專利名稱：方形掩膜版玻璃基片平面度檢測儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種檢測儀，尤其涉及一種邊長為4、5、6、7英寸的方形掩膜版玻璃基片平面度檢測儀。
背景技術(shù)：
隨著全球微電子產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，集成電路掩膜版基片、各類方形超高質(zhì)量表面光學(xué)基片在該領(lǐng)域的應(yīng)用越來越大。在這些超高質(zhì)量表面要求的方形玻璃基片的生產(chǎn)過程中，需要對這些產(chǎn)品的各類尺寸誤差進行全面檢測?！胺叫尾ＡЩ矫娑取辟|(zhì)量指標對產(chǎn)品的應(yīng)用十分重要，直接影響到微電子(集成電路掩膜版)行業(yè)大批量產(chǎn)品生產(chǎn)的使用效果。
在以往的平面度檢驗測試中，常使用“激光平面干涉儀”(如中科院光機所制PG15-J4型激光平面干涉儀)測量光圈的方法，雖然精度高達0.2～0.3um，但對于大規(guī)模生產(chǎn)使用不便，影響生產(chǎn)效率；特別是在研磨階段，毛面不能檢測；并且對于大面積大尺寸(邊長為4、5、6、7英寸)和超薄型的玻璃基片測量十分困難(光圈變形無法數(shù)清)，并無法實行數(shù)字化直讀。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型需要解決的技術(shù)問題是提供了一種方形掩膜版玻璃基片平面度檢測儀，旨在解決上述的缺陷。
為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的本實用新型包括一個三角形工作臺面，在所述的三角形工作臺面上分別安置三個圓座，每個圓座上安置一個可轉(zhuǎn)動的小鋼球；在所述的三角形工作臺面的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座；一個圓盤，所述的圓盤與小滾珠軸承連固定座滾動連接，并在中部分別有安置方形玻璃基片的槽座；在所述的三角形工作臺面的中心位置孔下方安置了一臺千分表；與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是克服了各類規(guī)格方形玻璃基片由于玻璃自重而產(chǎn)生的變形影響測量精度的不利因素，使測量精度大大提高達到0.001mm；特別適應(yīng)于常用大面積(邊長為4、5、6、7英寸)、超薄型易變形的方形玻璃基片；不僅操作方便，檢查直觀，而且工作效率極高，十幾秒種即可從千分表中讀出數(shù)值。


圖1是本實用新型的主視圖；圖2是圖1中K處的放大圖；圖3是本實用新型的俯視圖；具體實施方式
以下結(jié)合附圖與具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細描述由圖1、圖2、圖3可見本實用新型包括一個三角形工作臺面3，在所述的三角形工作臺面3上分別安置三個圓座1，每個圓座1上一個可轉(zhuǎn)動的小鋼球11；在所述的三角形工作臺面3的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座2；一個圓盤6，所述的圓盤6與小滾珠軸承連固定座2滾動連接，并在中部分別有安置方形玻璃基片5的槽座61；在所述的三角形工作臺面3的中心位置孔下方安置了一臺千分表4；所述的圓座1可以分級調(diào)整，與其相應(yīng)的小滾珠軸承連固定座2也可作分級調(diào)整；所述的級可以是2或3或4；在本實用新型的底座上方有一三角形工作臺面，利用三點決定一個平面的科學(xué)原理中部均布三個固定小圓座上分別安放可轉(zhuǎn)動的金屬小球(使平板玻璃成點接觸定位)，并且三小鋼球的相對距離是可以分級調(diào)整的，以適應(yīng)不同大小方形掩膜版玻璃基片5的測量要求，另外，在三角形工作臺面的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座，它的用途是起旋轉(zhuǎn)測量的靠山作用，三組滾動軸承的相對位置亦可分級調(diào)整的，以適應(yīng)不同大小玻璃基片的測量要求。
在工作臺面中心位置孔下方安置了一臺千分表(精度為1um)，利用標準平面樣板(平面度等于0.5um)。校準零位后放上被測工件(方形掩膜版玻璃基片)，轉(zhuǎn)動工件便可測量它的平面度，千分表讀數(shù)直觀、方便、實用。
測量各類方片(4、5、6、7英寸)玻璃基片時，可以將被測工件先放在圓盤方槽座內(nèi)，再擱置在三定位金屬球上。圓盤邊緣有臺階分別靠架在三滾珠軸承上(小軸承連固定座)滾動測量，方片玻璃仍擱在三定位金屬球上。圓盤方槽僅限位帶動被測件轉(zhuǎn)動測量。同樣轉(zhuǎn)動靈活、讀數(shù)方便。不同大小方片規(guī)格(4、5、6、7英寸)測量時用相應(yīng)大小的圓盤方槽座。
由于采用了本實用新型大大提高了被檢驗工件平面度的精度和工作效率，使方形掩膜版玻璃基片生產(chǎn)行業(yè)的規(guī)范生產(chǎn)得以順利進行。
權(quán)利要求1.一種方形掩膜版玻璃基片平面度檢測儀，其特征在于包括一個三角形工作臺面(3)，在所述的三角形工作臺面(3)上分別安置三個圓座(1)，每個圓座(1)上安置一個可轉(zhuǎn)動的小鋼球(11)；在所述的三角形工作臺面(3)的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座(2)；一個圓盤(6)，所述的圓盤(6)與小滾珠軸承連固定座(2)滾動連接，并在中部分別有安置方形玻璃基片(5)的槽座(61)；在所述的三角形工作臺面(3)的中心位置孔下方安置了一臺千分表(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方形掩膜版玻璃基片平面度檢測儀，其特征在于所述的圓座(1)可以分級調(diào)整，與其相應(yīng)的小滾珠軸承連固定座(2)也作分級調(diào)整；所述的級可以是2或3或4。
專利摘要本實用新型涉及一種方形掩膜版玻璃基片平面度檢測儀，包括一個三角形工作臺面(3)，在所述的三角形工作臺面(3)上分別安置三個圓座(1)，每個圓座(1)上安置一個可轉(zhuǎn)動的小鋼球(11)；在所述的三角形工作臺面(3)的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座(2)；一個圓盤(6)，所述的圓盤(6)與小滾珠軸承連固定座(2)滾動連接，并在中部分別有安置方形玻璃基片(5)的槽座(61)；在所述的三角形工作臺面(3)的中心位置孔下方安置了一臺千分表(4)；克服了各類規(guī)格方形玻璃基片由于玻璃自重而產(chǎn)生的變形影響測量精度的不利因素，使測量精度大大提高達到0.001mm；十幾秒鐘即可從千分表中讀出數(shù)值。
文檔編號G01B5/28GK2828738SQ20052004107
公開日2006年10月18日 申請日期2005年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月22日
發(fā)明者周德林, 應(yīng)永偉 申請人:上海申菲激光光學(xué)系統(tǒng)有限公司