專利名稱:傳感器的玻璃封結(jié)膜座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種傳感器,特別涉及一種傳感器的玻璃封結(jié)膜座。
背景技術(shù):
傳感器廣泛應(yīng)用于各種不同的領(lǐng)域,如醫(yī)療器械、工業(yè)控制、壓力控制、 航空航天等。其中金屬電容式原理工作的壓力/差壓傳感器廣泛用于各種介質(zhì)的 壓力檢測,目前,這種傳感器的結(jié)構(gòu)特點是,將底座、玻璃等通過高溫燒結(jié)為 形成左、右膜座體,左、右膜座體與中心膜片通過焊接連接成整體。由于在制 備傳感器時,左、右膜座體的兩玻璃端面不能達到絕對平行,在焊接中心膜片 時,膜座體端面常因受高壓力對其中封結(jié)的玻璃產(chǎn)生剪應(yīng)力而斷裂,特別對膜 座中間相嵌陶瓷環(huán)的對地實現(xiàn)隔離傳感器,玻璃更容易產(chǎn)生斷裂,產(chǎn)品的報廢 率高。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種傳感器的玻璃封結(jié)膜座。它在玻璃中均勻通過 燒結(jié)固定有若干金屬管,以保證膜座體中玻璃不斷裂,并且大大增強玻璃抗剪 切強度,增加了膜座體端面壓力的承受能力,提高傳感器生產(chǎn)合格率。
本實用新型的技術(shù)方案是用于傳感器的玻璃封結(jié)膜座,膜座體與玻璃通 過燒結(jié)緊密連接,所述膜座體上設(shè)置有供金屬管插入的孔,若干相同長度的金 屬管通過燒結(jié)固定在玻璃中,另一端伸出玻璃一端后插進膜座對應(yīng)的孔中。所 述通過燒結(jié)固定在玻璃中的金屬管的端頭距玻璃端面的距離> l隱。
采用本實用新型技術(shù)方案,將若干金屬管燒結(jié)在玻璃中,使金屬管對玻璃起 到了 "加強筋,,的作用,當膜座體受到較大剪切力時,玻璃不會破裂,可以增 強膜座體中玻璃的抗彎、抗剪強度。
以下結(jié)合附圖對本實用新型做進一步的說明。
附圖為金屬管封結(jié)在玻璃中的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
參見附圖,將膜座體1與玻璃2通過燒結(jié)緊密連接,金屬管3在玻璃中呈 等間距排列,所述膜座體上設(shè)置有用于供金屬管插入的孔,至少4只相同長度 的金屬管2的一端燒結(jié)在玻璃中,另一端伸出玻璃后插進膜座對應(yīng)的孔中。高 溫加熱至玻璃熔化,再降溫使若干金屬管與玻璃燒結(jié)為一體,金屬管在玻璃中 起到"加強筋,,作用,在較大剪切力作用下保持玻璃不破裂,提高玻璃抗剪切 強度。本實施例采用4只外徑為1 ~ 1. 5mm,內(nèi)徑為0. 5 ~ lmm的金屬管。由于電 容式傳感器膜座內(nèi)腔較小,為使對地隔離傳感器的膜座體端面承受壓力達到12 噸,當金屬管外徑為lmm時,所述金屬管應(yīng)當不少于4只。
為了便于安裝金屬管,膜座體上供金屬管插入的孔的深度尺寸為1.5mm,封 結(jié)在玻璃中金屬管的端頭距玻璃表面端面的距離H>lmm,避免在制備傳感器時 鍍膜電極與金屬管相連。
將膜座體1、玻璃2、金屬管3洗凈、烘干,金屬管3插入膜座體的孔底中, 玻璃原料2裝入膜座體1中,加熱熔化玻璃,再降溫冷卻,使膜座體、玻璃與 金屬管燒結(jié)為一體,即得本實用新型所述對地隔離壓力傳感器的玻璃封結(jié)膜座。
制備時,為使玻璃與金屬管牢固結(jié)合,應(yīng)當使用型號為4J29、 4J36、 4J47 等玻封材料。
權(quán)利要求1.一種傳感器的玻璃封結(jié)膜座,膜座體與玻璃通過燒結(jié)緊密連接,其特征在于所述膜座體上設(shè)置有供金屬管插入的孔,至少4只相同長度的金屬管一端通過燒結(jié)固定在玻璃中,另一端伸出玻璃后插進膜座對應(yīng)的孔中,所述通過燒結(jié)固定在玻璃中的金屬管的端頭距玻璃端面的距離≥1mm。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器的玻璃封結(jié)膜座,其特征在于所述金屬 管夕卜々圣為1 ~ 1. 5mm, 內(nèi)4圣為0. 5 ~ lmm。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器的玻璃封結(jié)膜座,其特征在于所述若干 金屬管在玻璃中呈等間距排列。
專利摘要本實用新型涉及一種傳感器的玻璃封結(jié)膜座,膜座體與玻璃緊密連接,所述膜座體上設(shè)置有供金屬管插入的孔,若干相同長度的金屬管一端通過燒結(jié)固定在玻璃中,另一端伸出玻璃一端后插進膜座對應(yīng)的孔中。所述通過燒結(jié)固定在玻璃中的金屬管的端頭距玻璃端面的距離≥1mm。本實用新型能在玻璃中均勻封結(jié)若干金屬管,以保證膜座體中玻璃不斷裂,并且大大增強玻璃抗剪切強度,增加了膜座體端面壓力的承受能力,提高傳感器生產(chǎn)合格率。
文檔編號G01L9/12GK201355296SQ20092012644
公開日2009年12月2日 申請日期2009年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月25日
發(fā)明者聶紹忠 申請人:重慶川儀自動化股份有限公司