專利名稱：三次位相板精度的檢測(cè)方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及曲面誤差分析技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種三次位相板精度的檢測(cè)方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
波前編碼技術(shù)是一種即可以提高系統(tǒng)成像質(zhì)量，又可以降低系統(tǒng)成本的“光學(xué)-數(shù)字”一體化的系統(tǒng)及成像技術(shù)，可以很好地控制離焦以及由離焦引起的像散、Petzval 場(chǎng)曲、色差，還有由裝調(diào)、溫度漂移等引入的類似離焦的像差，在大視場(chǎng)、大焦深的條件下獲得接近衍射極限的像質(zhì)。因此，波前編碼技術(shù)在圖像處理、熒光顯微鏡以及機(jī)械顯示系統(tǒng)等領(lǐng)域都有較為廣泛的應(yīng)用。三次位相板，作為波前編碼技術(shù)的關(guān)鍵部件，其加工精度直接影響波前編碼技術(shù)在其應(yīng)用場(chǎng)景下的精度。因此，生產(chǎn)過(guò)程中和最終質(zhì)量驗(yàn)收中的三次位相板精度檢測(cè)是波前編碼技術(shù)中較為關(guān)鍵的一環(huán)。現(xiàn)有技術(shù)中，三次位相板精度的檢測(cè)，是利用三坐標(biāo)機(jī)獲得多點(diǎn)原始數(shù)據(jù)，采用不同方式對(duì)曲面進(jìn)行數(shù)值擬和，在進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖鴺?biāo)系轉(zhuǎn)換后(平移和旋轉(zhuǎn))使之與理想數(shù)據(jù)
誤差最小。但是，申請(qǐng)人研究發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的三次位相板精度的檢測(cè)技術(shù)至少存在以下缺陷由于誤差數(shù)據(jù)的來(lái)源有兩種，一種是三次位相板本身的面型誤差，即需要檢測(cè)的誤差，另一種是三次位相板擺放位置的偏差引入的誤差，現(xiàn)有的三次位相板精度檢測(cè)技術(shù)包括原始數(shù)據(jù)的獲取、曲面的擬合以及誤差的得出都在后臺(tái)進(jìn)行，位置誤差狀況并不直觀，只能通過(guò)對(duì)三次位相板位置的檢測(cè)得到相應(yīng)的修正數(shù)據(jù)，對(duì)誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，在未得到精確調(diào)節(jié)的情況下進(jìn)行檢測(cè)會(huì)影響檢測(cè)精度，不能夠滿足實(shí)時(shí)直觀進(jìn)行高精度測(cè)量的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種光學(xué)的檢測(cè)方法及系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)在對(duì)三次位相板進(jìn)行精度檢測(cè)的時(shí)候，能夠?qū)⑷挝幌喟灞旧淼拿嫘驼`差與擺放位置偏差所造成的誤差剝離開，從而提高對(duì)三次位相板誤差的檢測(cè)精度，技術(shù)方案如下—種三次位相板精度的檢測(cè)方法，包括以下步驟A、發(fā)出平行光通過(guò)三次位相板到達(dá)反射鏡，所述反射鏡與所述三次位相板成預(yù)設(shè)角度；B、接收從所述反射鏡通過(guò)所述三次位相板返回的反射光，形成干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)；C、將所述干涉面型測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)模板進(jìn)行對(duì)比，得到所述三次位相板的誤差；D、將所述誤差進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開；E、調(diào)整所述三次位相板的位置并重復(fù)執(zhí)行所述步驟A、B、C和D，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零，將此時(shí)的誤差作為所述三次位相板的最終誤差。
優(yōu)選的，上述方法中，所述調(diào)整三次位相板的位置并重復(fù)執(zhí)行所述步驟A、B、C和 D，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零，包括在水平和豎直方向調(diào)節(jié)所述三次位相板的平移誤差，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三和第四項(xiàng)的系數(shù)為零；在軸向調(diào)節(jié)所述三次位相板的旋轉(zhuǎn)誤差，直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零。優(yōu)選的，上述方法中，所述三次位相板的平移誤差的調(diào)整量為Δχ = (2Z3+Z4)/3kA , Δγ = (2Z3-Z4)/3kA ；其中，Δχ表示水平調(diào)整量，Ay表示豎直調(diào)整量，Z3 為澤尼克多項(xiàng)式的第三項(xiàng)系數(shù)，&為澤尼克多項(xiàng)式的第四項(xiàng)系數(shù)，k是一個(gè)無(wú)量綱常數(shù)，表示三次位相板的面型高度，λ為光的波長(zhǎng)。優(yōu)選的，上述方法中，所述在軸向調(diào)節(jié)三次位相板的旋轉(zhuǎn)誤差，直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零，包括沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)所述三次位相板；如果得到的澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)系數(shù)的絕對(duì)值變小，則沿該方向繼續(xù)旋轉(zhuǎn)直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零；如果得到的澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)系數(shù)的絕對(duì)值變大，則反方向旋轉(zhuǎn)所述三次位相板，直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零。優(yōu)選的，上述方法中，所述三次位相板的旋轉(zhuǎn)誤差的調(diào)整量為 θ = 2tg-1 [(k-φ2- UZ1 -16Ζ72) /(4Ζ7 + 2k)]；其中，Ζ7為澤尼克多項(xiàng)式的第七項(xiàng)系數(shù)，k是一
個(gè)無(wú)量綱常數(shù)，表示三次位相板的面型高度。一種三次位相板精度的檢測(cè)系統(tǒng)，包括發(fā)光裝置，用于發(fā)出平行光通過(guò)三次位相板到達(dá)反射鏡，其中，所述反射鏡與所述三次位相板成預(yù)設(shè)角度；成像裝置，用于接收從所述反射鏡通過(guò)所述三次位相板返回的反射光，形成干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)；誤差檢測(cè)裝置，用于將所述干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)模板進(jìn)行對(duì)比，得到所述三次位相板的誤差；誤差分析裝置，用于將所述誤差進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開，以及當(dāng)用戶調(diào)整所述三次位相板的位置，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零時(shí)，將此時(shí)的誤差作為所述三次位相板的最終誤差。通過(guò)上述技術(shù)方案可知，本發(fā)明利用干涉儀和反射鏡組成了對(duì)三次位相板的精度檢測(cè)裝置，具體的，通過(guò)干涉儀發(fā)出平行光通過(guò)三次位相板到達(dá)反射鏡，然后接收從反射鏡通過(guò)三次位相板返回的反射光，形成干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)，將所述干涉面形數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)模板對(duì)比，得到三次位相板的誤差，然后將所述初步誤差進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開，當(dāng)用戶調(diào)整所述三次位相板的位置，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零時(shí)，將此時(shí)的誤差作為所述三次位相板的最終誤差。相比現(xiàn)有的檢測(cè)技術(shù)，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了將三次位相板本身的面型誤差，與三次位相板擺放位置偏差所引入的誤差剝離開，并且能夠使用戶直觀的通過(guò)調(diào)節(jié)三次位相板的位置，來(lái)消除因擺放位置偏差所造成的誤差，從而提高了對(duì)三次位相板誤差的檢測(cè)精度。


為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面將對(duì)本發(fā)明描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種三次位相板精度的檢測(cè)方法的流程圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測(cè)光路的示意圖；圖3為對(duì)三次位相板檢測(cè)時(shí)存在的平移誤差示意圖；圖4為對(duì)三次位相板檢測(cè)時(shí)存在的旋轉(zhuǎn)誤差示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的三次位相板位置誤差調(diào)整方法的流程圖；圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的三次位相板位置誤差中的旋轉(zhuǎn)誤差調(diào)整方法的流程圖；圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的三次位相板精度的檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明實(shí)施例利用干涉儀和反射鏡組成了對(duì)三次位相板的精度檢測(cè)裝置，具體的，通過(guò)干涉儀發(fā)出平行光通過(guò)三次位相板到達(dá)反射鏡，然后接收從反射鏡通過(guò)三次位相板返回的反射光，形成干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)，再將所述干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)模板進(jìn)行對(duì)比，得到所述三次位相板的誤差，然后將所述初步誤差進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開，當(dāng)用戶調(diào)整所述三次位相板的位置，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零時(shí)，將此時(shí)的誤差作為所述三次位相板的最終誤差。與現(xiàn)有的三坐標(biāo)檢測(cè)方法相比，本發(fā)明實(shí)施例提供的光學(xué)檢測(cè)方法，實(shí)現(xiàn)了將三次位相板本身的面型誤差，與擺放位置的偏差所造成的誤差剝離開，并且能夠使用戶通過(guò)澤尼克多項(xiàng)式直觀地調(diào)節(jié)三次位相板的位置，來(lái)消除位置偏差，從而提高了三次位相板的檢測(cè)精度。下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。參見圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的三次位相板精度的檢測(cè)方法可以包括以下步驟A、發(fā)出平行光通過(guò)三次位相板到達(dá)反射鏡，所述反射鏡與所述三次位相板成預(yù)設(shè)角度。參見圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例利用反射鏡1和干涉儀3 —起，組成了對(duì)三次位相板 2的檢測(cè)裝置。其中，反射鏡1與三次位相板2呈一個(gè)微小的夾角，實(shí)際測(cè)試時(shí)，該微小夾角可以取1'，該夾角可以避免三次位相板2兩個(gè)表面的反射光與反射鏡1的反射光之間產(chǎn)生的干擾。在進(jìn)行精度檢測(cè)時(shí)，干涉儀3首先發(fā)出平行光通過(guò)三次位相板2到達(dá)反射鏡1。B、接收從所述反射鏡通過(guò)所述三次位相板返回的反射光，形成干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)。
干涉儀3發(fā)出的平行光通過(guò)三次位相板2到達(dá)反射鏡1后，反射鏡1的反射光通過(guò)三次位相板2返回干涉儀3，干涉儀3接到反射光后，形成干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)。C、將所述干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)模板進(jìn)行對(duì)比，得到所述三次位相板的誤差。形成干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)后，干涉儀3開始將干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)先存儲(chǔ)在干涉儀3的標(biāo)準(zhǔn)三次位相板模板進(jìn)行對(duì)比，從而得到三次位相板2的誤差數(shù)據(jù)。實(shí)際實(shí)施時(shí)， 可以是將干涉圖像的波前數(shù)據(jù)，與干涉儀3內(nèi)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)三次位相板計(jì)算得到的數(shù)字模板對(duì)比，得到三次位相板2的誤差數(shù)據(jù)。需要說(shuō)明的是，該誤差數(shù)據(jù)是三次位相板2的初步面型檢測(cè)結(jié)果，即該誤差數(shù)據(jù)是包含了三次位相板2位置誤差的誤差數(shù)據(jù)。D、將所述誤差進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開。得到三次位相板2的誤差數(shù)據(jù)后，干涉儀3開始進(jìn)行誤差分析，誤差分析的第一步是將誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開。澤尼克多項(xiàng)式和光學(xué)檢測(cè)中觀測(cè)到的像差多項(xiàng)式是一致的，因而常常用來(lái)擬合波面誤差。如表1所示，為澤尼克多項(xiàng)式前9項(xiàng)的光學(xué)含義表 1Z。 平移Z1 χ軸傾斜Z2 y軸傾斜Z3 離焦Z4 像散@0° &離焦Z5 像散 @45° &離焦Z6 彗差&x軸傾斜Z7 彗差&y軸傾斜Z8 球差&離焦需要說(shuō)明的是，對(duì)于不同的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，位置失調(diào)量的誤差形式完全不同， 本發(fā)明實(shí)施例中的檢測(cè)系統(tǒng)中，需要經(jīng)過(guò)分析明確澤尼克多項(xiàng)式各項(xiàng)系數(shù)及其組合與三次位相板位置誤差的關(guān)系。E、調(diào)整所述三次位相板的位置并重復(fù)執(zhí)行所述步驟A、B、C和D，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零，將此時(shí)的誤差作為所述三次位相板的最終誤差。將三次位相板2的初步誤差進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開后，用戶就可以調(diào)整所述三次位相板2的位置，同時(shí)干涉儀3重復(fù)執(zhí)行步驟A、B、C和D，直至澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零時(shí)，干涉儀3將此時(shí)的誤差作為三次位相板2的最終誤差。此時(shí)得到的誤差就是剝離了三次位相板2位置誤差后的誤差，能夠準(zhǔn)確反映三次位相板的加工精度，實(shí)際中的測(cè)量精度能夠達(dá)到0. 06微米。本發(fā)明實(shí)施例的測(cè)試系統(tǒng)中，三次位相板2的位置誤差分為兩類，一類是平移誤差，另一類是旋轉(zhuǎn)誤差，分別參見圖3和圖4所示。圖中實(shí)線代表實(shí)際位置，0為理想位置圓心，0'為實(shí)際位置圓心。在實(shí)施本發(fā)明的過(guò)程中，經(jīng)過(guò)申請(qǐng)人的實(shí)驗(yàn)和計(jì)算，得出澤尼克多項(xiàng)式的第三和第四項(xiàng)對(duì)應(yīng)三次位相板2的平移誤差，第六和低七項(xiàng)對(duì)應(yīng)三次位相板2的
旋轉(zhuǎn)誤差。
參見圖5所示，所述調(diào)整三次位相板的位置并重復(fù)執(zhí)行所述步驟A、B、C和D，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零，可以包括S501，在水平和豎直方向調(diào)節(jié)所述三次位相板的平移誤差，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三和第四項(xiàng)的系數(shù)為零。S502，在軸向調(diào)節(jié)所述三次位相板的旋轉(zhuǎn)誤差，直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零?？梢岳斫獾腟501和S502不分先后順序，可以先調(diào)節(jié)平移誤差，然后調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)誤差；也可以先調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)誤差，然后調(diào)節(jié)平移誤差；當(dāng)然也可以同時(shí)進(jìn)行調(diào)節(jié)。其中，進(jìn)行平移誤差調(diào)節(jié)時(shí)，三次位相板2的平移誤差的調(diào)整量為Δχ = (2Z3+Z4)/3kA , Δγ = (2Z3-Z4)/3kA ；其中，Δχ表示水平調(diào)整量，Ay表示豎直調(diào)整量，Z3 為澤尼克多項(xiàng)式的第三項(xiàng)系數(shù)，&為澤尼克多項(xiàng)式的第四項(xiàng)系數(shù)，k是一個(gè)無(wú)量綱常數(shù)，表示三次位相板的面型高度，λ為光的波長(zhǎng)。用戶可以按照以上給出的調(diào)整量，來(lái)調(diào)節(jié)三次位相板2的水平和豎直位置，能夠有效提高調(diào)整的效率。參見圖6所示，所述在軸向調(diào)節(jié)所述三次位相板的旋轉(zhuǎn)誤差，直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零，及S502可以包括以下步驟S502a,沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)所述三次位相板；S502b，如果得到的澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)系數(shù)的絕對(duì)值變小，則沿該方向繼續(xù)旋轉(zhuǎn)直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零；S502c，如果得到的澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)系數(shù)的絕對(duì)值變大，則反方向旋轉(zhuǎn)所述三次位相板，直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零。其中，在進(jìn)行旋轉(zhuǎn)誤差調(diào)節(jié)時(shí)，三次位相板2的旋轉(zhuǎn)誤差的調(diào)整量為
權(quán)利要求
1.一種三次位相板精度的檢測(cè)方法，其特征在于，包括以下步驟A、發(fā)出平行光通過(guò)三次位相板到達(dá)反射鏡，所述反射鏡與所述三次位相板成預(yù)設(shè)角度；B、接收從所述反射鏡通過(guò)所述三次位相板返回的反射光，形成干涉面型測(cè)量數(shù)據(jù)；C、將所述干涉面型測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)模板進(jìn)行對(duì)比，得到所述三次位相板的誤差；D、將所述誤差進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開；E、調(diào)整所述三次位相板的位置并重復(fù)執(zhí)行所述步驟A、B、C和D，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零，將此時(shí)的誤差作為所述三次位相板的最終誤差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述調(diào)整三次位相板的位置并重復(fù)執(zhí)行所述步驟A、B、C和D，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零，包括在水平和豎直方向調(diào)節(jié)所述三次位相板的平移誤差，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三和第四項(xiàng)的系數(shù)為零；在軸向調(diào)節(jié)所述三次位相板的旋轉(zhuǎn)誤差，直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述三次位相板的平移誤差的調(diào)整量為 Δχ = (2Z3+Z4)/3kA , Ay= (2Z3-Z4)/3kA ；其中，Δ χ表示水平調(diào)整量，Ay表示豎直調(diào)整量，Z3為澤尼克多項(xiàng)式的第三項(xiàng)系數(shù)，Z4為澤尼克多項(xiàng)式的第四項(xiàng)系數(shù)，k是一個(gè)無(wú)量綱常數(shù)，表示三次位相板的面型高度，λ為光的波長(zhǎng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述在軸向調(diào)節(jié)三次位相板的旋轉(zhuǎn)誤差，直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零，包括沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)所述三次位相板；如果得到的澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)系數(shù)的絕對(duì)值變小，則沿該方向繼續(xù)旋轉(zhuǎn)直至所述澤尼克多項(xiàng)式的第六和第七項(xiàng)的系數(shù)為零。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述三次位相板的旋轉(zhuǎn)誤差的調(diào)整量為θ = Itg-1 [(k -Jk2-UZ7 -16Z72)/(4Z7 + 2k)\ ；其中，Z7為澤尼克多項(xiàng)式的第七項(xiàng)系數(shù)，k是一個(gè)無(wú)量綱常數(shù)，表示三次位相板的面型高度。
6.一種三次位相板精度的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括發(fā)光裝置，用于發(fā)出平行光通過(guò)三次位相板到達(dá)反射鏡，其中，所述反射鏡與所述三次位相板成預(yù)設(shè)角度；成像裝置，用于接收從所述反射鏡通過(guò)所述三次位相板返回的反射光，形成干涉面型測(cè)量數(shù)據(jù)；誤差檢測(cè)裝置，用于將所述干涉面型測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)模板進(jìn)行對(duì)比，得到所述三次位相板的誤差；誤差分析裝置，用于將所述誤差進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開，以及當(dāng)用戶調(diào)整所述三次位相板的位置，直至所述澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零時(shí)，將此時(shí)的誤差作為所述三次位相板的最終誤差。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種三次位相板精度的檢測(cè)方法及系統(tǒng)，包括A、發(fā)出平行光通過(guò)三次位相板到達(dá)反射鏡，反射鏡與所述三次位相板成預(yù)設(shè)角度；B、接收從反射鏡通過(guò)三次位相板返回的反射光，形成干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)；C、將干涉面形測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)模板進(jìn)行對(duì)比，得到三次位相板的誤差；D、將誤差進(jìn)行澤尼克多項(xiàng)式展開；E、調(diào)整三次位相板的位置并重復(fù)執(zhí)行步驟A、B、C和D，直至澤尼克多項(xiàng)式第三、四、六和七項(xiàng)的系數(shù)為零，將此時(shí)的誤差作為最終誤差。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了將三次位相板本身的面型誤差，與擺放位置的偏差所造成的誤差剝離，并且能夠使用戶直觀地調(diào)節(jié)三次位相板的位置，來(lái)消除因擺放位置偏差所造成的誤差，從而提高了檢測(cè)精度。
文檔編號(hào)G01B11/24GK102478386SQ20101056820
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2010年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月30日
發(fā)明者肖志宏, 解濱 申請(qǐng)人:蘇州大學(xué)