電路配線檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及電氣檢測(cè)領(lǐng)域，特別涉及一種電路配線檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]TFT (Thin Film Transistor，薄膜晶體管)LCD (Liquid Crystal Display，液晶顯示器)陣列基板制造需要經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工藝流程，陣列基板制作過(guò)程中會(huì)形成大量的配線，例如柵線、數(shù)據(jù)線等，這些平行配線容易出現(xiàn)開路、同膜層配線間短路、不同膜層的配線間短路等不良現(xiàn)象。為了提高產(chǎn)品的良率，需要在制造過(guò)程中對(duì)陣列基板上電路進(jìn)行檢測(cè)，找出陣列基板上不良的配線并進(jìn)行維修。
[0003]現(xiàn)有檢測(cè)過(guò)程需要先應(yīng)用LDS (Line Detect Sensor，線路探測(cè)傳感器)依次對(duì)每根配線進(jìn)行檢測(cè)(通常是將LDS接在配線兩端進(jìn)行檢測(cè))，確定是否為不良的配線；在找出不良的配線后，再通過(guò)FOS(Posit1n Detect Sensor，位置探測(cè)傳感器)對(duì)存在不良的配線進(jìn)行掃描，找出配線不良的具體位置。
[0004]具體地，現(xiàn)有的PDS主要由交流電壓輸入設(shè)備、輸入端傳感器、第一輸出端傳感器、第二輸出端傳感器及電壓檢測(cè)設(shè)備組成。下面以柵線為例，對(duì)PDS工作原理進(jìn)行說(shuō)明:當(dāng)PDS工作時(shí)，將輸入端傳感器貼在待測(cè)柵線上，通過(guò)交流電壓輸入設(shè)備為輸入端傳感器提供交流電壓，交流電壓通過(guò)輸入端傳感器與該待測(cè)柵線形成的電容，傳輸?shù)皆摯郎y(cè)柵線上；第一輸出端傳感器同樣貼在該待測(cè)柵線上，且與輸入端傳感器間隔設(shè)置，如果第一輸出端傳感器和輸入端傳感器間隔之間的待測(cè)柵線連通，那么第一輸出傳感器是可以檢測(cè)到電壓的，因此，當(dāng)電壓檢測(cè)設(shè)備沒(méi)有檢測(cè)到第一輸出端傳感器存在電壓時(shí)，說(shuō)明該待測(cè)柵線在輸入端傳感器和第一輸出端傳感器間存在開路；而第二輸出端傳感器是按照數(shù)據(jù)線方向設(shè)置的，當(dāng)?shù)诙敵龆藗鞲衅髻N在一數(shù)據(jù)線上，且電壓檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)到第二輸出端傳感器存在電壓時(shí)，說(shuō)明該數(shù)據(jù)線中存在電壓，確定該待測(cè)柵線與數(shù)據(jù)線短路(不同膜層的配線間短路)。
[0005]但是，現(xiàn)有的PDS對(duì)只能檢測(cè)配線開路和不同膜層的配線間短路，無(wú)法檢測(cè)到同膜層配線間短路。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種電路配線檢測(cè)裝置。所述技術(shù)方案如下:
[0007]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種電路配線檢測(cè)裝置，所述裝置包括:
[0008]交流電壓輸入設(shè)備；
[0009]輸入端傳感器，與所述交流電壓輸入設(shè)備相連；
[0010]第一輸出端傳感器，所述第一輸出端傳感器與所述輸入端傳感器間隔設(shè)置，且所述第一輸出端傳感器與所述輸入端傳感器設(shè)置在同一直線上；
[0011]第二輸出端傳感器，所述第二輸出端傳感器設(shè)置在所述第一輸出傳感器上，且所述第二輸出端傳感器與所述第一輸出端傳感器相互垂直；
[0012]第三輸出端傳感器，所述第三輸出端傳感器與所述輸入端傳感器間隔設(shè)置，且所述第三輸出端傳感器與所述輸入端傳感器平行；
[0013]電壓檢測(cè)設(shè)備，分別與所述第一輸出端傳感器、所述第二輸出端傳感器和所述第三輸出端傳感器電連接。
[0014]在本實(shí)用新型實(shí)施例的一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述電路配線檢測(cè)裝置還包括設(shè)置在所述第三輸出端傳感器和所述電壓檢測(cè)設(shè)備之間的電壓表。
[0015]在本實(shí)用新型實(shí)施例的另一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述電壓表的量程為10V。
[0016]在本實(shí)用新型實(shí)施例的另一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述輸入端傳感器和所述第一輸出端傳感器的間距為40-60um。
[0017]在本實(shí)用新型實(shí)施例的另一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述輸入端傳感器和所述第三輸出端傳感器的距離為8-12um。
[0018]在本實(shí)用新型實(shí)施例的另一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述輸入端傳感器、所述第一輸出端傳感器、所述第二輸出端傳感器和所述第三輸出端傳感器均為電參量式傳感器。
[0019]在本實(shí)用新型實(shí)施例的另一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述交流電壓輸入設(shè)備為變壓器。
[0020]在本實(shí)用新型實(shí)施例的另一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述變壓器的輸出電壓為300V。
[0021]在本實(shí)用新型實(shí)施例的另一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述電壓檢測(cè)設(shè)備包括三個(gè)模數(shù)轉(zhuǎn)換器，以及與所述三個(gè)模數(shù)轉(zhuǎn)換器連接的處理單元，所述三個(gè)模數(shù)轉(zhuǎn)換器還分別與所述第一輸出端傳感器、所述第二輸出端傳感器和所述第三輸出端傳感器電連接。
[0022]在本實(shí)用新型實(shí)施例的另一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述電路配線檢測(cè)裝置還包括固定板，所述交流電壓輸入設(shè)備、所述輸入端傳感器、所述第一輸出端傳感器、所述第二輸出端傳感器、所述第三輸出端傳感器和所述電壓檢測(cè)設(shè)備均固定在所述固定板上。
[0023]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來(lái)的有益效果是:
[0024]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，電路配線檢測(cè)裝置在進(jìn)行配線掃描時(shí)，通過(guò)交流電壓輸入設(shè)備提供一交流電壓，輸入端傳感器與配線之間形成電容，交流電壓通過(guò)電容傳輸?shù)脚渚€上；第一輸出端傳感器與輸入端傳感器間隔設(shè)置，且第一輸出端傳感器與輸入端傳感器設(shè)置在同一直線上，因此當(dāng)?shù)谝惠敵龆藗鞲衅鳈z測(cè)不到電壓信號(hào)時(shí)，確定配線存在開路；第二輸出端傳感器設(shè)置在第一輸出傳感器上，且第二輸出端傳感器與第一輸出端傳感器相互垂直，因此當(dāng)?shù)诙敵龆藗鞲衅骺梢詸z測(cè)到電壓信號(hào)時(shí)，確定配線存在不同膜層的配線間短路；第三輸出端傳感器與輸入端傳感器間隔設(shè)置，且第三輸出端傳感器與輸入端傳感器平行，因此當(dāng)?shù)谌敵龆藗鞲衅骺梢詸z測(cè)到電壓信號(hào)時(shí)，確定配線存在同膜層配線間短路；綜上，該電路配線檢測(cè)裝置可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)開路、不同膜層的配線間短路、同膜層配線間短路的檢測(cè)。
【附圖說(shuō)明】
[0025]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0026]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種電路配線檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一種電路配線檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一種電路配線檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0030]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種電路配線檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，參見(jiàn)圖1，該裝置包括:
[0031]交流電壓輸入設(shè)備101 ;
[0032]輸入端傳感器102，與交流電壓輸入設(shè)備101相連；
[0033]第一輸出端傳感器103，第一輸出端傳感器103與輸入端傳感器102間隔設(shè)置，且第一輸出端傳感器103與輸入端傳感器102設(shè)置在同一直線上；
[0034]第二輸出端傳感器104，第二輸出端傳感器104設(shè)置在第一輸出傳感器103上，且第二輸出端傳感器104與第一輸出端傳感器103相互垂直；
[0035]第三輸出端傳感器105，第三輸出端傳感器105與輸入端傳感器102間隔設(shè)置，且第三輸出端傳感器105與輸入端傳感器102平行；
[0036]電壓檢測(cè)設(shè)備106，分別與第一輸出端傳感器103、第二輸出端傳感器104和第三輸出端傳感器105電連接。
[0037]具體測(cè)量時(shí)，先通過(guò)交流電壓輸入設(shè)備101為輸入端傳感器102提供電壓，然后沿著輸入端傳感器102所貼配線移動(dòng)該裝置，在移動(dòng)過(guò)程中:電壓檢測(cè)設(shè)備106獲取第一輸出端傳感器103、第二輸出端傳感器104和第三輸出端傳感器105的電壓值；然后根據(jù)第一輸出端傳感器103、第二輸出端傳感器104和第三輸出端傳感器105的電壓值確定不良位置。具體地，當(dāng)?shù)谝惠敵龆藗鞲衅?03的電壓值為0時(shí)，確定配線存在開路，且開路位置在輸入端傳感器102和第一輸出端傳感器103之間；當(dāng)?shù)诙敵龆藗鞲衅?04的電壓值不為0時(shí)，確定配線存在不同膜層的配線間短路，且不同膜層的配線間短路位置在輸入端傳感器102和第二輸出端傳感器104所貼配線交匯處；當(dāng)?shù)谌敵龆藗鞲衅?05的電壓值不為0時(shí)，確定配線存在同膜層配線間短路。當(dāng)存在同膜層配線間短路時(shí)，移動(dòng)該裝置，同時(shí)觀察第三輸出端傳感器105的電壓值大小，直到電壓值最大時(shí)停止移動(dòng)該裝置，此時(shí)，同膜層配線間短路位置處在第三輸出端傳感器105與輸入端傳感器102之間。
[0038]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，電路配線檢測(cè)裝置在進(jìn)行配線掃描時(shí)，通過(guò)交流電壓輸入設(shè)備提供一交流電壓，輸入端傳感器與配線之間形成電容，交流電壓通過(guò)電容傳輸?shù)脚渚€上；第一輸出端傳感器與輸入端傳感器間隔設(shè)置，且第一輸出端傳感器與輸入端傳感器設(shè)置在同一直線上，因此當(dāng)?shù)谝惠敵龆藗鞲衅鳈z測(cè)不到電壓信號(hào)時(shí)，確定配線存在開路；第二輸出端傳感器設(shè)置在第一輸出傳感器上，且第二輸出端傳感器與第一輸出端傳感器相互垂直，因此當(dāng)?shù)诙敵龆藗鞲衅骺梢詸z測(cè)到電壓信號(hào)時(shí)，確定配線存在不同膜層的配線間短路；第三輸出端傳感器與輸入端傳感器間隔設(shè)置，且第三輸出端傳感器與輸入端傳感器平行，因此當(dāng)?shù)谌敵龆藗鞲衅骺梢詸z測(cè)到電壓信號(hào)時(shí)，確定配線存在同膜層配線間短路；綜上，該電路配線檢測(cè)裝置可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)開路、不同膜層的配線間短路、同膜層配線間短路的檢測(cè)。
[0039]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種電路配線檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，參見(jiàn)圖2，裝置包括:
[0040]交流電壓輸入設(shè)備201;
[0041]輸入端傳感器202，與交