專利名稱：顯微鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及晶圓制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓檢測用的顯微鏡。
背景技術(shù)：
顯微鏡是由一組或多組透鏡組合而構(gòu)成的一種光學(xué)儀器，是人類進(jìn)入原子時代的標(biāo)志。顯微鏡是用于放大微小物體的儀器，使得微小物體放大后能被人的肉眼看到。顯微鏡按照顯微原理進(jìn)行分類可分為光學(xué)顯微鏡與電子顯微鏡。光學(xué)顯微鏡通常皆由光學(xué)部分、照明部分和機械部分組成。無疑光學(xué)部分是最為關(guān)鍵的，它由目鏡和物鏡組成。目前光學(xué)顯微鏡的種類很多，主要有明視野顯微鏡(普通光學(xué)顯微鏡)、暗視野顯微鏡、突光顯微鏡、相差顯微鏡、激光共聚掃描顯微鏡、偏光顯微鏡、微分干涉差顯微鏡、倒置顯微鏡。
電子顯微鏡有與光學(xué)顯微鏡相似的基本結(jié)構(gòu)特征，但它有著比光學(xué)顯微鏡高得多的對物體的放大及分辨本領(lǐng)，它將電子流作為一種新的光源，使物體成像。目前電子顯微鏡的種類很多，主要有透射電鏡、掃描電鏡、分析電鏡、超高壓電鏡等。參圖I所述，現(xiàn)有技術(shù)中的一種顯微鏡，用以對晶圓進(jìn)行檢測，包括機械手、工作平臺I’及設(shè)于所述工作平臺I’上的卡槽3’、感應(yīng)器4’和驅(qū)動馬達(dá)。機械手用以抓取晶圓；晶圓收容在一個晶片盒內(nèi)；晶片盒可固定在工作平臺I’上的卡槽3’內(nèi)；感應(yīng)器4’用以感知晶片盒是否成功安裝到卡槽3’內(nèi)，其一般設(shè)置在卡槽3’的一側(cè)；驅(qū)動馬達(dá)用以驅(qū)動工作平臺I’進(jìn)行上下移動。上述顯微鏡的工作原理是在正常測試時，晶片盒被放置在卡槽3’內(nèi)，當(dāng)感應(yīng)器4’感應(yīng)到晶片盒時，感應(yīng)器4’會發(fā)出感應(yīng)信號，指示設(shè)備可以正常操作；當(dāng)感應(yīng)器4’沒有感應(yīng)到晶片盒時，感應(yīng)器4’會發(fā)出報警信號。測試完畢后，驅(qū)動馬達(dá)反向旋轉(zhuǎn)，控制工作平臺I’上升。上述顯微鏡的缺點在于在顯微鏡工作過程中，若是人為取走晶片盒，感應(yīng)器不會發(fā)出任何報警信號。晶片盒被拿走后工作平臺上沒有晶片盒，操作人員發(fā)現(xiàn)后會重新放一個新的晶片盒，但是，之前晶片盒內(nèi)的晶圓正被機械手拿著進(jìn)行檢測，該晶圓檢測好后，機械手會將它放回晶片盒內(nèi)，但是此時已經(jīng)是一個新的晶片盒，此晶片盒沒有空缺供前一晶片盒的晶圓放置，機械手強行放置后會發(fā)生晶圓相互碰撞的想象，不但損壞了晶圓，而且存在一定的安全隱患。因此，針對上述技術(shù)問題，有必要提供一種具有新型的顯微鏡，以克服上述缺陷。
實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型的目的提供一種顯微鏡，其設(shè)有用以限制晶片盒移動的固定鎖，避免在顯微鏡工作過程中，晶片盒從卡槽中被移動，提高了安全系數(shù)。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案一種顯微鏡，用于晶圓的檢測，包括工作平臺及設(shè)于所述工作平臺上的卡槽、感應(yīng)器和驅(qū)動馬達(dá)，所述卡槽用于收容晶片盒，其中，所述顯微鏡還包括設(shè)于所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，并在第二位置時限制所述晶片盒移動。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述固定鎖包括汽缸和限位部，所述汽缸驅(qū)動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述限位部和汽缸分別設(shè)于所述工作平臺的上下兩側(cè)，所述工作平臺上還開設(shè)有導(dǎo)引槽，所述導(dǎo)引槽用以導(dǎo)引所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述限位部在運動至所述第二位置時，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置時位于所述晶片盒的上方。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述固定鎖至少設(shè)有兩個。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述顯微鏡還包括開關(guān)，所述開關(guān)用以控制所述汽缸驅(qū)動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述開關(guān)為一按鈕。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是通過設(shè)置固定鎖來限制晶片盒移動，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺，以避免損壞晶圓或出現(xiàn)安全隱患。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關(guān)本實用新型的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I是現(xiàn)有技術(shù)中顯微鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型最佳實施例中顯微鏡的俯視圖；圖3是本實用新型最佳實施例中顯微鏡的主視圖。
具體實施方式
本實用新型實施例公開了一種顯微鏡，用于晶圓的檢測，包括工作平臺及設(shè)于所述工作平臺上的卡槽、感應(yīng)器和驅(qū)動馬達(dá)，所述卡槽收容有晶片盒，所述顯微鏡還包括設(shè)于所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，并在第二位置時限制所述晶片盒移動。通過設(shè)置固定鎖來限制晶片盒移動，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺，以避免損壞晶圓或出現(xiàn)安全隱患。下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。圖2和圖3分別是本實用新型最佳實施例中顯微鏡的俯視圖和主視圖。在本實用新型最佳實施例中，顯微鏡包括機械手(圖未示)、工作平臺I及設(shè)于所述工作平臺I上的卡槽3、感應(yīng)器4和驅(qū)動馬達(dá)(圖未示)。機械手用以抓取晶圓；晶圓收容在一個晶片盒(圖未示)內(nèi)；晶片盒可收容在工作平臺I上的卡槽3內(nèi)；感應(yīng)器4用以感知晶片盒是否成功安裝到卡槽3，其設(shè)置在卡槽3的一側(cè)開口處；驅(qū)動馬達(dá)用以驅(qū)動工作平臺I進(jìn)行上下移動。在正常測試時，晶片盒被放置在卡槽3內(nèi)，當(dāng)感應(yīng)器4感應(yīng)到晶片盒時，感應(yīng)器4會發(fā)出感應(yīng)信號，指示設(shè)備可以正常操作；當(dāng)感應(yīng)器4沒有感應(yīng)到晶片盒時，感應(yīng)器4會發(fā) 出報警信號。
顯微鏡還包括設(shè)于工作平臺I上的固定鎖5，固定鎖5可以在氣動作用下從第一位置A運動至第二位置B，并在第二位置B時限制晶片盒移動。其中第一位置A是指固定鎖5的初始位置，即固定鎖5沒有被氣體驅(qū)動時，第二位置B是指固定鎖5被氣體驅(qū)動之后的位置。固定鎖5包括汽缸51和限位部52，汽缸51上設(shè)有杠桿511，限位部52固定于杠桿511的末端。汽缸51在壓縮空氣的作用下推動杠桿511自第一位置A向第二位置B運動，杠桿511的運動進(jìn)而帶動限位部52 —起運動。在第二位置B時，限位部52的末端位于所述晶片盒的上方，以限制晶片沿垂直工作平臺I的方向移動，為了不影響機械手對晶圓的抓取，限位部52不能位于晶圓的正上方，只能位于沒有晶圓存放的位置，例如晶圓與晶圓之間的間隙上。限位部52的末端可以設(shè)置成板狀，以增大限位部52的阻擋面積，實現(xiàn)更好的穩(wěn)固效果。為了限制晶片盒在水平面內(nèi)的運動，尤其是沿卡槽3延伸方向的運動，可以在晶片盒上開凹槽或孔，以使得限位部52在位于第二位置B時，可以卡持或穿設(shè)在凹槽或孔內(nèi)，此時限位部52的末端可以根據(jù)需要設(shè)置成圓柱狀等。限位部52和汽缸51分別設(shè)于工作平臺I的上下兩側(cè)，工作平臺I上還開設(shè)有導(dǎo)引槽11，導(dǎo)引槽11用以導(dǎo)引限位部52在第一位置A和第二位置B之間移動。導(dǎo)引槽11延伸的方向垂直于卡槽3。為了保證對晶片盒的穩(wěn)固效果，固定鎖5優(yōu)選設(shè)置為兩個，每個固定鎖包括一個汽缸及固定于該汽缸上的限位部，兩個固定鎖5設(shè)置于卡槽3的同一側(cè)，亦可分別設(shè)置于卡槽3的兩側(cè)。易于想到，固定鎖5也可以僅設(shè)有一個，還可以設(shè)置為三個或三個以上。固定鎖5在設(shè)置為一個時，其包括一個汽缸，還包括限位部，限位部可以設(shè)置為一個，也可以設(shè)置為兩個第一限位部和第二限位部，第一限位部和第二限位部受同一個汽缸驅(qū)動。第一限位部和第二限位部的目的在于在一個汽缸的驅(qū)動下，可以實現(xiàn)對晶片盒的多處阻擋。故，限位部的末端也可以形成多個分叉，以實現(xiàn)對晶片盒頂端的多處的阻擋作用，由于只采用一個汽缸，結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約了成本，同時又通過多處阻擋實現(xiàn)了很好的穩(wěn)固作用。在其他實施例中，汽缸51也可以設(shè)置于工作平臺I的上表面上，此時不需要設(shè)置導(dǎo)引槽11。[0039]顯微鏡還包括一個開關(guān)(圖未示)，該開關(guān)用以控制汽缸內(nèi)壓縮空氣的通與斷，進(jìn)而控制汽缸51驅(qū)動限位部52在第一位置A和第二位置B之間移動。開關(guān)優(yōu)選為一按鈕開關(guān)，安裝在工作平臺I上。本實用新型實施例的顯微鏡的工作原理是在正常測試時，將安裝好晶圓的晶片盒放置到卡槽3中，感應(yīng)器4感應(yīng)到晶片盒并發(fā)出感應(yīng)信號，指示設(shè)備可以正常操作，此時，驅(qū)動馬達(dá)正向旋轉(zhuǎn)，帶動控制工作平臺I下降，當(dāng)工作平臺I到達(dá)目標(biāo)位置時，按下開關(guān)，在壓縮空氣的驅(qū)動下，汽缸51帶動限位部52沿導(dǎo)引槽11滑動至第二位置B，并使得限位部52的末端位于晶片盒的上方，以限制晶片盒的移動。當(dāng)測試完畢時，再次觸動開關(guān)，汽缸收縮并帶動限位部52回撤到第一位置A，驅(qū)動馬達(dá)反向旋轉(zhuǎn)，控制工作平臺I上升。由于在工作過程中無法移動晶片盒，消除了安全隱患。本實用新型實施例的顯微鏡機臺結(jié)構(gòu)涉及的顯微鏡為OLYMPUS MX61顯微鏡。固定鎖是使用在OLYMPUS MX61顯微鏡上的。OLYMPUS MX61顯微鏡用于對半導(dǎo)體器件進(jìn)行檢測。OLYMPUS MX61顯微鏡能夠應(yīng)對從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法，切換物鏡時 亮度光圈連動能進(jìn)行自動調(diào)節(jié)。這些功能實現(xiàn)了快速舒適的檢查環(huán)境。OLYMPUS MX61顯微鏡具有如下優(yōu)點I.大型載物臺搭載,可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)；2.采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利；3.多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求；4.透射和反射照明可同時使用，極大提聞液晶基板觀察效果。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型實施例的顯微鏡機臺結(jié)構(gòu)的有益效果是通過設(shè)置固定鎖來限制晶片盒移動，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺，以避免損壞晶圓或出現(xiàn)安全隱患。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個整體，各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。
權(quán)利要求1.一種顯微鏡，用于晶圓的檢測，包括工作平臺及設(shè)于所述工作平臺上的卡槽、感應(yīng)器和驅(qū)動馬達(dá)，所述卡槽用于收容晶片盒，其特征在于所述顯微鏡還包括設(shè)于所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，并在第二位置時限制所述晶片盒移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯微鏡，其特征在于所述固定鎖包括汽缸和限位部，所述汽缸驅(qū)動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述限位部和汽缸分別設(shè)于所述工作平臺的上下兩側(cè)，所述工作平臺上還開設(shè)有導(dǎo)引槽，所述導(dǎo)引槽用以導(dǎo)引所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述限位部在運動至所述第二位置時，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置時位于所述晶片盒的上方。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述固定鎖至少設(shè)有兩個。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述顯微鏡還包括開關(guān)，所述開關(guān)用以控制所述汽缸驅(qū)動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯微鏡，其特征在于所述開關(guān)為一按鈕。
專利摘要本實用新型公開了一種顯微鏡，用于晶圓的檢測，包括工作平臺及設(shè)于所述工作平臺上的卡槽、感應(yīng)器和驅(qū)動馬達(dá)，所述卡槽用于收容晶片盒，所述顯微鏡還包括設(shè)于所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，并在第二位置時限制所述晶片盒移動。本實用新型通過設(shè)置固定鎖來限制晶片盒在工作過程中的移動，可以避免損壞晶圓及出現(xiàn)安全隱患。
文檔編號G01D11/16GK202630990SQ20122025603
公開日2012年12月26日 申請日期2012年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月31日
發(fā)明者陸琦 申請人:無錫華潤上華科技有限公司