分析用除電部件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及分析用除電部件。詳細(xì)而言，涉及在使用原子間力顯微鏡（AFM :Atomic Force Microscope)等的分析用途中，能夠有效地進(jìn)行分析對象試樣周邊的除電的分析用 除電部件。
【背景技術(shù)】
[0002] 原子間力顯微鏡（AFM)為具有原子水平的分解能的顯微鏡，能夠容易進(jìn)行試樣表 面的微細(xì)形狀等的觀察（例如，參照專利文獻(xiàn)1)。此外，原子間力顯微鏡不僅能夠觀察導(dǎo)電 性材料，還能夠觀察高分子化合物之類的絕緣性材料。從這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，原子間力顯微鏡 作為各種試樣的表面觀察工具非常有效。
[0003] 就原子間力顯微鏡而言，使前端很尖的探針在試樣表面上掃描，將探針感觸到的 原子間力變換為電信號，由此觀察表面形狀。探針安裝在懸臂的前端，通過微小的力使該探 針和試樣的表面接觸。
[0004] 使用原子間力顯微鏡的分析等的精密分析中，為了得到正確的分析結(jié)果，需要嚴(yán) 格控制分析環(huán)境。
[0005] 作為這樣的分析環(huán)境的控制之一，可以舉出分析對象試樣周邊的帶電抑制。分析 對象試樣周邊帶電時(shí)，例如，無法在利用電信號的分析中得到正確的分析結(jié)果。目前，作為 抑制分析對象試樣周邊的帶電的方法，可以采用在分析對象試樣周邊貼附導(dǎo)電性帶或?qū)щ?性膏的方法、通過靜電風(fēng)機(jī)對分析對象試樣周邊進(jìn)行除電的方法、在難以引起帶電的高濕 度環(huán)境下進(jìn)行測定的方法等（例如，參照專利文獻(xiàn)2、3)。
[0006] 但是，在分析對象試樣周邊貼附導(dǎo)電性帶或?qū)щ娦愿嗟姆椒ㄖ?，這些中包括的有 機(jī)成分等的污染物質(zhì)會(huì)附著在分析對象試樣上，難以得到正確的分析結(jié)果。此外，在分析對 象試樣周邊貼附導(dǎo)電性帶或?qū)щ娦愿嗟姆椒ㄖ?，在高溫環(huán)境下、真空環(huán)境下，這些中包括的 有機(jī)溶劑揮發(fā)，會(huì)產(chǎn)生周邊環(huán)境污染的問題。
[0007] 此外，通過靜電風(fēng)機(jī)對分析對象試樣周邊進(jìn)行除電的方法中，塵?；蚧覊m飛舞會(huì) 附著在分析對象試樣上，難以得到正確的結(jié)果。此外，通過靜電風(fēng)機(jī)對分析對象試樣周邊進(jìn) 行除電的方法中，在分析對象試樣周邊存在金屬時(shí)，會(huì)產(chǎn)生火花。并且為了在高溫環(huán)境下、 真空環(huán)境下進(jìn)行測定，需要利用腔室覆蓋保持分析環(huán)境，這種情況下采用靜電風(fēng)機(jī)物理上 很困難。
[0008] 此外，在難以引起帶電的高濕度環(huán)境下進(jìn)行測定的方法中，水的成分附著在分析 對象試樣上，難以得到正確的分析結(jié)果。此外，在高溫環(huán)境下、真空環(huán)境下，即使實(shí)現(xiàn)高濕度 環(huán)境，水的成分也會(huì)蒸發(fā)，難以維持高濕度環(huán)境。
[0009] 為了抑制分析對象試樣周邊的帶電而使用除電部件的情況下，優(yōu)選在分析對象試 樣周邊充分貼合。除電部件不在分析對象試樣周邊充分貼合的情況下，由于該貼合位置的 形狀、傾斜等，該除電部件有可能出現(xiàn)偏移。
[0010] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0011] 專利文獻(xiàn)
[0012] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2011-252849號公報(bào)
[0013] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開2000-129235號公報(bào)
[0014] 專利文獻(xiàn)3 :日本特開2002-257702號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015] 發(fā)明所要解決的課題
[0016] 本發(fā)明的課題在于：提供一種分析用除電部件，在使用原子間力顯微鏡的分析等 的精密分析中，能夠充分貼合在分析對象試樣周邊，不會(huì)污染分析對象試樣和周邊環(huán)境，能 夠抑制分析對象試樣周邊的帶電，即使在分析對象試樣周邊存在金屬，也不會(huì)產(chǎn)生火花，能 夠用腔室覆蓋進(jìn)行分析，在高溫環(huán)境下、真空環(huán)境下的分析也能夠沒有問題地進(jìn)行。
[0017] 用于解決課題的方法
[0018] 本發(fā)明的分析用除電部件，包括具備多個(gè)纖維狀柱狀物的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體。
[0019] 優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的分析用除電部件，室溫時(shí)的相對于玻璃面的剪切粘 合力為lN/cm 2以上。
[0020] 優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為具備多個(gè)碳納米管的碳納米管集合 體。
[0021] 優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的分析用除電部件為片狀。
[0022] 優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的分析用除電部件為探針狀。
[0023] 發(fā)明效果
[0024] 根據(jù)本發(fā)明，提供一種分析用除電部件，在使用原子間力顯微鏡的分析等的精密 分析中，能夠充分貼合在分析對象試樣周邊，不會(huì)污染分析對象試樣和周邊環(huán)境，能夠抑制 分析對象試樣周邊的帶電，即使在分析對象試樣周邊存在金屬，也不會(huì)產(chǎn)生火花，能夠用腔 室覆蓋進(jìn)行分析，在高溫環(huán)境下、真空環(huán)境下的分析也能夠沒有問題地進(jìn)行。
【附圖說明】
[0025] 圖1為本發(fā)明的分析用除電部件中包括的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的優(yōu)選實(shí)施方式的 一例的概略截面圖。
[0026] 圖2為本發(fā)明的分析用除電部件為片狀的情況下的、本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中分 析用除電部件的一例的概略截面圖。
[0027] 圖3為本發(fā)明的分析用除電部件為探針狀的情況下的、本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中 分析用除電部件的一例的概略截面圖。
[0028] 圖4為具備基材的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中分析用除電部件的一例的概略截面 圖。
[0029] 圖5為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中分析用除電部件包括碳納米管集合體的情況下 的、該碳納米管集合體的制造裝置的概略截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030] 《分析用除電部件》
[0031] 本發(fā)明的分析用除電部件包括具備多個(gè)纖維狀柱狀物的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體。本 發(fā)明的分析用除電部件可以是由具備多個(gè)纖維狀柱狀物的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體構(gòu)成的部件， 在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，也可以是具備多個(gè)纖維狀柱狀物的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體和 任意適當(dāng)?shù)钠渌牧系膹?fù)合體。本發(fā)明的分析用除電部件包括具備多個(gè)纖維狀柱狀物的纖 維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，因此在使用原子間力顯微鏡分析等的精密分析中，能夠充分貼合在分析 對象試樣周邊，不會(huì)污染分析對象試樣和周邊環(huán)境，能夠抑制分析對象試樣周邊的帶電。此 夕卜，使用本發(fā)明的分析用除電部件，即使在分析對象試樣周邊存在金屬，也不會(huì)產(chǎn)生火花， 也能夠利用腔室覆蓋進(jìn)行分析，在高溫環(huán)境下、真空環(huán)境下的分析也能夠沒有問題地進(jìn)行。
[0032] 具備多個(gè)纖維狀柱狀物的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為具備多個(gè)纖維狀柱狀物的集合體。 這樣的纖維狀柱狀物結(jié)構(gòu)體優(yōu)選為具備長度L的多個(gè)纖維狀柱狀物的集合體。圖1中表示 本發(fā)明的分析用除電部件中包括的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的優(yōu)選實(shí)施方式的一例的概略截面 圖。圖1中，纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體100具備多個(gè)長度L的纖維狀柱狀物2。這種情況下，多個(gè) 纖維狀柱狀物2相互通過例如范德瓦耳斯力作為集合體而存在。
[0033] 本發(fā)明的分析用除電部件，其大小和形狀，根據(jù)分析機(jī)器的種類能夠適當(dāng)選擇。作 為本發(fā)明的分析用除電部件能夠采用的形狀，例如，可以列舉片狀、探針狀。本發(fā)明的分析 用除電部件能夠采用的大小，根據(jù)使用位置能夠采用任意適當(dāng)?shù)拇笮　?br>[0034] 本發(fā)明的分析用除電部件為片狀的情況下，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中分析用除電 部件的一例的概略截面圖如圖2所示。圖2中，本發(fā)明的分析用除電部件1000包括具備多 個(gè)長度L的纖維狀柱狀物2的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體100。圖2中，片狀的分析用除電部件的 厚度方向相當(dāng)于纖維狀柱狀物2的長度L的方向。本發(fā)明的分析用除電部件為片狀的情況 下，優(yōu)選的使用狀態(tài)為，將本發(fā)明的分析用除電部件的片面?zhèn)荣N合在分析對象試樣周邊。
[0035] 本發(fā)明的分析用除電部件為探針狀的情況下，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的分析用除 電部件的一例的概略截面圖如圖3所示。圖3中，本發(fā)明的分析用除電部件1000包括具備 多個(gè)長度L的纖維狀柱狀物2的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體100。圖3中，探針狀的分析用除電部件 的長度方向（圖3為水平方向）相當(dāng)于纖維狀柱狀物2的長度L的方向。本發(fā)明的分析用 除電部件為探針狀的情況下，優(yōu)選的使用方式為，將本發(fā)明的分析用除電部件的長度方向 側(cè)貼合在分析對象試樣周邊。
[0036] 本發(fā)明的分析用除電部件可以具備任意適當(dāng)?shù)幕?。具備這樣的基材的本發(fā)明的 優(yōu)選實(shí)施方式中分析用除電部件的一例的概略截面圖如圖4所示。圖4中，本發(fā)明的分析 用除電部件為片狀。圖4中，本發(fā)明的分析用除電部件1000包括具備多個(gè)長度L的纖維狀 柱狀物2的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體100和基材1。纖維狀柱狀物2的一端2a固定在基材1上。 纖維狀柱狀物2在長度L的方向取向。纖維狀柱狀物2優(yōu)選在相對于基材1大致垂直的方 向取向。在此"大致垂直的方向"是指相對于基材1的面的角度優(yōu)選為90° ±20°，更優(yōu) 選為90° ±15°，更優(yōu)選為90° ±10°，特別優(yōu)選為90° ±5°。
[0037] 纖維狀柱狀物的長度優(yōu)選為10 ym以上，更優(yōu)選為10 ym?2000 ym，更優(yōu)選為 15 y m?1500 y m，特別優(yōu)選為20 y m?1000 y m，最