專利名稱：流速測定裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及流速測定裝置。
背景技術：
在以通過冷卻風扇進行空氣冷卻的個人計算機為首的電子設備等中，過濾器的堵塞造成的風量下降招致冷卻能力的下降，由于恐怕對其功能產(chǎn)生妨害，所以用流速測定裝置始終監(jiān)視風速，在風量下降時提高風扇的轉速，或對用戶發(fā)出警報。以往，用于這樣的用途的流速測定裝置成為在流路中配置傳感器元件來測定空氣的流速的結構。但是，如果長時間使用以往的流速測定裝置，則有如下問題空氣中的塵埃附著在傳感器元件上并進行堆積，精度下降。
為了解決所述問題，專利文獻1中公開了以下裝置在流路上設置阱壁。利用塵埃的慣性使阱壁捕捉空氣流中的塵埃后，將空氣流導入傳感器元件。但是，專利文獻1的裝置具有空氣流的速度慢時塵埃的慣性不足而不能充分分離的缺點，以及橫向設置時，被位于流路的上方的阱壁一度捕捉了的塵埃再次落入空氣流中而被帶到傳感器元件的問題，使可適用的范圍受限。
(日本)特開平11-166720號公報發(fā)明內容因此，本發(fā)明的課題在于提供一種流速測定裝置，即使對于低速的流體、并且，即使被安裝在任何方向，都可在除去流體中的塵埃后將流體導入傳感器元件，從而可以高精度地測定流體的速度。
本發(fā)明的流速測定裝置，形成由具有彎曲的壁面的內部空間；在所述壁面的一端沿所述壁面的切線方向與所述內部空間連接的導入路；在所述壁面的另一端沿所述壁面的切線方向與所述內部空間連接的排出路；以及與所述壁面的彎曲方向(幾乎包括所述導入路以及所述排出路的連接方向的面的方向)大致成直角地與所述內部空間連接的分流路構成的流路，在所述分流路或在與所述分流路連接的流路上配置傳感器元件，從所述導入路向所述內部空間導入流體并分流到所述排出路和所述分流路，用所述傳感器元件測定從所述分流路取出的流體的速度。
根據(jù)該結構，在將所述流速測定裝置放在流體流中時，通過所述流體的流動，流體被從所述導入路導入所述內部空間，沿著所述內部空間的彎曲的壁面，流體流動并被從排出路排出。此時，流體中的塵埃，依據(jù)慣性法則而前進并偏向所述壁面附近，在離所述內部空間的所述壁面遠的部分得到塵埃少的清凈的流體。從所述內部空間，從沿與所述導入路、所述排出路以及連結兩者的所述壁面流動的方向成大致直角方向設置的所述分流路，沿所述壁面，可不破壞流體的流動地取出該清凈的流體。由于該清凈的流體的流速依賴于所述流速測定裝置的外部流體的速度，所以可通過用所述傳感器元件測定該清凈的流體的速度來求外部流體的速度。此外，由于沿所述壁面流體的流動方向較大地彎曲而使塵埃的慣性持續(xù)地作用，所以，即使流體的速度慢，也可將塵埃分離并測定流速。
另外，本發(fā)明的流速測定裝置，可具有至少兩個所述內部空間，其串聯(lián)連接，以將從與一個內部空間連接的所述分流部取出的流體導入與其他所述內部空間連接的所述導入路，和/或，與多個所述內部空間連接的所述分流部互相連接也可以，而且，配置所述內部空間，以便所述排出路和/或所述分流路的方向全部都不平行，優(yōu)選使所述排出路和/或所述分流路的方向相差90°以上。
如果這樣串聯(lián)連接內部空間，則可從送往傳感器元件的流體中更可靠地除去塵埃。即使并聯(lián)連接內部空間，如果使各個內部空間內的流速與內部空間為一個時為相同的速度，則一個一個的內部空間變小，曲率半徑變小，慣性造成的塵埃的分離效果變高。另外，即使任何一個內部空間或與所述內部空間連接的任何流路堵塞，由于通過其他內部空間的路徑起作用，所以，如果進行靈敏度調節(jié)就可進行流速測定。另外，根據(jù)從所述內部空間取出清凈的空氣的分流路和將塵埃運出的所述排出路的位置關系，特別是當所述排出路位于所述分流路的開口部的上方時，一部分塵埃由于重力而脫離向著排出路的流動，落入向分流路的被取出的流體中。但是，如果配置多個內部空間，改變分流路的方向而連接，和/或，改變排出路的方向，優(yōu)選大于等于90°更優(yōu)選180°的不同方向，則至少某個內部空間，其排出路不位于分流路的開口的上部，所以可最佳地進行塵埃的分離。
另外，本發(fā)明的流速測定裝置中，所述內部空間可為圓筒形，所述分流路也可以具有突出到所述內部空間內的筒部。
如果所述內部空間為圓筒形，則流體的流動繪成圓，所以，塵埃的慣性總是與流體的流動方向正交并作為向著壁面的離心力而起作用，因而效率最好。另外，如果所述分流路是突出到所述內部空間內的筒狀，則即使將所述分流路配置在位于所述內部空間的下部，由于重力而從流動中脫離的塵埃也不能越過所述筒部，所以不流入所述分流路。
另外，本發(fā)明的其他情形的流速測定裝置，具有第一層基板；第二層基板；以及夾在所述第一層基板和所述第二層基板之間的中間板，在所述第一層基板和所述中間板之間，設置包括具有彎曲的壁面的內部空間；在所述壁面的一端沿所述壁面的切線方向與所述內部空間連接的導入路；以及在所述壁面的另一端沿所述壁面的切線方向與所述內部空間連接的排出路的第一層流路，在所述中間板上設置貫通該中間板并與所述內部空間連接的分流路，在所述中間板和所述第二層基板之間設置與所述分流路連接的第二層流路，在所述第一層基板或所述第二層基板上設置傳感器元件，使其配置在所述第二層流路或在與所述第二層流路連接的流路內，從所述導入路向所述內部空間導入流體并分流到所述排出路和所述分流路，用所述傳感器元件測定從所述分流路至所述第二層流路取出的流體的速度。
根據(jù)該結構，可通過所述第一層流路和所述第二層流路和所述分流路來構筑三維流路。由此，由于可在與流體流動的方向正交的方向或彎曲的方向連接流路，所以可將流體所包含的塵埃通過該塵埃的慣性來除去，僅取出清凈的流體并導入傳感器元件來測定流速。
另外，在本發(fā)明的流速測定裝置中，所述第二層流路為設置在所述中間板的槽，所述第二層基板可為包括所述傳感器元件以及對所述傳感器元件的輸入或輸出信號進行處理的電路的電路基板，所述第一層基板成為收納所述中間板和所述第二層基板的殼體的一部分也可以。
根據(jù)該結構，通過用設置所述傳感器元件的電子電路的電路基板擋住設置在所述中間板上的槽，來構成所述第二層流路，所以元件數(shù)變少，構造簡單。另外，通過將所述第一層基板與收納整個裝置的構造體一體化，構造也可變得簡單。
另外，在本發(fā)明的流速測定裝置中，所述第一層流路具有至少兩個所述內部空間，在所述中間板上設置從與一個所述內部空間連接的所述導入路貫通所述中間板的聯(lián)絡孔，配置第二層流路，以使與其他內部空間連接的分流部和所述聯(lián)絡孔連通?；蛘?，也可以配置第二層流路，以使與一個所述內部空間連接的所述分流路和與其他內部空間連接的所述分流路互相連通。
通過使任何一個所述內部空間的所述分流路與其他所述內部空間的導入路連通，經(jīng)過再次的分離，可將更清凈的流體導入所述傳感器元件，通過使任何一個所述內部空間的所述分流路與其他內部空間的分流路連通2，并聯(lián)連接多個所述內部空間，即使任何一個所述內部空間、所述導入路、所述排出路或所述分流路堵塞，也可從其他所述內部空間、所述導入路、所述排出路或所述分流路將清凈的流體導入所述傳感器元件。
另外，在本發(fā)明的流速測定裝置中，連接到所述內部空間的所述排出路的方向相差90°以上、優(yōu)選為180°也可以。
根據(jù)該結構，通過改變排出路的方向，至少在某個所述內部空間中，配置根據(jù)重力塵埃難于流入所述分流路的所述排出路，所以，本發(fā)明的流速測定裝置不依賴于設置的方向而可獲得高精度。
另外，在本發(fā)明的流速測定裝置中，所述內部空間可為圓筒形，所述分流路具有突出到所述內部空間內的筒部也可以。
通過使所述分流路的開口部突出到所述內部空間內，即使設置所述流速測定裝置以使所述中間板在下面，流體中的塵埃由于重力而難以進入所述貫通孔。另外，如果將所述內部空間設為圓筒形，則流體的流動繪成圓，所以分離塵埃的效率高。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，即使對于低速的流體、并且，即使被安裝為任何方向，都可在除去流體中的塵埃后將流體導入傳感器元件，因而可以長時間高精度測定流體的速度。


圖1為本發(fā)明的實施方式的流速測定裝置從斜正上方看的立體圖。
圖2為圖1的流速測定裝置從斜背面下方看的立體圖。
圖3為圖1的流速測定裝置的分解立體圖。
圖4為圖3的殼體的平面圖。
圖5為圖3的中間板的平面圖。
圖6為表示圖3的中間板的背面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。
圖7為圖3的電路基板的側面圖。
圖8為表示圖1的流速測定裝置的流路配置的平面圖。
圖9為圖8的A-A截面圖。
圖10為安裝了圖1的流速測定裝置的管道的立體圖。
圖11是將圖8的內部空間簡略化的水平截面圖。
圖12是將圖8的內部空間簡略化的垂直截面圖。
具體實施例方式
圖1、圖2是分別從斜正上方、斜背面下方來看的本發(fā)明的實施方式的流速測定裝置1。流速測定裝置1是主要用于測定空氣的流速的裝置，由包含第一層基板的殼體2和蓋3構成。殼體2是在長方體的側面設置了突出4的形狀，該突出4具有用于將流速測定裝置1固定在測定位置的螺釘孔4a。殼體2正面上具有將測定的空氣流取入的取入口5，背面上具有第一排出口6和第二排出口7，側面上具有第一連接孔8a，底面上具有第二連接孔8b和定位孔9。蓋3通過卡合在流速測定裝置1的背面上的兩個鉤10而被安裝在殼體2的上面，設有兩個調整孔11。在第一連接孔8a和第二連接孔8b中分別并聯(lián)連接第一連接器12a和第二連接器12b，僅使用連接器12a和連接器12b的任何一方可將流速測定裝置1和外部設備連接。分別設置在兩個調整孔11的內部的調整器13用于進行流速測定裝置1的靈敏度調節(jié)。
而且，如圖3所示，流速測定裝置1，在殼體2中收納中間板14和密封件15和作為第二層基板的電路基板16，并用蓋3固定。
在殼體2的正面?zhèn)缺谏显O置兩個細長的卡合孔17，在背面?zhèn)缺谏显O置將鉤10卡合的兩個卡合槽18。在作為底壁的第一層基板19的內壁的一部分上設置與中間板14相等厚度的凹陷20，通過在凹陷20的底部進一步設置的槽來劃定第一層流路21。如圖4所示，第一層流路21具有由彎曲(本實施方式中為圓形)的壁面22a、22b分別包圍的凹陷的兩個內部空間23a、23b。而且，設置使從取入孔5筆直延伸的取入室24和內部空間23a在壁面22a的一端沿切線方向連接并連通的導入路25a，通過從導入路25a沿壁面22a折轉的壁面22a的另一端沿切線方向連接的排出路26a，使之與通過第一排出口6的合流排出路27連通。而且設置在內部空間23b的壁面22b的一端沿切線方向連接的袋狀小路的導入路25b，以及在壁面22a的另一端沿切線方向連接、與排出路26a成90度的角度連接并通過合流排出路27的排出路26b。而且具有將殼體2的第一層基板19的凹陷20部分地擴張的傳感器室28，從第二排出口7延伸的測定排出路29，以及連接傳感器室28和測定排出路29的傳感器排出路30。
中間板14是與殼體2的凹陷20卡合并密封第一層流路21的上部的板，如圖5、圖6中示出的上面和背面，通過上面設置的槽來劃定第二層流路31。第二層流路31由第一連接路32和第二連接路33構成，在第一連接路32和第二連接路33的一端設置貫通中間板14的分流路34a和34b。分流路34a、34b由于具有筒部35a、35b，開口部從中間板14的背面突出，在第一連接路32的另一端，設置貫通中間板14的聯(lián)絡孔36，在第二連接路33的另一端，在中間板14的側面開口。
密封件15由薄橡膠構成，將中間板14和殼體2的傳感器排出路30的上部密封，傳感器室28的上部設置傳感器孔37而開口。
電路基板16是通過調整器13以及其他元件等來構成測定電路的印刷基板，具有連接器12a、12b。如圖7所示，在電路基板16的背面安裝有通過發(fā)熱體測定風速的傳感器元件38。傳感器元件38，貫通密封件15的傳感器孔37，配置在傳感器室28的內部。
蓋3使卡合爪39卡合在殼體2的卡合孔17，使鉤10卡合在卡合槽18，在殼體2的內部使中間板14、密封件15以及電路基板16相互靠緊地固定。
圖8表示在殼體2的凹陷20安裝中間板14的狀態(tài)的平面圖，說明組裝狀態(tài)下的流速測定裝置1的流路結構。中間板14的筒部35a、35b大致位于第一層流路21的內部空間23a、23b的中央，內部空間23a、23b分別從上部連接分流路34a、34b。然后，內部空間23a經(jīng)由分流路34a而與第二層流路31的第一連接路32連通，進而經(jīng)由聯(lián)絡孔36而與導入路25b連通。導入路25b連接的內部空間23b，經(jīng)由在內部空間23b的中央開口的分流路34b而與第二層流路31的第二連接路33的一端連通，第二連接路33的另一端與傳感器室28連通。另外，如作為圖8的A-A截面的圖9所示，分流路34a、34b相對于壁面22a、22b的彎曲方向被設為直角，筒部35a、35b從上部突出，以使分流路34a、34b在內部空間23a、23b內在第一層流路21的高度的約一半的高度處開口。
圖10表示將兩個流速測定裝置1安裝在導管40中的情形。導管40如箭頭所示通過過濾器41而取入空氣。流速測定裝置1用螺釘42固定，以便取入口5面向空氣流的上流。安裝在導管40的側壁的流速測定裝置1，與外部設備連接的布線軟線43被連接到連接器12a，布線軟線43布線成圍繞導管40的內壁。另一方面，安裝在導管40的底壁上的流速測定裝置1，貫通導管40的底壁的布線軟線43被連接到連接器12b。
說明用以上的流速測定裝置1測定空氣的流速時的空氣的流動。如圖10所示，將取入口5朝向風設置的流速測定裝置1的內部的空氣的流動，在圖8中用箭頭示出。在流速測定裝置1外部的空氣流速為0.5m/sec的情況下，從取入口5取入到取入室24的空氣，由于通過比取入口5窄的導入路25a，所以被加速到約2m/sec并沿壁面22a吹入內部空間23a。吹入內部空間23a的空氣沿壁面22a而轉入內部空間23a的外周，以約0.9m/sec從排出路26a通過合流排出路27從第一排出口6排出到流速測定裝置1的外部。但是，吹入內部空間23a的空氣的一部分未從排出路26a排出而在內部空間23a內繼續(xù)旋轉，而且，以約0.4m/sec的速度通過中間板14的分流路34a而導入第一連接路32。從分流路34a取出的空氣從第一連接路32，進而，通過聯(lián)絡孔36從導入路25b以約0.6m/sec的速度吹入內部空間23b。內部空間23b也與內部空間23a同樣，吹入的空氣的約七成通過排出路26b以及合流排出路27而從第一排出口6排出，約三成的空氣通過分流路34b而流入第二連接路33。從分流路34b取出的空氣被導入傳感器室28，由傳感器元件38測定該空氣的速度。傳感器室28內的空氣的速度由從取入口5取入的空氣的速度來決定，所以可計算流速測定裝置1的外部空氣的流速。在傳感器室28中由傳感器元件38測定速度的空氣，通過傳感器排出路30以及測定排出路29而從第二排出口7排出到外部。
圖11和圖12中，將內部空間23a簡略化，分別表示水平截面圖和垂直截面圖，說明內部空間23a、23b中的對空氣所起的作用。這里，由于密封件15不是一定必須的結構元件，所以未圖示。從導入路25a吹入內部空間23a的空氣，象圖中的中空的箭頭那樣流動?？諝鈴膶肼?5a沿內壁22a象畫出圓弧那樣流動，主要從排出路26a排出，但一部分空氣進而在內部空間23a旋轉。此時，空氣中的塵埃如圖中單線箭頭所示，根據(jù)慣性法則繼續(xù)前進。象本實施方式這樣空氣畫出圓弧的情況下，該慣性力可理解為作用于壁面垂直方向的離心力。因此，空氣中的塵埃偏向壁面22a的方向，在內部空間23a的中央部獲得塵埃少的清凈的空氣。包含很多流向壁面22a附近的塵埃的空氣沿壁面22a被從排出路26a排出，內部空間23a的中央部的清凈的空氣通過分流路34a而流入第一連接路32。流速測定裝置1中，從分流路34a中取出的空氣量和從導入路25a吹入內部空間23a的空氣量的分流比為約0.3。
同樣，在內部空間23b中，從導入路25b吹入的空氣，也是約七成從排出路26b排出，約三成從分流路34b取出。這里，作用于在內部空間23a、23b內部旋轉的空氣塵埃的離心力與其速度的乘方成正比，與旋轉半徑成反比。在本實施方式的流速測定裝置1中，吹入內部空間23b的空氣僅是吹入內部空間23a的空氣的一部分，所以，通過使內部空間23b變小，流路變細，在提高空氣速度的同時使流路半徑變小，使作用于空氣中包含的塵埃的離心力不變小。這樣，將進一步去除了塵埃的清凈的空氣從分流路34b取出，經(jīng)由第二連接路33而導入傳感器室28，由傳感器元件38測定速度。
在流速測定裝置1中，內部空間23a中的分流比和內部空間23b中分流比都為約0.3，但若該分流比大，則出現(xiàn)從導入路25a、25b分別向分流路34a、34b的內部空間23a、23b的半徑方向的流動，沿壁面22a、22b的流動變小，所以不能順利地將塵埃分離。因此，優(yōu)選地使分流比小于等于0.5，使沿壁面22a、22b的空氣的流動變大。另外，如果該分流比過小，則傳感器室28內的空氣的流速變得過慢，所以流速的不同所造成的傳感器元件38的輸出的變化變小，增益變小。因此，根據(jù)測定范圍和流路的形狀和大小，在可確保由傳感器元件38測定的空氣速度的精度的范圍內，減小分流比，使本發(fā)明的流速測定裝置1最佳化。
為了測定從下向正上方流動的空氣的速度，設置該流速測定裝置1以使取入口5在下面時，則內部空間23a的排出路26a向著分流路23a的斜上方，空氣在分流路25a的上方從排出路26a流出。此時，由于重力作用于空氣中的塵埃，所以，一部分塵埃有時從沿壁面22a的流中脫離而落到分流路34a，但是，本實施方式中，由于將串聯(lián)連接的內部空間23b的排出路26b相對于排出路26a成直角地配置，以便內部空間23a中分流的空氣進一步分流并導入傳感器元件38中，所以排出路26b朝向分流路34b的斜下方，沒有內部空間23a那樣的重力的壞影響。另外，即使將流速測定裝置1設置在其他的任何方向，由于內部空間23a和內部空間23b的至少一方不受重力的影響而可有效地將塵埃從排出路26a、26b排出，所以向傳感器室28供給清凈的空氣，沒有由于塵埃的附著和堆積造成的精度下降。而且，使內部空間23a、23b并聯(lián)，即使萬一大的、重的塵埃堵塞流路，若通過調整器13進行靈敏度調節(jié)，則可使用剩余的流路再次測定流速。
由于壁面22a、22b為圓筒形的壁，所以空氣和空氣中包含的塵埃的慣性力的方向始終與氣流成直角并朝向壁面22a、22b的方向，可以不損失流速、高效地使空氣的流動彎曲，分離空氣中的塵埃。
此外，由于如圖8所示，分流路34a、34b的開口成為突出到內部空間23a、23b內的筒部35a、35b，所以可將從導入路25a、25b吹入的空氣從內側引導，以沿著壁面22a、22b流動。而且，即使將流速測定裝置1上下顛倒設置，分流路34a、34b從內部空間23a、23b向下延伸，受重力吸引的塵埃，特別是重量大而移動至流路的下部的塵埃，被筒部35a、35b遮擋而難以進入分流路34a、34b。此情況下，在筒部35a、35b的上部，由于重力而塵埃有落到分流路的可能性，進而，如果附加扭轉角地配置串聯(lián)連接的內部空間23a、23b，以便分流路34a和分流路34b不平行，即，如果配置內部空間23a、23b以使分流路34a和34b之間的方向不同，最好是分流路34a和34b之間的方向相差90度以上。并且/或者，改變排出路26a和26b之間的方向，最好是排出路26a和26b之間的方向相差90度以上，則無論以怎樣的方向安裝流速測定裝置1，兩個內部空間23a、23b不會同時將分流路34a、34b設置在下部，總有一個不受重力的壞影響而可有效地分離塵埃。
流速測定裝置1的結構，將殼體2和中間板14和電路基板16層疊并構成第一層流路21和第二層流路31兩個平面的流路，通過在中間板14上開貫通孔，設置在第一層流路21和第二層流路31的正交方向在連接的分流路34a、34b，則即使用通常的樹脂成型品也可構成三維的流路，可容易地實現(xiàn)具有上述效果的具有復雜流路的結構。傳感器室28、傳感器排出路30以及測定排出路29，不需要將流路構造成二層，所以在本實施方式中，第一層流路21和第二層流路31為獨立的流路(也可考慮橫跨第一層流路21和第二層流路31雙方的流路)，但也可設置于中間板14上的第二層流路上，也可在第二連接路33的中間板14上開出貫通孔而設置于第一層流路上。在前述的實施例中，本發(fā)明的流速測定裝置具有兩個內部空間23a、23b，但本發(fā)明不限于上述這種結構，還可以采用一個或多個內部空間的結構形式，例如，采用一個內部空間23a，其工作情況如圖11和圖12所示，經(jīng)一個內部空間23a對流體中的塵埃進行分離，將清潔的空氣送至傳感器室28(圖11和圖12中未示出)進行測定，可以達到本發(fā)明的目的—除去流體中的塵埃，精確測定流體的流速；也可以根據(jù)實際需要，制作成多個內部空間23n，以及具有相應分流路34n(未圖示)的中間板14，以便對流體中的塵埃進行多次分離。而且，即使將收納構成流路的元件的殼體2以及安裝了測定流速所必須的傳感器元件38的電路基板16，構造為構成流路的元件也可使用，由此，可更廉價地制造流速測定裝置1。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明可廣泛用于檢測過濾器的堵塞和空調的風量控制等、對包含塵埃的流體的流速進行測定。
權利要求
1.一種流速測定裝置，其特征在于，形成由具有彎曲的壁面的內部空間；在所述壁面的一端沿所述壁面的切線方向與所述內部空間連接的導入路；在所述壁面的另一端沿所述壁面的切線方向與所述內部空間連接的排出路；以及與所述壁面的彎曲方向大致成直角地與所述內部空間連接的分流路構成的流路，在所述分流路或在與所述分流路連接的流路上配置傳感器元件，從所述導入路向所述內部空間導入流體并分流到所述排出路和所述分流路，用所述傳感器元件測定從所述分流路取出的流體的速度。
2.如權利要求1所述的流速測定裝置，其特征在于，具有至少兩個所述內部空間，其串聯(lián)連接，以將從與一個內部空間連接的所述分流部取出的流體導入與其他內部空間連接的導入路。
3.如權利要求1所述的流速測定裝置，其特征在于，具有至少兩個所述內部空間，使與一個內部空間連接的所述分流部和與其他內部空間連接的所述分流路互相連通。
4.如權利要求2或3所述的流速測定裝置，其特征在于，以不同的方向配置所述內部空間，以便一個所述分流路向所述內部空間連接的方向與其他分流路向述內部空間連接的方向不同，和/或，一個所述排出路向所述內部空間連接的方向與其他排出路向所述內部空間連接的方向不同。
5.如權利要求2或3所述的流速測定裝置，其特征在于，一個所述分流路向所述內部空間連接的方向與其他分流路向所述內部空間連接的方向相差90°以上，和/或，一個所述排出路向所述內部空間連接的方向與其他排出路向所述內部空間連接的方向相差90°以上。
6.如權利要求1-5的任何一項所述的流速測定裝置，其特征在于，所述內部空間為圓筒形。
7.如權利要求1-6的任何一項所述的流速測定裝置，其特征在于，所述分流路具有突出到所述內部空間內的筒部。
8.一種流速測定裝置，其特征在于，具有第一層基板；第二層基板；以及夾在所述第一層基板和所述第二層基板之間的中間板，在所述第一層基板和所述中間板之間，設置第一層流路，所述第一層流路包括具有彎曲的壁面的內部空間；在所述壁面的一端沿所述壁面的切線方向與所述內部空間連接的導入路；以及在所述壁面的另一端沿所述壁面的切線方向與所述內部空間連接的排出路，在所述中間板上設置貫通該中間板并與所述內部空間連接的分流路，在所述中間板和所述第二層基板之間設置與所述分流路連接的第二層流路，在所述第一層基板或所述第二層基板上設置傳感器元件，使其配置在所述第二層流路或在與所述第二層流路連接的流路內，從所述導入路向所述內部空間導入流體并分流到所述排出路和所述分流路，用所述傳感器元件測定從所述分流路至所述第二層流路取出的流體的速度。
9.如權利要求8所述的流速測定裝置，其特征在于，所述第二層流路為設置在所述中間板的槽，所述第二層基板為包括所述傳感器元件以及對所述傳感器元件的輸入或輸出信號進行處理的電路的電路基板。
10.如權利要求8或9所述的流速測定裝置，其特征在于，所述第一層基板成為收納所述中間板和所述第二層基板的殼體的一部分。
11.如權利要求8-10的任何一項所述的流速測定裝置，其特征在于，所述第一層流路具有至少兩個所述內部空間，在所述中間板上設置從與一個所述內部空間連接的所述導入路貫通所述中間板的聯(lián)絡孔，配置第二層流路，以使與其他內部空間連接的分流部和所述聯(lián)絡孔連通。
12.如權利要求8-10的任何一項所述的流速測定裝置，其特征在于，所述第一層流路具有至少兩個所述內部空間，配置第二層流路，以使與一個內部空間連接的所述分流路和與其他內部空間連接的所述分流路互相連通。
13.如權利要求11或12所述的流速測定裝置，其特征在于，一個所述排出路向所述內部空間連接的方向與其他排出路向所述內部空間連接的方向相差90°以上。
14.如權利要求8-13的任何一項所述的流速測定裝置，其特征在于，所述內部空間為圓筒形。
15.如權利要求8-14的任何一項所述的流速測定裝置，其特征在于，所述分流路具有突出到所述內部空間內的筒部。
全文摘要
本發(fā)明提供一種流速測定裝置，即使對于低速的流體，并且，即使被安裝在任何方向，都可在除去流體中的塵埃后將流體導入傳感器元件，從而可以高精度測定流體的速度。在本發(fā)明中，形成由具有彎曲的壁面(22a，22b)的內部空間(23a，23b)、在壁面(22a，22b)的一端沿壁面(22a，22b)的切線方向與內部空間(23a，23b)連接的導入路(25a，25b)、在壁面(22a，22b)的另一端沿壁面(22a，22b)的切線方向與內部空間(23a，23b)連接的排出路(26a，26b)、以及與壁面(22a，22b)的彎曲方向大致成直角地與內部空間(23a，23b)連接的分流路排出路(34a，34b)構成的流路，在分流路(34a，34b)或在與分流路(34a，34b)連接的流路上配置傳感器元件(38)。
文檔編號G01P5/00GK1661374SQ20051005094
公開日2005年8月31日 申請日期2005年2月24日 優(yōu)先權日2004年2月27日
發(fā)明者藤原敏光, 野添悟史, 上田直亞 申請人:歐姆龍株式會社