專利名稱:激光數(shù)字角度測量傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及角度的精密測量裝置,特別是涉及一種激光數(shù)字角度測量傳感器。
背景技術(shù):
在機電設(shè)備控制和操作中,傳感器直接影響著操作和控制的準(zhǔn)確度、精度,它在生產(chǎn)中直接影響著質(zhì)量、效率等方面。比如1,機械臂轉(zhuǎn)動時的自動控制中,需要按照轉(zhuǎn)動角度指令執(zhí)行操作、將轉(zhuǎn)動角度執(zhí)行效果反饋、勘察統(tǒng)計轉(zhuǎn)動角度等以及根據(jù)角度計算長度,在這些時候需要最大程度地得到精確的角度。
2,現(xiàn)代的艦炮、火炮射擊過程中需要快速瞄準(zhǔn)并精確射擊,因此操作必然依靠機電設(shè)備的精確能力,在軟件中計算出風(fēng)向、顛簸、運動方向、速度、提前量、炮口角度等參數(shù)后下達指令,而最終實現(xiàn)操作指令(也包括一些提取的輸入?yún)?shù))非常需要有更高精度易于操作的角度傳感器。目前可實現(xiàn)的精度為1厘米/公里,甚至小于1秒的角度。
常用的角度測量傳感器有電感(電容)檢測式;滑動可變電阻式;脈沖盤光電讀孔或復(fù)合讀孔式;光盤單雙角度線讀線式,以及其他結(jié)構(gòu)形式。
關(guān)于以往的光盤單雙角度線讀線方式光盤單角度線讀線方式,不能確定旋轉(zhuǎn)的方向,而雙角度線讀線方式,可以確定旋轉(zhuǎn)的方向,但需要制作兩圈角度線,并且相互錯開約半根角度線段寬度,其具有光盤制作難度大,不方便實施的缺陷。
普通光盤的工作原理光盤表面有許多數(shù)據(jù)凹坑是肉眼看不見的。光驅(qū)利用激光束的照射來獲得平面和凹坑的信息。光驅(qū)是按順時針方向旋轉(zhuǎn)來讀取數(shù)據(jù)。激光頭發(fā)出激光束照射光盤,當(dāng)激光束照射到光盤的平面上時,會有70%~80%的光反射回激光頭,再傳輸?shù)焦鈾z測系統(tǒng)中,記下“1”的信號。反之,當(dāng)激光束照射到凹坑上,會造成激光散射,激光無法接收到反射信號,這時光檢測器便會記下“0”的信號。這樣,激光的光檢測器不斷將“1”和“0”的信號傳送到光驅(qū)的解碼電路中,由解碼電路將它翻譯成為可使用的“1”、“0”信號,進而再轉(zhuǎn)換成音樂或其它數(shù)據(jù)。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種測量精度高,方便使用的激光數(shù)字角度測量傳感器。
為實現(xiàn)上述目的,本實用新型激光數(shù)字式角度測量傳感器是由刻蝕有至少一圈周向均勻密布的徑向角度線的光盤,平行雙光束雙頻率激光信號發(fā)射器、光盤反饋信號接收器和反饋信號處理器組成;且兩束激光的周向間距小于角度線的周向間距,兩束激光的周向?qū)挾榷夹∮诮嵌染€的周向?qū)挾龋答佇盘柼幚砥鞲鶕?jù)兩束激光反饋信號出現(xiàn)的次序確定角度方向,根據(jù)反饋信號出現(xiàn)的次數(shù)確定角度。徑向角度線為徑向并列分布的兩圈時,各圈徑向角度線配備獨立的判讀系統(tǒng),兩圈反饋數(shù)據(jù)相互參照來判定工作狀況反饋數(shù)據(jù)統(tǒng)一,則工作正常,反饋信號不一致,則必定有一組工作不正常,據(jù)此,可進行調(diào)整和維修。其原理是從激光頭的光電二極管發(fā)出的電信號經(jīng)過轉(zhuǎn)換,變成激光束射到光盤上。由于光盤是以凹凸不平的小坑代表“0”和“1”來記錄數(shù)據(jù)的,因此它們接受激光束時所反射的光也有強弱之分,這時反射回來的光再經(jīng)過平面棱鏡的折射,由光電二極管變成電信號,經(jīng)過控制電路的電平轉(zhuǎn)換,變成只含“0”、“1”信號的數(shù)字信號,就能夠讀出光盤中的信息了。
本實用新型以僅用一圈角度線,一個由兩個激光發(fā)生器組成的激光發(fā)射頭即可得到轉(zhuǎn)動方向和轉(zhuǎn)動量,設(shè)計出角度測量傳感器。這里所述激光發(fā)射頭參照于普通的光驅(qū)激光頭,不同的是普通的光驅(qū)激光頭內(nèi)部有一個發(fā)射單元即一個激光二極管或兩個半導(dǎo)體激光發(fā)生器,而在此所述的激光發(fā)射頭中,內(nèi)部有兩個發(fā)射單元,發(fā)射不同波長的激光,讓兩條激光線射在光盤上的距離明顯縮短,利于提高精度。其與其他角度測量器相比它的特點為直接輸出數(shù)字信號、響應(yīng)時間快、溫度影響小、磨損小、變形小等;讀取精度可達到1秒(1度/360*60*60)以下。
由于設(shè)計中采用了雙激光線,所以經(jīng)過計算才有了正脈沖和負脈沖的輸出,而不是平常的0和1。正向脈沖代表光盤正向旋轉(zhuǎn),讀取正向脈沖的數(shù)量說明旋轉(zhuǎn)的量,即讀取正向脈沖的數(shù)量除以光盤一周的角度線的數(shù)量,再乘以360度,就是正向旋轉(zhuǎn)的角度。由于光盤徑向角度線可以做得足夠密,與現(xiàn)有的角度測量傳感器相比具有精度高的優(yōu)點;由于光盤數(shù)據(jù)技術(shù)非常成熟,設(shè)備體積小、重量輕、成本低、可靠性強,因此,具有方便實施的優(yōu)點。
作為優(yōu)化,光盤在角度線內(nèi)側(cè)還用激光刻蝕多條周向均勻分布的徑向區(qū)位線,該區(qū)位線獨立配置單束或雙束激光信號發(fā)射器和光盤反饋信號接收器,并與角度線共用同一反饋信號處理器。該激光信號發(fā)射器優(yōu)選普通的單束激光發(fā)射器。如此設(shè)計,既能提高測量精度,又能簡化結(jié)構(gòu)。
作為優(yōu)化,光盤在角度線內(nèi)側(cè)還用激光刻蝕一條徑向基準(zhǔn)線,該基準(zhǔn)線獨立配置激光信號發(fā)射器和光盤反饋信號接收器,并與角度線和區(qū)位線共用同一反饋信號處理器;或該基準(zhǔn)線確定機構(gòu)由光電傳感器代替。該激光信號發(fā)射器優(yōu)選普通的單束激光發(fā)射器。當(dāng)然,此基準(zhǔn)位置也可由普通光電傳感器代替,只是精度會降低。
作為優(yōu)化,徑向角度線為徑向并列分布的兩圈,各圈徑向角度線配備獨立的激光信號發(fā)射器、光盤反饋信號接收器和反饋信號處理器。徑向角度線為徑向并列分布的兩圈時,各圈徑向角度線配備獨立的判讀系統(tǒng),兩圈反饋數(shù)據(jù)相互參照來判定工作狀況反饋數(shù)據(jù)統(tǒng)一,則工作正常。兩套并列裝置的測量結(jié)果相互參照,能及時得知設(shè)備故障信息,另外,在一套出現(xiàn)故障時,還可以靠另一套來維持正常工作。
作為優(yōu)化,平行雙光束雙頻率激光信號發(fā)射器由兩個并列的激光發(fā)生器和用于縮小激光束間距的透鏡組成,光盤反饋信號接收器與光盤之間還配裝有折射棱鏡。為了便于測量傳感器的生產(chǎn)、精度和調(diào)整等方面,激光數(shù)字角度測量傳感器不使用一個發(fā)射單元的激光頭,因為一個激光發(fā)射頭中有兩個發(fā)射單元,其發(fā)射單元的間距,穩(wěn)定性等必然優(yōu)于兩個發(fā)射頭內(nèi)各有一個發(fā)射單元;一個激光頭內(nèi)兩個或多個發(fā)射單元可以使用同一個透鏡。使聚焦兩條或多條激光線間距更小。而單獨的激光頭不具備此能力。因此一個激光頭中有兩個發(fā)射單元或多個發(fā)射單元優(yōu)于單獨的激光頭。
作為優(yōu)化,光盤反饋信號接收器由激光接收頭和雙選頻放大器組成或由分光棱鏡和雙接收放大器組成;反饋信號處理器由組合邏輯門電路、加減計數(shù)器和時基電路、數(shù)據(jù)處理器組成,或由組合邏輯門電路、加減計數(shù)器和數(shù)據(jù)處理器組成。裝有兩個并列的激光發(fā)生器的激光發(fā)射頭發(fā)射兩束不同頻率的平行激光,經(jīng)過透鏡聚焦后投射到光盤的徑向角度線區(qū)域,光盤反饋信號經(jīng)棱鏡折射后;或被激光接收頭接收,通過雙選頻放大器放大后,兩路數(shù)字信號送組合邏輯門電路處理,或被分光棱鏡分成兩路激光線,兩路激光線通過雙接收放大器轉(zhuǎn)換成兩路數(shù)字信號,兩路數(shù)字信號送組合邏輯門電路處理;經(jīng)組合邏輯門電路處理后的數(shù)字信號送加減計數(shù)器,加減計數(shù)器的輸出信號或經(jīng)數(shù)據(jù)處理器處理后輸出角度值,或經(jīng)時基電路、數(shù)據(jù)處理器處理后輸出角速度。
作為優(yōu)化,光盤、激光信號發(fā)射器、光盤反饋信號接收器與被測量的軸共同固裝在一個充有惰性氣體的密閉空間內(nèi)。如此設(shè)計,能使設(shè)備更穩(wěn)定、耐用,抗干擾能力更強,數(shù)據(jù)更精確。
作為優(yōu)化,平行雙光束雙頻率激光信號發(fā)射器由兩個并列的激光發(fā)生器和用于縮小激光束間距的透鏡組成,光盤反饋信號接收器通過折射梭鏡接收來自光盤的反饋信號。如此設(shè)計,有利于減化結(jié)構(gòu),縮小體積和提高性能。該傳感器為了降低成本、縮減結(jié)構(gòu),外形可小于10cm*10cm*10cm。
采用上述技術(shù)方案后,本實用新型能直接輸出數(shù)字信號、具有響應(yīng)時間快、溫度影響小、磨損小、變形小,結(jié)構(gòu)簡單,體積小、重量輕,成本低,性能可靠,安裝使用方便,應(yīng)用領(lǐng)域廣的優(yōu)點。最適合用于精密機床,雷達和火炮等機械裝置的高精度測控。
圖1是本實用新型角度傳感器的光盤結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實用新型角度傳感器的工作原理圖;圖3是本實用新型角度傳感器的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖4是本實用新型角度傳感器的雙束激光發(fā)射頭結(jié)構(gòu)示意圖;圖5是本實用新型角度傳感器的四束激光發(fā)射頭結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實例作更進一步的說明如圖1、2、3和4所示,本實用新型角度傳感器由刻蝕有兩圈周向均勻密布的徑向角度線L的光盤D,平行雙光束雙頻率激光信號發(fā)射器、光盤反饋信號接收器和反饋信號處理器組成;且兩束激光的周向間距小于角度線L的周向間距,兩束激光的周向?qū)挾榷夹∮诮嵌染€L的周向?qū)挾龋答佇盘柼幚砥鞲鶕?jù)兩束激光反饋信號出現(xiàn)的次序確定角度方向,根據(jù)反饋信號出現(xiàn)的次數(shù)確定角度。
其測量過程是裝有兩個激光發(fā)生器的激光發(fā)射頭發(fā)射兩路激光至透鏡,經(jīng)透鏡聚焦后投射到光盤,光盤反射后經(jīng)棱鏡折射后進入A步;其中A1步是經(jīng)激光接收頭接收后進行前置放大,經(jīng)雙選頻放大器處理后輸出兩路數(shù)字信號,經(jīng)組合邏輯門電路處理后進入C步;其中A2步是經(jīng)分光棱鏡分成兩路激光線,經(jīng)雙接收放大器處理后輸出兩路數(shù)字信號,經(jīng)組合邏輯門電路處理后進入C步;前述兩種步驟A1、A2可以選擇適用。
C步為經(jīng)組合邏輯門電路處理后的數(shù)字信號送加減計數(shù)器,加減計數(shù)器的輸出信號經(jīng)數(shù)據(jù)處理器處理后輸出角度值,經(jīng)時基電路、數(shù)據(jù)處理器處理后輸出角速度。
邏輯門電路的輸入信號有兩路A和B,A和B的組合有00、01、10和11;當(dāng)為00和11時,則無輸出;當(dāng)為01時則輸出正向信號,當(dāng)為10時則輸出反向信號。根據(jù)0和1的順序確定旋轉(zhuǎn)方向,根據(jù)0和1出現(xiàn)的次數(shù)確定旋轉(zhuǎn)角度,即01或10出現(xiàn)的脈沖數(shù)量除以光盤一周角度線的數(shù)量,再乘以360度,就是正向或反向旋轉(zhuǎn)的角度。參見邏輯門電路的真值表如下
平行雙光束雙頻率激光信號發(fā)射器由安裝有兩個并列的激光發(fā)生器Fa、Fb的激光發(fā)射頭F和用于縮小激光束間距的透鏡組T組成,透鏡組T由兩個并列的子透鏡t1、t2和位于子透鏡之后的大透鏡t3,位于大透鏡t3之后的小透t4組成。光盤D反饋信號接收器由折射棱鏡S和激光接收頭R組成。
兩圈徑向角度線L中一圈是基本線La、另一圈為參考線Lb,各自配備獨立的激光信號發(fā)射器(前者由Fa、Ta組成,后者由Fb、Tb組成),光盤反饋信號接收器(前者由Sa和Ra組成,后者由Sb和Rb組成),反饋信號處理器。
將光盤D與激光發(fā)射頭分別與兩個同軸轉(zhuǎn)動的物體同步轉(zhuǎn)動,用每組兩束激光讀取光盤D刻錄均勻的等角度等半徑長度的線段,經(jīng)過計算比較處理,輸出轉(zhuǎn)動角度和角速度。光盤D在角度線L內(nèi)側(cè)還用激光刻蝕六條周向均勻分布的徑向區(qū)位線Lc,該區(qū)位線Lc獨立配置單束激光信號發(fā)射器(由Fc、Tc組成)和光盤反饋信號接收器(由Sc和Rc組成),并與角度線共用同一反饋信號處理器。
光盤D在徑向區(qū)位線Lc內(nèi)側(cè)還用激光刻蝕一條徑向基準(zhǔn)線Ld,該基準(zhǔn)線Ld獨立配置單束激光信號發(fā)射器(由Fd、Td組成)和光盤反饋信號接收器(由Sd和Rd組成),并與角度線和區(qū)位線共用同一反饋信號處理器。
其工作方式為激光發(fā)射頭F與光盤D分別固定于兩個轉(zhuǎn)動的物體上,物體轉(zhuǎn)動時,光盤D相對于激光頭旋轉(zhuǎn)時,激光發(fā)射頭F中有兩個激光發(fā)生器Fa、Fb,分別發(fā)出兩條不同的波長的高頻調(diào)制激光穿過透鏡Ta和分光棱鏡Sa到光盤D的角度線La之后反射回來后,由分光棱鏡Sa傳到激光接收頭Ra,Ra分別將兩條反射激光信號進行放大選頻接收,即可得到兩路信號,分別將各路信號的強弱轉(zhuǎn)變?yōu)楦叩碗娖?,即?”、“1”數(shù)字信號,輸入門電路、加減計數(shù)器,計算處理后得到轉(zhuǎn)動角度,將輸出結(jié)果與時基電路計算,就可以得到角速度。
光盤中的CD、DVD等光盤,比如CD光盤,其上信息圍繞光盤圓心記錄在數(shù)據(jù)軌跡上,其軌跡間距約為1.6um,(目前DVD為0.74um,可以短到0.4~0.44um,取決于光盤類型;激光光點的直徑與數(shù)值孔徑(NA)成反比。CD光學(xué)系統(tǒng)的NA約為0.45,而DVD提高到0.52甚至0.6)。本實用新型所用的光盤,為無軌跡的光盤,在光盤上刻錄上等角度等半徑等長度的線段,作為讀取轉(zhuǎn)動量的數(shù)據(jù)信息,這圈連續(xù)的線段命名為角度線。
為了確??煽啃耘c及時調(diào)整,以及監(jiān)控測量傳感器的工況,本實用新型的設(shè)計中采用了兩圈角度線如圖4所示La和Lb分別為獨立使用的角度線;以及區(qū)位線Lc、校正線Ld。區(qū)位線Lc與校正線Ld的用途為測量傳感器的實際使用中的基本位置初始位置的計算、調(diào)整以及對光盤的檢驗等。
比如1,如果在單向旋轉(zhuǎn)工作中,兩次讀取到Ld信號時,讀取La(或Lb)的數(shù)據(jù)應(yīng)該都是一個固定值,如有不同就需要檢查分析測量傳感器是否正常。2,測量傳感器在工作中常常會在多次某一角度區(qū)域中正反方向轉(zhuǎn)動,就需要借助區(qū)位線Lc進行分析測量傳感器的工作情況。在數(shù)字電路中都是許多的“0”、“1”信息,如果一串?dāng)?shù)據(jù)中出現(xiàn)了錯誤信息,那怕是只有一位,數(shù)據(jù)就不準(zhǔn)確了;在測量傳感器失去電源、重新安裝、調(diào)試的時候需要方便地知道光盤角度線的所在位置情況,僅僅靠校正線是不夠的,因此加入了區(qū)位線Lc。區(qū)位線Lc為刻錄多條圍繞光盤圓心等長度的數(shù)條線段,多條線段按二進制編碼組成,各個區(qū)位線Lc表示各自所在的位置信息。
激光發(fā)射頭F發(fā)射兩條不同調(diào)制頻率的激光,由光盤D反射后經(jīng)棱鏡S送到接收器R,接收器R進行選頻放大接收分別得到兩路激光的反射信號,將兩路信號做門電路運算得到方向。方向的判定兩路信號經(jīng)輸入門電路,運算后輸出為正向“1”時,測量傳感器得到正向一個單位的轉(zhuǎn)動;在兩路信號經(jīng)輸入門電路,運算后輸出為反向“1”時,測量傳感器得到反向一個單位的轉(zhuǎn)動。將正向、反向的輸出結(jié)果,再輸入到加減計數(shù)器,就得到了有方向的轉(zhuǎn)動數(shù)量,即轉(zhuǎn)動的角度;將此輸出與時基電路進行運算,即得到角速度。當(dāng)然,門電路的輸出直接輸入計算機運算,得到的角度、角速度更為方便。角度線讀取流程演示,真值表如下(請見第7頁)
說明00之后為01正向輸出;00之后為10反向輸出。當(dāng)然同理可得11之后為01正向輸出;11之后為10反向輸出等等。
為了讓該測量傳感器長期可靠地工作,尤其是光盤減少侵蝕,將該測量傳感器內(nèi)部制作為密封的結(jié)構(gòu),軸端使用密封材料處理,然后充入惰性氣體。一般為常壓即可,但為了增加惰性氣體填充的可靠性,在該測量傳感器上安裝惰性氣體的填充口;以及將充滿壓縮惰性氣體的氣瓶直接固定在該測量傳感器上,并接入填充口。
在該測量傳感器工作中,如果檢測到工作誤差或故障,不能及時更換就可能影響設(shè)備的正常工作,因此在一個光盤上制作兩圈或多圈角度線以及其他數(shù)據(jù)線,同時安裝兩套/四套或多套激光發(fā)射頭及所需處理器,不僅能及時調(diào)換其內(nèi)部的工作系統(tǒng),還可以在讀取工作的同時進行有效的監(jiān)察檢測。
此類角度測量傳感器經(jīng)常安裝在設(shè)備的軸端,為了適應(yīng)設(shè)備上給其他部件或測量傳感器留有安裝位置,把激光數(shù)字角度測量傳感器的轉(zhuǎn)動軸制作為套筒形,這樣可以鑲套在設(shè)備軸上,因此把光盤的內(nèi)孔的直徑加大,以便測量傳感器可以制作成可以鑲套使用的方式。
激光數(shù)字角度測量傳感器在震動抖動環(huán)境中,以及保障機械強度,除了加強結(jié)構(gòu)、器件以及安裝固定外,將光盤成倍地加厚,一般光盤厚度小于2毫米,約為1.2至1.8毫米,在激光數(shù)字角度測量傳感器中使用兩倍或數(shù)倍加厚的光盤,并且采用與剛性材料復(fù)合的方法,降低光盤的變形度。
所述測量傳感器為了有更廣泛的應(yīng)用,適應(yīng)影響設(shè)備轉(zhuǎn)動小、成本低、重量輕、空間小等要求,可以將激光數(shù)字角度測量傳感器的光盤制作為小于80毫米、小于60毫米的光盤。其使用適用范圍必然增加。
為了激光數(shù)字角度測量傳感器的得到更加精確的數(shù)據(jù),除了制造中提高精確度,還可以大幅度增加光盤的外徑尺寸,不僅大于120毫米、大于240毫米,制造為大于320毫米的光盤,同時采用加強光盤強度使用符合光盤的方法,如制作1米直徑的光盤。得到更精確的角度數(shù)據(jù)。
如圖5所示,為了提高可靠性,便于調(diào)試等,在一個激光發(fā)射頭F中安裝4個激光發(fā)生器Fn。
權(quán)利要求1.一種激光數(shù)字角度測量傳感器,其特征在于由刻蝕有至少一圈周向均勻密布的徑向角度線的光盤,平行雙光束雙頻率激光信號發(fā)射器、光盤反饋信號接收器和反饋信號處理器組成;且兩束激光的周向間距小于角度線的周向間距,兩束激光的周向?qū)挾榷夹∮诮嵌染€的周向?qū)挾?,反饋信號處理器根?jù)兩束激光反饋信號出現(xiàn)的次序確定角度方向,根據(jù)反饋信號出現(xiàn)的次數(shù)確定角度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于光盤在角度線內(nèi)側(cè)還用激光刻蝕多條周向均勻分布的徑向區(qū)位線,該區(qū)位線獨立配置單束或雙束激光信號發(fā)射器和光盤反饋信號接收器,并與角度線共用同一反饋信號處理器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于光盤在角度線內(nèi)側(cè)還用激光刻蝕一條徑向基準(zhǔn)線,該基準(zhǔn)線獨立配置激光信號發(fā)射器和光盤反饋信號接收器,并與角度線和區(qū)位線共用同一反饋信號處理器;或該基準(zhǔn)線確定機構(gòu)由光電傳感器代替。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于徑向角度線為徑向并列分布的兩圈,各圈徑向角度線配備獨立的激光信號發(fā)射器、光盤反饋信號接收器和反饋信號處理器。
5.用于實施權(quán)利要求1、2、3或4所述的傳感器,其特征在于平行雙光束雙頻率激光信號發(fā)射器由兩個并列的激光發(fā)生器和用于縮小激光束間距的透鏡組成,光盤反饋信號接收器與光盤之間還配裝有折射棱鏡。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳感器,其特征在于光盤反饋信號接收器由激光接收頭和雙選頻放大器組成或由分光棱鏡和雙接收放大器組成;反饋信號處理器由組合邏輯門電路、加減計數(shù)器和時基電路、數(shù)據(jù)處理器組成,或由組合邏輯門電路、加減計數(shù)器和數(shù)據(jù)處理器組成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器,其特征在于光盤、激光信號發(fā)射器、光盤反饋信號接收器與被測量的軸共同固裝在一個充有惰性氣體的密閉空間內(nèi)。
專利摘要本實用新型涉及一種激光數(shù)字角度測量傳感器。為解決現(xiàn)有角度測量傳感器測量精度低,不方便使用的問題,其由刻蝕有至少一圈周向均勻密布的徑向角度線的光盤,平行雙光束雙頻率激光信號發(fā)射器、光盤反饋信號接收器和反饋信號處理器組成;且兩束激光的周向間距小于角度線的周向間距,兩束激光的周向?qū)挾榷夹∮诮嵌染€的周向?qū)挾?,反饋信號處理器根?jù)兩束激光反饋信號出現(xiàn)的次序確定角度方向,根據(jù)反饋信號出現(xiàn)的次數(shù)確定角度。因此,其能直接輸出數(shù)字信號、具有響應(yīng)時間快、溫度影響小、磨損小、變形小,結(jié)構(gòu)簡單,體積小、重量輕,成本低,性能可靠,安裝使用方便,應(yīng)用領(lǐng)域廣的優(yōu)點。最適合用于精密機床,雷達和火炮等機械裝置的高精度測控。
文檔編號G01B11/26GK2769851SQ20052002282
公開日2006年4月5日 申請日期2005年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月8日
發(fā)明者王治平 申請人:王治平