專(zhuān)利名稱(chēng)：適配板、雙工位測(cè)試機(jī)的改裝方法和測(cè)試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，特別涉及一種適配板和雙工位測(cè)試機(jī)的改裝方法和 測(cè)試方法。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體測(cè)試行業(yè)不斷向前發(fā)展，測(cè)試成本的不斷提高。傳統(tǒng)的單工位測(cè)試已 經(jīng)不再滿(mǎn)足現(xiàn)在測(cè)試的需要，多工位測(cè)試已經(jīng)成為測(cè)試發(fā)展的必然趨勢(shì)。多工位測(cè)試可以有效的縮短探針臺(tái)托盤(pán)上下移動(dòng)的次數(shù)，從而縮短測(cè)試時(shí)間，節(jié) 約測(cè)試成本，提高生產(chǎn)效率。但是并行多工位測(cè)試機(jī)的價(jià)格比單工位測(cè)試機(jī)的昂貴，目前， 用于測(cè)試電源芯片(Power IC)的四臺(tái)科進(jìn)(COGENT)測(cè)試機(jī)都是單工位測(cè)試機(jī)，這無(wú)疑造 成了資源的浪費(fèi)。因此，有待于提出一種能將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)甚至多工位測(cè)試機(jī) 的方法。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中單工位測(cè)試機(jī)測(cè)試時(shí)間較長(zhǎng)、測(cè)量成本很高、測(cè)試效率低的 問(wèn)題，本發(fā)明提供一種用于將單工位的測(cè)試機(jī)改裝成雙工位的測(cè)試機(jī)適配板、利用所述適 配板的雙工位測(cè)試機(jī)、利用所述雙工位測(cè)試機(jī)的測(cè)試方法，以及利用所述適配板將單工位 測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方法。根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種適配板，用于將單工位的測(cè)試機(jī)改裝成雙工位的 測(cè)試機(jī)，包括蜂窩板，將繼電器組件固定于蜂窩板上的插座，以及轉(zhuǎn)接板；所述轉(zhuǎn)接板連接所述繼電器組件的引腳，使所述繼電器組件的公共引腳連接單工 位測(cè)試機(jī)、所述繼電器組件的第一信號(hào)引腳連接第一待測(cè)芯片的測(cè)試端、所述繼電器組件 的第二信號(hào)引腳連接所述第二待測(cè)芯片的測(cè)試端，所述第一待測(cè)芯片位于第一工位上、所 述第二待測(cè)芯片位于第二工位上。優(yōu)選的，所述繼電器組件中的繼電器為雙刀雙擲繼電器，能同時(shí)測(cè)量待測(cè)芯片的 兩種信號(hào)。優(yōu)選的，所述繼電器的型號(hào)為T(mén)Q2-5V。優(yōu)選的，所述繼電器組件由三個(gè)相同繼電器組成，所述三個(gè)繼電器的第一引腳并 聯(lián)同時(shí)接5V電源，所述三個(gè)繼電器的第十引腳并聯(lián)同時(shí)接控制線(xiàn)。根據(jù)本發(fā)明的一方面，還提供一種包括上述任一項(xiàng)所述的適配板的雙工位測(cè)試 機(jī)。根據(jù)本發(fā)明的一方面，還提供一種利用所述的雙工位測(cè)試機(jī)的測(cè)試方法，包括將第一待測(cè)芯片和第二待測(cè)芯片分別放置于所述適配板上的第一工位和第二工 位；
測(cè)試所述第一待測(cè)芯片的信號(hào)并記錄；通過(guò)繼電器激活所述第二待測(cè)芯片，測(cè)試所述第二待測(cè)芯片的信號(hào)并記錄；輸出所述第一待測(cè)芯片和第二待測(cè)芯片的測(cè)試結(jié)果。根據(jù)本發(fā)明的一方面，還提供一種利用上述任一項(xiàng)適配板將單工位測(cè)試機(jī)改裝成 雙工位測(cè)試機(jī)的方法，包括確定具有雙工位測(cè)試硬件資源的單工位測(cè)試機(jī)；將所述單工位測(cè)試機(jī)的程序通過(guò)繼電器組件重新設(shè)置，使所述繼電器加電時(shí)測(cè)試 第一待測(cè)芯片，所述繼電器不加電時(shí)測(cè)試第二待測(cè)芯片；利用蜂窩板、繼電器組件、插座以及轉(zhuǎn)接板組裝適配板；連接所述適配板和所述單工位測(cè)試機(jī)的對(duì)應(yīng)引腳，得到雙工位測(cè)試機(jī)。優(yōu)選的，將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方法，還包括利用所述雙工位測(cè) 試機(jī)進(jìn)行成品測(cè)試。優(yōu)選的，所述繼電器組件中的繼電器為雙刀雙擲繼電器，能同時(shí)測(cè)量待測(cè)芯片的 兩種信號(hào)。優(yōu)選的，所述繼電器的型號(hào)為T(mén)Q2-5V。優(yōu)選的，所述繼電器組件由三個(gè)相同繼電器組成，所述三個(gè)繼電器的第一引腳并 聯(lián)同時(shí)接5V電源，所述三個(gè)繼電器的第十引腳并聯(lián)同時(shí)接控制線(xiàn)。本實(shí)施例的適配板可以將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)，所述適配板的價(jià)格 低廉、組裝方便，其約30元左右的成本，但是卻可以很大程度的提高測(cè)試效率，節(jié)約測(cè)試成 本。利用本發(fā)明的雙工位測(cè)試機(jī)，可以大大節(jié)約時(shí)間和節(jié)省測(cè)試成本。本發(fā)明，在單工位測(cè)試機(jī)內(nèi)部硬件不變的情況下，通過(guò)在單工位測(cè)試機(jī)的外部加 適配板并更改單工位測(cè)試機(jī)控制程序，實(shí)現(xiàn)將單工位測(cè)試機(jī)改裝成串行雙工位測(cè)試機(jī)，從 而達(dá)到了節(jié)省測(cè)試資源提高生產(chǎn)效率的目的。


圖1為本發(fā)明適配板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為一種繼電器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3位繼電器組件內(nèi)繼電器的連接方式。圖4為雙工位測(cè)試流程圖。圖5為利用單工位測(cè)試機(jī)和本發(fā)明的雙工位測(cè)試機(jī)進(jìn)行測(cè)試得到的試驗(yàn)數(shù)據(jù)對(duì) 照表。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi) 容進(jìn)行詳細(xì)描述。為了能很好的利用現(xiàn)有的單工位測(cè)試機(jī)和測(cè)試系統(tǒng)，但同時(shí)又能提高測(cè)試效率且 不增加成本，發(fā)明人想到利用人們常見(jiàn)的資源制作一個(gè)適配板，選擇具有雙工位測(cè)試所需 要的硬件資源的單工位測(cè)試機(jī)，在單工位測(cè)試機(jī)已有的硬件資源不變的情況下，通過(guò)在單工位測(cè)試機(jī)外部連接一個(gè)制作的適配板，使原來(lái)只能測(cè)試單工位的單工位測(cè)試機(jī)改裝成可 以進(jìn)行雙工位串行測(cè)試的雙工位測(cè)試機(jī)，從而有效地節(jié)約測(cè)試時(shí)間，合理利用測(cè)試資源，提 高生產(chǎn)效益。實(shí)施例1本實(shí)施例提供一種能將單工位的測(cè)試機(jī)改裝成雙工位的測(cè)試機(jī)的適配板，所述適 配板包括蜂窩板，將繼電器組件固定于蜂窩板上的插座，以及轉(zhuǎn)接板；所述轉(zhuǎn)接板連接所 述繼電器組件的引腳，使所述繼電器組件的公共引腳連接單工位測(cè)試機(jī)、所述繼電器組件 的第一信號(hào)引腳連接第一待測(cè)芯片的測(cè)試端、所述繼電器組件的第二信號(hào)引腳連接所述第 二待測(cè)芯片的測(cè)試端，所述第一待測(cè)芯片位于第一工位上、所述第二待測(cè)芯片位于第二工 位上。圖1為本發(fā)明適配板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，所述適配板包括蜂窩板100， 將繼電器組件130固定于蜂窩板100上的插座(未圖示)，以及轉(zhuǎn)接板140 ；所述轉(zhuǎn)接板 140連接所述繼電器組件130的引腳，使所述繼電器組件130的公共引腳連接單工位測(cè)試機(jī) 150、所述繼電器組件130的第一信號(hào)引腳連接第一待測(cè)芯片110的測(cè)試端、所述繼電器組 件130的第二信號(hào)引腳連接所述第二待測(cè)芯片120的測(cè)試端，所述第一待測(cè)芯片位于第一 工位(未圖示)上、所述第二待測(cè)芯片位于第二工位(未圖示)上。所述繼電器組件130中的繼電器為雙刀雙擲開(kāi)關(guān)，這樣，可以同時(shí)測(cè)量待測(cè)芯片 的兩種信號(hào)。圖2為一種繼電器的結(jié)構(gòu)示意圖。如果待測(cè)芯片為晶圓，待測(cè)信號(hào)為晶圓的柵極 感測(cè)信號(hào)、柵極壓力信號(hào)、源極感測(cè)信號(hào)、源極壓力信號(hào)、漏極感測(cè)信號(hào)、漏極壓力信號(hào)，則 所述繼電器組件優(yōu)選的包括三個(gè)相同繼電器，每個(gè)所述繼電器的結(jié)構(gòu)如圖2所示。所述繼 電器包括10個(gè)引腳，第一引腳1為電源引腳，第十引腳10為控制引腳，當(dāng)所述第一引腳1連 接高電平，所述第十引腳10連接低電平時(shí)，第二引腳2、第三引腳3、第八引腳8和第九引腳 9接通；當(dāng)所述第一引腳1和所述第十引腳10不加電時(shí)，第三引腳3、第四引腳4、第七引腳 7和第八引腳8接通；其中，第二引腳2、第九引腳9、第四引腳4和第七引腳7為信號(hào)引腳， 第三引腳3和第八引腳8為公共引腳；所述第二引腳2和第九引腳9作為第一信號(hào)引腳，所 述第四引腳4和第七引腳7所為第二信號(hào)引腳。所述繼電器可以是市場(chǎng)上型號(hào)為T(mén)Q2-5V 的繼電器。為敘述方便，所述三個(gè)相同繼電器分別稱(chēng)為第一繼電器、第二繼電器、第三繼電 器。圖3位繼電器組件內(nèi)繼電器的連接方式，所述三個(gè)繼電器的連接方式如圖3所示。如圖3所示，所述三個(gè)繼電器的第一引腳1并聯(lián)同時(shí)接5V電源，所述三個(gè)繼電器 的第十引腳10并聯(lián)同時(shí)接控制線(xiàn)；第一繼電器132的第三引腳3、第八引腳8分別接單工 位測(cè)試機(jī)150信號(hào)接口的漏極感應(yīng)信號(hào)(DS，Drain Sense)端、漏極壓力信號(hào)(DF，Drain Force)端，第二引腳2、第九引腳9分別連接適配板上第一待測(cè)芯片110的DS端、DF端， 第四引腳4、第七引腳7分別連接適配板上第二待測(cè)芯片120的DS端、DF端；第二繼電器 134的第三引腳3、第八引腳8分別接單工位測(cè)試機(jī)150信號(hào)接口的柵極感應(yīng)信號(hào)(GS，Gate Sense)端、柵極壓力信號(hào)(GF，Gate Force)端，第二引腳2、第九引腳9分別連接適配板上 第一待測(cè)芯片110的GS端、GF端，第四引腳4、第七引腳7分別連接適配板上第二待測(cè)芯片 120的GS端、GF端；第三繼電器136的第三引腳3、第八引腳8分別接單工位測(cè)試機(jī)150信號(hào)接口的源極感應(yīng)信號(hào)(SS，SourceSense)端、源極壓力信號(hào)(SF，Source Force)端，第二 引腳2、第九引腳9分別連接適配板上第一待測(cè)芯片110的SS端、SF端，第四引腳4、第七 引腳7分別連接適配板上第二待測(cè)芯片120的SS端、SF端；所述三個(gè)繼電器的第五引腳5 和第六引腳6懸空；優(yōu)選的，本實(shí)施例中，選用雙刀雙擲繼電器，同時(shí)測(cè)試每個(gè)電極的兩種信號(hào)，可以 很好的利用雙刀雙擲繼電器的資源優(yōu)勢(shì)而不造成浪費(fèi)，且比用單刀單擲繼電器方便；但是 如果由于資源問(wèn)題，本發(fā)明也可以選用單刀單擲繼電器，按照本實(shí)施例的方式進(jìn)行連接，如 果采用其他類(lèi)型的繼電器，則根據(jù)功能需要，繼電器的數(shù)量也相應(yīng)變化。優(yōu)選的，本實(shí)施例中，所述三個(gè)繼電器的第一引腳1并聯(lián)同時(shí)接5V電源，所述三個(gè) 繼電器的第十引腳10并聯(lián)同時(shí)接控制線(xiàn)，因?yàn)檫@樣比較方便簡(jiǎn)單，但然，也可以將每個(gè)繼 電器的第一引腳1分別連接5V電源，將第十引腳10分別連接控制線(xiàn)。本實(shí)施例的適配板可以將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)，所述適配板的價(jià)格 低廉、組裝方便，其約30元左右的成本，但是卻可以很大程度的提高測(cè)試效率，節(jié)約測(cè)試成 本。實(shí)施例2本實(shí)施例提供一種將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方法，包括首先，確定具有雙工位測(cè)試硬件資源的單工位測(cè)試機(jī)；本實(shí)施例的所述單工位測(cè)試機(jī)可以是市場(chǎng)上的科進(jìn)測(cè)試機(jī)，其型號(hào)為MTWT103， 與所述科進(jìn)測(cè)試機(jī)配套的探針臺(tái)可以是UF170型號(hào)的MTWP024，配套的探針卡型號(hào)可以是 P0009-02-02-S0 ； 其次，將所述單工位測(cè)試機(jī)的程序通過(guò)繼電器組件重新設(shè)置，使所述繼電器加電 時(shí)測(cè)試第一待測(cè)芯片，所述繼電器不加電時(shí)測(cè)試第二待測(cè)芯片；圖4為雙工位測(cè)試流程圖，如圖4所示，所述重新設(shè)置的思路為所述繼電器不加 電時(shí)，依次執(zhí)行步驟sil、S12，即測(cè)試第一待測(cè)芯片并傳送所述第一待測(cè)芯片；當(dāng)所述繼電 器加電時(shí)，依次執(zhí)行步驟S13、S14、S15，即通過(guò)所述繼電器激活第二待測(cè)芯片，然后測(cè)試所 述第二待測(cè)芯片并傳送所述第二待測(cè)芯片；最后，執(zhí)行步驟S16，即同時(shí)輸出第一待測(cè)芯片 和第二待測(cè)芯片的測(cè)試結(jié)果；再次，利用蜂窩板、繼電器組件、插座以及轉(zhuǎn)接板組裝適配板；所述適配板與實(shí)施例1中的適配板相同，因此不再闡述；最后，連接所述適配板和所述單工位測(cè)試機(jī)的對(duì)應(yīng)引腳，得到雙工位測(cè)試機(jī)。具體的，當(dāng)選用的繼電器組件的連接方式如圖3所示時(shí)，適配板上所有的DS端連 接單工位測(cè)試機(jī)探針臺(tái)的DS端，所有的DF端連接探針臺(tái)的DF端，適配板上第一待測(cè)芯片 110的GS端、GF端連接單工位測(cè)試機(jī)探針卡的第一柵極；適配板上第一待測(cè)芯片110的SS 端、SF端分別連接單工位測(cè)試機(jī)探針卡的SS端、SF端；適配板上第二待測(cè)芯片120的GS 端、GF端連接探針卡的第二柵極，適配板上第二待測(cè)芯片120的SS端、SF端分別連接探針 卡的SS端、SF端。優(yōu)選的，將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方法，還包括利用所述雙工位測(cè) 試機(jī)進(jìn)行成品測(cè)試。這樣，可以驗(yàn)證適配板是否符合預(yù)計(jì)的功能需求，以及驗(yàn)證適配板與所 述單工位測(cè)試機(jī)的連接線(xiàn)能正常運(yùn)行。
圖5為利用單工位測(cè)試機(jī)和本發(fā)明的雙工位測(cè)試機(jī)進(jìn)行測(cè)試得到的試驗(yàn)數(shù)據(jù)對(duì) 照表。圖5中，VGS(TH)表示晶粒的金屬氧化物(MOS)晶體管的開(kāi)啟電壓，單位為伏(V)； IGSSF表示，在所述金屬氧化物晶體管的源漏極間加正向電流時(shí)，源漏極的漏電流，單位為 納安(nA) ；IGSSR表示，在所述金屬氧化物晶體管的源漏極間加反向電流時(shí)，源漏極的漏電 流，單位為納安(nA) ；RDSONURDS0N2.RDS0N3為在源漏極間施加不同電流或電壓時(shí)源漏極 間的電阻，單位為毫歐姆(πιΩ) ；BVDSS表示，所述金屬氧化物晶體管的擊穿電壓，單位為伏 (V) ；IDSS表示，所述金屬氧化物晶體管的漏極的漏電流，單位為納安(nA) ；VFSD表示，所述 金屬氧化物晶體管的二極管電壓，單位為伏(V)。由圖5可知，當(dāng)測(cè)試芯片的總數(shù)為41558時(shí)，總測(cè)試良率雙工位的測(cè)試良率比 單工位的測(cè)試良率大0. 12% ；源漏極間的電阻雙工位的測(cè)試值比單工位測(cè)試時(shí)總體值大 1.5毫歐姆(πιΩ)，此值在被允許的范圍(5%)內(nèi)；擊穿電流雙工位的測(cè)試值比單工位測(cè) 試值小0. 007V ；測(cè)試用時(shí)在測(cè)試相同數(shù)量相同規(guī)格的待測(cè)芯片時(shí)，單工位測(cè)試機(jī)用了 583 分鐘，本發(fā)明的雙工位測(cè)試機(jī)用了 467分鐘，即雙工位測(cè)試機(jī)節(jié)約了 116分鐘。就此實(shí)驗(yàn)而看，當(dāng)雙工位測(cè)試機(jī)用467分鐘時(shí)，能節(jié)約的時(shí)間為116分鐘，那么如 果測(cè)試時(shí)利用雙工位測(cè)試機(jī)24小時(shí)，將能節(jié)約的時(shí)間大約為6小時(shí)，也就是說(shuō)如果測(cè)試?yán)?用一臺(tái)雙工位測(cè)試機(jī)測(cè)試一年，將能節(jié)約的時(shí)間大約為2190小時(shí)。如果晶圓測(cè)試一個(gè)小時(shí) 的費(fèi)用為120元，那么它所帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)效益將是120*2190 = 262800元。因此，利用本發(fā)明的雙工位測(cè)試機(jī)，可以大大節(jié)約時(shí)間和節(jié)省測(cè)試成本。實(shí)施例3本實(shí)施例提供一種利用實(shí)施例2所述的雙工位測(cè)試機(jī)測(cè)試待測(cè)芯片的方法，包 括首先，將第一待測(cè)芯片和第二待測(cè)芯片分別放置于所述適配板上的第一工位和第 二工位；其次，測(cè)試所述第一待測(cè)芯片的信號(hào)并記錄；再次，通過(guò)繼電器激活所述第二待測(cè)芯片，測(cè)試所述第二待測(cè)芯片的信號(hào)并記 錄；最后，輸出所述第一待測(cè)芯片和第二待測(cè)芯片的測(cè)試結(jié)果。綜上所述，在單工位測(cè)試機(jī)內(nèi)部硬件不變的情況下，通過(guò)在單工位測(cè)試機(jī)的外部 加適配板并更改單工位測(cè)試機(jī)控制程序，實(shí)現(xiàn)將單工位測(cè)試機(jī)改裝成串行雙工位測(cè)試機(jī)， 從而達(dá)到了節(jié)省測(cè)試資源提高生產(chǎn)效率的目的。本發(fā)明的適配板的組成元件的選擇不限于實(shí)施例，本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以在 得到本發(fā)明啟示的基礎(chǔ)上選用其他元件來(lái)組成所述測(cè)試板，本發(fā)明的單工位測(cè)試機(jī)也可以 選用相同功能的其它型號(hào)的測(cè)試機(jī)。
權(quán)利要求
1.一種適配板，用于將單工位的測(cè)試機(jī)改裝成雙工位的測(cè)試機(jī)，包括蜂窩板，將繼電器組件固定于蜂窩板上的插座，以及轉(zhuǎn)接板；所述轉(zhuǎn)接板連接所述繼電器組件的引腳，使所述繼電器組件的公共引腳連接單工位測(cè) 試機(jī)、所述繼電器組件的第一信號(hào)引腳連接第一待測(cè)芯片的測(cè)試端、所述繼電器組件的第 二信號(hào)引腳連接所述第二待測(cè)芯片的測(cè)試端，所述第一待測(cè)芯片位于第一工位上、所述第 二待測(cè)芯片位于第二工位上。
2.如權(quán)利要求1所述的適配板，其特征在于，所述繼電器組件中的繼電器為雙刀雙擲 繼電器，能同時(shí)測(cè)量待測(cè)芯片的兩種信號(hào)。
3.如權(quán)利要求2所述的適配板，其特征在于，所述繼電器的型號(hào)為T(mén)Q2-5V。
4.如權(quán)利要求1或2所述的適配板，其特征在于，所述繼電器組件由三個(gè)相同繼電器組 成，所述三個(gè)繼電器的第一引腳并聯(lián)同時(shí)接5V電源，所述三個(gè)繼電器的第十引腳并聯(lián)同時(shí) 接控制線(xiàn)。
5.一種包括權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的適配板的雙工位測(cè)試機(jī)。
6.一種利用權(quán)利要求5所述的雙工位測(cè)試機(jī)的測(cè)試方法，包括將第一待測(cè)芯片和第二待測(cè)芯片分別放置于所述適配板上的第一工位和第二工位；測(cè)試所述第一待測(cè)芯片的信號(hào)并記錄；通過(guò)繼電器激活所述第二待測(cè)芯片，測(cè)試所述第二待測(cè)芯片的信號(hào)并記錄；輸出所述第一待測(cè)芯片和第二待測(cè)芯片的測(cè)試結(jié)果。
7.一種利用如權(quán)利要求1至4中任一適配板將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方 法，包括確定具有雙工位測(cè)試硬件資源的單工位測(cè)試機(jī)；將所述單工位測(cè)試機(jī)的程序通過(guò)繼電器組件重新設(shè)置，使所述繼電器加電時(shí)測(cè)試第一 待測(cè)芯片，所述繼電器不加電時(shí)測(cè)試第二待測(cè)芯片；利用蜂窩板、繼電器組件、插座以及轉(zhuǎn)接板組裝適配板；連接所述適配板和所述單工位測(cè)試機(jī)的對(duì)應(yīng)引腳，得到雙工位測(cè)試機(jī)。
8.如權(quán)利要求7所述的將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方法，還包括利用所 述雙工位測(cè)試機(jī)進(jìn)行成品測(cè)試。
9.如權(quán)利要求7或8所述的將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方法，其特征在于， 所述繼電器組件中的繼電器為雙刀雙擲繼電器，能同時(shí)測(cè)量待測(cè)芯片的兩種信號(hào)。
10.如權(quán)利要求7或8所述的將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方法，其特征在 于，所述繼電器的型號(hào)為T(mén)Q2-5V。
11.如權(quán)利要求7或8所述的將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方法，其特征在 于，所述繼電器組件由三個(gè)相同繼電器組成，所述三個(gè)繼電器的第一引腳并聯(lián)同時(shí)接5V電 源，所述三個(gè)繼電器的第十引腳并聯(lián)同時(shí)接控制線(xiàn)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種適配板，用于將單工位的測(cè)試機(jī)改裝成雙工位的測(cè)試機(jī)，包括蜂窩板，將繼電器組件固定于蜂窩板上的插座，以及轉(zhuǎn)接板；所述轉(zhuǎn)接板連接所述繼電器組件的引腳，使所述繼電器組件的公共引腳連接單工位測(cè)試機(jī)、所述繼電器組件的第一信號(hào)引腳連接第一待測(cè)芯片的測(cè)試端、所述繼電器組件的第二信號(hào)引腳連接所述第二待測(cè)芯片的測(cè)試端，所述第一待測(cè)芯片位于第一工位上、所述第二待測(cè)芯片位于第二工位上；以及利用所述適配板的雙工位測(cè)試機(jī)、利用所述雙工位測(cè)試機(jī)的測(cè)試方法，以及利用所述適配板將單工位測(cè)試機(jī)改裝成雙工位測(cè)試機(jī)的方法。解決了現(xiàn)有技術(shù)測(cè)試效率低、測(cè)試成本高的問(wèn)題。
文檔編號(hào)G01R31/00GK101995491SQ20091019461
公開(kāi)日2011年3月30日 申請(qǐng)日期2009年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月26日
發(fā)明者嚴(yán)大生, 屈微微, 岳青, 郭萬(wàn)瑾 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司