可拼接的離子束流形狀探測器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種可拼接的離子束流形狀探測器，在陶瓷背板上具有逐一間隔擺放的石墨電極和陶瓷板，所述石墨電極和所述陶瓷板的大小一樣，交錯排布，所述石墨電極和所述陶瓷板為拼接式結(jié)構(gòu)。所述石墨電極和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔。本實(shí)用新型的可拼接的離子束流形狀探測器，適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。且石墨電極和陶瓷板為拼接式結(jié)構(gòu)，安裝方便，且較正方形結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)固。
【專利說明】可拼接的離子束流形狀探測器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種可拼接的離子束流形狀探測器。

【背景技術(shù)】
[0002]離子注入過程中束流的形狀和穩(wěn)定性是一個非常重要的參數(shù)，束流形狀的劇烈變化可能會嚴(yán)重影響到產(chǎn)品制程的穩(wěn)定性，特別是影響被植入晶圓的均勻度。
[0003]常見的離子束流是有兩個不同的形狀組成的。一種是細(xì)長型的，另外一種是邊緣比較光滑的，類似長方形的。前者針對的單片制程機(jī)臺，后者針對的是批量制程機(jī)臺。根據(jù)機(jī)臺的設(shè)計，針對不同的束流形狀有著不同的束流檢測器和檢測方法。
[0004]針對細(xì)長形的離子束流，目前的檢測方法如圖1所示，通過檢測器的橫向移動，來監(jiān)測細(xì)長的離子束流在每一個位置的大小，把數(shù)據(jù)匯聚到一起得出束流的形狀。石墨電極整個是同一個電位，也就是說無法檢測束流的上下漂移狀態(tài)。
[0005]針對長方形的離子束流，目前的檢測方法如圖2所示，通過小孔的勻速上下移動，石墨片感應(yīng)到束流的時間起點(diǎn)和時間長短，機(jī)臺可以檢測到束流的高度和寬度以及相對于中心點(diǎn)的偏移程度。缺點(diǎn)是小孔勻速行動的過程中，束流的變化是無法被檢測的。而且當(dāng)束流的穩(wěn)定性變差，束流的中心線發(fā)生位移的，監(jiān)測出來的數(shù)值往往失真。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種可拼接的離子束流形狀探測器，適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。
[0007]為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種可拼接的離子束流形狀探測器，在陶瓷背板上具有逐一間隔擺放的石墨電極和陶瓷板，所述石墨電極和所述陶瓷板的大小一樣，交錯排布，所述石墨電極和所述陶瓷板為拼接式結(jié)構(gòu)。
[0008]優(yōu)選地，本實(shí)用新型的可拼接的離子束流形狀探測器，檢測電極為所述的石墨電極。
[0009]進(jìn)一步地，本實(shí)用新型的可拼接的離子束流形狀探測器，所述石墨電極和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔。
[0010]更近一步地，本實(shí)用新型的可拼接的離子束流形狀探測器，所述石墨電極和所述陶瓷板的厚度均為3mm
[0011]進(jìn)一步地，本實(shí)用新型的可拼接的離子束流形狀探測器，所述可拼接的離子束流形狀探測器的尺寸為225*155mm。
[0012]本實(shí)用新型的可拼接的離子束流形狀探測器，適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。石墨電極和陶瓷板為拼接式結(jié)構(gòu)，安裝方便，且較正方形結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)固。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0014]圖1是現(xiàn)有檢測細(xì)長形的離子束流的探測器；
[0015]圖2是現(xiàn)有檢測長方形的離子束流的探測器；
[0016]圖3是本實(shí)用新型的可拼接的離子束流形狀探測器；
[0017]圖4是圖3的探測器局部I的石墨電極和陶瓷板正面放大示意圖；
[0018]圖5是圖3的探測器局部I的石墨電極和陶瓷板背部放大示意圖；
[0019]圖6是石墨電極的電路不意圖；
[0020]圖7是單個石墨電極或陶瓷板的側(cè)視圖；
[0021]圖8是圖7的AA向示意圖(單個石墨電極或陶瓷板的背部示意圖)。
[0022]圖中的附圖標(biāo)記為:1、探測器局部；2、陶瓷邊框。

【具體實(shí)施方式】
[0023]本發(fā)明致力于開發(fā)出一種可以適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)的需求，對檢測器的設(shè)計要求是穩(wěn)定可靠。在陶瓷背板上具有逐一間隔擺放的石墨電極和陶瓷板，所述石墨電極和所述陶瓷板的大小一樣，交錯排布，所述石墨電極和所述陶瓷板為拼接式結(jié)構(gòu)。
[0024]如圖3所示，本束流形狀檢測器的外觀形狀為長方形?？紤]到可以適用于兩種不同的束流形狀，尺寸針對晶圓的大小設(shè)定為225*155mm(針對8英寸晶圓)，以上尺寸是按照實(shí)際的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)設(shè)定的。細(xì)長型的束流尺寸通常為200_*2_，平滑長方形的束流尺寸通常不超過70*110_，該尺寸視束流的能量和劑量大小而定。探測器外圈具有陶瓷邊框2。
[0025]如圖4所示為探測器局部I的放大示意圖，整個檢測器表面由5*5mm的石墨電極覆蓋而成，石墨電極與石墨電極之間使用5*5_陶瓷板作為信號隔斷。石墨電極與陶瓷板的厚度均為3mm。該厚度的石墨電極不容易折斷，實(shí)用性強(qiáng)。
[0026]如圖5所示為探測器局部I的背部放大示意圖，石墨電極和陶瓷板的背部具有螺孔，用于固定。
[0027]單個石墨電極與陶瓷板采用相同尺寸和形狀，方便拼裝，背后開有螺孔加以固定，具體尺寸如圖7和圖8所示。
[0028]如圖6所示，離子束流擊中某個石墨電極后，電極后面所聯(lián)結(jié)的電流表會根據(jù)擊中的離子個數(shù)進(jìn)行計數(shù)。
[0029]1.相同時間內(nèi)，不同的石墨電極檢測到的離子個數(shù)是不一致的。對所有的石墨電極進(jìn)行地址編號，把各自的電流表讀數(shù)按照拼圖拼接在一起就是一個完整的束流形狀。
[0030]2.通過比較石墨電極做出的圖形，可以觀察束流形狀相對于設(shè)計束流路徑的偏差。
[0031]3.穩(wěn)定的束流轟擊下，每個石墨電極的單位時間內(nèi)讀取的數(shù)值都是一個穩(wěn)定值。通過檢測每個石墨電極單位時間內(nèi)讀取到的數(shù)值可以觀察束流的穩(wěn)定性。
[0032]本實(shí)用新型的可拼接的離子束流形狀探測器，適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。且石墨電極和陶瓷板為拼接式結(jié)構(gòu)，安裝方便，且較正方形結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)固。
【權(quán)利要求】
1.一種可拼接的離子束流形狀探測器，其特征在于，在陶瓷背板上具有逐一間隔擺放的石墨電極和陶瓷板，所述石墨電極和所述陶瓷板的大小一樣，交錯排布，所述石墨電極和所述陶瓷板為拼接式結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的可拼接的離子束流形狀探測器，其特征在于，檢測電極為所述的石墨電極。
3.如權(quán)利要求2所述的可拼接的離子束流形狀探測器，其特征在于，所述石墨電極和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔。
4.權(quán)利要求2所述的可拼接的離子束流形狀探測器，其特征在于，所述石墨電極和所述陶瓷板的厚度均為3mm。
5.如權(quán)利要求2所述的可拼接的離子束流形狀探測器，其特征在于，所述可拼接的離子束流形狀探測器的尺寸為225*155mm。
【文檔編號】G01T1/29GK204216003SQ201420072474
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2014年2月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月20日
【發(fā)明者】鄭靜靜 申請人:鄭靜靜