氣體傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種氣體傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來(lái)，氣體的有無(wú)和濃度測(cè)定受到關(guān)注，其中環(huán)境氣體(例如C02、N0等）的有無(wú) 以及濃度測(cè)定備受關(guān)注。
[0003] 高精度地對(duì)這些氣體進(jìn)行測(cè)定的傳感器中存在化學(xué)反應(yīng)式的氣體傳感器和光學(xué) 式的氣體傳感器。從測(cè)定精度的高低、經(jīng)時(shí)變化少這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，光學(xué)式的氣體傳感器尤 其受到關(guān)注。光學(xué)式的氣體傳感器具備釋放會(huì)被測(cè)定對(duì)象的氣體的分子所吸收的波長(zhǎng)的光 源以及用于讀出其信號(hào)的傳感器。
[0004] 上述的環(huán)境氣體強(qiáng)烈吸收波長(zhǎng)為數(shù)Μ附近(例如⑶2的情況下為波長(zhǎng)4.3μπι附近） 的光，因此要求發(fā)出該波長(zhǎng)頻帶的光的光源以及輸出與該波長(zhǎng)頻帶的光的強(qiáng)度相應(yīng)的信號(hào) 的傳感器。在中紅外區(qū)域~遠(yuǎn)紅外區(qū)域發(fā)光的LED主要用于非分散型紅外線式（以下為NDIR 方式）的氣體傳感器，正在進(jìn)行開發(fā)。
[0005] 圖29的（a)是表示第一現(xiàn)有例所涉及的NDIR方式的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的概念 圖。如圖29的(a)所示，該NDIR方式的氣體傳感器具備氣室910、放射波長(zhǎng)與氣體的固有的吸 收波長(zhǎng)頻帶對(duì)應(yīng)的紅外線的光源920以及能夠探測(cè)該波長(zhǎng)頻帶的光的強(qiáng)度的紅外線傳感器 930。光源920和紅外線傳感器930被設(shè)置在氣室910內(nèi)。NDIR方式的氣體傳感器是如下的氣 體傳感器:使想要測(cè)定的氣體在氣室910內(nèi)流動(dòng)或滯留在氣室910內(nèi)，基于在氣室內(nèi)的光源 920與紅外線傳感器930之間的空間被吸收的紅外線量來(lái)求出想要測(cè)定的氣體的濃度。因 而，當(dāng)NDIR方式的氣體傳感器的光源的強(qiáng)度變化時(shí)，測(cè)定出的氣體的濃度的絕對(duì)值產(chǎn)生偏 差，因此無(wú)法測(cè)定正確的濃度。
[0006] 另外，圖29的（b)是表示第二現(xiàn)有例所涉及的NDIR方式的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的 概念圖。如圖29的(b)所示，一般已知有如下的方法(例如參照專利文獻(xiàn)1):通過(guò)取參照用傳 感器931與檢測(cè)用傳感器932兩方的輸出比來(lái)使光源920的輸出變動(dòng)抵消，該參照用傳感器 931能夠檢測(cè)被檢測(cè)氣體沒(méi)有吸收的波長(zhǎng)頻帶的光，該檢測(cè)用傳感器932能夠檢測(cè)包含會(huì)產(chǎn) 生被檢測(cè)氣體吸收的波長(zhǎng)頻帶的波長(zhǎng)的光。
[0007] 另外，在專利文獻(xiàn)2中公開了利用兩種波長(zhǎng)頻帶的NDIR方式的氣體傳感器。在專利 文獻(xiàn)2的氣體傳感器中，設(shè)置兩個(gè)光源，使被檢測(cè)氣體吸收的波長(zhǎng)的光和被檢測(cè)氣體不吸收 的波長(zhǎng)的光分別通過(guò)氣室，基于各自的傳感器的輸出比測(cè)定想要檢測(cè)的氣體的濃度。
[0008] 專利文獻(xiàn)1:日本特表2001-503865號(hào)公報(bào)
[0009] 專利文獻(xiàn)2:國(guó)際公開2007/080398號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0011]在一般的NDIR方式中，使用僅使特定的波長(zhǎng)頻帶透過(guò)的帶通濾波器。當(dāng)以二氧化 碳的探測(cè)為例進(jìn)行說(shuō)明時(shí)，使用使實(shí)質(zhì)上不會(huì)被二氧化碳吸收的3.9μπι左右的波長(zhǎng)頻帶的 光透過(guò)的參照用的帶通濾波器fl以及僅使會(huì)被二氧化碳吸收的4.3μπι左右的波長(zhǎng)頻帶 (4.3μπι± (lOOnm~300nm))的光透過(guò)的吸收波長(zhǎng)用的帶通濾波器f' 2來(lái)檢測(cè)被檢測(cè)氣體。在 該方式中，需要參照用和吸收波長(zhǎng)用兩個(gè)帶通濾波器，并且需要設(shè)為各自獨(dú)立的傳感器(參 照?qǐng)D29的(b)和專利文獻(xiàn)1)。因此，部件數(shù)多，在實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的簡(jiǎn)易化方面成為障礙。
[0012]另外，即使在如專利文獻(xiàn)2那樣使用兩個(gè)不同的波長(zhǎng)的光源的情況下，也同樣地， 部件數(shù)多，信號(hào)處理變得復(fù)雜。并且，存在以下問(wèn)題點(diǎn)：在由于光源和傳感器的溫度而產(chǎn)生 發(fā)光量變化、靈敏度變化、或由于光源的劣化而在兩個(gè)光源之間產(chǎn)生了光量差的情況下，無(wú) 法進(jìn)行作為氣體傳感器進(jìn)行動(dòng)作時(shí)的溫度補(bǔ)償。
[0013]并且，光源和傳感器的溫度所引起的信號(hào)的變化比氣體濃度變化所引起的信號(hào)變 化大，因此去除溫度的影響那樣的補(bǔ)償非常難。
[0014] 為了解決這樣的問(wèn)題，存在使光路長(zhǎng)度變長(zhǎng)的方法，但是這樣的話不僅導(dǎo)致傳感 器整體大型化，還導(dǎo)致來(lái)自光源的光的衰減增加而傳感器側(cè)檢測(cè)的信號(hào)的S/N比下降，導(dǎo)致 氣體傳感器的測(cè)定偏差增大，從而難以實(shí)現(xiàn)高精度的氣體傳感器。
[0015] 另一方面，還存在不使用參照用的濾波器而在大氣等在某種程度上已知二氧化碳 濃度的環(huán)境中定期地校正光源的發(fā)光強(qiáng)度的變化來(lái)使用的方法，但是在無(wú)法導(dǎo)入濃度已知 的二氧化碳的情況下、在光源的強(qiáng)度超過(guò)預(yù)想地大幅變化的情況下，存在測(cè)定值的誤差變 大等問(wèn)題。
[0016] 因此，本發(fā)明是鑒于這樣的事情而完成的，其目的在于提供一種能夠減小測(cè)定誤 差、簡(jiǎn)單且小型的可靠性高的氣體傳感器。
[0017] 用于解決問(wèn)題的方案
[0018] 本發(fā)明人為了解決上述課題而潛心研究的結(jié)果是想到了以下所示的氣體傳感器。
[0019] 即，本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的氣體傳感器的特征在于，具備:第一光源；以及第 一傳感器部和第二傳感器部，以使從所述第一光源輸出的光入射到該第一傳感器部和第二 傳感器部的方式分別配置該第一傳感器部和第二傳感器部，還具備:第一基板，其具有第一 主面和與該第一主面相向的第二主面，在該第一主面上設(shè)置有所述第一光源和所述第一傳 感器部；以及第二基板，其具有第一主面和與第一主面相向的第二主面，在該第二基板的第 一主面上設(shè)置有所述第二傳感器部，其中，所述第一傳感器部的配置位置被設(shè)定在所述第 一基板的第一主面上的、從所述第一光源輸出的光中的由該第一基板的第二主面反射的光 入射的位置。
[0020] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，還具備運(yùn)算部，該運(yùn)算部被 輸入來(lái)自所述第一傳感器部的輸出信號(hào)和來(lái)自所述第二傳感器部的輸出信號(hào)。
[0021] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述第一傳感器部和所述第 二傳感器部具有相同的溫度特性。
[0022] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述第一基板和所述第二基 板以側(cè)面彼此相向的方式相鄰配置，該氣體傳感器還具備設(shè)置在所述第一基板與所述第二 基板之間的光遮斷部。
[0023] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，還具備氣室，還具備光反射 部，該光反射部被配置在所述氣室內(nèi)的從所述第一基板和所述第二基板分別遠(yuǎn)離的位置， 使從所述第一基板的第二主面射出的光朝向所述第二傳感器部反射。
[0024] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，還具備控制層，該控制層設(shè) 置在所述第一基板的第二主面上，該控制層對(duì)從所述第一光源輸出的光中的、在所述第一 基板內(nèi)發(fā)生散射的光的光量以及從所述第一基板的第二主面向氣室內(nèi)的空間放射的光的 光量和放射角度進(jìn)行控制。
[0025] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，還具備光反射層，該光反射 層設(shè)置在所述第一基板的第二主面上，使從所述第一光源輸出的光朝向所述第一傳感器部 反射。
[0026] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述第一傳感器部和所述第 二傳感器部以及所述第一光源分別包含相同的材料且包含相同的層疊構(gòu)造。
[0027] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述層疊構(gòu)造是至少包含P 型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體這兩種類型的半導(dǎo)體的層的二極管構(gòu)造，并且所述層疊構(gòu)造包含銦 和銻中的任一種材料。
[0028] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，還具備光學(xué)濾波器，該光學(xué) 濾波器被配置在從所述第一基板的第二主面射出的光入射至所述第二傳感器部的光路中， 僅使特定的波長(zhǎng)頻帶透過(guò)。
[0029] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述第一傳感器部和所述第 二傳感器部具有多個(gè)相同構(gòu)造的受光部，該受光部的數(shù)量在所述第一傳感器部和所述第二 傳感器部中不同。
[0030] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述第一基板和所述第二基 板包含相同的材料。
[0031] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，還具備設(shè)置在所述第二基板 的第一主面上的第二光源，所述第二傳感器部被設(shè)定在從所述第二光源輸出的光中的由所 述第二基板的與第一主面相向的第二主面反射的光入射的位置。
[0032] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，還具備光接收和發(fā)射控制 部，該光接收和發(fā)射控制部向所述第一光源和所述第二光源供給電力，被輸入來(lái)自所述第 一傳感器部的輸出信號(hào)和來(lái)自所述第二傳感器部的輸出信號(hào)。
[0033] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述光接收和發(fā)射控制部在 向所述第一光源和所述第二光源中的一方的發(fā)光部供給電力的期間，不向另一方的發(fā)光部 供給電力。
[0034] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述光接收和發(fā)射控制部向 所述第一光源和所述第二光源供給相同大小的電力。
[0035] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述光接收和發(fā)射控制部對(duì) 向所述第一光源供給的電力和向所述第二光源供給的電力進(jìn)行控制使得所述第一傳感器 部和所述第二傳感器部成為相同的溫度。
[0036] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述光接收和發(fā)射控制部具 有:第一溫度測(cè)定部，其對(duì)所述第一傳感器部的溫度進(jìn)行測(cè)定；以及第二溫度測(cè)定部，其對(duì) 所述第二傳感器部的溫度進(jìn)行測(cè)定。
[0037] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述光接收和發(fā)射控制部根 據(jù)所述第一傳感器部的電阻值計(jì)算該第一傳感器部的溫度，以及所述光接收和發(fā)射控制部 根據(jù)所述第二傳感器部的電阻值計(jì)算該第二傳感器部的溫度。
[0038] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述光接收和發(fā)射控制部對(duì) 供給至所述第一光源和所述第二光源的電力的電流或電壓的從包含脈沖的寬度、振幅以及 占空比的群中選擇出的至少一個(gè)進(jìn)行控制。
[0039] 另外，在上述的氣體傳感器中，也可以是其特征在于，所述光接收和發(fā)射控制部以 頻率F1驅(qū)動(dòng)所述第一光源，以頻率F2驅(qū)動(dòng)所述第二光源，其中，F(xiàn)1矣F2。
[0040] 發(fā)明的效果
[0041]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，能夠提供一種能夠減小測(cè)定誤差、簡(jiǎn)單且小型的可靠性 高的氣體傳感器。
【附圖說(shuō)明】
[0042]圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0043]圖2是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0044] 圖3是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0045] 圖4是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0046] 圖5是表示本發(fā)明的第5實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0047] 圖6是表示本發(fā)明的第6實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0048] 圖7是表示本發(fā)明的第7實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0049] 圖8是表示本發(fā)明的第8實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0050]圖9是表示本發(fā)明的第9實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0051]圖10是表示本發(fā)明的第10實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0052]圖11是表示本發(fā)明的第11實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0053]圖12是表示本發(fā)明的第12實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0054]圖13是表示本發(fā)明的第13實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0055] 圖14是表示在第13實(shí)施方式中設(shè)置有光遮斷部的情況下的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0056] 圖15是表示本發(fā)明的第14實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0057]圖16是表示本發(fā)明的第15實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0058]圖17是表示本發(fā)明的第16實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0059 ]圖18是表示第16實(shí)施方式中的電路結(jié)構(gòu)的一例的圖。
[0060] 圖19是表示第16實(shí)施方式中的信號(hào)的傳送的一例的圖。
[0061] 圖20是表示本發(fā)明的第17實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0062] 圖21是表示本發(fā)明的第18實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0063] 圖22是表示本發(fā)明的第19實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0064] 圖23是表示第19實(shí)施方式中的溫度測(cè)定部的一例的圖。
[0065]圖24是表示本發(fā)明的第20實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0066] 圖25是表示本發(fā)明的第21實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0067] 圖26示出通過(guò)本發(fā)明的實(shí)施例獲得的結(jié)果，是表示第二傳感器部的輸出信號(hào)的變 化率與C02氣體濃度和溫度之間的關(guān)系的圖表。
[0068] 圖27示出通過(guò)本發(fā)明的實(shí)施例獲得的結(jié)果，是表示第一傳感器部的輸出信號(hào)的變 化率與C02氣體濃度和溫度之間的關(guān)系的圖表。
[0069] 圖28示出通過(guò)本發(fā)明的實(shí)施例獲得的結(jié)果，是表示氣體傳感器的輸出信號(hào)的變化 率與溫度和補(bǔ)償有無(wú)之間的關(guān)系的圖表。
[0070] 圖29是表示以往的氣體傳感器的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0071] 以下，對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式（以下為本實(shí)施方式)進(jìn)行說(shuō)明。首先，作為本實(shí)施 方式的一例的第1方式，對(duì)具有一個(gè)光源的氣體傳感器進(jìn)行說(shuō)明。接著，作為本實(shí)施方式的 一例的第2方式，對(duì)具有兩個(gè)以上的光源的氣體傳感器進(jìn)行說(shuō)明。之后，作為本實(shí)施方式的 更具體的方式(即，具體例），對(duì)第1~第21實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0072] 〈第1方式〉
[0073] 第1方式所涉及的氣體傳感器是具有第一光源以及第一傳感器部和第二傳感器部 的氣體傳感器，以使從第一光源輸出的光入射到第一傳感器部和第二傳感器部的方式分別 配置第一傳感器部和第二傳感器部。該結(jié)構(gòu)的氣體傳感器能夠作為非分散型紅外線式的氣 體傳感器使用。
[0074]該氣體傳感器具備第一基板，該第一基板具有第一主面(例如表面)和與第一主面 相向的第二主面(例如背面），在第一主面上設(shè)置有第一光源和第一傳感器部。另外，該氣體 傳感器具備第二基板，該第二基板具有第一主面(例如表面)和與第一主面相向的第二主面 (例如背面），在第一主面上設(shè)置有第二傳感器部。第一傳感器部的配置位置被設(shè)定在第一 基板的第一主面上的、從第一光源輸出的光中的由該第一基板的第二主面反射的光所入射 的位置。由此，無(wú)需在從第一光源到第一傳感器部的光路中設(shè)置光學(xué)濾波器(例如帶通濾波 器），就能夠精確地對(duì)第一光源輸出的劣化所致的經(jīng)時(shí)變化、動(dòng)作時(shí)的溫度所致的輸出變動(dòng) 進(jìn)行補(bǔ)償。
[0075]第1方式所涉及的氣體傳感器也可以還具備能夠?qū)氡粰z測(cè)氣體的氣室。通過(guò)預(yù) 先準(zhǔn)備規(guī)定的氣室，能夠進(jìn)行基于該規(guī)定的氣室的光路和材質(zhì)等的、用于更高精度的氣體 濃度運(yùn)算的規(guī)定的校正運(yùn)算等。
[0076]另外，優(yōu)選的是，第1方式所涉及的氣體傳感器還具備運(yùn)算部，該運(yùn)算部被輸入來(lái) 自第一傳感器部的輸出信號(hào)和來(lái)自第二傳感器部的輸出信號(hào)。根據(jù)來(lái)自第一傳感器部的輸 出信號(hào)和來(lái)自第二傳感器部的輸出信號(hào)，能夠進(jìn)行氣體濃度的運(yùn)算?；趯⒈辉O(shè)置在與第 一光源同一基板的同一平面上的第一傳感器部的輸出信號(hào)作為參照用信號(hào)來(lái)在氣體濃度 的運(yùn)算中使用的技術(shù)思想，本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的氣體傳感器更有效地起到不使用參 照用濾波器的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)就能夠與以往相比減小測(cè)定誤差的效果。在此，氣體濃度的運(yùn)算 可以是運(yùn)算空間中的氣體濃度的絕對(duì)值的運(yùn)算，也可以是判定是否為超過(guò)規(guī)定的閾值的氣 體濃度的運(yùn)算。
[0077]另外，在第1方式所涉及的氣體傳感器中，優(yōu)選的是，第一傳感器部和第二傳感器 部具有相同的溫度特性。在本實(shí)施方式中，"相同的溫度特性"意味著溫度特性以不妨礙本 發(fā)明的效果的程度大致一致的狀態(tài)。具體地說(shuō)，考慮以下情況:在不存在被檢測(cè)氣體的條件 下，在氣體傳感器的一般的使用溫度范圍（例如(TC到50°C的范圍）內(nèi)傳感器溫度為Tx時(shí)，將 第一傳感器部的輸出信號(hào)設(shè)為SI，將第二傳感器部的輸出信號(hào)設(shè)為S2。在該情況下，在溫度 變化1°C時(shí)即傳感器溫度成為Tx ± 1°C時(shí)，第一傳感器部的輸出信號(hào)變?yōu)閍 X S1、第二傳感器 部的輸出信號(hào)變?yōu)閎XS2,在該情況下，在每變化1°C時(shí)，a/b優(yōu)選為0.8以上且1.2以下，更優(yōu) 選為0.9以上且1.1以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.99以上且1.01以下。
[0078] 如果作為每變化1°C時(shí)的第一傳感器部與第二傳感器部的輸出的變化系數(shù)的比 (a/b[/°C])的、最大值與最小值的比為0.8以上1.2以下，則不論氣體傳感器的環(huán)境溫度如 何，都能夠高精度地對(duì)被檢測(cè)氣體的濃度進(jìn)行補(bǔ)償，因此是優(yōu)選的。具體地說(shuō)，求出使第一 傳感器部和第二傳感器部的溫度從〇°C開始變化到50 °C時(shí)的第一傳感器部和第二傳感器部 的輸出變化系數(shù)(a和b)，通過(guò)計(jì)算使溫度變化△ T時(shí)的a/b/ △ T比，能夠確認(rèn)上述的每變化1 °C時(shí)的輸出的變化系數(shù)的比。
[0079] 作為將第一傳感器部和第二傳感器部的每變化1°C時(shí)的輸出的變化系數(shù)的比的最 大值和最小值設(shè)在上述的范圍內(nèi)的方法，列舉將第一傳感器部和第二傳感器部以相同的材 料形成且設(shè)為相同的層疊構(gòu)造的方法。通過(guò)設(shè)為相同的材料和相同的層疊構(gòu)造，第一傳感 器部和第二傳感器部的溫度特性在理論上是相同的。
[0080] 另外，為了使第一傳感器部與第二傳感器部的溫度特性相同，優(yōu)選的是，層疊構(gòu)造 相同以及同時(shí)制造（即，關(guān)于構(gòu)成層疊構(gòu)造的各層，在第一傳感器部與第二傳感器部之間同 時(shí)形成）。
[0081] 另外，為了實(shí)現(xiàn)氣體傳感器整體的高的S/N比，也可以改變第一傳感器部和第二傳 感器部在基板內(nèi)的面積。例如，在到達(dá)第一傳感器部的光強(qiáng)的情況下，即使以S/N不下降的 程度減小第一傳感器部的受光面積，氣體傳感器整體的S/N比(氣體濃度表示值的最小分辨 率)也不下降，因此能夠減小第一傳感器部的受光面積而相應(yīng)地增大第一光源所占的面積， 從而能夠?qū)崿F(xiàn)氣體傳感器整體的S/N比的提高。
[0082] 另外，第一傳感器部和第二傳感器部最好由很多的受光部形成。在該情況下，受光 面積與受光部的數(shù)量成比例，受光面積越大，則獲得的S/N比越高。另外，即使改變第一傳感 器部和第二傳感器部的受光面積，光譜靈敏度特性、溫度特性也不會(huì)改變，因此能夠維持本 發(fā)明的效果。在將第一傳感器部的受光部的數(shù)量設(shè)為n、將第二傳感器部的受光部的數(shù)量設(shè) 為m時(shí)，受光部的數(shù)量的比可以是n :m為1/500左右，但是根據(jù)情況，也可以是1/100左右，還 可以是1/10左右。優(yōu)選的是，根據(jù)小室的設(shè)計(jì)、第一光源的發(fā)光能力來(lái)設(shè)計(jì)受光部的數(shù)量的 比。
[0083]另外，通過(guò)在同一基板上以相同材料、在同一工序中形成第一傳感器部和第二傳 感器部，由此第一傳感器部的光譜靈敏度特性與第二傳感器部的光譜靈敏度特性相同，并 且第一傳感器部的溫度特性與第二傳感器部的溫度特性相同，從而能夠進(jìn)一步發(fā)揮本發(fā)明 的效果。在此，光譜靈敏度特性是指各波長(zhǎng)下的靈敏度。如后述的那樣，通過(guò)在第一基板的 第二主面上設(shè)置對(duì)光進(jìn)行選擇那樣的光學(xué)濾波器(例如帶通濾波器），能夠?qū)θ肷渲恋谝粋?感器部和第二傳感器部的光的波長(zhǎng)頻帶進(jìn)行選擇。這樣的光學(xué)濾波器需要設(shè)置在光路的中 途，但是最好設(shè)置在第一基板和/或第二基板的第二主面。光學(xué)濾波器能夠?qū)崿F(xiàn)半值寬度窄 的透過(guò)特性(數(shù)1 〇nm~數(shù)1 OOnm)，因此能夠容易地選擇特定的波長(zhǎng)。在被導(dǎo)入到氣室的氣體 為混合氣體且被檢測(cè)氣體的吸收波長(zhǎng)接近其它氣體(干擾氣體)的吸收波長(zhǎng)的情況下，如果 設(shè)置光學(xué)濾波器，則氣體傳感器的選擇性被提高，不受干擾氣體的影響而能夠正確地實(shí)現(xiàn) 被檢測(cè)氣體的濃度測(cè)定。因此，設(shè)置光學(xué)濾波器成為更優(yōu)選的方式。
[0084] 從基板面積的利用效率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的