激光檢測(cè)儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種激光檢測(cè)儀，特別是涉及一種可對(duì)微米級(jí)尺寸的濾光玻璃缺陷進(jìn)行快速直觀檢測(cè)的激光檢測(cè)儀。
【背景技術(shù)】
[0002]光學(xué)玻璃是光學(xué)儀器系統(tǒng)中的重要元件，其性能對(duì)整個(gè)系統(tǒng)有著非常重要的影響。由于光學(xué)玻璃在熔煉的過(guò)程中內(nèi)部產(chǎn)生的氣泡、結(jié)石等缺陷對(duì)光學(xué)系統(tǒng)中的光束產(chǎn)生吸收、散射和聚焦等不同程度的影響，而現(xiàn)在國(guó)內(nèi)外相關(guān)報(bào)告僅僅依靠聚光燈和工程顯微鏡等原始檢測(cè)手段進(jìn)行檢測(cè)，聚光燈光束質(zhì)量較差，發(fā)散角度偏大屬于復(fù)合光，工程顯微鏡檢測(cè)的效率低，不能夠滿足生產(chǎn)在線檢測(cè)。
[0003]特別是針對(duì)只對(duì)400-550nm波段的光波透過(guò)率比較好的濾光玻璃，其光譜透過(guò)率僅能達(dá)到90%，因此聚光燈、工程顯微鏡等原始手段不能夠滿足目前對(duì)濾光玻璃缺陷的檢測(cè)，也缺乏相關(guān)檢測(cè)手段，不能對(duì)濾光玻璃產(chǎn)品內(nèi)部產(chǎn)生的氣泡、結(jié)石等缺陷進(jìn)行檢測(cè)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種激光缺陷檢測(cè)儀，可對(duì)微米級(jí)尺寸的濾光玻璃缺陷進(jìn)行快速直觀的檢測(cè)。
[0005]本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:激光檢測(cè)儀，按光路依次包括檢測(cè)光源、光束變倍擴(kuò)束鏡裝置、工作臺(tái)和圖像采集系統(tǒng)。
[0006]進(jìn)一步的，在所述圖像采集系統(tǒng)后還設(shè)置有計(jì)算機(jī)，所述計(jì)算機(jī)控制圖像采集系統(tǒng)對(duì)設(shè)置在工作臺(tái)上的待測(cè)樣品中的缺陷進(jìn)行采集與處理。
[0007]進(jìn)一步的，所述檢測(cè)光源采用515nm綠光固體激光器。
[0008]進(jìn)一步的，所述光束變倍擴(kuò)束鏡裝置采用四級(jí)設(shè)計(jì)，擴(kuò)束倍數(shù)2-8倍連續(xù)可變。
[0009]進(jìn)一步的，所述工作臺(tái)采用手動(dòng)二維調(diào)整臺(tái)。
[0010]進(jìn)一步的，所述圖像采集系統(tǒng)采用高清CCD相機(jī)，高清CCD相機(jī)把缺陷點(diǎn)亮并放大呈現(xiàn)在計(jì)算機(jī)上。
[0011]本實(shí)用新型的有益效果是:針對(duì)濾光玻璃的光譜特性，對(duì)大功率固體激光器光源進(jìn)行擴(kuò)束處理，CCD高清相機(jī)把缺陷點(diǎn)亮并放大呈現(xiàn)在計(jì)算機(jī)上，靈活便捷地實(shí)現(xiàn)待測(cè)濾光玻璃中的缺陷快速檢測(cè)以及檢測(cè)效果的比較，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微米級(jí)尺寸的濾光玻璃內(nèi)部缺陷進(jìn)行檢測(cè)，為光學(xué)玻璃熔煉生產(chǎn)以及質(zhì)量控制提供支持，實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，分辨率效果好。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是本實(shí)用新型的激光檢測(cè)儀的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖1所示，本實(shí)用新型的高能激光檢測(cè)儀按光路依次包括檢測(cè)光源1、光束變倍擴(kuò)束鏡裝置2、工作臺(tái)3、圖像采集系統(tǒng)4和計(jì)算機(jī)6，其中，計(jì)算機(jī)6控制圖像采集系統(tǒng)4對(duì)設(shè)置在工作臺(tái)3上的待測(cè)樣品7中的缺陷進(jìn)行采集與處理。本實(shí)用新型的光束變倍擴(kuò)束鏡裝置2可對(duì)檢測(cè)光源I發(fā)出的2_光斑進(jìn)行擴(kuò)束整形，最大可以到16_。
[0014]檢測(cè)光源I可采用515nm綠光固體激光器；光束變倍擴(kuò)束鏡裝置2可采用四級(jí)設(shè)計(jì)，擴(kuò)束倍數(shù)2-8倍連續(xù)可變，對(duì)大功率固體激光器光源進(jìn)行擴(kuò)束處理；工作臺(tái)3可采用手動(dòng)二維調(diào)整臺(tái)，可以水平、豎直精密調(diào)節(jié)，轉(zhuǎn)輪上標(biāo)有刻度，可以記錄移動(dòng)距離；圖像采集系統(tǒng)4可采用高清CCD工業(yè)相機(jī)，CCD高清相機(jī)把缺陷點(diǎn)亮并放大呈現(xiàn)在計(jì)算機(jī)6上；計(jì)算機(jī)6可采用連接圖像采集系統(tǒng)，通過(guò)PC圖像采集軟件準(zhǔn)確快速地對(duì)待測(cè)樣品7中的缺陷進(jìn)行采集與處理。
[0015]工作時(shí)，首先將檢測(cè)光源I的開關(guān)打開，預(yù)熱10分鐘，待光斑穩(wěn)定后，將待測(cè)樣品7放在工作臺(tái)3上。調(diào)節(jié)工作臺(tái)3的豎直方向旋鈕，直至待測(cè)樣品7的端面與工作臺(tái)3的端面平行，讓檢測(cè)光源I垂直入射待測(cè)樣品7為止，并鎖緊旋桿上的鎖緊裝置，接通圖像采集系統(tǒng)4的電源，打開計(jì)算機(jī)6，調(diào)節(jié)工作臺(tái)3的水平方向旋鈕，對(duì)待測(cè)樣品7進(jìn)行掃描和檢測(cè)。
[0016]采用本實(shí)用新型的高能激光缺陷檢測(cè)儀，可對(duì)微米級(jí)尺寸的待測(cè)濾光玻璃的氣泡和結(jié)石進(jìn)行檢測(cè)，具有快速直觀的特點(diǎn)，適合生產(chǎn)在線檢測(cè)，結(jié)構(gòu)緊湊，分辨效果好。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.激光檢測(cè)儀，其特征在于:按光路依次包括檢測(cè)光源(I)、光束變倍擴(kuò)束鏡裝置(2)、工作臺(tái)⑶和圖像采集系統(tǒng)(4)。2.如權(quán)利要求1所述的激光檢測(cè)儀，其特征在于:在所述圖像采集系統(tǒng)(4)后還設(shè)置有計(jì)算機(jī)￠)，所述計(jì)算機(jī)(6)控制圖像采集系統(tǒng)(4)對(duì)設(shè)置在工作臺(tái)(3)上的待測(cè)樣品(7)中的缺陷進(jìn)行采集與處理。3.如權(quán)利要求1所述的激光檢測(cè)儀，其特征在于:所述檢測(cè)光源(I)采用515nm綠光固體激光器。4.如權(quán)利要求1所述的激光檢測(cè)儀，其特征在于:所述光束變倍擴(kuò)束鏡裝置(2)采用四級(jí)設(shè)計(jì)，擴(kuò)束倍數(shù)2-8倍連續(xù)可變。5.如權(quán)利要求1所述的激光檢測(cè)儀，其特征在于:所述工作臺(tái)(3)采用手動(dòng)二維調(diào)整臺(tái)。6.如權(quán)利要求1所述的激光檢測(cè)儀，其特征在于:所述圖像采集系統(tǒng)(4)采用高清CCD相機(jī)，CCD高清相機(jī)把缺陷點(diǎn)亮并放大呈現(xiàn)在計(jì)算機(jī)(6)上。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種激光缺陷檢測(cè)儀，可對(duì)微米級(jí)尺寸的濾光玻璃缺陷進(jìn)行快速直觀的檢測(cè)。激光檢測(cè)儀，按光路依次包括檢測(cè)光源、光束變倍擴(kuò)束鏡裝置、工作臺(tái)和圖像采集系統(tǒng)。本實(shí)用新型針對(duì)濾光玻璃的光譜特性，對(duì)大功率固體激光器光源進(jìn)行擴(kuò)束處理，CCD高清相機(jī)把缺陷點(diǎn)亮并放大呈現(xiàn)在計(jì)算機(jī)上，靈活便捷地實(shí)現(xiàn)待測(cè)濾光玻璃中的缺陷快速檢測(cè)以及檢測(cè)效果的比較，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微米級(jí)尺寸的濾光玻璃內(nèi)部缺陷進(jìn)行檢測(cè)，為光學(xué)玻璃熔煉生產(chǎn)以及質(zhì)量控制提供支持，實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，分辨率效果好。
【IPC分類】G01N21/88
【公開號(hào)】CN204789358
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520287932
【發(fā)明人】馬志遠(yuǎn), 馬伯濤, 吳志強(qiáng), 吳德林, 周佺佺, 裴春艷, 張祖義
【申請(qǐng)人】成都光明光電股份有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請(qǐng)日】2015年5月6日