微動機構、動鏡干涉儀和采用動鏡干涉儀的紅外光譜儀的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了微動機構、動鏡干涉儀和采用動鏡干涉儀的紅外光譜儀，其中，該微動機構包括主動機構和從動機構,該主動機構包括：主動彈性簧片組、主動動子、斜塊和主動定子；該從動機構包括：從動彈性簧片組、鏡座、從動塊、從動定子以及動鏡模塊；主動彈性簧片組的活動端處設置有所述主動動子和斜塊，所述主動彈性簧片組的固定端通過所述主動定子固定；所述從動彈性簧片組的活動端處設置有鏡座，所述從動塊和所述動鏡模塊固定在所述鏡座處，所述從動彈性簧片組的固定端通過所述從動定子固定，使所述從動彈性簧片組與主動彈性簧片組在未受外力時相互垂直，且使所述從動塊與所述斜塊可動地接觸。具有體積小、重量輕、成本低、性能穩(wěn)定的多種優(yōu)點。
【專利說明】
微動機構、動鏡干涉儀和采用動鏡干涉儀的紅外光譜儀
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及紅外光譜測量技術領域，尤其涉及一種紅外光譜儀上使用的微動機構、包括該微動機構的動鏡干涉儀和包括該動鏡干涉儀的紅外光譜儀。
【背景技術】
[0002]紅外光譜是物質的指紋光譜區(qū)，因此是化合物的結構鑒定的重要手段，通過譜圖與分子結構的關系以及與標準譜圖比較，可以確定化合物的結構，如推測是否存在某些官能團、順反異構、取代基的位置、氫鍵的結合以及絡合物的形成等。而傅里葉變換紅外光譜儀是實現(xiàn)紅外光譜探測的最重要的一種儀器，傅立葉紅外光譜儀能夠對任何形態(tài)的樣品(固體、液體或氣體樣品)進行分析，能夠對單一組分的純凈物或多種組分的混合物，進行快速、準確的定性與定量分析，被廣泛的用在環(huán)境監(jiān)測、生物化工、醫(yī)藥、食品、珠寶鑒定等領域。
[0003]傅立葉變換紅外光譜儀是利用邁克耳遜干涉儀搭建的光譜儀，具有掃描速度快、波長精度高、分辨率高、靈敏度高等優(yōu)點，傅立葉變換紅外光譜儀在實驗室的應用已經相當成功，能夠與各種各樣的附件以及其它測量儀器聯(lián)合以實現(xiàn)強大的分析功能。傅里葉變換紅外光譜儀主要由紅外光源，干涉儀，參考激光與探測器等模塊構成;其中，干涉儀是儀器的核心模塊，儀器的性能主要由干涉儀決定。干涉儀中的光學元件與動鏡掃描系統(tǒng)容易受到外界潮濕、電磁干擾、溫度變化、震動等環(huán)境因素的影響而產生光路偏移、形變、不穩(wěn)定等問題，使干涉儀的干涉效率降低，從而影響儀器的性能指標;在保證儀器性能的同時，還應控制儀器的體積與重量。這就是干涉儀及傅里葉變換紅外光譜儀所面臨的主要的技術問題，需要良好的光機電設計來克服外界對于干涉儀的影響，在提升儀器性能的同時減小儀器的體積與重量;其中，干涉儀的光學結構與動鏡掃描系統(tǒng)的機械結構的設計是儀器的核心問題。
[0004]可見，目前的紅外光譜儀易受外部環(huán)境影響，重量和體積大，成本高。

【發(fā)明內容】

[0005]鑒于上述現(xiàn)有技術的問題，本發(fā)明旨在提供一種微動機構，利用該微動機構實現(xiàn)動鏡掃描的干涉儀以及采用該干涉儀的紅外光譜儀，能在保證光譜儀穩(wěn)定、精密的基礎上，降低成本并減小設備的體積和重量，同時實現(xiàn)干涉儀的高效掃描。
[0006]為實現(xiàn)本發(fā)明的目的，本發(fā)明提供了一種微動機構，所述微動機構包括:主動機構和從動機構，其中，
[0007]所述主動機構包括:主動彈性簧片組1001、主動動子1002、斜塊1003和主動定子1004；
[0008]所述從動機構包括:從動彈性簧片組1101、鏡座1102、從動塊1103、從動定子1104以及動鏡模塊；
[0009]所述主動彈性簧片組1001的活動端處設置有所述主動動子1002和斜塊1003，所述主動彈性簧片組1001的固定端通過所述主動定子1004固定；
[0010]從動彈性簧片組1101的活動端處設置有所述鏡座1102，所述從動塊1103和所述動鏡模塊固定在所述鏡座1102處，所述從動彈性簧片組1101的固定端通過所述從動定子1104固定，使所述從動彈性簧片組1101與主動彈性簧片組1001在未受外力時相互垂直，且使所述從動塊1103與所述斜塊1003可動地接觸；
[0011]具體的，在本發(fā)明的一種實施例中，所述動鏡模塊包括:反射鏡組1105以及反射鏡固定裝置1106;其中，所述反射鏡組1105包括兩塊反射鏡，上述反射鏡的底部固定在所述鏡座1102上，上述反射鏡的頂部由所述反射鏡固定裝置1106固定，兩塊反射鏡的背面相對，使沿大體垂直于所述從動彈性簧片組1101的方向入射所述反射鏡的光線沿與入射方向夾角為180°的方向出射；
[0012]在本發(fā)明的另一種實施例中，所述動鏡模塊包括:一體化反射鏡組;其中，
[0013]所述一體化反射鏡組為具有兩個位于對稱位置的反射面的一體化雙面反射鏡，使沿大體垂直于從動彈性簧片組1101的方向入射反射鏡的光線沿與入射方向夾角為180°的方向出射；
[0014]進一步的，在本發(fā)明的一種實施例中，所述動鏡模塊的反射鏡為空心立體角鏡，所述空心立體角鏡由三面相互垂直的平面鏡構成；
[0015]進一步的，在本發(fā)明的實施例中，所述主動彈性簧片組1001和從動彈性簧片組1101分別包括一個或多個彈性簧片。
[0016]本發(fā)明的一種實施例中所采用的空心立體角鏡，即使其反射面之間有微小的垂直度誤差，而且當微動機構的運動過程中立體角鏡沿軸向發(fā)生較小的擺動時，反射光的方向不會發(fā)生改變，仍能夠嚴格地按與入射光線平行的方向出射，這種方案對掃描機構的運動誤差進行了補償，可以顯著提高光學系統(tǒng)的穩(wěn)定性和光學性能。
[0017]本發(fā)明提供的微動機構，具有主動和從動兩組穩(wěn)定結構，該機構間通過相互作用力使本發(fā)明的微動機構在掃描運動的任何位置都具有穩(wěn)定的結構支持和力學平衡，即使當微動機構處于沒有外力作用的平衡位置時，仍然保持良好的穩(wěn)定性與抗震性;此外，掃描式干涉儀的結構原理使得光學系統(tǒng)在掃描裝置處于平衡位置(掃描零點位置)附近時，往往對應著光譜信號的強信號區(qū)，本發(fā)明的微動機構實現(xiàn)了精密、抗震的動鏡掃描系統(tǒng)，使得采用了本發(fā)明的微動機構的動鏡干涉儀以及光譜儀具有更好的穩(wěn)定性與重復性，其性能得到了有效的保證;同時在本發(fā)明的一個實施例中，利用兩個空心立體角鏡構建的光學結構，從光學原理上提高了儀器穩(wěn)定性，實現(xiàn)了對稱且高效的光學結構，可以使采用該微動機構的干涉儀更加穩(wěn)定、高效。
[0018]本發(fā)明實施例提供了一種包括上述微動機構的動鏡干涉儀，包括:分束器2001、反射鏡組2002和上述微動機構2003，
[0019]所述反射鏡組2002包括第一反射鏡和第二反射鏡，該第一反射鏡和第二反射鏡分別設置在所述分束器2001的反射光路和透射光路上并以所述分束器2001為對稱中心對稱，所述微動機構2003設置在第一反射鏡和第二反射鏡的反射光路上，所述微動機構2003的從動彈性簧片組方向平行于所述分束器2001的反射面，且該微動機構2003的動鏡模塊處于所述第一、第二反射鏡的反射光束光路上，當所述微動機構2003未受外力作用時，其動鏡模塊與所述第一、第二反射鏡的中心距離相等。
[0020]進一步的，所述動鏡干涉儀還包括:光源2101、準直鏡2102和干涉儀出射鏡2103;其中，
[0021]所述準直鏡2102使由所述光源2101入射所述動鏡干涉儀的光變?yōu)闇势叫泄猓撈叫泄饨涍^所述分束器、反射鏡組以及動鏡模塊出射，獲得干涉光，所述干涉光經過所述干涉儀出射鏡2103反射，獲得干涉儀出射光。
[0022]進一步的，所述動鏡干涉儀還包括:參考激光器2201、激光反射模塊2202和激光探測器2203;其中，
[0023]由所述參考激光器2201出射的激光經所述激光反射模塊2202反射沿所述干涉光的反方向入射干涉儀，最后沿所述準直鏡的出射光的反方向出射，并由所述激光探測器2203接收。
[0024]在本發(fā)明的實施例中，相對分束器對稱設置的反射鏡固定安裝在干涉儀系統(tǒng)中，在保證干涉儀的穩(wěn)定性和準直性同時，還具有很高的掃描效率;而且，本發(fā)明中采用的微動機構和激光系統(tǒng)，極大地簡化了儀器結構，使設備更加緊湊且減輕了儀器重量，在減小了儀器體積的同時還降低了儀器成本。
[0025]本發(fā)明實施例提供了一種包括上述動鏡干涉儀的紅外光譜儀，包括:該動鏡干涉儀、音圈電機3001和外圍固定結構3002;其中，
[0026]音圈電機3001固定在外圍固定結構3002上，其固定方向使音圈電機3001的運動端的運動方向垂直于微動機構的主動彈性簧片組方向，音圈電機3001的運動端與干涉儀的微動機構的主動動子接合；
[0027]本發(fā)明技術方案的有益效果在于:微動機構具有主動和被動彈性簧片組，通過兩組簧片組之間的相互作用力，保證微動機構具有一個力學平衡位置；同時，使用彈性簧片的微動機構能夠產生精確的微位移，同時可以快速地回復到平衡位置，從而保證本紅外光譜儀的動鏡掃描機構具有很強的抗震性，同時還能進行精密、快速的微位移掃描。
[0028]同時，本發(fā)明的實施例中采用角鏡作為掃描鏡，當其反射面之間有微小的垂直度誤差及立體角鏡沿軸方向發(fā)生較小的擺動時，反射光的方向不會發(fā)生改變，仍能夠嚴格地按與入射光線平行的方向射出，實現(xiàn)了對反射鏡誤差的補償，保證了干涉儀的性能;這種光學結構設計簡化了干涉儀的結構，從而使儀器結構更加緊湊，不僅減小了干涉儀的體積，降低儀器成本，同時還提高了儀器的穩(wěn)定性。
[0029]通過以上措施，采用本發(fā)明提供的動鏡干涉儀的紅外光譜儀具有緊湊、輕型的光學結構以及抗震、穩(wěn)定的掃描機構，不僅保證了穩(wěn)定性和準直性，還極大地簡化了儀器結構，具有體積小、重量輕、成本低、性能穩(wěn)定的多種優(yōu)點。
【附圖說明】
[0030]圖1為本發(fā)明實施例提供的微動機構的結構示意圖；
[0031]圖2為本發(fā)明實施例提供的采用微動機構的動鏡干涉儀的結構示意圖；
[0032]圖3為本發(fā)明實施例提供的采用動鏡干涉儀的紅外光譜儀的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0033]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例和技術方案，下面將結合附圖及實施例對本發(fā)明的技術方案進行更詳細的說明，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部實施例?；诒景l(fā)明的實施例，本領域普通技術人員在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0034]為便于說明本發(fā)明的技術方案，在實施例1中，微動機構的主動和被動彈性簧片組都分別具有兩個彈性簧片，微動機構的動鏡模塊由兩塊分離的立體角鏡以及穩(wěn)定立體角鏡頂部的反射鏡固定裝置構成。然而，微動機構的主動和被動彈性簧片組包含的彈性簧片數(shù)量并不限于兩個，也可以包含一個或多個彈性簧片，而且主動彈性簧片組與被動彈性簧片組可以包含不同數(shù)量的彈性簧片;微動機構的動鏡模塊并不限于實施例1中所述的構成方式，動鏡模塊也可以由一體化的雙立體角鏡組構成，或者由其他形式的反射鏡組構成，如由棱鏡組等構成。
[0035]實施例1
[0036]圖1為本發(fā)明實施例提供的微動機構的結構示意圖。如圖1所示，該微動機構包括主動機構和從動機構。
[0037]如圖1所示，所述主動機構包括:主動彈性簧片組1001、主動動子1002、斜塊1003和主動定子1004;所述從動機構包括:從動彈性簧片組1101、鏡座1102、從動塊1103、從動定子1104以及動鏡模塊。
[0038]見圖1，所述主動彈性簧片組1001的活動端處設置有所述主動動子1002和斜塊1003，所述主動彈性簧片組1001的固定端通過所述主動定子1004固定。
[0039]由圖1可見，從動彈性簧片組1101的活動端處設置有所述鏡座1102，所述從動塊1103和所述動鏡模塊固定在所述鏡座1102處，所述從動彈性簧片組1101的固定端通過所述從動定子1104固定，使所述從動彈性簧片組1101與主動彈性簧片組1001在未受外力即處于平衡位置時相互垂直，且使所述從動塊1103與所述斜塊1003可動地接觸。
[0040]當主動動子未受外力推動時，如圖1所示，主動彈性簧片組1001處于平衡位置，而當主動動子1002受垂直于主動彈性簧片組1001方向的外力推動時，主動彈性簧片組1001的活動端沿大體垂直于所述主動彈性簧片組1001的方向移動；當主動彈性簧片組1001的活動端發(fā)生移動時，其斜塊1003推動從動彈性簧片組1101的從動塊1103使從動彈性簧片組1101的活動端沿大體垂直于所述從動彈性簧片組1101的方向移動，從而使動鏡模塊沿大體垂直于所述從動彈性簧片組1101的方向移動。
[0041 ]進一步的，所述動鏡模塊包括反射鏡組1105以及反射鏡固定裝置1106，反射鏡組1105包括兩塊空心立體角鏡，所述空心立體角鏡由三面相互垂直的平面鏡構成，上述空心立體角鏡的底部固定在所述鏡座1102上，上述空心立體角鏡的頂部由所述反射鏡固定裝置1106固定，兩塊立體角鏡的背面相對，使沿大體垂直于從動彈性簧片組1101的方向入射立體角鏡的光線沿與入射方向成180°的方向即沿入射方向的反方向出射。
[0042]進一步的，所述主動彈性簧片組1001包括兩個彈性簧片，所述從動彈性簧片組1101包括兩個彈性簧片。
[0043]本發(fā)明的實施例1所采用的空心立體角鏡，即使其反射面之間有微小的垂直度誤差，而且當微動機構的運動過程中立體角鏡沿軸向發(fā)生較小的擺動時，反射光的方向不會發(fā)生改變，仍能夠嚴格地按與入射光線平行的方向出射，這種方案對掃描機構的運動誤差進行了補償，可以顯著提高光學系統(tǒng)的穩(wěn)定性和光學性能。
[0044]在本發(fā)明的另一個實施例中，所述主動彈性簧片組1001包括三個彈性簧片，所述從動彈性簧片組1101包括四個彈性簧片。動鏡模塊包括一體化反射鏡組，該一體化反射鏡組為一體化雙面反射鏡，其具有兩個位于對稱位置的反射面，使沿大體垂直于從動彈性簧片組1101的方向入射立體角鏡的光線沿與入射方向成180°的方向即沿入射方向的反方向出射。
[0045]在本發(fā)明的其他實施例中，所述主動彈性簧片組1001和所述從動彈性簧片組1101分別可包括其他數(shù)量的彈性簧片，優(yōu)選包括兩個彈性簧片。動鏡模塊包括一體化的雙反射面鏡或者分立的兩個反射鏡，所述反射鏡包括立體角鏡或者棱鏡等，優(yōu)選采用空心立體角
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[0046]本發(fā)明提供的微動機構，具有主動和從動兩組穩(wěn)定結構，該機構間通過相互作用力使本發(fā)明的微動機構在掃描運動的任何位置都具有穩(wěn)定的機構支持和力學平衡，即使當微動機構處于沒有外力作用的平衡位置時，仍然保持良好的穩(wěn)定性與抗震性，而掃描式干涉儀的結構原理使得光學系統(tǒng)在掃描裝置處于平衡位置(掃描零點位置)附近時，往往對應著光譜信號的強信號區(qū)，這使得采用了本發(fā)明的微動機構的動鏡干涉儀以及光譜儀不僅具有更好的穩(wěn)定性，其性能也得到了有效地保證，實現(xiàn)了精密、抗震的動鏡掃描機構；同時在本發(fā)明的一個實施例中，利用兩個空心立體角鏡構建的光學結構，從光學原理上提高了儀器穩(wěn)定性，實現(xiàn)了對稱且高效的光學結構，可以使采用該微動機構的干涉儀更加穩(wěn)定，高效。
[0047]圖2為本發(fā)明實施例提供的包括上述微動機構的動鏡干涉儀的結構示意圖。
[0048]如圖2所示，該動鏡干涉儀包括分束器2001、反射鏡組2002和上述微動機構2003。
[0049]如圖2所示，反射鏡組2002包括第一反射鏡和第二反射鏡，該第一反射鏡和第二反射鏡設置在所述分束器2001的反射光路和透射光路上且以所述分束器2001為對稱中心對稱，所述微動機構2003設置在第一反射鏡和第二反射鏡的反射光路上，該微動機構2003的從動彈性簧片組方向平行于所述分束器2001的反射面，且該微動機構2003的動鏡模塊處于所述第一、第二反射鏡的反射光束光路上，當微動機構2003未受外力作用時，其動鏡模塊與第一、第二反射鏡的中心距離相等。
[0050]由此，微動機構2003的動鏡模塊使經過第一、第二反射鏡反射的光沿與入射方向的反方向原路返回，當微動機構進行掃描時，位于微動機構2003的從動彈性簧片組的活動端的反射鏡組可沿垂直于分束器2001反射面的方向往復運動。
[0051 ]進一步的，本發(fā)明提供的動鏡干涉儀還包括:光源2101、準直鏡2102和干涉儀出射鏡2103。
[0052]所述準直鏡2102將由光源2101入射所述動鏡干涉儀的光變?yōu)闇势叫泄猓鲜銎叫泄饨涍^分束器、反射鏡組以及動鏡模塊出射，獲得干涉光，該干涉光經過所述干涉儀出射鏡2103反射，獲得干涉儀出射光。
[0053]進一步的，本發(fā)明提供的動鏡干涉儀還包括參考激光器2201、激光反射模塊2202和激光探測器2203。
[0054]由參考激光器2201出射的激光經激光反射模塊2202反射沿所述干涉光的反方向入射干涉儀，經過干涉儀最后沿準直鏡出射光的反方向出射，并由激光探測器2203接收。
[0055]在本發(fā)明的一個實施例中，所述準直鏡2102為拋物面鏡，所述光源2101為紅外光源，該紅外光源的出射光經過該拋物面鏡的反射進入干涉儀系統(tǒng)。
[0056]在本發(fā)明的實施例中，相對分束器對稱設置的反射鏡固定安裝在干涉儀系統(tǒng)中，在保證干涉儀的穩(wěn)定性和準直性同時，還具有很高的掃描效率;而且，本發(fā)明中采用的動鏡掃描機構以及激光系統(tǒng)，極大地簡化了儀器結構，使儀器結構更加緊湊、減輕了儀器重量，減小了儀器體積同時降低了儀器成本。
[0057]圖3為本發(fā)明實施例提供的包括上述動鏡干涉儀的紅外光譜儀的結構示意圖。如圖3所示，該紅外光譜儀包括該動鏡干涉儀、音圈電機3001和外圍固定結構3002。
[0058]音圈電機3001固定在外圍固定結構3002上，音圈電機3001的運動端的運動方向垂直于微動機構的主動彈性簧片組方向，音圈電機3001的運動端與干涉儀的微動機構的主動動子接合。
[0059]由此當音圈電機3001運動端作直線往復運動時，帶動微動機構的主動動子運動，最終實現(xiàn)動鏡模塊的往復掃描。
[0060]通過采用本發(fā)明提供的動鏡干涉儀，本發(fā)明的紅外光譜儀具有緊湊、輕型的光學結構，抗震、穩(wěn)定的掃描機構，具有體積小、重量輕、成本低、性能穩(wěn)定的多種優(yōu)點。
[0061]再次說明，以上所述僅為本發(fā)明的實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，例如各實施例之間技術特征的相互結合，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種微動機構，其包括主動機構和從動機構，其中， 所述主動機構包括:主動彈性簧片組(1001)、主動動子(1002)、斜塊(1003)和主動定子(1004)； 所述從動機構包括:從動彈性簧片組(1101)、鏡座(1102)、從動塊(1103)、從動定子(1104)以及動鏡模塊； 所述主動彈性簧片組(1001)的活動端處設置有所述主動動子(1002)和斜塊(1003)，所述主動彈性簧片組(1001)的固定端通過所述主動定子(1004)固定； 所述從動彈性簧片組(1101)的活動端處設置有所述鏡座(1102)，所述從動塊(1103)和所述動鏡模塊固定在所述鏡座(1102)處，所述從動彈性簧片組(1101)的固定端通過所述從動定子(1104)固定，使所述從動彈性簧片組(1101)與主動彈性簧片組(1001)在未受外力時相互垂直，且使所述從動塊(1103)與所述斜塊(1003)可動地接觸。2.根據(jù)權利要求1所述的微動機構，其特征在于，所述動鏡模塊包括:反射鏡組(1105)以及反射鏡固定裝置(1106);其中， 所述反射鏡組(1105)包括兩塊反射鏡，所述兩塊反射鏡的底部分別固定在所述鏡座(1102)上，所述兩塊反射鏡的頂部由所述反射鏡固定裝置(1106)固定，兩塊反射鏡的背面相對，使沿大體垂直于所述從動彈性簧片組(1101)的方向入射所述反射鏡的光線沿與入射方向夾角為180°的方向出射。3.根據(jù)權利要求1所述的微動機構，其特征在于，所述動鏡模塊包括:一體化反射鏡組，所述一體化反射鏡組為一體化雙面反射鏡，該一體化雙面反射鏡具有兩個位于對稱位置的反射面，沿大體垂直于從動彈性簧片組(1101)的方向入射反射鏡的光線經所述一體化反射鏡組反射，沿與入射方向夾角為180°的方向出射。4.根據(jù)權利要求2或3所述的微動機構，其特征在于，所述動鏡模塊的反射鏡為空心立體角鏡，所述空心立體角鏡由三面相互垂直的平面鏡構成。5.根據(jù)權利要求1至3任一項所述的微動機構，其特征在于，所述主動彈性簧片組(1001)和從動彈性簧片組(1101)分別包括一個或多個彈性簧片。6.—種包括權利要求1-5之一所述微動機構的動鏡干涉儀，所述動鏡干涉儀包括:分束器(2001)、反射鏡組(2002)和所述微動機構(2003)， 所述反射鏡組(2002)包括第一反射鏡和第二反射鏡，該第一反射鏡和第二反射鏡分別設置在所述分束器(2001)的反射光路和透射光路上并以所述分束器(2001)為對稱中心對稱， 所述微動機構(2003)設置在第一反射鏡和第二反射鏡的反射光路上，所述微動機構(2003)的從動彈性簧片組方向平行于所述分束器(2001)的反射面，且所述微動機構(2003)的動鏡模塊處于所述第一、第二反射鏡的反射光束光路上，當所述微動機構(2003)未受外力作用時，其動鏡模塊與所述第一、第二反射鏡的中心距離相等。7.根據(jù)權利要求6所述的動鏡干涉儀，其特征在于，所述動鏡干涉儀還包括:光源(2101)、準直鏡(2102)和干涉儀出射鏡(2103);其中， 所述準直鏡(2102)將由所述光源(2101)入射所述動鏡干涉儀的光變?yōu)槠叫泄猓?上述平行光經過所述分束器、反射鏡組以及動鏡模塊出射，獲得干涉光，所述干涉光經過所述干涉儀出射鏡(2103)反射，獲得干涉儀出射光。8.根據(jù)權利要求7所述的動鏡干涉儀，其特征在于，所述光源(2101)為紅外光源，所述準直鏡(2102)為拋物面鏡。9.根據(jù)權利要求6至8任一項所述的動鏡干涉儀，其特征在于，所述動鏡干涉儀還包括:參考激光器(2201)、激光反射模塊(2202)和激光探測器(2203);其中， 由所述參考激光器(2201)出射的激光經所述激光反射模塊(2202)反射沿所述干涉光的反方向入射干涉儀，最后沿所述準直鏡的出射光的反方向出射，并由所述激光探測器(2203)接收。10.一種包括權利要求6-9之一所述動鏡干涉儀的紅外光譜儀，其特征在于，所述紅外光譜儀包括:所述動鏡干涉儀、音圈電機(3001)和外圍固定結構(3002);其中， 所述音圈電機(3001)固定在所述外圍固定結構(3002)上，所述音圈電機(3001)的運動端的運動方向垂直于所述微動機構的主動彈性簧片組方向，所述音圈電機(3001)的運動端與所述動鏡干涉儀的微動機構的主動動子接合。
【文檔編號】G01J3/45GK106066205SQ201610355268
【公開日】2016年11月2日
【申請日】2016年5月25日 公開號201610355268.6, CN 106066205 A, CN 106066205A, CN 201610355268, CN-A-106066205, CN106066205 A, CN106066205A, CN201610355268, CN201610355268.6
【發(fā)明人】敖小強, 石磊, 郜武
【申請人】北京雪迪龍科技股份有限公司