一種mems流量計(jì)流道結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及燃?xì)庥?jì)量裝置領(lǐng)域，特別是一種MEMS流量計(jì)流道結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著天然氣等清潔、高效能源的飛速發(fā)展，天然氣正在進(jìn)入千家萬(wàn)戶，越來(lái)越多的城鎮(zhèn)居民開(kāi)始使用天然氣，而天然氣用量的計(jì)量結(jié)算是天然氣使用的必需步驟，目前使用的家用燃?xì)獗砘臼腔谌莘e式原理的皮膜表，該表是輸入機(jī)械式表，靠里面的皮膜的震動(dòng)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行計(jì)量，計(jì)量精度有限，而且皮膜在天然氣里面的水、油和灰塵的影響下，會(huì)逐漸老化，因此計(jì)量精度會(huì)逐漸變差，且皮膜表受本身原理限制，不能進(jìn)行小型化。
[0003]除機(jī)械傳動(dòng)計(jì)量的膜式燃?xì)獗碇?，目前市?chǎng)上還出現(xiàn)了一種以超聲波計(jì)量的電子式燃?xì)獗恚捎贸暡夹g(shù)實(shí)現(xiàn)燃?xì)獗淼娜細(xì)庥?jì)量，它沒(méi)有可動(dòng)的機(jī)械部件，可長(zhǎng)期保持高精度；。但是，該表的超聲波流量計(jì)的測(cè)量線路比一般流量計(jì)復(fù)雜，須有完善的測(cè)量線路才能實(shí)現(xiàn)，設(shè)計(jì)難度較大。而實(shí)際使用中，被測(cè)流體中的污染物(如被測(cè)燃?xì)庵械墓腆w顆粒、水分和油氣)會(huì)慢慢沉淀在測(cè)量流道本體下部，這就導(dǎo)致設(shè)置在測(cè)量流道本體下部的換能器發(fā)射口被堵塞，這無(wú)疑會(huì)影響到超聲波換能器的計(jì)量精度和計(jì)量穩(wěn)定性。
[0004]而目前性價(jià)比較好的MEMS流量燃?xì)獗恚紱](méi)有防止燃?xì)庵泻械娜缢难趸F，硫化物等粉塵雜質(zhì)附著于測(cè)量部件上的防塵結(jié)構(gòu)，很容易因粉塵雜質(zhì)的附著而影響燃?xì)獗淼挠?jì)量精度，嚴(yán)重時(shí)甚至?xí)?dǎo)致測(cè)量部件損壞，降低燃?xì)獗淼氖褂脡勖?br>【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于針對(duì)現(xiàn)有的用于燃?xì)鉁y(cè)量的MEMS流量計(jì)大多沒(méi)有防污染的結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致燃?xì)獗砥骷讚p壞的問(wèn)題，提供一種具有防污染功能的流量計(jì)流道結(jié)構(gòu)。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:
[0007]—種MEMS流量計(jì)流道結(jié)構(gòu)，包括燃?xì)獗須んw、進(jìn)氣管、流量檢測(cè)管以及出氣管；所述進(jìn)氣管與燃?xì)獗須んw的進(jìn)口連接，所述出氣管與所述燃?xì)獗須んw的出氣口連接，所述流量檢測(cè)管一端與所述出氣管連接并豎直懸空在殼體中；所述流量檢測(cè)管的自由端設(shè)置有側(cè)向開(kāi)口的整流部，同時(shí)，所述流量檢測(cè)管中設(shè)置有MEMS燃?xì)饬髁總鞲衅?，其用于測(cè)量燃?xì)饬髁俊?br>[0008]進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣管的出口為豎直設(shè)置或水平設(shè)置，其高度高于或低于所述流量檢測(cè)管的整流部。
[0009]進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣管上設(shè)置有開(kāi)關(guān)閥。
[0010]進(jìn)一步的，燃?xì)獗須んw為氣密性殼體，同時(shí)所述出氣管與燃?xì)獗須んw的出氣口之間設(shè)置有密封圈，所述進(jìn)氣管與燃?xì)獗須んw的進(jìn)氣口之間設(shè)置有密封圈。
[0011]進(jìn)一步的，所述流量檢測(cè)管的主氣道中設(shè)置有用于分流的分流裝置。
[0012]進(jìn)一步的，所述分流裝置為軸向設(shè)有多個(gè)氣流通道的圓柱體，該圓柱體通過(guò)螺釘固定或粘結(jié)固定在流量檢測(cè)管的主氣道圓管內(nèi)。
[0013]進(jìn)一步的，所述分流裝置為軸向設(shè)置的多個(gè)氣流通道呈同心圓形狀貫通圓柱體。
[0014]進(jìn)一步的，所述流量檢測(cè)管中還集成有無(wú)線通信模塊，其用于將MEMS流量計(jì)的計(jì)量結(jié)果通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)傳出。
[0015]進(jìn)一步的，所述整流部的開(kāi)口處均勻設(shè)置有向整流部軸心傾斜的擋板。
[0016]綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0017]由于采用了上述方案，將燃?xì)獗須んw設(shè)為具有氣密性容腔的殼體，輸氣管分為獨(dú)立的進(jìn)氣管，以及連接在一起的流量檢測(cè)管和出氣管，流量檢測(cè)管上端與出氣管連接并垂直懸空在殼體中，使進(jìn)入氣密性容腔殼體的燃?xì)獠恢苯恿魅肓髁繖z測(cè)管，而是先流入截面積大于進(jìn)氣管的燃?xì)獗須んw內(nèi)，氣流截面積顯著增大，流速大幅度減緩，待氣體充滿容腔后才流入流量檢測(cè)管，所述流量檢測(cè)管垂直設(shè)置從而使得一些較大的污染物(如粉塵)不易由下向上進(jìn)入，這樣可以讓燃?xì)庵泻械奈⒘糠蹓m等雜質(zhì)，因流速降低而沉于腔底，使進(jìn)入流量檢測(cè)管的燃?xì)饧儩嵍忍岣?，從而避免了燃?xì)庵械姆蹓m等雜質(zhì)附著于測(cè)量部件，影響燃?xì)獗淼挠?jì)量精度和使用壽命。所述MEMS式流量計(jì)量計(jì)采用具有信號(hào)傳感模塊的熱式質(zhì)量流量傳感器，這種具有信號(hào)傳感模塊的熱式質(zhì)量流量傳感器能夠通過(guò)測(cè)量燃?xì)獾馁|(zhì)量流速而獲得燃?xì)獾馁|(zhì)量流量。與膜式然氣表的計(jì)量結(jié)構(gòu)相比，該計(jì)量方式具有量程比寬，計(jì)量準(zhǔn)確度高，直接電信號(hào)輸出等獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)；與以超聲波計(jì)量的電子式燃?xì)獗硐啾?，這種熱式質(zhì)量流量傳感器得到的是質(zhì)量流量，而非現(xiàn)有超聲波計(jì)量的體積流量，使用戶與供氣公司之間得到更公平的計(jì)量。
[0018]此外，由于在居民家庭應(yīng)用場(chǎng)合，燃?xì)馔ㄟ^(guò)復(fù)雜龐大的燃?xì)夤芫W(wǎng)后，其流向已經(jīng)紊亂無(wú)章，因熱式質(zhì)量流量傳感器對(duì)氣流的方向性和穩(wěn)定性要求高，對(duì)管道中燃?xì)獾奈闪鞣浅Ｃ舾?，所以本發(fā)明在流量檢測(cè)管的主氣道下端下端設(shè)置有側(cè)向開(kāi)口的整流部，使紊亂的氣流在通過(guò)用于調(diào)整紊流的裝置時(shí)得到調(diào)整，燃?xì)庑纬捎行虻牧鲃?dòng)的方向和穩(wěn)定的流動(dòng)狀態(tài)，有利于熱式質(zhì)量流量傳感器的信息采集，同時(shí)，一些實(shí)施例中，該整流部設(shè)置有向軸心傾斜的擋板，可以進(jìn)一步的起到阻擋部分粉塵雜質(zhì)進(jìn)入流量檢測(cè)管的作用，進(jìn)一步提高被檢測(cè)氣流的純潔度。
[0019]本發(fā)明電子式質(zhì)量流量燃?xì)庥?jì)量表的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，利于制造和裝配，并且具有瞬時(shí)流量信號(hào)輸出功能，利用瞬時(shí)流量信號(hào)，可以監(jiān)控燃?xì)庑孤痘蛘吖艿榔屏杨A(yù)警，有效提高燃?xì)庀到y(tǒng)的安全性。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例1中流量檢測(cè)管示意圖。
[0025]圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例2中流量檢測(cè)管示意圖。
[0026]圖7是是本實(shí)用新型流量檢測(cè)管中分流裝置的截面圖示例。
[0027]圖中標(biāo)記:1_燃?xì)獗須んw，2-進(jìn)氣管，