專(zhuān)利名稱(chēng)：光源裝置和其使用的光量監(jiān)視器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有光量控制器的光源裝置，特別是適用于象使用CCD照相機(jī)等的圖像處理檢查裝置等那樣的必須維持一定光量向檢查對(duì)象物體照射的檢查裝置的光源。
背景技術(shù)：
例如在顯示面板的制造工藝中，作為在先技術(shù)使用的是，向作為檢查對(duì)象物體的玻璃板和涂布有涂料的面照射光，通過(guò)CCD照相機(jī)等對(duì)它們進(jìn)行觀(guān)察以檢測(cè)諸如劃痕以及涂裝工藝中的不良處等等的缺陷的圖像處理檢查裝置。
此時(shí)，作為光源裝置所要求的條件例如可舉出照向檢查對(duì)象物體(被照射物體)的光量至少在檢查時(shí)間內(nèi)不能變化，而且能夠照射與所用照相機(jī)的感光度性能級(jí)別相適應(yīng)的必要的光量的光。
作為圖像處理檢查用光源裝置的光源，使用鹵素?zé)?，LED等等的固體光元件，水銀燈以及金屬氫化物燈等的放電燈，其中，由于水銀燈和金屬氫化物燈等的放電燈，能夠上升時(shí)間緩慢地獲得高光量，因此最合適作為這種光源。
但是，由于這些放電燈照明1000-2000小時(shí)后向檢查對(duì)象物體照射的光量慢慢的衰減，因此在使用的時(shí)候，必須相對(duì)于照相機(jī)一側(cè)的亮度變化對(duì)它的照射光量進(jìn)行調(diào)整。
由此，在在先技術(shù)中，如圖11所示的那樣，將從燈31照射出的從紅外線(xiàn)截取濾鏡37透過(guò)的光光量分布均勻地導(dǎo)入束狀光纖32中的混合棒33的光射出端33out與檢測(cè)用光纖34的一端連接，基于連接在該檢測(cè)用光纖34的另一端的感光元件35檢測(cè)出的光量，控制由驅(qū)動(dòng)電路36輸出到燈31的供給電壓。
專(zhuān)利文件1特開(kāi)2001-307523。
然而，通過(guò)發(fā)明人的實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，雖然在檢測(cè)由混合棒33的光射出端33out射出的光的光量的場(chǎng)合下，能夠高精度地檢測(cè)出燈本體31的發(fā)光量的變化，但是實(shí)際上在準(zhǔn)備使用在生產(chǎn)線(xiàn)上的時(shí)候，不受到照向檢查對(duì)象物體的照射光量的變化的限制，也存在不能檢測(cè)這個(gè)照射光量的變化的場(chǎng)合。
進(jìn)一步追尋原因的時(shí)候，發(fā)現(xiàn)作為朝向檢查對(duì)象物體的照射光量隨時(shí)間衰減的原因，與其說(shuō)其受到燈31自身的發(fā)光量的變化，不如說(shuō)其受到隨著電極的變化引起的放電場(chǎng)所的變化，發(fā)光點(diǎn)離開(kāi)第一焦點(diǎn)等，由燈的光量分布圖的變化導(dǎo)致的強(qiáng)烈的影響。
換句話(huà)說(shuō)，即使燈31的發(fā)光量實(shí)際上沒(méi)有變化，由于光量分布圖變化了，通過(guò)束狀光纖等向檢查對(duì)象物體照射的照射光量也產(chǎn)生了變化。
在將來(lái)自混合棒33的光射出端33out的光導(dǎo)出并對(duì)它的光量進(jìn)行檢測(cè)的場(chǎng)合，由于發(fā)光點(diǎn)偏離第一焦點(diǎn)等也使照射光量發(fā)生了變化，即使燈31自身的發(fā)光量沒(méi)有變化的時(shí)候也不能對(duì)它進(jìn)行檢測(cè)，結(jié)果是，產(chǎn)生了不能維持以一定光量向檢查對(duì)象物體照射的致命缺陷。
這相信也是從燈31照射的強(qiáng)光的一部分直接照射到與光射出端33out的檢測(cè)用光纖34連接的部分的原因。
現(xiàn)在，這個(gè)裝置中，即使具有在由燈31引起的光量分布圖不同的時(shí)候，入射到束狀光纖32的光量和檢測(cè)用光纖的光量之間的比也不發(fā)生變化的特性，想要對(duì)由光量分布圖的變化引起的照射光量的變化進(jìn)行檢測(cè)到底還是不可能。
因此本發(fā)明所要解決的問(wèn)題是，無(wú)論是燈光量變化引起的照射光量的變化，還是光量分布圖變化引起的照射光量的變化，都能進(jìn)行正確的檢測(cè)，并能夠穩(wěn)定的維持該照射光量。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決這個(gè)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種具有在將燈的光通過(guò)反射鏡會(huì)聚并從光出射口射出，直接的或者間接地對(duì)著被照射物體進(jìn)行照射的時(shí)候，檢測(cè)出照射在被照射物體上的光的照射光量的光量監(jiān)視器，和反饋控制相應(yīng)于這個(gè)檢測(cè)光量的照射光量的光量控制器的光源裝置，其特征在于所述光量監(jiān)視器，具有由將通過(guò)反射鏡會(huì)聚的光導(dǎo)入到光出射口的光路構(gòu)成的導(dǎo)光棒，和將來(lái)自這個(gè)導(dǎo)光棒的周?chē)砻娴穆┕饬孔鳛樗稣丈涔饬窟M(jìn)行檢測(cè)的光傳感器。
由于在導(dǎo)光棒上不只有無(wú)數(shù)的內(nèi)部缺陷，在它的外表面上也存在細(xì)微的劃痕，因此通過(guò)反射鏡會(huì)聚的光入射到導(dǎo)光棒時(shí)，由其內(nèi)部缺陷和劃痕引起漫反射，該光的一部分從周?chē)砻嫔下┏觥?br> 于是經(jīng)過(guò)發(fā)明人的實(shí)驗(yàn)，通過(guò)在這個(gè)導(dǎo)光棒的周?chē)砻嫔显O(shè)置光傳感器，來(lái)檢測(cè)從導(dǎo)光棒漏出的光量，和從與導(dǎo)光棒的光出射口連接的束狀光纖的前端照向被照射物體的照射光量的時(shí)候，別說(shuō)是由燈本體的發(fā)光量的變化引起的照射光量的變化，即使是由光量分布圖的變化引起的照射光量的變化，也能正確地檢測(cè)出來(lái)。
換句話(huà)說(shuō)，即使是存在不明原因，也能正確檢測(cè)出照射到被照射物體上的光的照射光量。
因此，在檢測(cè)出的光量發(fā)生變化的時(shí)候，如果通過(guò)調(diào)整從燈入射到導(dǎo)光棒的光量，可穩(wěn)定地維持光量。
這種場(chǎng)合中，光量的調(diào)整可以是如權(quán)利要求2中所記載的那樣，通過(guò)調(diào)光濾鏡可變地控制朝向?qū)Ч獍舻娜肷涔饬俊?br> 而且，如權(quán)利要求4那樣的，將光量監(jiān)視器的導(dǎo)光棒的周?chē)砻嬷械?，除了用光傳感器?lái)檢測(cè)導(dǎo)出到外部的漏光的部分之外的部分，用遮光材料將它覆蓋，能夠不受到從外部入射的光的影響，正確檢測(cè)出光量。
另外，如權(quán)利要求5那樣的，光傳感器的光檢測(cè)面與導(dǎo)光棒的周?chē)砻嫦鄬?duì)的配置，導(dǎo)光棒的周?chē)砻婧凸鈾z測(cè)面之間的空隙形成由光擴(kuò)散面環(huán)繞的光擴(kuò)散空間，由于漏出的光在該光擴(kuò)散空間中均勻化了，所以能夠更加正確地進(jìn)行檢測(cè)。
進(jìn)一步的，如權(quán)利要求6那樣的，在外裝在導(dǎo)光棒上的遮光管的內(nèi)表面上形成由環(huán)狀凹槽構(gòu)成的光擴(kuò)散空間，光傳感器安裝在該光擴(kuò)散空間上的話(huà)，從導(dǎo)光棒的整個(gè)表面漏出的光在光擴(kuò)散空間內(nèi)擴(kuò)散，由于能夠通過(guò)光傳感器檢測(cè)該全部漏光量，因此提高了檢測(cè)精度。
由于在導(dǎo)光棒的端面周邊部分上容易產(chǎn)生大的缺陷和劃痕，以及由于這些缺陷和劃痕的存在影響檢測(cè)精度，因此如權(quán)利要求7那樣的，如果在導(dǎo)光棒的光入射一側(cè)端面安裝有由具有比導(dǎo)光棒的口徑還要小的直徑的透光部分形成的小孔，覆蓋該端面周邊部分，能夠遮斷從該缺陷和劃痕透過(guò)的光，其結(jié)果是提高了檢測(cè)精度。
另外還有，如權(quán)利要求8那樣的，以不對(duì)導(dǎo)光棒的光出射端面上的照射光量產(chǎn)生影響的程度的施加粗糙化處理，從導(dǎo)光棒透過(guò)的光的一部分回到導(dǎo)光棒內(nèi)部，回去的光在導(dǎo)光棒的內(nèi)部由缺陷和劃痕引起漫反射，由于它的一部分成為漏光，增大了漏光的光量，提高了檢測(cè)精度。


圖1示出本發(fā)明所述的光源裝置的示意圖。
圖2示出調(diào)光濾鏡的示意圖。
圖3示出光量監(jiān)視器的示意圖。
圖4示出光量監(jiān)視器的示意圖。
圖5示出光量監(jiān)視器的示意圖。
圖6示出光量監(jiān)視器的示意圖。
圖7示出光量監(jiān)視器的示意圖。
圖8示出光量監(jiān)視器的示意圖。
圖9示出了由粗糙化處理導(dǎo)致的光損失和檢測(cè)光量以及照射光量的關(guān)系圖。
圖10示出了照射光量和檢測(cè)光量的關(guān)系圖。
圖11示出在先技術(shù)的裝置的示意圖。
符號(hào)的說(shuō)明1光源裝置4燈5反射鏡56光出射口6M(M1-M6)光量監(jiān)視器7光量控制器8導(dǎo)光棒8a周?chē)砻?光傳感器9a光檢測(cè)面10調(diào)光濾鏡12a，16a光擴(kuò)散面13，15遮光管(遮光材料)1314，17光擴(kuò)散空間16環(huán)狀凹槽18小孔具體實(shí)施方式
本實(shí)施例中，用極為簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了無(wú)論是在燈自身的發(fā)光量的變化引起的照射光量的變化，還是光量分布圖的變化引起的照射光量的變化的情況下，都能夠進(jìn)行正確的檢測(cè)，并穩(wěn)定地維持照射光量的方案。
圖1是示出本發(fā)明所述的光源裝置的示意圖，圖2是示出調(diào)光濾鏡的示意圖，圖3-圖8是示出光量監(jiān)視器的示意圖，圖9示出了由粗糙化處理導(dǎo)致的光損失和檢測(cè)光量以及照射光量的關(guān)系圖，圖10示出了照射光量和檢測(cè)光量的關(guān)系圖。
圖1示出的光源裝置1，用于例如在對(duì)檢查對(duì)象物體(被照射物體)的表面進(jìn)行攝像并通過(guò)圖像處理進(jìn)行產(chǎn)品檢查的時(shí)候，通過(guò)束狀光纖2向檢查對(duì)象物體照射照明光。
這個(gè)光源裝置1，將配置在殼體3內(nèi)的金屬氫化物燈4照射的光通過(guò)橢圓反射鏡5會(huì)聚，透過(guò)紅外線(xiàn)截取濾鏡20，從光出射口6射出，通過(guò)與光出射口6連接的束狀光纖2照射到檢查對(duì)象物體上去。
另外，在殼體3內(nèi)部，配置有檢測(cè)向檢查對(duì)象物體照射的光的照射光量的光量監(jiān)視器M，對(duì)與該檢測(cè)光量相應(yīng)的照射光量進(jìn)行反饋控制的光量控制器7，之外還配置有燈4的照明電路21，冷卻風(fēng)扇22。
光量監(jiān)視器M包括由將通過(guò)反射鏡5會(huì)聚的光導(dǎo)入光出射口6的光路構(gòu)成的導(dǎo)光棒8，和將來(lái)自該導(dǎo)光棒8的周?chē)砻?a的漏光量作為照射光量檢測(cè)的硅光電單元等的光電變換型光傳感器9。
導(dǎo)光棒8由透光性玻璃材料形成，本實(shí)施例中，由直徑12.4mm，長(zhǎng)40mm的圓柱棒構(gòu)成，將反射鏡5的第二焦點(diǎn)的位置設(shè)置于光入射端面8in的中心。
光量控制器7，在它的輸入側(cè)與光量監(jiān)視器M的光傳感器9連接的同時(shí)，在輸出側(cè)上具有使得調(diào)光濾鏡10按照預(yù)定角度旋轉(zhuǎn)的步進(jìn)電機(jī)11。
這個(gè)調(diào)光濾鏡10是由開(kāi)口率慢慢變化的多個(gè)狹縫在圓周上成列配置形成的(參考圖2)，隨著旋轉(zhuǎn)并與它的旋轉(zhuǎn)方向相應(yīng)地使得透過(guò)光量漸漸增大/漸漸減少。
圖3-圖8，示出本發(fā)明所述的光量監(jiān)視器M1-M6的例子。
圖3(a)示出的光量監(jiān)視器M1將導(dǎo)光棒8的周?chē)砻?a與光傳感器9的光檢測(cè)面9a連接。
這樣，導(dǎo)光棒8內(nèi)透過(guò)的光，如圖3(b)所示的那樣，在遇到該導(dǎo)光棒8內(nèi)的缺陷C，以及光在導(dǎo)光棒8內(nèi)進(jìn)行全反射的同時(shí)，光遇到周?chē)砻?a上的劃痕而產(chǎn)生漫反射時(shí)，由于其中一部分光從光傳感器9側(cè)漏出，可以通過(guò)光傳感器9對(duì)該光的漏出量進(jìn)行檢測(cè)。
圖4(a)示出的光量監(jiān)視器M2是這樣構(gòu)成的將在管壁13a上貫通的形成有用于安裝光傳感器9的安裝孔12的遮光管(遮光材料)13外裝在導(dǎo)光棒8上，除了將通過(guò)光傳感器9檢測(cè)出的漏光向外部導(dǎo)出的部分，用遮光材料覆蓋導(dǎo)光棒8的周?chē)砻?a。
這樣的話(huà)，與通過(guò)光傳感器9檢測(cè)漏光量的光量監(jiān)視器M1同樣的，如圖4(b)所示的那樣周?chē)砻?a能夠不受到導(dǎo)光棒8以外的亮度變化和泄漏進(jìn)入殼體3內(nèi)的外部光的影響。
另外，在安裝孔12的內(nèi)表面上形成光擴(kuò)散面12a，在光傳感器9的光檢測(cè)面9a相對(duì)于導(dǎo)光棒8的周?chē)砻?a進(jìn)行安裝的時(shí)候，在光檢測(cè)面9a和導(dǎo)光棒8的周?chē)砻?a之間的空隙(例如8mm程度)形成由光擴(kuò)散面12a環(huán)繞的光擴(kuò)散空間14。
這樣，由于從安裝孔12漏出的光在光擴(kuò)散空間14內(nèi)散亂并均勻化，相信能夠進(jìn)一步提高檢測(cè)精度。
如圖5(a)示出的光量監(jiān)視器M3是這樣構(gòu)成的在外裝在導(dǎo)光棒8上的遮光管15的內(nèi)表面上，以沿著它的圓周方向形成有環(huán)狀凹槽16的內(nèi)表面作為光擴(kuò)散面16a的方式形成環(huán)狀的光擴(kuò)散空間17，光傳感器9安裝在具有與導(dǎo)光棒8的周?chē)砻嫦鄬?duì)設(shè)置的預(yù)定空隙(例如8mm的程度)的光擴(kuò)散空間17上。
這樣的話(huà)，如圖5(b)所示的那樣，在導(dǎo)光棒8的周?chē)砻?a的整個(gè)圓周范圍內(nèi)形成光擴(kuò)散空間17，使得不僅在與光傳感器9相對(duì)的部分，而且來(lái)自導(dǎo)光棒8的整個(gè)周面的漏光在光擴(kuò)散空間17內(nèi)擴(kuò)散，由于能夠?qū)⑦@些全部的漏光量通過(guò)光傳感器的進(jìn)行檢測(cè)，提高了檢測(cè)精度。
圖6(a)所示的光量監(jiān)視器M4這樣構(gòu)成在所述光量監(jiān)視器M3的導(dǎo)光棒8的光入射端面8in上安裝有其上形成具有比導(dǎo)光棒8的口徑還要小的直徑的透光部分18a的小孔18，并由此覆蓋導(dǎo)光棒8的光入射一側(cè)端面的周?chē)吘壊糠?b。
這樣的話(huà)，如圖6(b)所示的那樣，即使在導(dǎo)光棒8的端面周?chē)吘壊糠?b上產(chǎn)生了較大的缺陷和劃痕，由于能夠?qū)⒂蛇@些缺陷和劃痕透過(guò)的光隔斷，能夠避免對(duì)檢測(cè)精度產(chǎn)生惡劣的影響，其結(jié)果是提高了檢測(cè)精度。
圖7(a)所示的光量監(jiān)視器M5這樣構(gòu)成在所述光量監(jiān)視器M3的導(dǎo)光棒8的光出射端面8out上實(shí)施粗糙化處理，以不使照射光量顯著降低的程度，將透過(guò)導(dǎo)光棒8的光的一部分返回到導(dǎo)光棒8的內(nèi)部。
這樣的話(huà)，如圖7(b)所示的那樣，將透過(guò)導(dǎo)光棒8的光的一部分返回到導(dǎo)光棒8的內(nèi)部，返回的光由導(dǎo)光棒8的內(nèi)部的缺陷和劃痕產(chǎn)生漫反射，由于它的一部分成為了漏光，使得漏光量增大，相應(yīng)的提高了檢測(cè)精度。
粗糙化處理，使得光出射端面8out形成為具有粗糙的表面，通過(guò)進(jìn)行粗糙化處理使得通過(guò)光出射端面8out的光漫反射，產(chǎn)生光量損失，但由于該部分光量提高了檢測(cè)光量。
圖9示出了相對(duì)由粗糙化處理導(dǎo)致的光損失的檢測(cè)光量以及照射光量的變化的圖，橫軸是進(jìn)行了粗糙化處理的時(shí)候?qū)Ч獍舻耐高^(guò)光的光損失，縱軸左邊的刻度是照射光量，縱軸右邊的刻度是檢測(cè)光量，均以沒(méi)有進(jìn)行粗糙化處理的場(chǎng)合(光損失0)作為100％時(shí)的光量進(jìn)行顯示。
這樣的話(huà)，通過(guò)粗糙化處理的粗糙表面的確使得光損失增大，增大檢測(cè)光量提高了檢測(cè)精度，但降低了來(lái)自束狀光纖2的照射光量。
因此，例如為了確保照射光量在90％以上，檢測(cè)光量在200％以上，必須將由粗糙化處理導(dǎo)致的光損失抑制在4.5-5.5％的程度。
進(jìn)一步的，圖8(a)所示的光量監(jiān)視器M6這樣構(gòu)成在所述光量監(jiān)視器M5的導(dǎo)光棒8的光入射端面8in上，安裝有適用于光量監(jiān)視器M4的小孔18。
這樣的話(huà)，如圖8(b)所示的那樣，通過(guò)小孔18除去外部干擾，進(jìn)而通過(guò)粗糙化處理增大漏光量，進(jìn)一步提高檢測(cè)精度。
圖10示出了使用了這樣形成的各個(gè)光量監(jiān)視器M1-M6的，從束狀光纖2照射的照射光量和光量監(jiān)視器M1-M6的檢測(cè)光量的圖。
照射光量的變化，主要分為燈4的光量變化引起的場(chǎng)合，和由束狀光纖2入射的光量分布變化引起的場(chǎng)合。
其中，測(cè)定與從燈4入射到導(dǎo)光棒8的光量發(fā)生變化的時(shí)候的照射光量相對(duì)應(yīng)的光量監(jiān)視器M1-M6的檢測(cè)光量的同時(shí)，測(cè)定相對(duì)于由于相對(duì)反射鏡5的第二焦點(diǎn)的位置偏離了導(dǎo)光棒8的中心引起的光量分布的變化的時(shí)候的照射光量的檢測(cè)光量。
圖的橫軸表示照射光量，縱軸表示檢測(cè)光量，照射光量是在通過(guò)額定電壓點(diǎn)亮燈4的時(shí)候，通過(guò)配置在束狀光纖2的光出射端的光傳感器檢測(cè)出的光量作為100的標(biāo)準(zhǔn)量化的值，檢測(cè)光量是在照射光量是100的時(shí)候通過(guò)光量監(jiān)視器M1-M6檢測(cè)出的光量作為100的標(biāo)準(zhǔn)量化的值。
虛線(xiàn)L0示出與旋轉(zhuǎn)調(diào)光濾鏡10使朝向?qū)Ч獍?的入射光量發(fā)生變化的時(shí)候的照射光量對(duì)應(yīng)的光量監(jiān)視器M1-M6的檢測(cè)光量。
這個(gè)場(chǎng)合中，任何光量監(jiān)視器M1-M6的測(cè)定結(jié)果都一樣，檢測(cè)光量正確地依據(jù)照射光量。
另外，實(shí)線(xiàn)L1-L6，示出與由于反射鏡5的第二焦點(diǎn)的位置偏離導(dǎo)光棒8的中心而發(fā)生變化的照射光量的變化相對(duì)應(yīng)的，光量監(jiān)視器M1-M6的檢測(cè)光量的變化。
這個(gè)場(chǎng)合中，在導(dǎo)光棒8的光入射端面8in上安裝有小孔18，在光出射端面8out上進(jìn)行粗糙化處理的光量監(jiān)視器M6的檢測(cè)光量正確的依據(jù)照射光量(參考實(shí)線(xiàn)L6)。
因此，光量監(jiān)視器M6在照射光量的變化由燈4的光量變化引起的場(chǎng)合下和由光量分布變化引起的場(chǎng)合下都能將漏光量作為照射光量進(jìn)行檢測(cè)。
其它的光量監(jiān)視器M1-M5，即使不能在整個(gè)范圍內(nèi)使得檢測(cè)光量正確的依據(jù)照射光量，在照射光量100％附近的范圍內(nèi)，能夠與光量監(jiān)視器M6一樣，使得檢測(cè)光量正確的依據(jù)照射光量(參考實(shí)線(xiàn)L1-L5)。
換句話(huà)說(shuō)，通過(guò)光傳感器9檢測(cè)出的漏光量，由于是與從束狀光纖2照射的照射光量相對(duì)應(yīng)，因此在照射光量由燈4的光量變化引起的場(chǎng)合，和由光量分布變化引起的場(chǎng)合，都能夠?qū)⒙┕饬孔鳛檎丈涔饬康臋z測(cè)。
上述是本發(fā)明的一個(gè)例子，接下來(lái)對(duì)它的作用進(jìn)行說(shuō)明。
由于預(yù)想中在照明1500-2000小時(shí)之后的照射光量，與初期光量比較減少了40％，在開(kāi)始時(shí)就通過(guò)調(diào)光濾鏡10將燈4的光量降低到60％。
這種狀態(tài)中光量監(jiān)視器M(M1-M6)通過(guò)光傳感器9檢測(cè)出的檢測(cè)光量Q0作為100％的值存儲(chǔ)在光量控制器7，在檢測(cè)光量Q發(fā)生變化的時(shí)候旋轉(zhuǎn)調(diào)光濾鏡10，使之等同于當(dāng)初存儲(chǔ)的檢測(cè)光量Q0的。
由于檢測(cè)光量Q具有隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)降低的趨勢(shì)，例如檢測(cè)光量Q降低1/％的時(shí)候，調(diào)光濾鏡10朝著使狹縫10a增大的方向旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行使檢測(cè)光量Q＝100(％)的光量調(diào)整。
該場(chǎng)合中，檢測(cè)光量Q通常維持在100(％)，由于每當(dāng)檢測(cè)光量Q產(chǎn)生1％的變化就進(jìn)行光量調(diào)整，檢測(cè)光量Q通常在100％附近變化，因此，使用任何光量監(jiān)視器M1-M6的場(chǎng)合都能夠正確的檢測(cè)出照射光量的變化。
而且，無(wú)論它的原因是由燈4的光量變化引起的，還是由光量分布的變化引起的，不受其原因限制的能夠正確檢測(cè)出照射光量。
這樣，通過(guò)與檢測(cè)光量相應(yīng)的用調(diào)光濾鏡10慢慢的增大朝向?qū)Ч獍?的入射光量，即使是經(jīng)過(guò)1500-2000小時(shí)的照明之后，也能夠以與當(dāng)初的照射光量大致相等的光量進(jìn)行照射。
而且在上說(shuō)明中，作為光量控制器7使用的是可變的控制朝向?qū)Ч獍?的入射光量的調(diào)光濾鏡10，但本發(fā)明不限于此，使用可變的控制燈光量的調(diào)光電路也可以。
另外，本發(fā)明不限于使用照射可視光的燈4的場(chǎng)合，同樣適用于用紫外線(xiàn)燈，紅外線(xiàn)燈作為光源的光照射裝置。
如上所述，在本發(fā)明的光源裝置中，因?yàn)橛蔁艄饬康淖兓鸬恼丈涔饬孔兓陀晒饬糠植嫉淖兓鸬恼丈涔饬孔兓寄芡瑯拥臋z測(cè)出來(lái)，因此可基于這個(gè)檢測(cè)出來(lái)的檢測(cè)光量進(jìn)行將照射光量維持為一個(gè)定值的控制，得到非常優(yōu)良的效果。
本發(fā)明可適用于圖像處理檢查裝置等的光源裝置等的用途，并可滿(mǎn)足這樣的要求，使朝向檢查對(duì)象物體(被照射物體)的光量至少在檢查時(shí)間中不發(fā)生變化，另外，能夠照射與使用的照相機(jī)的感光性能級(jí)別相應(yīng)的必要的光量的光。
權(quán)利要求
1.一種光源裝置，包括將燈的光通過(guò)反射鏡匯聚從光出射口射出，直接的或者間接的朝向被照射物體照射的時(shí)候，檢測(cè)照射在被照射物體上的光的照射光量的光量監(jiān)視器，以及對(duì)應(yīng)該檢測(cè)光量，對(duì)照射光量進(jìn)行反饋控制的光量控制器，其特征在于所述光量監(jiān)視器包括將通過(guò)反射鏡匯聚的光引導(dǎo)到光出射口的光路構(gòu)成的導(dǎo)光棒，和將來(lái)自該導(dǎo)光棒的周?chē)砻娴穆┕饬孔鳛樗稣丈涔饬繖z測(cè)的光傳感器。
2.如權(quán)利要求1所述的光源裝置，所述光量控制器包括能夠可變的控制向?qū)Ч獍舻娜肷涔饬康恼{(diào)光濾鏡。
3.一種檢測(cè)從光源出射的照射在被照射物體上的光的照射光量的光量監(jiān)視器，其特征在于包括，由引導(dǎo)從光源出射的光的光路構(gòu)成的導(dǎo)光棒，以及將來(lái)自該導(dǎo)光棒的周?chē)砻娴穆┕饬孔鳛樗稣丈涔饬繖z測(cè)的光傳感器。
4.如權(quán)利要求3所述的光量監(jiān)視器，其特征在于將所述導(dǎo)光棒的周?chē)砻娴某藢⑼ㄟ^(guò)光傳感器檢測(cè)的漏光向外部導(dǎo)出的部分，用遮光材料覆蓋。
5.如權(quán)利要求3所述的光量監(jiān)視器，其特征在于將所述光傳感器的光檢測(cè)面與導(dǎo)光棒的周?chē)砻嫦鄬?duì)配置，同時(shí)在光檢測(cè)面和導(dǎo)光棒周?chē)砻嬷g的空隙處形成由光擴(kuò)散面圍成的光擴(kuò)散空間。
6.如權(quán)利要求3所述的光量監(jiān)視器，其特征在于在外裝在所述導(dǎo)光棒上的遮光管內(nèi)表面上，以沿著它的外周方向形成的環(huán)狀凹槽的內(nèi)表面為光擴(kuò)散面的方式形成光擴(kuò)散空間，所述光傳感器與所述導(dǎo)光棒的周?chē)砻嫦鄬?duì)地安裝在該光擴(kuò)散空間上。
7.如權(quán)利要求3所述的光量監(jiān)視器，其特征在于由形成有比所述導(dǎo)光棒的口徑小的直徑的透光部的小孔，覆蓋導(dǎo)光棒的光入射一側(cè)端面的周?chē)吘壊糠帧?br> 8.如權(quán)利要求3所述的光量監(jiān)視器，其特征在于在所述導(dǎo)光棒的光出射端面上進(jìn)行粗糙化處理，使將透過(guò)導(dǎo)光棒的光的一部分返回到導(dǎo)光棒內(nèi)部。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于能夠正確的檢測(cè)出由燈光量引起的照射光量的變化以及由光量分布圖的變化引起的照射光量的變化，并能穩(wěn)定的維持照射光量。包括在燈(4)的光通過(guò)反射鏡(5)匯聚從光出射口(6)射出，直接的或者間接的朝向被照射物體照射的時(shí)候，檢測(cè)照射在被照射物體上的光的照射光量的光量監(jiān)視器(M)和與這個(gè)檢測(cè)光量相應(yīng)的對(duì)照射光量進(jìn)行反饋控制的光量控制器(7)的光源裝置(1)中，光量監(jiān)視器(M)具有將通過(guò)反射鏡(5)匯聚的光引導(dǎo)到光出射口(6)的光路構(gòu)成的導(dǎo)光棒(8)，和將來(lái)自這個(gè)導(dǎo)光棒(8)的周?chē)砻?8a)的漏光量作為照射光量檢測(cè)的光傳感器(9)。
文檔編號(hào)G01N21/84GK1576690SQ20041007940
公開(kāi)日2005年2月9日 申請(qǐng)日期2004年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月2日
發(fā)明者北藤明博, 大塚宏樹(shù), 小久保哲夫, 小川大輔, 酒井雅寬 申請(qǐng)人:巖崎電氣株式會(huì)社