一種基板檢測裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種基板檢測裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，平板顯示裝置在生產(chǎn)時，許多密封連續(xù)的生產(chǎn)設(shè)備并未設(shè)置基板檢測環(huán)節(jié)。如果將有殘缺或者裂痕的基板用于生產(chǎn)，勢必會影響到產(chǎn)品的品質(zhì)，而且還會造成生產(chǎn)成本的浪費。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明實施例的目的是提供一種基板檢測裝置及方法，以準(zhǔn)確、快速地檢測基板是否存在缺陷，從而可以有效的對產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行管控，減少生產(chǎn)成本的浪費。
[0004]本發(fā)明實施例提供了一種基板檢測裝置，包括線光源發(fā)光裝置和反射光接收裝置，其中:
[0005]所述線光源發(fā)光裝置以設(shè)定的入射角向基板發(fā)射入射光，所述入射光隨線光源發(fā)光裝置與基板的相對運動而掃描基板表面；
[0006]所述反射光接收裝置接收射向基板標(biāo)準(zhǔn)平面的入射光所對應(yīng)的反射光；用于當(dāng)所述反射光的實際接收區(qū)段與標(biāo)準(zhǔn)接收區(qū)段不一致時，發(fā)出基板存在缺陷報警信號。
[0007]在本發(fā)明實施例的技術(shù)方案中，線光源發(fā)光裝置以設(shè)定的入射角向基板發(fā)射入射光，入射光可隨線光源發(fā)光裝置與基板的相對運動而掃描基板表面；反射光接收裝置被設(shè)置為接收射向基板標(biāo)準(zhǔn)平面的入射光所對應(yīng)的反射光，并且可以在反射光的實際接收區(qū)段與標(biāo)準(zhǔn)接收區(qū)段不一致時，發(fā)出基板存在缺陷報警信號。當(dāng)基板存在殘缺或者裂痕等缺陷時，反射光接收裝置可及時發(fā)出基板存在缺陷報警信號，相比現(xiàn)有技術(shù)，本方案提供的基板檢測裝置可以準(zhǔn)確、快速地檢測出基板是否存在缺陷，從而可以有效的對產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行管控，減少生產(chǎn)成本的浪費。
[0008]所述反射光接收裝置，具體用于當(dāng)所述反射光的實際接收區(qū)段存在斷點時，發(fā)出基板存在缺陷報警信號。當(dāng)基板的內(nèi)部區(qū)域存在殘缺或者裂痕等缺陷時，由于反射界面發(fā)生改變，反射光接收裝置的某個接收位置必然無法正常接收到反射光，因此，實際接收區(qū)段會存在斷點，可據(jù)此判斷出基板存在缺陷。
[0009]所述反射光接收裝置，具體用于當(dāng)所述反射光的實際接收區(qū)段的長度小于標(biāo)準(zhǔn)接收區(qū)段的長度時，發(fā)出基板存在缺陷報警信號。當(dāng)基板的周邊區(qū)域存在缺陷時，由于反射界面不完整或者發(fā)生改變，反射光接收裝置的實際接收區(qū)段的長度會小于標(biāo)準(zhǔn)接收區(qū)段的長度，可據(jù)此判斷出基板存在缺陷。
[0010]優(yōu)選的，基板檢測裝置還包括:導(dǎo)軌，所述線光源發(fā)光裝置和所述反射光接收裝置滑動裝配于所述導(dǎo)軌；以及驅(qū)動所述線光源發(fā)光裝置和所述反射光接收裝置同步移動的第一驅(qū)動裝置。在該方案中，可將基板停駐于線光源發(fā)光裝置和反射光接收裝置的下方，線光源發(fā)光裝置和反射光接收裝置同步移動，對基板表面進(jìn)行掃描檢測。可通過調(diào)整線光源發(fā)光裝置和反射光接收裝置的間距來調(diào)整入射角的大小。
[0011]具體的，所述線光源發(fā)光裝置通過第一連接桿與導(dǎo)軌上所設(shè)置的第一滑塊連接，所述反射光接收裝置通過第二連接桿與導(dǎo)軌上所設(shè)置的第二滑塊連接。
[0012]較佳的，所述線光源發(fā)光裝置與所述第一連接桿樞接，所述反射光接收裝置與所述第二連接桿樞接；所述基板檢測裝置還包括:驅(qū)動所述線光源發(fā)光裝置和所述反射光接收裝置同步旋轉(zhuǎn)的第二驅(qū)動裝置。在該方案中，可將基板停駐于線光源發(fā)光裝置和反射光接收裝置的下方，線光源發(fā)光裝置和反射光接收裝置同步旋轉(zhuǎn)，對基板表面進(jìn)行掃描檢測。可通過調(diào)整線光源發(fā)光裝置和反射光接收裝置的夾角來調(diào)整入射角的大小。
[0013]可選的，所述線光源發(fā)光裝置和所述反射光接收裝置水平設(shè)置，或者，所述線光源發(fā)光裝置和所述反射光接收裝置與水平面具有夾角。
[0014]可選的，所述線光源發(fā)光裝置包括紅外線光源發(fā)光裝置。
[0015]本發(fā)明實施例還提供了一種基板檢測方法，包括:
[0016]以設(shè)定的入射角向基板發(fā)射線光入射光，并使所述入射光掃描基板表面；
[0017]接收射向基板標(biāo)準(zhǔn)平面的入射光所對應(yīng)的反射光，當(dāng)所述反射光的實際接收區(qū)段與標(biāo)準(zhǔn)接收區(qū)段不一致時，確定基板存在缺陷。
[0018]通過上述基板檢測方法，可以準(zhǔn)確、快速地檢測出基板是否存在缺陷，從而可以有效的對產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行管控，減少生產(chǎn)成本的浪費。
[0019]其中，所述入射光掃描基板表面可通過如下方式實現(xiàn):
[0020]基板停駐不動，使所述入射光相對基板移動或者旋轉(zhuǎn)；或者[0021 ] 所述入射光的位置不變，使基板相對入射光移動。
【附圖說明】
[0022]圖1為本發(fā)明第一實施例基板檢測裝置的檢測原理示意圖；
[0023]圖2為本發(fā)明第二實施例基板檢測裝置的檢測原理示意圖；
[0024]圖3為本發(fā)明第三實施例基板檢測裝置的檢測原理示意圖；
[0025]圖4為入射光掃描到基板缺陷位置時的光路示意圖。
[0026]附圖標(biāo)記:
[0027]1-線光源發(fā)光裝置
[0028]2-反射光接收裝置
[0029]3-基板
[0030]4-導(dǎo)軌
[0031]5-第一連接桿
[0032]6-第一滑塊
[0033]7-第二連接桿
[0034]8-第二滑塊
【具體實施方式】
[0035]為準(zhǔn)確、快速地檢測基板是否存在缺陷，從而可以有效的對產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行管控，減少生產(chǎn)成本的浪費，本發(fā)明實施例提供了一種基板檢測裝置及方法。在基板檢測裝置實施例的技術(shù)方案中，線光源發(fā)光裝置以設(shè)定的入射角向基板發(fā)射入射光，入射光可隨線光源發(fā)光裝置與基板的相對運動而掃描基板表面；反射光接收裝置被設(shè)置為接收射向基板標(biāo)準(zhǔn)平面的入射光所對應(yīng)的反射光，并且可以在反射光的實際接收區(qū)段與標(biāo)準(zhǔn)接收區(qū)段不一致時，發(fā)出基板存在缺陷報警信號。當(dāng)基板存在殘缺或者裂痕等缺陷時，反射光接收裝置可及時發(fā)出基板存在缺陷報警信號，相比現(xiàn)有技術(shù)，本方案提供的基板檢測裝置可以準(zhǔn)確、快速地檢測出基板是否存在缺陷，從而可以有效的對產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行管控，減少生產(chǎn)成本的浪費。為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，以下舉實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0036]如圖1所示，本發(fā)明實施例提供了一種基板檢測裝置，包括線光源發(fā)光裝置I和反射光接收裝置2，其中:
[0037]線光源發(fā)光裝置I以設(shè)定的入射角向基板3發(fā)射入射光，入射光隨線光源發(fā)光裝置I與基板3的相對運動而掃描基板3的表面；反射光接收裝置2接收射向基板標(biāo)準(zhǔn)平面的入射光所對應(yīng)的反射光；用于當(dāng)反射光的實際接收區(qū)段與標(biāo)準(zhǔn)接收區(qū)段不一致時，發(fā)出基板存在缺陷報警信號。
[0038]本發(fā)明上述實施例所提供的基板檢測裝置既可用于檢測玻璃基板的完整性，也可用于檢測其它光滑工藝材料的完整性，這里不做具體限定。線光源發(fā)光裝置I的具體類型不限，既可以采用可見光發(fā)光裝置，也可以采用不可見光發(fā)光裝置，優(yōu)選采用紅外線光源發(fā)光裝置，所發(fā)射的紅外光具有頻率低、波長長、聚光能力強(qiáng)、發(fā)光成本低等優(yōu)點。
[0039]在上述實施例中，線光源發(fā)光裝置I以設(shè)定的入射角向基板3發(fā)射入射光，該入射光可隨線光源發(fā)光裝置I與基板3的相對運動而掃描基板3的表面。如圖1所示，在一種實現(xiàn)方式中，基板3停駐不動，線光源發(fā)光裝置I和反射光接收裝置2在基板3的上方同步移動(也可以是同步旋轉(zhuǎn))，從而使入射光對基板3的表面進(jìn)行掃描。如圖2所示，在另一種實現(xiàn)方式中，線光源發(fā)光裝置I和反射光接收裝置2固定不動，基板3被傳送經(jīng)過線光源發(fā)光裝置I和反射光接收裝置2的下方，從而使入射光對基板3的表面進(jìn)行掃描。線光源發(fā)光裝置I的有效發(fā)光長度可根據(jù)其運動方式和基板3的規(guī)格尺寸來確定。
[0040]其中，基板標(biāo)準(zhǔn)平面可以理解為無缺陷的合格基板的表面，可以根據(jù)該基板標(biāo)準(zhǔn)平面來確定反射光接收裝置2的設(shè)置位置，即:反射光接收裝置2設(shè)置在以基板標(biāo)準(zhǔn)平面為反射界面的反射光的光路上，反射光接收裝置2與線光源發(fā)光裝置I的安裝高度可以相同，也可以不同。
[0041]由于線光源發(fā)光裝置