本實(shí)用新型屬于掃描顯微鏡探針制備技術(shù)，尤其涉及一種制作掃描隧道顯微鏡探針設(shè)備的探針棒減振裝置。

背景技術(shù)：

制作掃描隧道顯微鏡探針的普通裝置(見圖1)包括支架、下調(diào)節(jié)架、下調(diào)節(jié)托盤；上調(diào)節(jié)架、導(dǎo)電板、探針夾、電池、導(dǎo)線、導(dǎo)電環(huán)和燒杯；下調(diào)節(jié)架和上調(diào)節(jié)架均與支架連接，導(dǎo)電板與上調(diào)節(jié)架聯(lián)接，探針夾與導(dǎo)電板聯(lián)接；導(dǎo)電環(huán)在燒杯中，不銹鋼的導(dǎo)電環(huán)的中心有孔，導(dǎo)電環(huán)固定在下調(diào)節(jié)托盤上，下調(diào)節(jié)托盤與下調(diào)節(jié)架聯(lián)接；電池的正、負(fù)極通過導(dǎo)線分別導(dǎo)電板和導(dǎo)電環(huán)連接。

用制作掃描隧道顯微鏡探針的普通裝置制作掃描隧道顯微鏡的探針時(shí)，探針棒的上端通過探針夾固定在導(dǎo)電板上，燒杯中有NaOH的水溶液的電解液，探針棒的下端伸入NaOH的水溶液中并穿過導(dǎo)電環(huán)上的孔，探針棒為0.1?1.5mm直徑的鎢絲，導(dǎo)電環(huán)在NaOH的水溶液中且在NaOH的水溶液的液面附近；探針棒經(jīng)電解后，導(dǎo)電環(huán)孔中的鎢絲變尖，探針棒變?yōu)樘结槨?/p>

用制作掃描隧道顯微鏡探針的普通裝置制作掃描隧道顯微鏡的探針中，要產(chǎn)生氫氣，氫氣從探針棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中時(shí)，探針棒附近的液面產(chǎn)生波動(dòng)，使探針棒產(chǎn)生垂直于探針軸線的橫向振動(dòng)，影響探針的針尖在探針軸線上，影響探針的針尖制作質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
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本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：提供一種制作掃描隧道顯微鏡探針設(shè)備的探針棒減振裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)用制作掃描隧道顯微鏡探針的普通裝置制作掃描隧道顯微鏡的探針中，要產(chǎn)生氫氣，氫氣從探針棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中時(shí)，探針棒附近的液面產(chǎn)生波動(dòng)，使探針棒產(chǎn)生垂直于探針軸線的橫向振動(dòng)，影響探針的針尖在探針軸線上，影響探針的針尖制作質(zhì)量等技術(shù)問題。

本實(shí)用新型技術(shù)方案：

一種制作掃描隧道顯微鏡探針設(shè)備的探針棒減振裝置，它包括中間調(diào)節(jié)托盤、減振筒和硅膠，下調(diào)節(jié)支架連接中間調(diào)節(jié)托盤，中間調(diào)節(jié)托盤上固定有減振筒,探針棒穿過減振筒且探針棒與減振筒不接觸，探針棒的兩端分別伸出減振筒，探針棒與減振筒之間填充有硅膠。

所述減振筒的上空心圓柱的高度和直徑大于下空心圓柱的高度和直徑。

探針棒和減振筒之間有0.1?0.5毫米的縫隙。

探針棒的兩端分別伸出減振筒的長(zhǎng)度為1?5毫米。

本實(shí)用新型的有益效果：

本實(shí)用新型在制作掃描隧道顯微鏡探針的普通裝置的基礎(chǔ)上，增加探針棒減振裝置，形成具有探針棒減振裝置的制作掃描隧道顯微鏡探針的裝置；探針棒的兩端之間的部分在硅膠中，硅膠吸收探針棒的橫向振動(dòng)和沿探針軸線的縱向振動(dòng)，使探針棒的振動(dòng)減小或消除。

本實(shí)用新型的探針棒減振裝置中，探針棒減振裝置不僅限于對(duì)鎢絲的探針棒的減振，也可用于鉑銥合金絲的探針棒的減振。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：

1．氫氣從探針棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中時(shí)，液面產(chǎn)生波動(dòng)，影響探針的針尖制作質(zhì)量，使用探針棒減振裝置后，硅膠吸收探針棒的橫向振動(dòng)和沿探針軸線的縱向振動(dòng)，使探針棒的振動(dòng)減小或消除，有利于電解所得探針的針尖在探針軸線上，提高探針的針尖制作質(zhì)量。

2．探針棒的兩端之間的部分在硅膠中，探針棒的減振不妨礙探針的制作。

3．硅膠是粘性流體，粘度可以調(diào)節(jié)，可通過調(diào)節(jié)粘度，滿足探針棒的減振需要。

本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)用制作掃描隧道顯微鏡探針的普通裝置制作掃描隧道顯微鏡的探針中，要產(chǎn)生氫氣，氫氣從探針棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中時(shí)，探針棒附近的液面產(chǎn)生波動(dòng)，使探針棒產(chǎn)生垂直于探針軸線的橫向振動(dòng)，影響探針的針尖在探針軸線上，影響探針的針尖制作質(zhì)量等技術(shù)問題。

附圖說明

圖1為制作掃描隧道顯微鏡探針的普通裝置及制作探針的示意圖；

圖2為圖1的A-A剖面放大圖；

圖3為探針棒；

圖4為探針；

圖5為具有探針棒減振裝置的制作掃描隧道顯微鏡探針的裝置及探針棒在減振筒中的示意圖；

圖6為圖5的B-B剖面放大圖；

圖7為探針在減振筒中的示意圖；

圖8為減振筒結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為圖8的俯視圖。

圖中：1支架；2下調(diào)節(jié)架；3下調(diào)節(jié)托盤；4上調(diào)節(jié)架；5導(dǎo)電板；6探針夾；7探針棒；8探針軸線；9電池；10導(dǎo)線；11導(dǎo)電環(huán)；12燒杯；13電解液；14探針；15中間調(diào)節(jié)托盤；16減振筒；17硅膠；18上空心圓柱；19下空心圓柱。

具體實(shí)施方式：

現(xiàn)有技術(shù)制作掃描隧道顯微鏡探針的普通裝置及制作探針如圖1?4所示；具有本實(shí)用新型探針棒減振裝置的制作掃描隧道顯微鏡探針裝置及探針棒在減振筒中如圖5?6所示；探針在減振筒中如圖7所示；減振筒如圖8?9所示。

在本實(shí)用新型探針棒減振裝置中，具有探針棒減振裝置的制作掃描隧道顯微鏡探針的裝置(見圖5)包括支架1、下調(diào)節(jié)架2、下調(diào)節(jié)托盤3；上調(diào)節(jié)架4、導(dǎo)電板5、探針夾6、電池9、導(dǎo)線10、導(dǎo)電環(huán)11、燒杯12、中間調(diào)節(jié)托盤15、減振筒16和硅膠17，其中，中間調(diào)節(jié)托盤15、減振筒16和硅膠17組成探針棒減振裝置；下調(diào)節(jié)架2和上調(diào)節(jié)架4均與支架1連接，導(dǎo)電板5與上調(diào)節(jié)架4聯(lián)接，探針夾6與導(dǎo)電板5聯(lián)接；導(dǎo)電環(huán)11在燒杯12中，不銹鋼的導(dǎo)電環(huán)11的中心有孔，導(dǎo)電環(huán)11固定在下調(diào)節(jié)托盤3上，下調(diào)節(jié)托盤3與下調(diào)節(jié)架2聯(lián)接；電池9的正、負(fù)極通過導(dǎo)線10分別導(dǎo)電板5和導(dǎo)電環(huán)11連接；中間調(diào)節(jié)托盤15與下調(diào)節(jié)架2連接，減振筒16固定在中間調(diào)節(jié)托盤15上，探針棒7穿過減振筒16，探針棒7與減振筒16不接觸，探針棒7和減振筒16之間有縫隙，在探針棒7和減振筒16之間充滿硅膠17，探針棒7的兩端不在硅膠17中，探針棒7的兩端之間的部分在硅膠17中。

在探針棒減振裝置中，減振筒16的上空心圓柱18分別比下空心圓柱19的高度和直徑大(見圖8和圖9 )；上空心圓柱18的直徑大，有利于注入硅膠17；下空心圓柱19的直徑小，有利于阻止硅膠17從下空心圓柱19與探針棒7之間的縫隙泄漏。

探針棒7和減振筒16之間有0.1?0.5的縫隙。

探針棒7的兩端分別伸出減振筒16的長(zhǎng)度1?5毫米。

在探針棒減振裝置中，探針棒減振裝置不僅限于對(duì)鎢絲的探針棒7的減振，也可用于鉑銥合金絲的探針棒7的減振。

在探針棒減振裝置中，探針棒7在具有探針棒減振裝置的制作掃描隧道顯微鏡探針的裝置中制作成探針14后，探針棒7變?yōu)樘结?4，探針14在減振筒16中，再?gòu)奶结槉A6和減振筒16中取出探針14，由于硅膠17是粘性流體，可方便從減振筒16中取出探針14，再清洗探針14上的硅膠17，得到清潔的探針14。

在探針棒減振裝置中，通過調(diào)節(jié)硅膠17的粘度，滿足探針棒7的減振需要。

探針棒減振裝置的工作原理：用具有探針棒減振裝置的制作掃描隧道顯微鏡探針的裝置制作掃描隧道顯微鏡的探針14中，要產(chǎn)生氫氣，氫氣從探針棒7附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中時(shí)，探針棒7附近的液面產(chǎn)生波動(dòng)，會(huì)使探針棒7產(chǎn)生垂直于探針軸線8的橫向振動(dòng)，由于硅膠17是粘性流體，硅膠17產(chǎn)生阻尼力，并吸收探針棒7的橫向振動(dòng)，使探針棒7的橫向振動(dòng)減小或消除，同時(shí)，硅膠17也吸收探針棒7沿探針軸線8的縱向振動(dòng)，使探針棒7的縱向振動(dòng)減小或消除；減小或消除探針棒7的振動(dòng)，保持探針棒7的穩(wěn)定，有利于提高探針的針尖制作質(zhì)量；通過調(diào)節(jié)硅膠17的粘度，可以改變硅膠17的吸振能力，滿足探針棒7的減振需要。