本實(shí)用新型涉及電子特性檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種二次電子特性參數(shù)檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

所謂二次電子特性參數(shù)檢測(cè)，就是指具有一定能量或速度的電子(或離子)轟擊物體表面時(shí)，會(huì)引起電子從該物體表面發(fā)射出來(lái)，并且具備一定的能量，但是電子的特性需要檢測(cè)出來(lái)，而且從電子表面散射出來(lái)的能量也會(huì)呈現(xiàn)一定的分布，其中包括一次電子的彈性散射電子，非彈性散射電子、真二次電子、俄歇電子等，有時(shí)還有其它復(fù)雜現(xiàn)象伴隨二次電子發(fā)射過(guò)程，如輻射X射線，產(chǎn)生熒光等，但是開(kāi)始階段的研究工作進(jìn)展緩慢，不利于研究電子參數(shù)，二十世紀(jì)三十年代后，由于電真空器件的發(fā)展，二次電子發(fā)射問(wèn)題才逐漸引起了研究人員的注意，這是因?yàn)槎坞娮影l(fā)射有正反兩方面的影響，在某些器件中，由于二次電子發(fā)射，導(dǎo)致器件工作不穩(wěn)定，需要對(duì)二次電子發(fā)射機(jī)理與發(fā)射材料自身特性做一個(gè)系統(tǒng)的研究，但是目前的檢測(cè)裝置對(duì)電子進(jìn)行形貌分析時(shí)，其分辨率遠(yuǎn)比二次電子像低，而且散射電子能量高，以直線軌跡逸出樣品表面，對(duì)于背向檢測(cè)器的樣品表面，因檢測(cè)器無(wú)法收集到背散射電子而變成一片陰影，因此，其圖象襯度很強(qiáng),襯度太大會(huì)失去細(xì)節(jié)的層次，不利于分析。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)以上問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種二次電子特性參數(shù)檢測(cè)裝置，設(shè)置有真空泵，能夠推動(dòng)真空室檢測(cè)電子能量，并且真空裝置不會(huì)導(dǎo)致電 子能量散失，使用檢測(cè)器對(duì)電子參數(shù)進(jìn)行分析，利用數(shù)據(jù)校對(duì)模塊進(jìn)行對(duì)于，有利于檢測(cè)電子的特性，利用一次電子檢測(cè)器和二次電子檢測(cè)器能夠?qū)z測(cè)電子的二次特性，使其檢測(cè)裝置穩(wěn)定，可以有效解決背景技術(shù)中的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種二次電子特性參數(shù)檢測(cè)裝置，包括真空泵和電子檢測(cè)裝置，所述真空泵的上表面固定安裝有真空室和電子槍?zhuān)译娮訕屧O(shè)置在真空室的右端，在真空室的正面還固定安裝有調(diào)制電源，所述真空泵的左端固定安裝有檢測(cè)器，真空泵的兩側(cè)還固定安裝有可編程控制器和溫控電路，且可編程控制器位于溫控電路的上方，在溫控電路的下端設(shè)置有絕緣轉(zhuǎn)軸，且絕緣轉(zhuǎn)軸的一端穿過(guò)絕緣層的內(nèi)部與設(shè)置在絕緣層底部的傳感器固定連接；所述電子檢測(cè)裝置通過(guò)安裝在其內(nèi)側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)塊固定連接在真空泵的右端，在電子檢測(cè)裝置的表面固定安裝有一次電子檢測(cè)器和二次電子檢測(cè)器，且在一次電子檢測(cè)器和二次電子檢測(cè)器的上表面分別安裝有一次前置放大器和二次前置放大器，在二次電子檢測(cè)器的右端還設(shè)置有數(shù)據(jù)核對(duì)模塊。

作為本實(shí)用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述真空室的右側(cè)面固定安裝有觸摸控制屏。

作為本實(shí)用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述真空室的上表面還固定安裝有電子加速器。

作為本實(shí)用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述電子檢測(cè)裝置的右側(cè)還設(shè)置有熱陰極。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該二次電子特性參數(shù)檢 測(cè)裝置，通過(guò)設(shè)置真空泵，推動(dòng)真空室檢測(cè)電子能量，并且真空裝置不會(huì)導(dǎo)致電子能量散失，使用檢測(cè)器對(duì)電子參數(shù)進(jìn)行分析，利用數(shù)據(jù)校對(duì)模塊進(jìn)行對(duì)于，有利于檢測(cè)電子的特性，利用一次電子檢測(cè)器和二次電子檢測(cè)器能夠?qū)z測(cè)電子的二次特性，使用觸摸控制屏控制發(fā)射電子在電子加速器中加速，使其檢測(cè)裝置穩(wěn)定，而且提高了分辨率，實(shí)用性強(qiáng)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-真空泵；2-真空室；3-電子槍?zhuān)?-調(diào)制電源；5-觸摸控制屏；6-檢測(cè)器；7-可編程控制器；8-溫控電路；9-絕緣轉(zhuǎn)軸；10-傳感器；11-一次電子檢測(cè)器；12-二次電子檢測(cè)器；13-數(shù)據(jù)核對(duì)模塊；14-一次前置放大器；15-二次前置放大器；16-電子檢測(cè)裝置；17-絕緣層；18-電子加速器；19-熱陰極。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

實(shí)施例：

請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種二次電子特性參數(shù)檢測(cè)裝置，包括真空泵1和電子檢測(cè)裝置16，所述真空泵1的上表面固定安裝有真空室2和電子槍3，利用真空室提供真空環(huán)境，有利于排除其他因素 的干擾，且電子槍3設(shè)置在真空室2的右端，在真空室2的正面固定安裝有調(diào)制電源4，使用調(diào)制電源控制電源的大小，真空室2的右側(cè)面還固定安裝有觸摸控制屏5，使用觸摸控制屏控制電子在電子加速器模塊加速，且真空室2的上表面還固定安裝有電子加速器18，所述真空泵1的左端固定安裝有檢測(cè)器6，真空泵1的兩側(cè)還固定安裝有可編程控制器7和溫控電路8，且可編程控制器7位于溫控電路8的上方，將編程模塊放在可編程控制器中，以便更好的控制電子發(fā)射，在溫控電路8的下端設(shè)置有絕緣轉(zhuǎn)軸9，且絕緣轉(zhuǎn)軸9的一端穿過(guò)絕緣層17的內(nèi)部與設(shè)置在絕緣層17底部的傳感器10固定連接，根據(jù)傳感器的特性檢測(cè)電子能量參數(shù)；所述電子檢測(cè)裝置16的右側(cè)還設(shè)置有熱陰極19，且電子檢測(cè)裝置16通過(guò)安裝在其內(nèi)側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)塊固定連接在真空泵1的右端，在電子檢測(cè)裝置16的表面固定安裝有一次電子檢測(cè)器11和二次電子檢測(cè)器12，且在一次電子檢測(cè)器11和二次電子檢測(cè)器12的上表面分別安裝有一次前置放大器14和二次前置放大器15，利用二次電子檢測(cè)器對(duì)電子進(jìn)行第二次檢測(cè)，使得電子核對(duì)參數(shù)更加精確，在二次電子檢測(cè)器12的右端還設(shè)置有數(shù)據(jù)核對(duì)模塊13，使用檢測(cè)器與數(shù)據(jù)核對(duì)模塊的數(shù)據(jù)對(duì)比，檢測(cè)電子的特性參數(shù)。

本實(shí)用新型的工作原理：該二次電子特性參數(shù)檢測(cè)裝置，通過(guò)設(shè)置真空泵，推動(dòng)真空室檢測(cè)電子能量，并且真空裝置不會(huì)導(dǎo)致電子能量散失，使用檢測(cè)器對(duì)電子參數(shù)進(jìn)行分析，利用數(shù)據(jù)校對(duì)模塊進(jìn)行對(duì)于，有利于檢測(cè)電子的特性，利用一次電子檢測(cè)器和二次電子檢測(cè)器能夠?qū)z測(cè)電子的二次特性，使用觸摸控制屏控制發(fā)射電子在電子加速器中加速，使其檢測(cè)裝置穩(wěn)定，而且提高了分辨率，實(shí)用性強(qiáng)。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。