類之外，還可使用脲系增稠劑，聚四氟乙烯(PTFE)、三聚氰胺氰脲酸酯(MCA)所代表的有機(jī)系增稠劑，或銅以及銀等金屬，氧化鋅以及氧化鈦等金屬氧化物，氮化硼等氮化物，炭黑等無(wú)機(jī)的微粉末。
另外，增稠劑相對(duì)于離子液體膜的含量C( = x/y0其中，X是增稠劑的添加量，y是作為離子液體膜整體而言的質(zhì)量。)可以是I?50質(zhì)量％，也可以是3?30質(zhì)量％。
[0041]另外，離子液體膜10中，也可替代增稠劑或者在增稠劑的基礎(chǔ)上，含有由無(wú)機(jī)物或有機(jī)物構(gòu)成的微粉末。
離子液體膜10含有無(wú)機(jī)物或有機(jī)物的微粉末的情況下，離子液體膜10變成半固體狀，離子液體膜10的粘度增大。因此，即使在將處于攪拌狀態(tài)的油2設(shè)為測(cè)定對(duì)象的情況下，也容易將離子液體膜10保持于電極表面。
[0042]作為由無(wú)機(jī)物或有機(jī)物形成的微粉末，例如可使用氧化鋅、氧化鈦等金屬氧化物，氧化鋁、氮化硅等陶瓷，氮化硼等氮化物，PTFE等氟樹脂。
[0043]接著，一邊參照?qǐng)D3?10，一邊對(duì)油劣化傳感器I的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
圖3?圖5是表示實(shí)施方式中的使用了玻璃電極的油劣化傳感器的概略剖視圖。圖6?圖9是表示使用了 ISFET電極的油劣化傳感器的概略剖視圖。圖10所示為幾個(gè)實(shí)施方式中的ISFET電極的結(jié)構(gòu)的概略圖。
[0044]在幾個(gè)實(shí)施方式中，敏感電極20的感應(yīng)部21的構(gòu)成為，感應(yīng)伴隨著前述極性物質(zhì)從油2向前述離子液體膜10的移動(dòng)而發(fā)生的離子液體膜10內(nèi)的氫離子濃度的變化。另夕卜，作為這樣的結(jié)構(gòu)的感應(yīng)部21，例如，可列舉出圖3?圖5所示的玻璃電極20A的玻璃薄膜21A或、圖6?圖9所示的ISFET電極20B的離子敏感膜21B。
[0045]圖3?圖5所示的例示性的實(shí)施方式中，敏感電極20是具有玻璃薄膜21A作為感應(yīng)部21的玻璃電極20A。在此情況下，作為感應(yīng)部21而言的玻璃薄膜21A感應(yīng)于伴隨著前述極性物質(zhì)從油2向前述離子液體膜10的移動(dòng)而發(fā)生的離子液體膜10內(nèi)的氫離子濃度的變化，在敏感電極20與比較電極30之間形成與前述氫離子濃度對(duì)應(yīng)的電位差。
另外，在圖3?圖5所示的例示性的實(shí)施方式中，作為敏感電極20而言的玻璃電極20A具備:絕緣性的玻璃電極支撐管22A、設(shè)置于玻璃電極支撐管22A的前端部而響應(yīng)于氫離子濃度的變化的玻璃薄膜21A、填充于玻璃電極支撐管22A內(nèi)的玻璃電極內(nèi)部液23A、按照浸沒于玻璃電極內(nèi)部液23A的方式設(shè)置于玻璃電極支撐管22A內(nèi)的內(nèi)部電極24A。作為內(nèi)部電極23，例如，可使用銀.氯化銀電極。作為玻璃電極內(nèi)部液24，例如，可使用pH穩(wěn)定為7左右的包含氯化鉀的緩沖溶液。
另外，圖3?圖5所示的例示性的實(shí)施方式中，比較電極30設(shè)置于作為敏感電極20而言的玻璃電極20A的外周側(cè)。具體而言，設(shè)置比較電極30的環(huán)狀的比較電極支撐管31，使得其包圍玻璃電極20A的玻璃電極支撐管22A。其它實(shí)施方式中，也可將比較電極30設(shè)置于作為敏感電極20而言的玻璃電極20A的內(nèi)周側(cè)。例如，也可設(shè)置玻璃電極20A的環(huán)狀的玻璃電極支撐管22A，使得其包圍比較電極30的比較電極支撐管31。
[0046]圖6?圖9所示的例示性的實(shí)施方式中，敏感電極20是具有離子敏感膜(ISM) 21B(參照?qǐng)D10)作為感應(yīng)部21的離子敏感場(chǎng)效應(yīng)晶體管(ISFET)電極20B。在此情況下，關(guān)于作為感應(yīng)部21而言的離子敏感膜21B，感應(yīng)于伴隨著前述極性物質(zhì)從油2向前述離子液體膜10的移動(dòng)而發(fā)生的離子液體膜10內(nèi)的氫離子濃度的變化，對(duì)后述的漏極電流Id施加影響。
在幾個(gè)實(shí)施方式中，關(guān)于作為敏感電極20而言的ISFET電極20B，如圖10所示，具備半導(dǎo)體基板60、介由絕緣層25而設(shè)置于半導(dǎo)體基板60上的作為感應(yīng)部21的離子敏感膜21B。半導(dǎo)體基板60包含P型半導(dǎo)體部分27、以及設(shè)置于P型半導(dǎo)體部分27上的一對(duì)的N型半導(dǎo)體部分26(26S、26D)。一對(duì)N型半導(dǎo)體部分26 (26S、26D)分別相當(dāng)于離子敏感場(chǎng)效應(yīng)晶體管的源極26S和漏極26D。源極26S與漏極26D隔著溝道區(qū)域28而配置。離子敏感膜21B通過(guò)絕緣層25B而與半導(dǎo)體基板60絕緣。另外，使用上述結(jié)構(gòu)的ISFET電極20B作為敏感電極20的油劣化傳感器I的情況下，電位差計(jì)40介由導(dǎo)線41而連接于ISFET電極20B的源極26S，同時(shí)介由導(dǎo)線42而連接于比較電極30。
另外，在圖6所示的例示性的實(shí)施方式中，在比較電極30的比較電極支撐管31的外周面上，配置作為敏感電極20的ISFET電極20B。另外，圖7?圖9所示的例示性的實(shí)施方式中，在設(shè)置于比較電極支撐管31的孔中，嵌入作為敏感電極20的ISFET電極20B。
[0047]—個(gè)實(shí)施方式中的具備有ISFET電極20B的油劣化傳感器I的測(cè)定原理如下。 介由溝道區(qū)域28而流動(dòng)在源極26S與漏極26D之間的電流(漏極電流Id)不僅依存于源極26S與漏極26D之間的電壓Vds，而且也依存于接觸于離子液體膜10的離子敏感膜21B的表面電位。這是由于，離子敏感膜21B的表面電位根據(jù)離子液體膜10內(nèi)的氫離子濃度而發(fā)生變化，結(jié)果是實(shí)際上施加于半導(dǎo)體基板60的有效柵極電壓發(fā)生變化。因此，在將漏極電流IdW及源極-漏極間電壓V &維持在固定的狀態(tài)下，由電位差計(jì)40計(jì)量的源極26S與比較電極30之間的電位差可用作表示離子液體膜10內(nèi)的氫離子濃度的指標(biāo)。這般地，利用具備有ISFET電極20B的油劣化傳感器1，根據(jù)由電位差計(jì)40計(jì)量的敏感電極20 (ISFET電極20B)與比較電極30之間的電位差(具體而言，源極26S與比較電極30之間的電位差)，從而可檢測(cè)油2的劣化。
關(guān)于離子敏感膜21B，是感應(yīng)于氫離子的離子敏感膜即可，作為其材料，例如可使用Si3N4, Al2O3^ Ta 205等。
[0048]在幾個(gè)實(shí)施方式中，如圖3?圖9所示那樣，比較電極30具有:比較電極支撐管31、設(shè)置于比較電極支撐管31的內(nèi)部的基準(zhǔn)電極部32、為了浸沒基準(zhǔn)電極部32而填充于比較電極支撐管31內(nèi)的內(nèi)部液33、設(shè)置于內(nèi)部液33與測(cè)定對(duì)象的試樣之間的液體接界部34。液體接界部34是內(nèi)部液33與離子液體膜10電連接的部分。
關(guān)于液體接界部34，是具有微細(xì)的孔穴、使得比較電極30與離子液體膜10電連通的液體接界部即可，例如，可使用氧化鋁和/或氧化鋯等多孔性材料作為材料。
作為基準(zhǔn)電極部31，是無(wú)論測(cè)定對(duì)象的試樣的氫離子濃度為多少，都顯示固定的電位的電極即可，例如，可使用銀.氯化銀電極。
作為內(nèi)部液32，例如可使用氯化鉀溶液。
[0049]在幾個(gè)實(shí)施方式中，如圖3?圖9所示那樣，離子液體膜10按照將敏感電極
20(20A.20B)的感應(yīng)部21 (21A、21B)、與比較電極30的液體接界部34這兩者至少部分性地覆蓋的方式配置。
在其它實(shí)施方式中，離子液體膜10按照僅將敏感電極20 (20A.20B)的感應(yīng)部21 (21A、21B)至少部分性地覆蓋的方式配置。在此情況下，關(guān)于離子液體膜10，例如，介由氯化鉀水溶液或氯化鈉水溶液等電解質(zhì)溶液、或由導(dǎo)電性金屬或?qū)щ娦詷渲葘?dǎo)電體構(gòu)成的固體，比較電極30的液體接界部34與離子液體膜10電連通。
[0050]在幾個(gè)實(shí)施方式中，如圖4、圖7以及圖8所示那樣，油劣化傳感器I進(jìn)一步具備將離子液體膜10部分性地覆蓋的保護(hù)部11。保護(hù)部11設(shè)置于離子液體膜10與油2之間。離子液體膜10之中沒有被保護(hù)部11覆蓋的區(qū)域的至少一部分與油2接觸。
通過(guò)設(shè)置覆蓋離子液體膜10的保護(hù)部11，從而可減低覆蓋敏感電極20 (20A.20B)的感應(yīng)部21 (21A、21B)的離子液體膜10向油2的流出。另外，由于離子液體膜10之中沒有被保護(hù)部11覆蓋的區(qū)域的一部分與油2接觸，因而確保離子液體膜10與油2的接觸。
[0051]保護(hù)部11的形狀沒有特別限制，是板狀等、通過(guò)配置于離子液體10所覆蓋的敏感電極20的外側(cè)從而可維持離子液體10覆蓋著敏感電極20的狀態(tài)那樣的形狀，即可。
關(guān)于保護(hù)部11的材料，是不溶解于保護(hù)部11所接觸的油2或離子液體膜10的材料即可，可使用多孔質(zhì)材料等。
[0052]圖4所示的例示性的實(shí)施方式中，在將球狀的玻璃電極20A以及形成在玻璃電極支撐管22A的周圍的比較電極30覆蓋的離子液體10與油2之間，設(shè)置將玻璃電極20A以及玻璃電極支撐管22A的一部分進(jìn)行包圍的形狀的保護(hù)部11。另外，圖7以及圖8所示的例示性的實(shí)施方式中，在平板狀的離子液體10與油2之間，設(shè)置板狀的保護(hù)部11。
而且，圖4以及圖8所示的例示性的實(shí)施方式中，利用設(shè)置于保護(hù)部11的至少一個(gè)開口 13，形成離子液體膜10不被保護(hù)部11覆蓋的區(qū)域。圖7所示的例示性的實(shí)施方式中，通過(guò)制成離子液體膜10的端部12不被保護(hù)部11覆蓋的結(jié)構(gòu)，從而形成離子液體膜10不被保護(hù)部11覆蓋的區(qū)域。
[0053]在幾個(gè)實(shí)施方式中，如圖5以及圖9所示那樣，感應(yīng)部21 (21A、21B)和液體接界部34配置于離子液體膜10的兩側(cè)，夾持著離子液體膜。離子液體膜10的一部分，可在沒有被感應(yīng)部21 (21A、21B)以及液體接界部34覆蓋的狀態(tài)下與油2接觸。
通過(guò)由感應(yīng)部21 (21A、21B)和液體接界部34夾持離子液體膜10，從而使得離子液體膜10的兩個(gè)側(cè)面不與油2相接，因而可減低離子液體