用于顆粒大小和濃度測量的檢測方案的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供顆粒大小和濃度測量的系統(tǒng)和方法，該方法包括以下步驟：提供聚焦合成結(jié)構(gòu)化激光束，使該光束與顆粒相互作用，測量相互作用信號和光束與顆粒單位時間的相互作用數(shù)，以及利用算法來將相互作用信號映射到顆粒大小并將單位時間的相互作用數(shù)映射到濃度。
【專利說明】用于顆粒大小和濃度測量的檢測方案
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及測量顆粒大小和濃度的領(lǐng)域。更具體地說，涉及使用光學方法來測量顆粒大小和濃度。
【背景技術(shù)】
[0002]存在 用于顆粒大小和濃度分析(PSA)的許多技術(shù)，它們可以在Terry Alan寫的書籍“Introduction to Particle Size Analysis，，T.Allen, Particle size analysis Johnffiley&Sons ；ISBN:0471262218 June, 1983中回顧。最常用的技術(shù)是光學的，其基于測量到的顆粒與激光輻射的相互作用。特別地，當接近大約I微米和以下的顆粒大小范圍時，因為顆粒的折射率的實部和虛部的影響，這些技術(shù)中的大多數(shù)遭受不準確性。例如，已知的是，在某些技術(shù)中，如基于夫瑯和費譜線衍射分析的技術(shù)，吸收光的顆粒因吸收而產(chǎn)生的能量損失將導致尺寸過大，而在高濃度中，顆粒將因二次散射等而將導致尺寸過小。
[0003]對這些問題較不敏感的光學技術(shù)被已知為渡越時間(Time of Transition)或TOT。在該技術(shù)中，在時域而非幅度域來分析掃描的聚焦激光束和顆粒的相互作用，從而導致對折射率變化的低靈敏性。該技術(shù)的詳細描述發(fā)表于論文“Improvements inAccuracy and Speed Using the Time-of-Transition Method and Dynamic ImageAnalysis For Particle Sizing by Bruce Weiner, Walter Tscharnuter, and NirKarasikov，，，[Particle Size Distribution III !Assessment and Characterization ；Editor(s):Theodore Provderl ；Volume 693,Publication Date(Print):JunelO, 1998 ;Copyright ? 1998American Chemical Society]。很多大程度上,在該技術(shù)中，來自相互作用信號的已知激光束輪廓的去卷積算法導出該大小。由聚焦激光束的已知體積內(nèi)的每單位時間相互作用數(shù)導出濃度。
[0004]在TOT技術(shù)中，顆粒與聚焦掃描激光束相互作用。為了測量較小的顆粒，使用較小的聚焦點。然而，根據(jù)針對高斯激光束的衍射定律，如果光束的腰為D，則該光束的發(fā)散性與λ/D成比例，其中，λ是激光的波長。用于分辨小顆粒至焦點體積的能力與測量濃度時的準確性之間的折中是顯見的。因而，如果TOT技術(shù)的目標是，解析并測量微米和亞微米范圍的顆粒，則因為瞬時焦點體積小并且顆粒的相互作用率低，在測量低濃度的能力方面受限。在另一方面，采用更大的斑點將提高濃度測量率，但將使大小分析的質(zhì)量和分辨率劣化。
[0005]可以利用較短波長可以實現(xiàn)改進。因為太短的波長將導致激光被光學裝置吸收，所以這僅可以具有最多成為2倍的有限效果，而且在顆粒處于液體中的情況下，激光還被液體吸收。
[0006]本發(fā)明人以前的發(fā)明(US7746469)引入了用于在兩個矛盾需求之間解耦的新技術(shù)和裝置:分辨小顆粒的能力，和使用基于利用結(jié)構(gòu)化激光束的單顆粒相互作用的測量結(jié)果來測量低濃度的能力。
[0007]因此，本發(fā)明的一目的是，提供這樣的新檢測方案，即，其由于相互作用信號對于顆粒直徑的較低依賴性而提供較高靈敏度。[0008]本發(fā)明的另一目的是，提供這樣的新檢測方案，S卩，由于固有的光噪聲濾波而提供測量更高顆粒濃度的能力。
[0009]本發(fā)明的另一目的是，提供這樣的新檢測方案，S卩，提供根據(jù)顆粒沿正向散射和后向散射這兩者中的相互作用信號來表征顆粒的能力。
[0010]本發(fā)明進一步的目的和優(yōu)點將隨著本描述的進行而呈現(xiàn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明提供了一種顆粒尺寸和濃度測量的系統(tǒng)和方法，其包括以下步驟:提供聚焦合成結(jié)構(gòu)化激光束，使該光束與顆粒相互作用，測量相互作用信號和光束與顆粒的單位時間的相互作用數(shù)，以及利用算法來將相互作用信號映射到顆粒大小并將單位時間的相互作用數(shù)映射到濃度。
[0012]該顆?？梢栽诹黧w承載、氣體承載，或者表面上，并且具有范圍從亞微米至幾千微米的大小。在本發(fā)明優(yōu)選實施方式中，聚焦合成結(jié)構(gòu)化激光束是暗光束。
[0013]可以通過在高斯激光束上采用掩模、通過直接修改激光腔、通過組合來自數(shù)個激光器的光束，或者通過對激光束的其它操縱(如在干涉測量或偏振修改方案中)來生成該結(jié)構(gòu)化光束。該測量可以利用與掃描光束(包括暗場)的相互作用的持續(xù)時間來進行。本發(fā)明還提供了一種用于顆粒大小和濃度測量的系統(tǒng)。
[0014]具有不利用任何運動部件來掃描光束的優(yōu)點的另選方案是使顆粒經(jīng)過聚焦激光束的焦點區(qū)域。
[0015]本發(fā)明的其它方面涉及改進檢測方案，該方案能夠根據(jù)正向和后向散射來進行更好顆粒表征，檢測顆粒熒光以及測量顆粒速度。
[0016]本發(fā)明引入了新檢測方案，該方案提供:因相互作用信號對顆粒直徑的較低依賴性(更加低于如亞波長顆粒的常規(guī)散射的r~4至r~6)得到的較高靈敏度；由于固有光噪聲過濾而得到的測量較高顆粒濃度的能力；通過顆粒沿正向散射和后向散射這兩者的相互作用信號來表征顆粒的能力，例如，區(qū)分在液體中流動的氣泡與顆粒；測量來自顆粒的熒光的能力；以及測量顆粒的速度的能力。后者使得實現(xiàn)無掃描器系統(tǒng)，其中，顆粒按已知速度流動或者各顆粒的速度被固有地測量。
[0017]本發(fā)明為一種顆粒監(jiān)測系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括:生成高斯光束的激光器；用于將所述高斯激光束轉(zhuǎn)換成結(jié)構(gòu)化暗光束的裝置；聚焦透鏡，該聚焦透鏡將暗光束聚焦到運動通過照明暗光束的顆粒上；以及兩個檢測器。兩個檢測器中的一個檢測器相對于暗光束的各強度波瓣定位。
[0018]本發(fā)明的顆粒監(jiān)測系統(tǒng)被設(shè)置成使得顆粒在相對于暗光束的方向的90度角的方向運動通過照明暗光束。
[0019]按下列方式中的至少一個方式記錄來自所述兩個檢測器的信號:
[0020]a)作為單獨信號；
[0021]b)作為所述兩個檢測器信號的差分信號；以及
[0022]c)作為兩個檢測器信號的和。
[0023]本發(fā)明的顆粒監(jiān)測系統(tǒng)的實施方式包括分束器和在暗光束的暗線的垂直方向上定向的第二組檢測器。[0024]本發(fā)明的顆粒監(jiān)測系統(tǒng)的實施方式包括分束器和第三檢測器，該第三檢測器被設(shè)置成允許同時測量來自所述顆粒的后向散射輻射。
[0025]參照附圖，通過下面對本發(fā)明實施方式的例示性且非限制性描述，本發(fā)明的所有上述和其它特征以及優(yōu)點將進一步變清楚。在圖中，有時使用相同數(shù)字來指示不同圖中的相同部件。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1示意性地示出了顆粒監(jiān)測系統(tǒng)的實施方式；
[0027]圖2示出了圖1的系統(tǒng)的檢測器相對于照明暗光束模式的定位；
[0028]圖3(a)和圖3(b)示出了由圖1的系統(tǒng)中的兩個檢測器測量的典型信號；
[0029]圖4是示出由圖1的系統(tǒng)的兩個檢測器針對水中的氣泡和膠乳顆粒檢測的信號的一半的散射模擬；
[0030]圖5示出了隨著不同大小的顆粒從中心向外移動，針對來自圖1的兩個檢測器的信號之間的差異的模擬(simulated)信號；
[0031]圖6示意性地示出了圖1的檢測器系統(tǒng)的實施方式，其已經(jīng)被修改成還允許測量來自顆粒的向后散射輻射；
[0032]圖7示出了本發(fā)明可以怎樣用于通過聚類來分類的示例；
[0033]圖8示出了利用無監(jiān)督學習方法來進行多維聚類的示例；
[0034]圖9示意性地示出了暗光束的輪廓；
[0035]圖1OA示出了存在噪聲時針對三個照明光束結(jié)構(gòu)的兩個檢測器信號的差分信號和抑制常見噪聲時暗光束的優(yōu)點；
[0036]圖出了針對和圖1OA中相同的三個照明光束結(jié)構(gòu)的兩個檢測器信號的求和
信號;
[0037]圖11是示出與斑點大小的一半相對應(yīng)的、相互作用信號中的兩個肩部的畫面截圖；以及
[0038]圖12示出了在本發(fā)明的系統(tǒng)的實施方式中，檢測器相對于照明暗光束模式的定位，該系統(tǒng)包括第二組兩個正向檢測器，和沿垂直于該暗光束的暗線的方向定向的分束器。
【具體實施方式】
[0039]圖1示意性地示出了顆粒監(jiān)測系統(tǒng)的實施方式。圖1所示的系統(tǒng)包括:生成高斯光束的激光器(I);準直透鏡(2);用于將高斯激光束轉(zhuǎn)換成結(jié)構(gòu)化暗光束的相位掩模；聚焦透鏡(4)，其將暗光束聚焦在比色皿(5)內(nèi)，包含顆粒(6)的水通過該比色皿(5)沿箭頭方向流動；以及兩個檢測器(7)和(8)。應(yīng)注意到，在氣載顆粒的情況下，承載顆粒的氣流不需要被限制在比色皿內(nèi)。圖2示出了檢測器相對于照明暗光束模式的定位。在該實施方式中，一個檢測器相對于(over)原始暗光束的每個強度波瓣定位。隨著顆粒經(jīng)過光束，輸出強度模式被修改并且檢測器感測該變化?？梢酝ㄟ^將檢測器對準至暗光束的最大強度梯度來針對靈敏度優(yōu)化檢測器間隔。出于不同分析目的，該檢測器信號可以被記錄為:
[0040]a)單獨的信號；
[0041]b)作為所述兩個檢測器的差分信號；以及[0042]c)作為所述兩個檢測器信號的和。
[0043]在另一實施方式中，使用了第二組兩個正向檢測器，經(jīng)由沿垂直于暗光束的暗線的方向的分束器。這兩個檢測器相對于光束大小是較大的，并且積分總光束強度。圖12示出了在這個實施方式中相對于照明暗光束模式定位第二組檢測器，通過檢查來自這兩個檢測器的信號的對稱性，可以導出一顆粒是否已經(jīng)沿其直徑(信號等同)或者沿弦(信號不同)經(jīng)過聚焦區(qū)域，以及有關(guān)顆粒大小的重要信息，例如相互作用的寬度或該信號中的調(diào)制的深度。這兩個信號的定時還提供了有關(guān)顆粒流方向的對準和其成層狀并且垂直于光學軸到什么程度的信息。
[0044]圖3(a)和圖3(b)示出了由圖1的系統(tǒng)中的兩個檢測器測量的典型信號。在這些圖中，由檢測器1(7)測量的信號用數(shù)字(10)標識，而由檢測器2(8)測量的信號用于數(shù)字
(12)標識。為了適當?shù)男盘柦忉?，必需確認顆粒沿焦平面經(jīng)過光束。根據(jù)本發(fā)明，，如圖3a所示，當顆粒在焦點處經(jīng)過光束時，兩個檢測器的信號同時出現(xiàn)。如果該顆粒不沿著焦平面經(jīng)過，則如圖3b所示，一個檢測器信號相對于另一檢測器信號延遲。該移位方向還確定顆粒是在焦點之前還是之后經(jīng)過光束。應(yīng)注意到，該信號的形狀表示固有顆粒特征。
[0045]因為檢測器信號定性地表示干涉響應(yīng)，所以它們對通過運動的顆粒引起的相位調(diào)制起反應(yīng)。由此，作為一示例，具有比周圍介質(zhì)大的折射率的顆粒(例如，水中的膠乳)將首先在檢測器I中感生負信號并且在檢測器2中感生正信號，而具有比該介質(zhì)小的折射率的顆粒(水中的氣泡)將生成相反的信號。應(yīng)注意到，主要特征是相反的信號。通過改變檢測器次序，可以顛倒正/負。圖4以圖形形式示出了模擬信號的一半，其示出針對水中的氣泡和膠乳顆粒、檢測器輸出與顆粒移動距離的關(guān)系。結(jié)果，可以辨別氣泡與顆粒。在該圖中，曲線(14)示出了針對水中空氣的、來自傳感器I的信號；曲線(16)示出了針對水中空氣的、來自傳感器2的信號；曲線(18)示出了針對水中膠乳的、來自傳感器I的信號；而曲線(20)示出了針對水中膠乳的、來自傳感器2的信號。
[0046]本發(fā)明的另一重要方面是，信號強度對顆粒半徑!具有較低依賴性的檢測方案。根據(jù)經(jīng)典散射理論，散射的能量根據(jù)r~4甚或r~6進行表現(xiàn)，而在本發(fā)明中，信號是相移的結(jié)果，并且r依賴性處于r~2至r~4之間。圖5是示出差分信號的依賴性的模擬的示例，即，針對從圖2所示的暗光束模式中心移出的三種不同大小的顆粒(r = 50nm-點線；r =IOOnm-實線；r = 200nm-短劃線)的、兩個檢測器的信號之間的差異。由本發(fā)明提供的相對于相關(guān)技術(shù)的優(yōu)點是，對檢測器動態(tài)范圍的較低需求和較簡單的檢測方案。使檢測器具有動態(tài)范圍1:10000至1:1000000的挑戰(zhàn)(如根據(jù)瑞利來檢測0.1至I微米范圍內(nèi)的顆粒所需的)是熟悉本領(lǐng)域的任何人所清楚的。
[0047]對于通常大于斑點大小的顆粒來說，在兩個檢測器上的強度將達到平穩(wěn)段并且測量參數(shù)將為檢測器求和寬度，其與顆粒大小成比例。
[0048]圖6示意性地示出了圖1的檢測器系統(tǒng)的實施方式，其已經(jīng)被修改成允許測量來自顆粒的向后散射輻射。如上在本文中針對圖1說明的，該安裝添加了分束器(24)、會聚透鏡(26)、針孔，以及后向散射檢測器(30)。來自聚焦透鏡(4)焦點的顆粒(6)的后向散射輻射被聚焦透鏡(4)聚集、準直、被分束器(24)反射，并且經(jīng)由會聚透鏡(26)引導，該會聚透鏡將輻射通過針孔(28)聚焦到后向散射檢測器(30)上。另外，如激光器輸出的類型可能需要的，在激光器(I)與準直透鏡(2)之間添加了另一透鏡(32)，以使透鏡(32)和(2)一起充當擴束器(34)。
[0049]在本發(fā)明中，后向散射檢測器具有四個角色:
[0050].后向散射檢測器(30)的顯見用途是在共焦檢測方案中驗證與顆粒的相互作用確實被聚焦。
[0051].提供附加大小信息，其中，對于小于暗斑點的顆粒來說，暗光束調(diào)制與顆粒大小成反比。另一方面，對于大于暗斑點并且以恒定速度運動的顆粒來說，相互作用持續(xù)時間與顆粒大小成比例。
[0052]?后向散射相互作用基于相互作用指紋的精細細節(jié)(其可以包括反射特性)，添加了用于在顆粒組中進行區(qū)分的另一維度。
[0053].后向散射檢測器可以檢測由照明光束生成的熒光。在該申請中，分束器(24)用分色鏡代替，其將熒光反射至BS檢測器。與利用正向檢測器檢測并行地測量熒光的能力在用熒光染色對顆粒群進行了染色的情況下，添加了強大的分類工具。這非常適用于藻類，以幫助表征藻類類型，或者檢測致病生物。
[0054]分束器和分色鏡的組合允許用兩個后向散射檢測器來檢測后向散射光和熒光。
[0055]兩個正向信號和可選的后向散射信號(具有和沒有熒光)是與高分辨率激光聚焦光束的單顆粒相互作用。這些相互作用充當高分辨率一維掃描激光顯微鏡，并且提供有關(guān)顆?；A(chǔ)結(jié)構(gòu)的大量信息。該信息可以被用于表征特定顆粒。相同大小但內(nèi)部結(jié)構(gòu)不同的顆粒將具有相同相互作用寬度，但內(nèi)部相互作用脈沖表現(xiàn)不同而是像顆粒的“指紋”。圖7中示出了本發(fā)明可以怎樣用于針對藻類通過聚類來分類的示例。
[0056] 圖7示出了采用二維特征空間的數(shù)據(jù)。針對三種不同類型的藻類獲取了一組相互作用:小球藻(Chlorella)、四面體藻(Tetrahedron)以及盤星藻(Pediastrum)(在圖中分別用X、+，以及*來指示)。對相互作用信號應(yīng)用驗證過濾器，包括兩個通道的對稱性、相互作用上升時間，及其其它。驗證過濾器保證相互作用處于暗光束的焦點區(qū)域中。利用過濾器的不同子集進行測試，但圖7呈現(xiàn)了當應(yīng)用了全部驗證過濾器時的數(shù)據(jù)。從滿足驗證過濾器的相互作用提取特征，并且示出了不同類型藻類的聚類。
[0057]盡管特征空間是多維的，但圖7呈現(xiàn)了 2D散射圖，其中，X軸是以微秒為單位的相互作用脈沖寬度，而Y軸是通過檢測器檢測到的、每相互作用的最大信號。在該2D表述中，已經(jīng)存在不同藻類類型的清楚分組。為幫助指明該分組，在圖中描畫了橢圓，以指示這些組之間的邊界。在該2D表示圖中，仍存在某些交疊，該交疊可以在多維特征空間中減小。接著，在多維空間中，使用人工智能聚類技術(shù)，以標識該邊界。
[0058]應(yīng)用該機制使得當建立已知藻類群時，就可以監(jiān)測例如被藻類污染的水，并且檢測混合物中是否呈現(xiàn)遵守該群的藻類。這將給出有關(guān)藻類種群的實時信息，并且對嘗試減少藻類種群的任何處理進行反饋。
[0059]雖然在此針對藻類展示了本發(fā)明的能力，但其可以與其在此描述的所有檢測選項一起使用，以針對其它事件訓練該系統(tǒng)，如致病生物，并且在出現(xiàn)遵守所述生物群的事件時，觸發(fā)警告信號。針對指紋引出該類推，其中，屬于同一組的對象在特征空間中將具有共性，并且可以按根據(jù)人的指紋來標識人的相同方式利用該共性來進行標識。
[0060]可以利用人工智能工具將通過聚類方法來分類擴展至多維空間，以向該系統(tǒng)教導特定事件的性質(zhì)，并接著針對這種事件的存在性進行監(jiān)測。[0061]本發(fā)明一個實施方式是，通過無監(jiān)督的學習來聚類檢測器信號(請訪問http://WWW.autonlab.0rg/tutorials/以獲得Andrew的數(shù)據(jù)挖掘教程的庫)。圖8示出了利用無監(jiān)督的學習方法來進行多維聚類的示例。
[0062]圖1和圖6的測量系統(tǒng)可以被用于測量運動通過比色皿的顆粒的固有速度。因為相互作用信號持續(xù)時間與顆粒速度成反比，所以這是可能的。雖然在某些構(gòu)造中，可以實現(xiàn)恒定且已知的速度，但本發(fā)明的更一般方法是，根據(jù)相互作用信號中的固有信息來提取速度信息。這通過將暗光束的輪廓(圖9中示意性地示出)考慮在內(nèi)來進行的。光束分布模式的波瓣的強度峰值之間的距離等于W0*2~0.5，其中，WO是高斯腰。該值是已知的，并因此可以用于測量經(jīng)過顆粒速度，而使用調(diào)制深度來提取大小信息。這對于小顆粒來說適用，其中，顆粒的“透鏡效應(yīng)”可忽略。對于較大顆粒來說，如圖11所示，相互作用信號中存在在與斑點大小的一半相對應(yīng)的2個肩部。
[0063]許多顆粒監(jiān)測應(yīng)用特征在于有摻雜有稍大顆粒的、大量的很小顆粒。示例可以是膠質(zhì)；CMP灰漿；結(jié)晶過程以及更多。與主濃度相比，稍大顆粒的尾部濃度(tailconcentration)的比率可以小了 10~6:1左右?，F(xiàn)今技術(shù)發(fā)展水平的儀器儀表實際上看不到這些小濃度。雖然小并且對測量有挑戰(zhàn)性，但這種小尾部在CMP或其它過程的情況下可能導致破壞和擦傷。本發(fā)明提供了用于測量這種尾部中的比10~6:1小的濃度的能力。選擇斑點大小使得總體中的主要部分被濾出并且成為背景噪聲，同時將較大顆粒示出為清楚的相互作用。
[0064]基于暗光束照明結(jié)合將檢測器信號記錄為兩個檢測器的差分信號，本發(fā)明對于背景噪聲來說魯棒性極其高，并且可以幫助檢測高電平的背景噪聲。通過圖10Α和圖10Β中呈現(xiàn)的模擬例示了這種魯棒性。圖10Α針對三種照明光束結(jié)構(gòu)，按任意比例尺示出了差分信號，同時200nm顆粒從中心經(jīng)過光束:高斯(短劃線)、高斯_拉蓋爾(Gauss-Laguerre),以及暗光束(點線)。圖10B類似于圖10A，但用于兩個檢測器信號的和。該模擬是在包含10%總照明功率的半動態(tài)噪聲下進行，并且該模擬中的其它光學參數(shù)如下:
[0065].NA = 0.125
[0066].λ = 400nm
[0067]在圖10A中，與針對其它兩個光束結(jié)構(gòu)的信號相比，針對暗光束獲得了高達二倍的信號。該曲線的符號差異不重要而是依賴于檢測器相對于顆粒方向在減法中的次序。
[0068]要記住的是，與高斯光束相比暗光束的斑點和景深越大，對于實現(xiàn)對比點更小的顆粒的有效測量，噪聲免疫力就更加明顯。與求和構(gòu)造(圖10B)相比，差分構(gòu)造(圖10A)的減少噪聲的顯著優(yōu)點是顯見的。
[0069]在實際測量中，基于本發(fā)明的測量裝置能夠檢測較大顆粒的尾部，與較小顆粒的主體相比，其濃度在濃度上小了 10~6倍。
[0070]盡管本發(fā)明的實施方式已經(jīng)通過例示進行了描述，但應(yīng)當明白，在不超出權(quán)利要求的范圍的情況下，可以利用許多變型例、修改例，以及改變例來執(zhí)行本發(fā)明。
【權(quán)利要求】
1.一種顆粒監(jiān)測系統(tǒng)，該顆粒監(jiān)測系統(tǒng)包括:生成高斯光束的激光器；用于將所述高斯激光束轉(zhuǎn)換成結(jié)構(gòu)化暗光束的裝置；聚焦透鏡，該聚焦透鏡將所述暗光束聚焦到運動通過所述照明暗光束的顆粒上；以及兩個檢測器，其中，所述兩個檢測器中的一個檢測器相對于所述暗光束的各強度波瓣定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒監(jiān)測系統(tǒng)，其中，所述顆粒在相對于所述暗光束的方向成90度角的方向運動通過所述照明暗光束。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒監(jiān)測系統(tǒng)，其中，按下列方式中的至少一個方式記錄來自所述兩個檢測器的信號: a)作為單獨信號； b)作為所述兩個檢測器信號的差分信號；以及 c)作為所述兩個檢測器信號的和。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒監(jiān)測系統(tǒng)，所述顆粒監(jiān)測系統(tǒng)包括分束器和在所述暗光束的暗線的垂直方向上定向的第二組檢測器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒監(jiān)測系統(tǒng)，所述顆粒監(jiān)測系統(tǒng)包括分束器和第三檢測器，該第三檢測器被設(shè)置成允許同時測量來自所述顆粒的后向散射輻射。
【文檔編號】G01N15/14GK103959039SQ201280059154
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2012年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月1日
【發(fā)明者】J·沙米爾 申請人:P.M.L.離子監(jiān)測裝置有限公司