專利名稱:收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種收光及影像偵測(cè)的系統(tǒng),尤其涉及一種用于測(cè)試發(fā)光元件所產(chǎn)生 的光源的收光測(cè)試及影像偵測(cè)的系統(tǒng)。
背景技術(shù):
發(fā)光元件以發(fā)光二極管為主要的代表,發(fā)光二極管是當(dāng)前市面上發(fā)光效率最佳的 電子元件。運(yùn)用已發(fā)展成熟的集成電路制造技術(shù)從事生產(chǎn),業(yè)者可迅速的將發(fā)光二極管量 產(chǎn)上市,而生產(chǎn)上其中一道瓶頸就是產(chǎn)品功能測(cè)試與分級(jí)。請(qǐng)參閱圖1,其為本領(lǐng)域所已知的測(cè)試配置。從晶片切割下來(lái)的發(fā)光二極管晶粒, 即待測(cè)物11,黏貼在膠膜(未顯示)之上,接收到兩根探針12傳遞而來(lái)的操作電能而發(fā)光。 已知的測(cè)試配置主要分成顯微鏡及收光器15。待測(cè)物11所發(fā)出的光線進(jìn)入顯微鏡的分光 元件13而被分成不同方向的兩道分光束,分別進(jìn)入顯微鏡的目鏡14與收光器15。通過(guò)顯 微鏡,操作者可以觀測(cè)以確定待測(cè)物11與探針12的位置是否正確;同時(shí),收光器15將光線 傳送到其內(nèi)部的分光元件16,光線再被分配成不同方向的兩道分光束,分別用于光譜量測(cè) 與光能量測(cè)試,測(cè)試的結(jié)果作為判定待測(cè)物U等級(jí)的依據(jù)。一般而言,光能量測(cè)試系接收 分光元件16分配成的分光束后,將光能量轉(zhuǎn)換為電壓值,以電壓值代表光能量的大小。由于顯微鏡的分光元件13需要將待測(cè)物11成像,所以需要相關(guān)的元件達(dá)成其效 果,故使分光過(guò)程中的進(jìn)光量變差,使顯微鏡的目鏡14與收光器15接收的光線其光量不 足。上述測(cè)試配置將造成收光器15所傳送用于測(cè)試的光線其光量不足,使光譜量測(cè)與光能 量測(cè)試部分的處理時(shí)間增加,此外,也會(huì)造成顯微鏡的目鏡14影像清晰度差,增加操作者 使用的困難度。為了改善上述的問(wèn)題,另一種已知的測(cè)試配置是舍棄分光元件13,以減少分光的 次數(shù)。請(qǐng)參閱圖2,黏貼在膠膜(未顯示)之上的待測(cè)物21接收到兩根探針22傳遞而來(lái)的 操作電能而發(fā)光。待測(cè)物21的上方在同一平面上配置影像偵測(cè)裝置(顯微鏡或電荷耦合 元件(CXD)) 24與收光器25,兩者的位置可以互換,而依序進(jìn)行待測(cè)物21與探針22位置的 觀測(cè),以及光譜量測(cè)與光能量測(cè)試。然而,由于操作程序不能同步,待測(cè)物21在膠膜之上的 位置可能隨著時(shí)間的不同而產(chǎn)生變異,加上影像偵測(cè)裝置24與收光器25兩者的操作位置 難以被移動(dòng)機(jī)構(gòu)完美的搬運(yùn)于同一處,因而導(dǎo)致測(cè)試數(shù)據(jù)的可重復(fù)性的問(wèn)題。職是之故,發(fā)明人鑒于已知技術(shù)的設(shè)計(jì)缺失,乃經(jīng)悉心試驗(yàn)與研究,并一本鍥而不 舍的精神,發(fā)明出本案“收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)”,兼具有同步操作功能以及較佳的分光效果, 以下為本案的簡(jiǎn)要說(shuō)明。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種用于測(cè)試發(fā)光二極管晶粒或其他電子光源的收光與 影像偵測(cè)系統(tǒng),通過(guò)兩組分光設(shè)備的搭配,讓收光與影像偵測(cè)的作業(yè)可以同步進(jìn)行,并且能 夠有效的分配用作光譜量測(cè)與用作光能量測(cè)試的光線。再加上輔助光源的配置,可以在待測(cè)物未產(chǎn)生光線時(shí),例如在通電測(cè)試之前,或是在故障排除程序中,同樣能夠?qū)Υ郎y(cè)物與其 周遭的測(cè)試配置進(jìn)行影像偵測(cè)。根據(jù)上述構(gòu)想,本發(fā)明提出一種收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),包括一第一分光裝置,接 收來(lái)自一待測(cè)物的一光線,并將該光線分配為一第一分光束與一第二分光束;一第二分光 裝置,接收該第二分光束,并將該第二分光束分配為一第三分光束與一第四分光束;以及一 影像偵測(cè)裝置,接收該第四分光束,并將該第四分光束轉(zhuǎn)換成一數(shù)字訊號(hào)。較佳地,其中該 第一分光束用于一光譜量測(cè),且該第三分光束用于一光能量測(cè)試。
較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其中該第一分光束用于一光能量測(cè) 試,且該第三分光束用于一光譜量測(cè)。較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其中該影像偵測(cè)裝置具有一焦距調(diào) 整機(jī)構(gòu)。較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其中該影像偵測(cè)裝置具有一輔助光 源,用以經(jīng)由該些分光裝置將一輔助光線投射于該待測(cè)物。較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其中該影像偵測(cè)裝置包含一電荷耦 合元件。較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),更包含一光譜量測(cè)裝置及一光能量 測(cè)試裝置,用以判定該待測(cè)物的等級(jí)。根據(jù)前述的構(gòu)想,本發(fā)明另提出一種收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),包括一第一分光裝 置,接收來(lái)自一待測(cè)光源的光線,并將所接收的該光線分配為一第一分光束與一第二分光 束;一第二分光裝置,接收該第二分光束,并將該第二分光束分配為一第三分光束與一第四 分光束;以及一影像偵測(cè)裝置,將該第一分光束或該第三分光束轉(zhuǎn)換成一數(shù)字訊號(hào)。較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),更包含一光譜量測(cè)裝置及一光能量 測(cè)試裝置。較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其中該光譜量測(cè)裝置及該光能量測(cè) 試裝置分別接收與該影像偵測(cè)裝置不同的分光束。較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其中該第一分光裝置及該第二分光 裝置分別包含一分光鏡。較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其中該影像偵測(cè)裝置具有一焦距調(diào) 整機(jī)構(gòu)。較佳地,本發(fā)明提出的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其中該影像偵測(cè)裝置具有一輔助光 源,用以經(jīng)由該些分光裝置將一輔助光線投射于該待測(cè)光源。本發(fā)明提出的收光及影像偵 測(cè)系統(tǒng),其中該影像偵測(cè)裝置包含一電荷耦合元件。根據(jù)上述構(gòu)想,本發(fā)明提出一種測(cè)試發(fā)光元件的方法,包括(a)將來(lái)自該發(fā)光元 件的光線分配為一第一分光束與一第二分光束;(b)將該第二分光束分配為一第三分光束 與一第四分光束;(c)接收該第四分光束,將該第四分光束轉(zhuǎn)換成一數(shù)字訊號(hào),并依據(jù)該數(shù) 字訊號(hào)來(lái)觀測(cè)該待發(fā)光元件的一位置;以及(d)分別測(cè)試該第一分光束的一光譜特性以及 該第三分光束的一光能量,據(jù)以判定該發(fā)光元件的等級(jí)。較佳地,本發(fā)明提出的方法,其中步驟(C)更包含下列步驟微調(diào)該第四分光束的 一觀測(cè)焦距,以修正該數(shù)字訊號(hào)所顯示的畫面清晰度。
較佳地,本發(fā)明提出的方法,其中步驟(C)更包含下列步驟將該數(shù)字訊號(hào)輸入一 顯示器,并檢視該顯示器的畫面以確認(rèn)該發(fā)光元件的一測(cè)試配置。較佳地,本發(fā)明提出的方法,其中于步驟(a)之前,更包含下列步驟使用多個(gè)探 針接觸該發(fā)光元件表面的端點(diǎn),并經(jīng)由該些探針提供該發(fā)光元件的一操作電能。
根據(jù)上述構(gòu)想,本發(fā)明另提出一種測(cè)試發(fā)光元件的方法,包括(a)將來(lái)自該發(fā)光 元件的光線分配為一第一分光束與一第二分光束;(b)將該第二分光束分配為一第三分光 束與一第四分光束;(c)將該第一分光束或該第三分光束轉(zhuǎn)換成一數(shù)字訊號(hào),并依據(jù)該數(shù) 字訊號(hào)來(lái)觀測(cè)該發(fā)光元件的一位置;以及(d)分別測(cè)試與該影像偵測(cè)裝置不同的分光束之 一光譜特性以及一光能量,據(jù)以判定該發(fā)光元件的等級(jí)。較佳地,本發(fā)明提出的方法,其中步驟(C)更包含下列步驟微調(diào)該第一分光束或 該第三分光束的一觀測(cè)焦距,以修正該數(shù)字訊號(hào)所顯示的畫面清晰。較佳地,本發(fā)明提出的方法,其中步驟(C)更包含下列步驟將該數(shù)字訊號(hào)輸入一 顯示器,檢視該顯示器的畫面以確認(rèn)該發(fā)光元件的一測(cè)試配置。較佳地,本發(fā)明提出的方法,其中于步驟(a)之前,更包含下列步驟使用多個(gè)探 針接觸于該發(fā)光元件表面的端點(diǎn),并經(jīng)由該些探針提供該發(fā)光元件的一操作電能。如前述本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)及方法,得藉由下列實(shí)施例及圖示說(shuō)明,使 得本領(lǐng)域具一般知識(shí)者更深入地了解其實(shí)施方式與優(yōu)點(diǎn)
圖1為本領(lǐng)域所已知的收光及影像偵測(cè)配置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本領(lǐng)域所已知的另一種收光及影像偵測(cè)配置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)及測(cè)試發(fā)光元件的方法的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu) 示意圖。圖4為本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)及測(cè)試發(fā)光元件的方法的另一實(shí)施例的結(jié) 構(gòu)示意圖。圖5為本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)及測(cè)試發(fā)光元件的方法的又一實(shí)施例的分 光裝置配置結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)及測(cè)試發(fā)光元件的方法的再一實(shí)施例的分 光裝置配置結(jié)構(gòu)示意圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明11、21、31、41、51、61 待測(cè)物12、22、32、42 探針13分光元件14顯微鏡24、37、47影像偵測(cè)裝置15、25 收光器16分光元件33、43、53、63 第一分光裝置34、44、δ4、64 第一分光鏡
35、45、55、65 第二分光裝置36、46、56、66 第二分光鏡371、471電荷耦合元件 472輔助光源473焦距調(diào)整機(jī)構(gòu)
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的技術(shù)手段將詳細(xì)說(shuō)明如下,相信本發(fā)明的目的、特征與特點(diǎn),當(dāng)可由此得 一深入且具體的了解,然而下列實(shí)施例與圖示僅提供參考與說(shuō)明用,并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加 以限制。首先請(qǐng)參閱圖3,其為本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)及測(cè)試發(fā)光元件的方法的一 實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示,一待測(cè)物31,例如以發(fā)光二極管晶粒為代表的發(fā)光元 件,接收到從兩根探針32傳遞進(jìn)來(lái)的操作電能而發(fā)光。在不同的應(yīng)用方面,待測(cè)物31的 類型除了電子發(fā)光元件以外,也包括其他類型的發(fā)光元件。換句話說(shuō),待測(cè)物31提供一待 測(cè)光源。待測(cè)物31的光線進(jìn)入一第一分光裝置33,第一分光裝置33包含有一第一分光鏡 34,第一分光鏡34設(shè)計(jì)一定比例的穿透率與反射率,通常由金屬膜、介質(zhì)膜或多層膜蒸鍍 而成,對(duì)光的吸收率極低。穿透第一分光鏡34的第一分光束用作光譜量測(cè),由于第一分光 束直接提供光作為光譜量測(cè)之所需,不用經(jīng)過(guò)如圖1的測(cè)試配置,使用兩次分光后才進(jìn)行 光譜量測(cè),因此可縮短光譜量測(cè)的處理時(shí)間。經(jīng)由第一分光鏡34反射而成的第二分光束進(jìn) 入一第二分光裝置35,第二分光裝置35包含一第二分光鏡36,第二分光鏡36設(shè)計(jì)一定比 例的穿透率與反射率,通常亦由金屬膜、介質(zhì)膜或多層膜蒸鍍而成,對(duì)光的吸收率極低。穿 透第二分光鏡36的第三分光束用作光能量測(cè)試。由于本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)在第一分光裝置33進(jìn)行待測(cè)物31的光線的第 一分光過(guò)程時(shí),不需要使用如圖1中顯微鏡的分光元件13,即不需在第一分光裝置33中設(shè) 計(jì)待測(cè)物31成像的相關(guān)元件,所以不會(huì)使進(jìn)光量變差,因此可以加快光譜量測(cè)與光能量測(cè) 試的處理時(shí)間。經(jīng)過(guò)第二分光鏡36反射而成的第四分光束進(jìn)入一影像偵測(cè)裝置37,影像偵測(cè)裝 置37包含一電荷耦合元件371,接收第四分光束,并將第四分光束轉(zhuǎn)換成一數(shù)字訊號(hào)(未顯 示),該數(shù)字訊號(hào)可以被傳送到遠(yuǎn)方的液晶或一般顯示器而讓操作者通過(guò)熒幕影像檢視畫 面,以確認(rèn)該待測(cè)發(fā)光二極管晶粒的一測(cè)試配置。相同的,影像偵測(cè)裝置37所配置的電荷 耦合元件371也可以替換為一顯微鏡371,讓操作者直接以目視確認(rèn)待測(cè)物31的測(cè)試配置 是否恰當(dāng)。通常,待測(cè)物31所在的位置,以及探針32是否正確放在待測(cè)物31上的多個(gè)端 點(diǎn),是需要確定無(wú)誤的檢驗(yàn)要點(diǎn)。在此同時(shí),第一分光束與第三分光束分別進(jìn)入一光譜量測(cè)裝置(未顯示)與一光 能量測(cè)試裝置(未顯示),進(jìn)行光譜與光能量測(cè)試,據(jù)以判定待測(cè)物31的等級(jí)。配合設(shè)備空 間或其他方面的考量,亦可將第一分光束用于光能量測(cè)試,而將第三分光束用于光譜量測(cè)。請(qǐng)參閱圖4,其為本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)及測(cè)試發(fā)光元件的方法的另一實(shí) 施例的結(jié)構(gòu)示意圖,本實(shí)施例的基本配置與上述實(shí)施例相同,包含有一第一分光裝置43、一 第二分光裝置45、以及一影像偵測(cè)裝置47。第一分光裝置43包含有一第一分光鏡44,第一分光鏡44設(shè)計(jì)一定比例的穿透率與反射率。第二分光裝置45包含一第二分光鏡46,第二分光鏡46設(shè)計(jì)一定比例的穿透率與反射率。影像偵測(cè)裝置47包含一電荷耦合元件471、一 輔助光源472、以及一焦距調(diào)整機(jī)構(gòu)473。有關(guān)第一分光裝置43、第二分光裝置45以及影像 偵測(cè)裝置47的基本功能與上述實(shí)施例相同,在此不再重復(fù)敘述。如圖4所示,輔助光源472可提供一輔助光線,經(jīng)過(guò)與上述第四分光束相反的途 徑,先后通過(guò)第二分光鏡46與第一分光鏡44的反射而投射于一待測(cè)物41,例如發(fā)光二極 管晶粒。之后,操作者就可以通過(guò)影像偵測(cè)裝置47確認(rèn)該待測(cè)物41的測(cè)試配置是否恰當(dāng)。 在功能測(cè)試之前,或是待測(cè)物41未能正常發(fā)光的時(shí)候,該輔助光線可提供照射之用;而在 進(jìn)行功能測(cè)試的時(shí)候,該輔助光線則提供補(bǔ)光的作用。此外,影像偵測(cè)裝置47所配置的焦距調(diào)整機(jī)構(gòu)473提供上下移動(dòng)以對(duì)焦的功能, 讓操作者微調(diào)所進(jìn)入影像偵測(cè)裝置47的光束的觀測(cè)焦距,以修正來(lái)自電荷耦合元件471的 數(shù)字訊號(hào)所顯示的畫面清晰程度。請(qǐng)參閱圖5,其為本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)及測(cè)試發(fā)光元件的方法的又一實(shí) 施例的分光裝置配置結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)施例與上述實(shí)施例不同之處在于其分光裝置的配置 結(jié)構(gòu)。如圖5所示,來(lái)自于一待測(cè)物51(例如發(fā)光二極管晶粒)的光線進(jìn)入一第一分光裝 置53,第一分光裝置53包含有一第一分光鏡54。經(jīng)由第一分光鏡54反射而成的第一分光 束進(jìn)入一影像偵測(cè)裝置(未顯示);穿透第一分光鏡54的第二分光束進(jìn)入一第二分光裝置 55,第二分光裝置55包含一第二分光鏡56。穿透第二分光鏡56的第三分光束用作光譜量 測(cè);經(jīng)由第二分光鏡56反射而成的第四分光束則用作光能量量測(cè)?;蛘?,也可以將第四分 光束用作光譜量測(cè),而將第三分光束用作光能量量測(cè)。相同的,一光譜量測(cè)裝置(未顯示) 與一光能量測(cè)試裝置(未顯示)可直接配置于適當(dāng)?shù)奈恢靡苑謩e接收該些光束,進(jìn)行光譜 與光能量測(cè)試,據(jù)以判定待測(cè)物51的等級(jí)。值得一提的是,第一分光鏡54、第二分光鏡56可以經(jīng)由制程技術(shù)的掌控而產(chǎn)生不 同的穿透率與反射率。充分運(yùn)用各種穿透率與反射率的搭配組合,可以讓以上所述的各種 量測(cè)或影像偵測(cè)設(shè)備獲得較為理想的光量分配比例。請(qǐng)參閱圖6,其為本發(fā)明的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)及測(cè)試發(fā)光元件的方法的再一實(shí) 施例的分光裝置配置結(jié)構(gòu)示意圖。來(lái)自于一待測(cè)物61 (例如發(fā)光二極管晶粒)的光線進(jìn)入 一第一分光裝置63,第一分光裝置63包含有一第一分光鏡64。經(jīng)由第一分光鏡64反射而 成的第一分光束用作光譜量測(cè);穿透第一分光鏡64的第二分光束進(jìn)入一第二分光裝置65, 第二分光裝置65包含一第二分光鏡66。穿透第二分光鏡66的第三分光束進(jìn)入一影像偵測(cè) 裝置(未顯示);經(jīng)由第二分光鏡66反射而成的第四分光束則用作光能量量測(cè)?;蛘?,也 可以將第四分光束用作光譜量測(cè),而將第一分光束用作光能量量測(cè)。相同的,一光譜量測(cè)裝 置(未顯示)與一光能量測(cè)試裝置(未顯示)可直接配置于適當(dāng)?shù)奈恢靡苑謩e接收該些光 束,進(jìn)行光譜與光能量測(cè)試,據(jù)以判定待測(cè)物61的等級(jí)。從圖5、圖6與圖3之間的差異可以推知,兩個(gè)分光裝置的相對(duì)位置與其內(nèi)分光鏡 方向的配置具有許多種可能的組合,可以配合各種不同的空間或其他考量而選擇最佳化的 配置方式。雖然本發(fā)明已以數(shù)個(gè)較佳實(shí)施例揭露如上,然其并非用以限定本發(fā)明,任何熟習(xí) 此技藝者,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求書所界定 者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),包括一第一分光裝置,接收來(lái)自一待測(cè)物的一光線,并將該光線分配為一第一分光束與一第二分光束;一第二分光裝置,接收該第二分光束,并將該第二分光束分配為一第三分光束與一第四分光束;以及一影像偵測(cè)裝置,接收該第四分光束,并將該第四分光束轉(zhuǎn)換成一數(shù)字訊號(hào)。
2.如權(quán)利要求1所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于該第一分光束用于一光譜量測(cè),且該第三分光束用于一光能量測(cè)試;或 該第一分光束用于一光能量測(cè)試,且該第三分光束用于一光譜量測(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于 該第一分光裝置及該第二分光裝置分別包含一分光鏡。
4.如權(quán)利要求1所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于 該影像偵測(cè)裝置具有一焦距調(diào)整機(jī)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求1所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于該影像偵測(cè)裝置具有一輔助光源,用以經(jīng)由該些分光裝置將一輔助光線投射于該待測(cè)物。
6.如權(quán)利要求1所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于 該影像偵測(cè)裝置包含一電荷耦合元件。
7.如權(quán)利要求2所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于該系統(tǒng)更包含一光譜量測(cè)裝置及一光能量測(cè)試裝置,用以判定該待測(cè)物的等級(jí)。
8.一種收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于,包括一第一分光裝置,接收來(lái)自一待測(cè)光源的光線,并將所接收的該光線分配為一第一分 光束與一第二分光束;一第二分光裝置,接收該第二分光束,并將該第二分光束分配為一第三分光束與一第 四分光束;以及一影像偵測(cè)裝置,將該第一分光束或該第三分光束轉(zhuǎn)換成一數(shù)字訊號(hào)。
9.如權(quán)利要求8所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于該系統(tǒng)更包含一光譜量測(cè)裝置及一光能量測(cè)試裝置,其中該光譜量測(cè)裝置及該光能量 測(cè)試裝置分別接收與該影像偵測(cè)裝置不同的分光束。
10.如權(quán)利要求9所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于 該第一分光裝置及該第二分光裝置分別包含一分光鏡。
11.如權(quán)利要求8所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于 該影像偵測(cè)裝置具有一焦距調(diào)整機(jī)構(gòu)。
12.如權(quán)利要求8所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于該影像偵測(cè)裝置具有一輔助光源,用以經(jīng)由該些分光裝置將一輔助光線投射于該待測(cè) 光源。
13.如權(quán)利要求8所述的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),其特征在于 該影像偵測(cè)裝置包含一電荷耦合元件。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),該收光及影像偵測(cè)系統(tǒng)包括一第一分光裝置,接收來(lái)自一待測(cè)物的一光線,并將該光線分配為一第一分光束與一第二分光束;一第二分光裝置,接收該第二分光束,并將該第二分光束分配為一第三分光束與一第四分光束;以及一影像偵測(cè)裝置,接收該第四分光束,并將該第四分光束轉(zhuǎn)換成一數(shù)字訊號(hào)。較佳地,該第一分光束用于一光譜量測(cè),且該第三分光束用于一光能量測(cè)試。本發(fā)明提供的收光及影像偵測(cè)系統(tǒng),兼具有同步操作功能以及較佳的分光效果。
文檔編號(hào)G01M11/02GK101846552SQ20091013232
公開(kāi)日2010年9月29日 申請(qǐng)日期2009年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月25日
發(fā)明者劉永欽, 劉羿辰, 范維如, 蔡振揚(yáng) 申請(qǐng)人:旺矽科技股份有限公司