專利名稱：整體導軌結構掃描工作臺的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及掃描平臺，尤其涉及整體導軌結構掃描工作臺。
背景技術：
在半導體集成電路制造行業(yè)，特別設計LED生產和太陽能電池芯片的生產過程中，對基片的平整度，翹曲度這些指標有很高的要求，因此經(jīng)常需要檢測基片的平整度與厚度。由于基片檢測環(huán)境的要求，對掃描工作平臺也就提出了嚴格的要求，不僅要保證基片處于無污染工作狀態(tài)，還需要基片能夠在二維上任意調節(jié)位置，對于檢測位移的準確度要求較高，而這是人工所無法代替的。

實用新型內容本實用新型的目的是提供一種可以用于基片掃描的平臺，通過設置可以在兩個垂直方向上移動的掃描臺，實現(xiàn)基片在二維平面上的移動，以準確定位基片的位置。本實用新型提供一種整體導軌結構掃描工作臺，包括機臺，其中中溜板，固定在所述機臺上，所述中溜板上設置有第一向絲杠；第一向掃描臺，位于所述中溜板上方，所述第一向掃描臺底部螺紋連接所述第一向絲杠，所述第一向掃描臺上表面設置有一第二向絲杠，所述第二向絲杠與所述第一向絲杠垂直；第一向電機，固定在所述中溜板邊緣對應所述第一向絲杠的位置，所述第一向電機的軸端連接所述第一向絲杠；第二向掃描臺，位于所述第一向掃描臺上方，所述第二向掃描臺底部螺紋連接所述第二向絲杠；第二向電機，固定在所述第一向掃描臺邊緣對應所述第二向絲杠的位置，所述第二向電機的軸端連接所述第二向絲杠。上述的掃描工作臺，其中，所述第二向掃描臺上表面設置有豎直的接片柱。上述的掃描工作臺，其中，所述機臺為方形，所述機臺的的第一向尺寸大于所述固定有第一向電機的中溜板的第一向尺寸。上述的掃描工作臺，其中，所述機臺的第二向尺寸大于所述固定有第二向電機的第一向掃描臺的第二向尺寸。上述的掃描工作臺，其中，所述接片柱的數(shù)量為三根。上述的掃描工作臺，其中，所述第二向掃描臺的面積尺寸小于所述第一向掃描臺的面積尺寸。本實用新型通過兩絲杠實現(xiàn)掃描臺在二維平面上的移動，使得基片能夠根據(jù)要求移動到目標位置，本實用新型的掃描臺，移動速度快，具有結構簡單制造成本低的優(yōu)點。
通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型及其特征、外形和優(yōu)點將會變得更明顯。在全部附圖中相同的標記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。在附圖中，為清楚明了，放大了部分部件。圖1示出了根據(jù)本實用新型的，一種整體導軌結構掃描工作臺的整體結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖及具體實施方式
對本實用新型進行進一步詳細說明。此處所描述的具體實施方式
僅用于解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型的保護范圍。參考圖1所示的一種整體導軌結構掃描工作臺的整體結構示意圖。所述整體導軌結構掃描工作臺包括機臺1 ；一中溜板11，固定在所述機臺上1，所述中溜板上設置有第一向絲杠5 ；第一向掃描臺12，位于所述中溜板11上方，所述第一向掃描臺12底部螺紋連接所述第一向絲杠5，從而第一向掃描臺12可沿第一向方向平移，所述第一向掃描臺12上表面設置有一第二向絲杠3，所述第二向絲杠3與所述第一向絲杠5垂直；第一向電機4，固定在所述中溜板11邊緣對應所述第一向絲杠5的位置，所述第一向電機4的軸端連接所述第一向絲杠5，所述第一向掃描臺12在第一向方向上的平移由第一向電機4驅動；第二向掃描臺22，位于所述第一向掃描臺12上方，所述第二向掃描臺22底部螺紋連接所述第二向絲杠3 ；第二向電機2，固定在所述第一向掃描臺12邊緣對應所述第二向絲杠3的位置，所述第二向電機2的軸端連接所述第二向絲杠3，所述第二向掃描臺22在第二向方向上的平移由第二向電機2驅動。在一個優(yōu)選例中，所述第二向掃描臺22上表面設置有豎直的接片柱6。如圖1所示，接片柱6上放置有基片7。在一個具體實施例中，所述機臺1為大理石。如圖1所示的掃描工作臺的二維平面俯視圖，上述的第一向可以根據(jù)需要設置， 第二向只需要在水平面上保持和第一向垂直即可。在一個優(yōu)選例中，為方便計算基片7 的移動坐標，可以將第一向定義為Y向，第二向定義為X向，此時，基片7的位置就可以用 (X，Y)來表示，方便定位。在又一個優(yōu)選例中，所述機臺1為方形，所述機臺1的的第一向尺寸大于所述固定有第一向電機4的中溜板11的第一向尺寸，這樣的設計使得中溜板11在第一向上比機臺1窄。進一步地，所述機臺1的第二向尺寸大于所述固定有第二向電機2的第一向掃描臺12的第二向尺寸，這樣的設計使得中溜板11在第二向上比機臺1窄，這樣，就可以在機臺1上罩一個透明的防護罩，蓋住所述機臺1上的各個零部件，這樣，基片7就可以在一個與外界隔離的狀態(tài)下被掃描，防止了發(fā)生污染的可能性。在又一個優(yōu)選例，所述接片柱6的數(shù)量為三根。本領域技術人員理解，接片柱6的數(shù)量也可以大于三根，從節(jié)省成本的角度看，設置三根接片柱6就可以達到基片7放置的目的。[0027]更進一步地，所述第二向掃描臺的面積尺寸小于所述第一向掃描臺的面積尺寸， 這樣的設計便于后期維護設備。本領域技術人員應該理解，本領域技術人員結合現(xiàn)有技術以及上述實施例可以實現(xiàn)所述變化例，在此不予贅述。這樣的變化例并不影響本實用新型的實質內容，在此不予贅述。以上對本實用新型的較佳實施例進行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細描述的設備和結構應該理解為用本領域中的普通方式予以實施；任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術內容對本實用新型技術方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例，這并不影響本實用新型的實質內容。因此，凡是未脫離本實用新型技術方案的內容，依據(jù)本實用新型的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術方案保護的范圍內。
權利要求1.一種整體導軌結構掃描工作臺，包括機臺，其特征在于中溜板，固定在所述機臺上，所述中溜板上設置有第一向絲杠；第一向掃描臺，位于所述中溜板上方，所述第一向掃描臺底部螺紋連接所述第一向絲杠，所述第一向掃描臺上表面設置有一第二向絲杠，所述第二向絲杠與所述第一向絲杠垂直；第一向電機，固定在所述中溜板邊緣對應所述第一向絲杠的位置，所述第一向電機的軸端連接所述第一向絲杠；第二向掃描臺，位于所述第一向掃描臺上方，所述第二向掃描臺底部螺紋連接所述第二向絲杠；第二向電機，固定在所述第一向掃描臺邊緣對應所述第二向絲杠的位置，所述第二向電機的軸端連接所述第二向絲杠。
2.根據(jù)權利要求1所述的掃描工作臺，其特征在于，所述第二向掃描臺上表面設置有豎直的接片柱。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的掃描工作臺，其特征在于，所述機臺為方形，所述機臺的的第一向尺寸大于所述固定有第一向電機的中溜板的第一向尺寸。
4.根據(jù)權利要求3所述的掃描工作臺，其特征在于，所述機臺的第二向尺寸大于所述固定有第二向電機的第一向掃描臺的第二向尺寸。
5.根據(jù)權利要求2所述的掃描工作臺，其特征在于，所述接片柱的數(shù)量為三根。
6.根據(jù)權利要求4或5所述的掃描工作臺，其特征在于，所述第二向掃描臺的面積尺寸小于所述第一向掃描臺的面積尺寸。
專利摘要本實用新型提供一種整體導軌結構掃描工作臺，包括機臺，其中，一中溜板，固定在所述機臺上，所述中溜板上設置有第一向絲杠；第一向掃描臺，位于所述中溜板上方，所述第一向掃描臺底部螺紋連接所述第一向絲杠，所述第一向掃描臺上表面設置有一第二向絲杠，所述第二向絲杠與所述第一向絲杠垂直；第一向電機，固定在所述中溜板邊緣對應所述第一向絲杠的位置，所述第一向電機的軸端連接所述第一向絲杠；第二向掃描臺，位于所述第一向掃描臺上方，所述第二向掃描臺底部螺紋連接所述第二向絲杠；第二向電機，固定在所述第一向掃描臺邊緣對應所述第二向絲杠的位置，所述第二向電機的軸端連接所述第二向絲杠。
文檔編號G01B11/06GK202221299SQ20112026544
公開日2012年5月16日 申請日期2011年7月26日 優(yōu)先權日2011年7月26日
發(fā)明者丁天祥, 李正賢 申請人:上海卓晶半導體科技有限公司