專利名稱：一種太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶切斷機(jī)，具體涉及一種太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體元件的制造過程，主要是將太陽能硅片以切割或裂片的手段分割成多個(gè)晶粒，再將晶粒固定在載體上進(jìn)行電路布設(shè)，最后用封膠體包覆晶粒封裝成形，而制成一個(gè)具有特定功能的半導(dǎo)體元件，在此過程中，太陽能硅片的裂片過程，主要是將待分割的太陽能硅片先進(jìn)行預(yù)切剖，使太陽能硅片表面形成多個(gè)縱橫交錯(cuò)的淺溝，并放置于太陽能硅片裂片機(jī)的載臺(tái)上，再經(jīng)過對(duì)正定位后，由驅(qū)動(dòng)組件中的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)劈刀向下移動(dòng)頂壓太陽能硅片，并通過沖擊裝置沖擊劈刀，進(jìn)而給予太陽能硅片一個(gè)沖擊力量，使太陽能硅片自其預(yù)切割的淺溝位置裂片。但在現(xiàn)有技術(shù)中完成太陽能硅片裂片的程序后，可能會(huì)因程序或加工的誤差，而產(chǎn)生裂片面未完全斷裂使晶粒未完全分離的情況，因此，在太陽能硅片裂片程序后還需施行檢驗(yàn)程序以保證太陽能硅片的完好率，目前的做法，基本上是是以產(chǎn)線人員以肉眼檢查太陽能硅片裂片的成功與否。然而以人工方式檢驗(yàn)往往會(huì)受到人員的經(jīng)驗(yàn)、情緒以及身體狀況等因素影響，進(jìn)而造成檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)因人而異以及無法統(tǒng)一的情形。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種太陽能硅片裂片檢測(cè)裝置，通過此設(shè)計(jì)，改善以人力進(jìn)行太陽能硅片裂片檢驗(yàn)方式，所導(dǎo)致的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)因人而異且無法統(tǒng)一的情形。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是提供了一種太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置，用于太陽能硅片切斷機(jī)中，其特征在于，所述太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置包含超聲檢測(cè)組件，所述超聲檢測(cè)組件包含第一超聲檢測(cè)器，所述第一超聲檢測(cè)器設(shè)置在所述太陽能硅片切斷機(jī)中的太陽能硅片載臺(tái)下方，所述超聲檢測(cè)組件與計(jì)算機(jī)經(jīng)數(shù)據(jù)線連接，用以輸出并判讀所述超聲檢測(cè)組件所檢測(cè)的超聲波。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述超聲檢測(cè)組件進(jìn)一步包含一第二超聲檢測(cè)器，所述第二超聲檢測(cè)器也設(shè)置在所述太陽能硅片載臺(tái)下方，且間隔設(shè)置在第一超聲檢測(cè)器的側(cè)邊， 也用于檢測(cè)太陽能硅片切斷狀態(tài)的超聲波。進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案是，所述超聲檢測(cè)組件還包含二驅(qū)動(dòng)組件，所述二驅(qū)動(dòng)組件與所述計(jì)算機(jī)經(jīng)數(shù)據(jù)線連接并受所述計(jì)算機(jī)控制，所述二驅(qū)動(dòng)組件分別連接所述第一超聲檢測(cè)器以及第二超聲檢測(cè)器，且所述第一超聲檢測(cè)器以及第二超聲檢測(cè)器可受所述二驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于利用超聲檢測(cè)組件的第一超聲檢測(cè)器檢測(cè)太陽能硅片裂片面的超聲信號(hào)輸出至計(jì)算機(jī)，利用超聲波的發(fā)射波與回波，以及計(jì)算機(jī)中對(duì)超聲波的處理技術(shù)，對(duì)比判讀裂片面是否成功斷裂，提供統(tǒng)一的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)而提升檢驗(yàn)的可靠性，其次，太陽能硅片裂片的檢驗(yàn)過程納入自動(dòng)化程序，進(jìn)而節(jié)省人力資源。本實(shí)用新型還利用第二超聲檢測(cè)器的設(shè)置，以雙點(diǎn)判斷檢驗(yàn)太陽能硅片裂片面，進(jìn)而提升太陽能硅片裂片檢驗(yàn)程序的準(zhǔn)確性。利用二驅(qū)動(dòng)組件的設(shè)置以及計(jì)算機(jī)的設(shè)定，使第一以及第二超聲檢測(cè)器可受驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)，使檢測(cè)路徑可視需求靈活變更。

圖1是本實(shí)用新型太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置第一實(shí)施例的主視示意圖；圖2是本實(shí)用新型太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置第二實(shí)施例的側(cè)視示意圖；圖3是本實(shí)用新型太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置第三實(shí)施例的主視示意圖；圖4是本實(shí)用新型太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置第三實(shí)施例的側(cè)視示意圖；圖5是本實(shí)用新型太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置第一實(shí)施例的檢測(cè)路徑示意圖；圖6是本實(shí)用新型太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置第二實(shí)施例的檢測(cè)路徑示意圖；圖7是本實(shí)用新型太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置第三實(shí)施例的檢測(cè)路徑示意圖一；圖8是本實(shí)用新型太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置第三實(shí)施例的檢測(cè)路徑示意圖二。圖中1、超聲檢測(cè)組件；11 ；第一超聲檢測(cè)器；12 ；第二超聲檢測(cè)器；13、驅(qū)動(dòng)組件；2、計(jì)算機(jī)；3、太陽能硅片載臺(tái)；4、太陽能硅片；41、預(yù)切淺溝；5、劈刀。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。如圖1至圖4所示，是本實(shí)用新型的多種較佳實(shí)施例，是用于太陽能硅片裂片機(jī)中，本實(shí)用新型太陽能硅片裂片檢測(cè)裝置包含一超聲檢測(cè)組件ι以及一計(jì)算機(jī)2。如圖1所示，本實(shí)用新型的第一較佳實(shí)施例，該超聲檢測(cè)組件1包含一第一超聲檢測(cè)器11，該第一超聲檢測(cè)器11設(shè)于太陽能硅片裂片機(jī)中的太陽能硅片載臺(tái)3下方，且第一超聲檢測(cè)器11與計(jì)算機(jī)2通過數(shù)據(jù)線連接。如圖2所示，本實(shí)用新型的第二較佳實(shí)施例，除包含上述第一較佳實(shí)施例中的技術(shù)特征外，該超聲檢測(cè)組件1還包含一安裝在太陽能硅片載臺(tái)3下方的第二超聲檢測(cè)器12， 且第二超聲檢測(cè)器12間隔安裝在第一超聲檢測(cè)器11的側(cè)邊，第二超聲檢測(cè)器12與計(jì)算機(jī) 2也通過數(shù)據(jù)線連接。如圖3及圖4所示，本實(shí)用新型的第三較佳實(shí)施例，除包含上述第二較佳實(shí)施例中的技術(shù)特征外，超聲檢測(cè)組件1還包含二驅(qū)動(dòng)組13，二驅(qū)動(dòng)組件13與計(jì)算機(jī)2通過數(shù)據(jù)線連接，并可受計(jì)算機(jī)2的控制，二驅(qū)動(dòng)組件13還分別連接第一超聲檢測(cè)器11以及第二超聲檢測(cè)器12，且第一超聲檢測(cè)器11以及第二超聲檢測(cè)器12可受二驅(qū)動(dòng)組件13驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)。如圖2及圖5，在太陽能硅片裂片機(jī)中的太陽能硅片4抵靠放置在太陽能硅片載臺(tái) 3上，該太陽能硅片4表面已在欲切割位置先行畫多條預(yù)切淺溝41，在對(duì)正定位預(yù)切淺溝41 后，利用太陽能硅片裂片機(jī)中的劈刀5自太陽能硅片4上方予以裂片，此時(shí)，通過位于太陽能硅片載臺(tái)3下方的超聲檢測(cè)組件1檢測(cè)太陽能硅片裂片面的超聲回波，并輸送至計(jì)算機(jī)加以判讀，待超聲檢測(cè)完成后，該太陽能硅片4可被太陽能硅片裂片機(jī)中的輸送裝置帶動(dòng)，使其可在該太陽能硅片載臺(tái)3上平行移動(dòng)至下一預(yù)切淺溝41以進(jìn)行下一個(gè)預(yù)切淺溝41的裂片與檢測(cè)步驟。如圖5至圖8所示，為第一至第三較佳實(shí)施例中超聲檢測(cè)組件1的檢測(cè)路徑示意圖，檢測(cè)路徑以虛線及箭頭表示，而檢測(cè)路徑與預(yù)切淺溝41的交點(diǎn)為檢測(cè)點(diǎn)，其利用太陽能硅片裂片機(jī)中的輸送裝置帶動(dòng)太陽能硅片4，使太陽能硅片4相對(duì)于太陽能硅片載臺(tái)3下方的超聲檢測(cè)組件產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)所畫出的檢測(cè)路徑示意圖。如圖5所示，本實(shí)用新型的第一較佳實(shí)施例中的第一超聲檢測(cè)器11的檢測(cè)路徑， 以裂片面的單檢測(cè)點(diǎn)的斷裂與否判斷裂片面是否成功裂片；如圖6所示，本實(shí)用新型的第二較佳實(shí)施例中的第一超聲檢測(cè)器11與第二超聲檢測(cè)器12的檢測(cè)路徑，利用第二超聲檢測(cè)器12的設(shè)置，以雙檢測(cè)點(diǎn)判斷裂片成功與否，進(jìn)而增加檢測(cè)的準(zhǔn)確性；如圖7及圖8所示，本實(shí)用新型的第三較佳實(shí)施例可利用計(jì)算機(jī)2設(shè)定并控制超聲檢測(cè)組件1中的二驅(qū)動(dòng)組件13的作動(dòng)，進(jìn)而規(guī)劃第一超聲檢測(cè)器11與第二超聲檢測(cè)器12的檢測(cè)路徑，以下為路徑檢測(cè)規(guī)劃的應(yīng)用實(shí)例，其中，如圖7所示，由于太陽能硅片4兩端的裂片面長(zhǎng)度較短，因此檢測(cè)路徑被設(shè)定為單點(diǎn)檢測(cè)，而太陽能硅片4的中段位置的裂片面長(zhǎng)度較長(zhǎng)，便以雙點(diǎn)檢測(cè)確保檢測(cè)的準(zhǔn)確性；如圖8所示的檢測(cè)路徑，其被規(guī)劃為與太陽能硅片4外緣保持一固定距離，由于太陽能硅片4裂片失敗較常發(fā)生在裂片面的外側(cè)段位置，以此路徑規(guī)劃可間接提升檢測(cè)的可靠性。本實(shí)用新型是利用超聲檢測(cè)組件1檢測(cè)太陽能硅片裂片面的超聲，并輸出至計(jì)算機(jī)2進(jìn)行比對(duì)判讀，利用超聲處理的技術(shù)以一個(gè)統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)判斷太陽能硅片4裂片的成功與否，提升檢驗(yàn)的可靠性，并使太陽能硅片4裂片的檢驗(yàn)程序自動(dòng)化以節(jié)省人力資源，其次，通過第二超聲檢索器12的設(shè)置，以雙點(diǎn)判斷裂片成功與否，提升檢測(cè)的準(zhǔn)確性。此外， 利用二驅(qū)動(dòng)組件13的設(shè)置以及計(jì)算機(jī)2的設(shè)定可規(guī)劃該第一超聲檢測(cè)器11以及第二超聲檢測(cè)器12的檢測(cè)路徑，使檢測(cè)路徑可以視需求而靈活變更。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置，用于太陽能硅片切斷機(jī)中，其特征在于，所述太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置包含超聲檢測(cè)組件，所述超聲檢測(cè)組件包含第一超聲檢測(cè)器，所述第一超聲檢測(cè)器設(shè)置在所述太陽能硅片切斷機(jī)中的太陽能硅片載臺(tái)下方，所述超聲檢測(cè)組件與計(jì)算機(jī)經(jīng)數(shù)據(jù)線連接，用以輸出并判讀所述超聲檢測(cè)組件所檢測(cè)的超聲波。
2.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置，其特征在于，所述超聲檢測(cè)組件進(jìn)一步包含一第二超聲檢測(cè)器，所述第二超聲檢測(cè)器也設(shè)置在所述太陽能硅片載臺(tái)下方，且間隔設(shè)置在第一超聲檢測(cè)器的側(cè)邊，也用于檢測(cè)太陽能硅片切斷狀態(tài)的超聲波。
3.如權(quán)利要求2所述的太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置，其特征在于，所述超聲檢測(cè)組件還包含二驅(qū)動(dòng)組件，所述二驅(qū)動(dòng)組件與所述計(jì)算機(jī)經(jīng)數(shù)據(jù)線連接并受所述計(jì)算機(jī)控制，所述二驅(qū)動(dòng)組件分別連接所述第一超聲檢測(cè)器以及第二超聲檢測(cè)器，且所述第一超聲檢測(cè)器以及第二超聲檢測(cè)器可受所述二驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種太陽能硅片切斷檢測(cè)裝置，用于太陽能硅片切斷機(jī)中，該硅片切斷檢測(cè)裝置包含超聲檢測(cè)組件，超聲檢測(cè)組件包含第一、第一超聲檢測(cè)器設(shè)置在硅片切斷機(jī)中的硅片載臺(tái)下方，超聲檢測(cè)組件與計(jì)算機(jī)經(jīng)數(shù)據(jù)線連接，用以輸出并判讀超聲檢測(cè)組件所檢測(cè)的超聲波。利用超聲檢測(cè)組件的第一超聲檢測(cè)器檢測(cè)硅片裂片面的超聲信號(hào)輸出至計(jì)算機(jī)，利用超聲波的發(fā)射波與回波，以及計(jì)算機(jī)中對(duì)超聲波的處理技術(shù)，對(duì)比判讀裂片面是否成功斷裂，提供統(tǒng)一的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)而提升檢驗(yàn)的可靠性，其次，硅片裂片的檢驗(yàn)過程納入自動(dòng)化程序，進(jìn)而節(jié)省人力資源。
文檔編號(hào)G01N29/04GK202196040SQ20112026208
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月22日
發(fā)明者李向清, 沈彪, 胡德良 申請(qǐng)人:江陰市愛多光伏科技有限公司