裝置，包括一刻寫好的長均勻周期光 纖光柵1和解調(diào)儀3 (或調(diào)制解調(diào)器)，所述的光纖光柵（FBG) 1是通過在石英光纖上進(jìn)