專利名稱：大視場影像測(cè)量儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種大視場影像測(cè)量儀，主要用于大尺寸工件的幾何測(cè)量。
背景技術(shù)：
影像測(cè)量儀是一種測(cè)量儀器，其基本工作原理是將被測(cè)量工件的輪廓或者表面成 像到電荷耦合器件(CCD)上，通過計(jì)算機(jī)將圖像顯示到顯示器屏幕上，并通過對(duì)應(yīng)的軟件， 應(yīng)用圖像處理的方法，獲得工件的尺寸參數(shù)。目前，影像測(cè)量儀采用高倍率的顯微鏡作為成 像系統(tǒng)元件，對(duì)于大尺寸工件，需要移動(dòng)工作臺(tái)面，多次選取測(cè)量特征點(diǎn)獲取尺寸信息，其 移動(dòng)過程中會(huì)產(chǎn)生累積誤差，并且由于移動(dòng)工件，會(huì)造成整個(gè)工作平面的位移，帶入了制造 誤差，一定程度上影響了工件與鏡頭中心線的垂直度，造成測(cè)量誤差，所以對(duì)大尺寸工件， 其效率低、測(cè)量精度下降。工件有一定高度時(shí)，上表面輪廓與下表面輪廓離鏡頭的距離不 同，由于背光無法做到絕對(duì)平行，根據(jù)光學(xué)成像原理，工件的上表面輪廓線和下表面輪廓線 放大倍率不同，成像距離也有所差異，所以成像系統(tǒng)無法獲得精確的輪廓邊界，對(duì)測(cè)量精度 影響較大。并且由于鏡頭的倍率較大，鏡頭的中心軸線與載物臺(tái)面垂直度對(duì)精度影響較大， 所以其安裝調(diào)試較為困難。影像測(cè)量儀通常采用光柵作為位移計(jì)量元件，光柵的滑塊與運(yùn) 動(dòng)平面的安裝平行度對(duì)于測(cè)量精度的影響較大，所以由于位移造成的尺寸誤差遠(yuǎn)高于單幅 圖面的測(cè)量誤差，造成其測(cè)量精度小于圖像的像素分辨率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種大視場影像測(cè)量儀，針對(duì)大尺寸、有一定高度的 工件的測(cè)量方面的缺陷，木實(shí)用新型主要提供一種測(cè)量準(zhǔn)確、裝調(diào)方便、工件適應(yīng)性強(qiáng)、測(cè) 量效率高的影像測(cè)量儀。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種大視場影像測(cè)量儀，包括大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)、大理石精密基準(zhǔn)立柱；X-Y 二 維工作臺(tái)、高均勻度背光源、大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭、電荷耦合器件(CXD)和Z向位置調(diào)整 機(jī)構(gòu)；其中大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)和垂直安裝在大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)上的大理石精密基準(zhǔn)立 柱構(gòu)成機(jī)臺(tái)，大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)上還安裝有X-Y 二維工作臺(tái)，X-Y 二維工作臺(tái)上安裝有高 均勻度背光源，大理石精密基準(zhǔn)立柱上安裝有Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)與大視 野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭固連，大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭上安裝有電荷耦合器件(CCD)。所述的X-Y 二維工作臺(tái)包括X向工作臺(tái)和Y向工作臺(tái)共兩層，所述的X-Y 二維工 作臺(tái)包括Y向工作臺(tái)和安裝于Y向工作臺(tái)上表面的X向工作臺(tái)，以及安裝于X工作臺(tái)上表 面的工作臺(tái)面板。所述的X-Y 二維工作臺(tái)的工作臺(tái)面板上通過支撐柱安裝有玻璃平板，且玻璃平板 位于高均勻度背光源之上；所述的Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)上固定安裝有自由度可調(diào)鏡頭固定支 架，自由度可調(diào)鏡頭固定支架上安裝有大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭。所述的支撐柱上安裝有調(diào)整墊片。[0009]所述的Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)由手輪、絲杠螺母副、軸承座、軸承端蓋、直線軸承滑塊、 直線軸承導(dǎo)軌、載物聯(lián)接塊和Z向手動(dòng)夾緊裝置組成；其中軸承座上設(shè)有軸承端蓋，軸承座 上套合安裝有絲杠螺母副，絲杠螺母副包括滾珠絲杠和安裝在滾珠絲杠上的螺母；滾珠絲 杠上安裝有手輪；絲杠螺母副上的螺母、直線軸承滑塊通過螺釘與載物聯(lián)接塊固定連接，直 線軸承滑塊安裝在直線軸承導(dǎo)軌上，直線軸承滑塊與載物聯(lián)接塊固連；載物聯(lián)接塊上安裝 有自由度可調(diào)鏡頭固定支架，自由度可調(diào)鏡頭固定支架上通過螺栓固定安裝有大視野低倍 率遠(yuǎn)心鏡頭；大理石精密基準(zhǔn)立柱上安裝有轉(zhuǎn)接板，轉(zhuǎn)接板上安裝有Z向手動(dòng)夾緊裝置和 機(jī)械限位裝置45。絲桿螺母副中的滾珠絲杠穿過Z向手動(dòng)夾緊裝置的圓孔。所述的Z向手動(dòng)夾緊裝置包括本體和銅套；其中本體通過沉頭螺釘固定安裝在 轉(zhuǎn)接板上；本體上設(shè)置有圓孔和調(diào)整槽，圓孔與調(diào)整槽連通；圓孔與銅套的外圓面間隙配 合安裝，銅套的內(nèi)圓面與絲杠螺母副上的滾珠絲杠間隙配合安裝；銅套上安裝有鎖緊螺釘； 本體上還安裝有去應(yīng)力孔，且去應(yīng)力孔與調(diào)整槽位于同一平面上。所述的自由度可調(diào)鏡頭固定支架上表面設(shè)置有4個(gè)鎖緊槽孔和4個(gè)調(diào)整螺孔；所述的4個(gè)調(diào)整螺孔分別設(shè)置于自由度可調(diào)鏡頭固定支架上表面的四側(cè)，分別為 第一螺釘孔，第二螺釘孔，第三螺釘孔，第四螺釘孔。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型解決了對(duì)于在120mm*90mm尺寸以內(nèi)的工 件，在軟件設(shè)計(jì)測(cè)量功能的范圍內(nèi)，可以一次性獲取尺寸特征信息而無需移動(dòng)工作臺(tái)；對(duì)于 在高度小于15mm的工件，其邊緣輪廓可以清晰投影成像；儀器無專門的位移計(jì)量裝置，其 主要特點(diǎn)是具有一定高度的工件的邊緣輪廓在光照不平行的情況下能夠獲取清晰圖像。為 保證測(cè)量精度，遠(yuǎn)心鏡頭中心軸線需要垂直于工作臺(tái)面，兩自由度可調(diào)固定支架降低了調(diào) 整難度和工件的加工要求。在通過影像校正后，儀器采用非線性校正方法，將整個(gè)視野范圍的圖像進(jìn)行校正， 所以無需位移計(jì)量傳感器，并且對(duì)工件進(jìn)行一次成像測(cè)量，減少位移造成的機(jī)械誤差和計(jì) 量誤差對(duì)測(cè)量的影響，提高測(cè)量效率。Z軸位置調(diào)整機(jī)構(gòu)的主要傳動(dòng)部件為絲杠螺母副，其 不帶自鎖功能，受軸向力的作用會(huì)發(fā)生位移，通常情采用況下采用配重來平衡軸向力。本實(shí) 用新型采用手動(dòng)夾緊裝置，可以有效防止Z軸位置調(diào)整機(jī)構(gòu)受鏡頭重力的作用發(fā)生Z方向 的非自主位移，在Z方向極限位置設(shè)置限位裝置，防止儀器忘記鎖緊并受到的一定沖擊情 況下鏡頭墜落損害。本實(shí)用新型具有測(cè)量準(zhǔn)確、裝調(diào)方便、工件適應(yīng)性強(qiáng)、測(cè)量效率高的特 點(diǎn)O

圖1是本實(shí)用新型的主視圖；圖2是本實(shí)用新型的立體圖；圖3是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭的局部放大圖；圖5是本實(shí)用新型Z向手動(dòng)夾緊裝置的局部剖視圖；圖6是圖5的A-A剖視圖；圖7是本實(shí)用新型支撐柱34的局部放大4[0023]圖8是圖7的B-B剖視圖；圖9是利用百分表調(diào)整大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭位置示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1本實(shí)施例中所指的X，Y，Z就是指三維上的三個(gè)坐標(biāo)位置，X 以大視場影像測(cè)量儀 的主視圖為基準(zhǔn)的前后方向，Y 以大視場影像測(cè)量儀主視圖為基準(zhǔn)的左右方向，Z 以大視 場影像測(cè)量儀的主視圖為基準(zhǔn)的上下方向。如圖1-8所示，一種大視場影像測(cè)量儀，包括大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)13、大理石精密 基準(zhǔn)立柱6 ；X-Y 二維工作臺(tái)9、高均勻度背光源5、大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2、電荷耦合器件 (CXD) 1和Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)；其中大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)13和垂直安裝在大理石基準(zhǔn)精密 平臺(tái)13上的大理石精密基準(zhǔn)立柱6構(gòu)成機(jī)臺(tái)。X-Y 二維工作臺(tái)9包括Y向工作臺(tái)32和安 裝于Y向工作臺(tái)32上表面的X向工作臺(tái)31，以及安裝于X工作臺(tái)31上表面的工作臺(tái)面板 30。且X-Y 二維工作臺(tái)9通過步進(jìn)電機(jī)33作為動(dòng)力元件驅(qū)動(dòng)。X-Y 二維工作臺(tái)9的工作臺(tái) 的面板30上通過支撐柱41安裝有玻璃平板4，且玻璃平板4位于高均勻度背光源5之上； 支撐柱41上安裝有調(diào)整墊片42。本實(shí)施例的照明采用大面積高均勻度背光源5，且安裝在 X-Y 二維工作臺(tái)9的上表面；大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)13作為基準(zhǔn)平面，玻璃平板4與大理石基 準(zhǔn)精密平臺(tái)13平行度通過在支撐柱41上墊調(diào)整墊片42進(jìn)行調(diào)整，保證基準(zhǔn)統(tǒng)一。大理石 精密基準(zhǔn)立柱6上安裝有Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)。Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)由手輪7、絲杠螺母副18、 軸承座15、軸承端蓋16、直線軸承滑塊11、直線軸承導(dǎo)軌12、載物聯(lián)接塊14和Z向手動(dòng)夾緊 裝置組成；其中軸承座15上設(shè)有軸承端蓋16，軸承座15上套合安裝有絲杠螺母副18，絲杠 螺母副18包括滾珠絲杠27和和安裝在滾珠絲杠27上的螺母17 ；滾珠絲杠27上安裝有手 輪7 ；絲杠螺母副18上的螺母17、直線軸承滑塊11通過螺釘與和載物聯(lián)接塊14固定連接， 直線軸承滑塊11活動(dòng)安裝在直線軸承導(dǎo)軌12上，直線軸承滑塊11與載物聯(lián)接塊14固連； 機(jī)械限位裝置45安裝在轉(zhuǎn)接板24上，滾珠絲杠軸的一端穿過限位裝置45的中心孔；載物 聯(lián)接塊14上安裝有自由度可調(diào)鏡頭固定支架3，自由度可調(diào)鏡頭固定支架3通過螺栓固定 安裝有大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2 ；大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2上安裝有電荷耦合器件(CCD)l。 大理石精密基準(zhǔn)立柱6上安裝有轉(zhuǎn)接板24，轉(zhuǎn)接板24上安裝有Z向手動(dòng)夾緊裝置和機(jī)械限 位裝置45。自由度可調(diào)鏡頭固定支架3上表面上設(shè)置有4個(gè)鎖緊槽孔28和4個(gè)調(diào)整螺孔；所 述的4個(gè)調(diào)整螺孔分別設(shè)置于自由度可調(diào)鏡頭固定支架3上表面的四側(cè)，分別為第一螺釘 孔34，第二螺釘孔35，第三螺釘孔36，第四螺釘孔37。Z向手動(dòng)夾緊裝置包括本體19和銅 套20 ；其中本體19通過沉頭螺釘25固定安裝在轉(zhuǎn)接板24上；本體19上設(shè)置有圓孔21和 調(diào)整槽22，圓孔21與調(diào)整槽22連通；圓孔21與銅套20的外圓面間隙配合安裝，銅套20的 內(nèi)圓面與絲杠螺母副18上的滾珠絲杠27間隙配合安裝；銅套20上安裝有鎖緊螺釘23 ；本 體19上還安裝有去應(yīng)力孔26，且去應(yīng)力孔26與調(diào)整槽22位于同一中心平面上。由于是間 隙配合，絲桿螺母副18中的滾珠絲杠27無摩擦穿過Z向手動(dòng)夾緊裝置的圓孔21。絲杠螺 母副18在手輪7的旋轉(zhuǎn)力矩作用下能夠無摩擦轉(zhuǎn)動(dòng)；在旋緊鎖緊螺釘23，受鎖緊螺釘23的 鎖緊應(yīng)力作用，銅套20和本體19內(nèi)孔在調(diào)整槽22處產(chǎn)生應(yīng)力變形，將滾珠絲杠27卡緊，在摩擦力的作用下，圓孔21表面卡緊滾珠絲杠27，使其不能移動(dòng)，達(dá)到了鎖緊的目的；當(dāng)要 移動(dòng)X-Y 二維工作臺(tái)9時(shí)，只要松開鎖緊螺釘23，在彈性應(yīng)力的作用下，銅套20的圓孔21 恢復(fù)到鎖緊前狀態(tài)，圓孔21與滾珠絲杠27無接觸，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠自由轉(zhuǎn)動(dòng)。銅套20的材 質(zhì)屬于低摩擦系數(shù)的軟質(zhì)材料，并且加工后的表面粗糙度好，而鋼屬于硬質(zhì)材料，兩者有摩 擦?xí)r，銅套先磨損，可以有效保護(hù)滾珠絲杠27端的圓柱形表面，并且由于銅的抗拉剛度比 剛要小，采用銅套20入本體19中比直接開孔所需鎖緊力小。開去應(yīng)力孔26主要目的是防 止材料壓縮時(shí)產(chǎn)生塑性變形。機(jī)械限位裝置45主要是防止沒有鎖緊Z向手動(dòng)夾緊裝置情 況下，鏡頭由于自重下墜而脫離機(jī)臺(tái)。大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2的上下位置可以通過Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)來進(jìn)行調(diào)節(jié)。調(diào) 整時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)手輪7，在旋轉(zhuǎn)力矩的作用下，滾珠絲杠21帶動(dòng)螺母17作直線運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)載 物連接塊14運(yùn)動(dòng)，由于采用了直線軸承機(jī)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)的基準(zhǔn)平面為直線軸承導(dǎo)軌12的高精度 導(dǎo)軌面，所以其定位精度較高，大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2的Z向移動(dòng)對(duì)鏡頭2的光心與載物 玻璃平板4的垂直度影響小。本實(shí)施例選用的大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2的體積較大，自由度可調(diào)鏡頭固定支架 3上有四通孔，將通過螺釘與載物聯(lián)接塊14連接為一體；自由度可調(diào)鏡頭固定支架3上表 面中間開有一通孔40，把大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2放入通孔40中，由于大視野低倍率遠(yuǎn)心 鏡頭2為喇叭形狀，大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2與電荷耦合器件(CCD) 1相聯(lián)接的小端可以從 通孔40的下端伸入，鏡頭安裝法蘭的上端部與自由度可調(diào)鏡頭固定支架3的下端面接觸； 大孔四周垂直分布4個(gè)鎖緊槽孔28和4個(gè)調(diào)整螺孔，所述的4個(gè)調(diào)整螺孔分別設(shè)置于自由 度可調(diào)鏡頭固定支架3上表面的四側(cè)，分別為第一螺釘孔34，第二螺釘孔35，第三螺釘孔 36，第四螺釘孔37。4個(gè)調(diào)整螺孔與第一螺釘38 —起作為調(diào)整大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2的鏡心與大 理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)13的垂直度之用，4個(gè)鎖緊槽孔28用第二螺釘39或者螺栓伸進(jìn)固定支 架的安裝槽孔和大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2的安裝法蘭的通孔中作為固定之用，在另一端用 螺母加以鎖緊，只用一定的預(yù)緊力。采用鎖緊槽孔28的原因主要為了調(diào)整電荷耦合器件 (CXD)成像中心軸線與X-Y 二維工作臺(tái)9運(yùn)動(dòng)方向的平行度。本實(shí)用新型可根據(jù)百分表43讀數(shù)來調(diào)整大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2的位置，如圖9 所示，大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)13上，沿縱向和橫向2個(gè)方向各放置一臺(tái)高度游標(biāo)卡尺10，在高 度游標(biāo)卡尺10上與大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2同高度的地方安裝一臺(tái)百分表43，搖動(dòng)高度游 標(biāo)卡尺的手輪44，使得百分表上下移動(dòng)，根據(jù)百分表讀數(shù)可以獲得大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭 2中心線對(duì)大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)的垂直度信息。調(diào)整第三螺釘孔36上的第一螺釘38和第 四螺釘孔37上的第一螺釘38以使大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2的鏡心繞X向旋轉(zhuǎn)；順時(shí)針旋 轉(zhuǎn)需要第三螺釘孔36上的第一螺釘38的旋緊力大于第四螺釘孔37上的第一螺釘38提供 的旋緊力，逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)則相反。當(dāng)同時(shí)調(diào)整第一螺釘孔34上的第一螺釘38和第二螺 釘孔35上的第一螺釘38可以使遠(yuǎn)心鏡頭繞Y向旋轉(zhuǎn)，具體調(diào)整力的大小與X向旋轉(zhuǎn)類似。 整個(gè)調(diào)整過程主要圍繞大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2的光軸與基準(zhǔn)面的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度，需要 注意的事是，在調(diào)整各第一螺釘38時(shí)，要把相應(yīng)的4個(gè)鎖緊槽孔28上的第二螺釘39的螺 母適當(dāng)?shù)恼{(diào)松，然后根據(jù)百分表讀數(shù)對(duì)調(diào)整第一螺釘38分別施加相應(yīng)的旋緊力，調(diào)節(jié)大視 野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2鏡心與大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)13的垂直度，待調(diào)整數(shù)據(jù)達(dá)到要求后，把第一螺釘38和第二螺釘39加以鎖緊進(jìn)行緊固。高均勻度背光源5通過螺母安放在X-Y精密工作臺(tái)9的上面板上，高均勻度背光 源5上方為透光玻璃平板4，用于放置工件并保護(hù)光源。所述機(jī)臺(tái)的基準(zhǔn)平面都是大理石精 密基準(zhǔn)平臺(tái)13，透光玻璃平板4與大理石精密基準(zhǔn)平臺(tái)13平行度需要保證在0.01的范圍 內(nèi)。本機(jī)臺(tái)背光機(jī)械結(jié)構(gòu)能夠滿足上面兩個(gè)要求。儀器工作時(shí)，首先由Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2，使得大視野 低倍率遠(yuǎn)心鏡頭2處在成像最佳位置，被測(cè)工件成像在電荷耦合器件1上，圖像信號(hào)通過電 子線路傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，并在電腦顯示器上顯示，通過操作對(duì)應(yīng)軟件，可以一次性獲取工件的 相關(guān)尺寸信息。
權(quán)利要求一種大視場影像測(cè)量儀，其特征在于包括大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)(13)、大理石精密基準(zhǔn)立柱(6)；X Y二維工作臺(tái)(9)、高均勻度背光源(5)、大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭(2)、電荷耦合器件(1)和Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)；其中大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)(13)和垂直安裝在大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)(13)上的大理石精密基準(zhǔn)立柱(6)構(gòu)成機(jī)臺(tái)，大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)(13)上還安裝有X Y二維工作臺(tái)(9)，X Y二維工作臺(tái)(9)上安裝有高均勻度背光源(5)，大理石精密基準(zhǔn)立柱(6)上安裝有Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)與大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭(2)固連，大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭(2)上安裝有電荷耦合器件(CCD)(1)。
2.如權(quán)利要求1所述的大視場影像測(cè)量儀，其特征在于所述的X-Y二維工作臺(tái)(9)包 括Y向工作臺(tái)(32)和安裝于Y向工作臺(tái)(32)上表面的X向工作臺(tái)(31)，以及安裝于X工 作臺(tái)(31)上表面的工作臺(tái)面板(30)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的大視場影像測(cè)量儀，其特征在于所述的X-Y二維工作臺(tái) (9)的工作臺(tái)的面板(30)上通過支撐柱(41)安裝有玻璃平板(4)，且玻璃平板(4)位于高 均勻度背光源(5)之上；所述的Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)上固定安裝有自由度可調(diào)鏡頭固定支架(3)，自由度可調(diào)鏡頭固定支架(3)上安裝有大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭(2)。
4.如權(quán)利要求3所述的大視場影像測(cè)量儀，其特征在于所述的支撐柱(41)上安裝有 調(diào)整墊片(42)。
5.如權(quán)利要求1所述的大視場影像測(cè)量儀，其特征在于所述的Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)由 手輪(7)、絲杠螺母副(18)、軸承座(15)、軸承端蓋(16)、直線軸承滑塊(11)、直線軸承導(dǎo)軌 (12)、載物聯(lián)接塊(14)和Z向手動(dòng)夾緊裝置組成；其中軸承座(15)上設(shè)有軸承端蓋(16)， 軸承座(15)上套合安裝有絲杠螺母副(18)，絲杠螺母副(18)包括滾珠絲杠(27)和安裝 在滾珠絲杠(27)上的螺母(17)；防止自重墜落的機(jī)械限位裝置(45)安裝在轉(zhuǎn)接板(24) 上；滾珠絲杠(27)上安裝有手輪(7)；絲杠螺母副(18)上的螺母(17)、直線軸承滑塊(11) 通過螺釘與載物聯(lián)接塊(14)固定連接，直線軸承滑塊(11)活動(dòng)安裝在直線軸承導(dǎo)軌(12) 上，直線軸承滑塊(11)與載物聯(lián)接塊(14)固連；載物聯(lián)接塊(14)上安裝有自由度可調(diào)鏡 頭固定支架(3)，自由度可調(diào)鏡頭固定支架(3)上通過螺栓固定安裝有大視野低倍率遠(yuǎn)心 鏡頭(2)；大理石精密基準(zhǔn)立柱(6)上安裝有轉(zhuǎn)接板(24)，轉(zhuǎn)接板(24)上安裝有Z向手動(dòng) 夾緊裝置和機(jī)械限位裝置(45)。
6.如權(quán)利要求5所述的大視場影像測(cè)量儀，其特征在于所述的Z向手動(dòng)夾緊裝置包 括本體(19)和銅套(20)；其中本體(19)通過沉頭螺釘(25)固定安裝在轉(zhuǎn)接板(24)上；本 體(19)上設(shè)置有圓孔(21)和調(diào)整槽(22)，圓孔(21)與調(diào)整槽(22)連通；圓孔(21)與銅 套(20)的外圓面間隙配合安裝，銅套(20)的內(nèi)圓面與絲杠螺母副(18)上的滾珠絲杠(27) 間隙配合安裝；銅套(20)上安裝有鎖緊螺釘(23)；本體(19)上還安裝有去應(yīng)力孔(26)，且 去應(yīng)力孔(26)與調(diào)整槽(22)位于同一平面上。
7.如權(quán)利要求6所述的大視場影像測(cè)量儀，其特征在于所述的自由度可調(diào)鏡頭固定 支架(3)上表面上設(shè)置有4個(gè)鎖緊槽孔(28)和4個(gè)調(diào)整螺孔。
8.如權(quán)利要求7所述的大視場影像測(cè)量儀，其特征在于所述的4個(gè)調(diào)整螺孔分別 設(shè)置于自由度可調(diào)鏡頭固定支架(3)上表面的四側(cè)，分別為第一螺釘孔(34)，第二螺釘孔 (35)，第三螺釘孔(36)，第四螺釘孔(37)。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種大視場影像測(cè)量儀，包括大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)、大理石精密基準(zhǔn)立柱；X-Y二維工作臺(tái)、高均勻度背光源、大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭、電荷耦合器件和Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)；其中大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)和垂直安裝在大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)上的大理石精密基準(zhǔn)立柱構(gòu)成機(jī)臺(tái)，大理石基準(zhǔn)精密平臺(tái)上還安裝有X-Y二維工作臺(tái)，X-Y二維工作臺(tái)上安裝有高均勻度背光源，大理石精密基準(zhǔn)立柱上安裝有Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，Z向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)與大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭固連，大視野低倍率遠(yuǎn)心鏡頭上安裝有電荷耦合器件。本實(shí)用新型主要提供一種測(cè)量準(zhǔn)確、裝調(diào)方便、工件適應(yīng)性強(qiáng)、測(cè)量效率高的影像測(cè)量儀。
文檔編號(hào)G01B11/00GK201740508SQ20102021071
公開日2011年2月9日 申請(qǐng)日期2010年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月29日
發(fā)明者祝良榮, 鄒華東 申請(qǐng)人:浙江工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院